MFC1000气体质量流量控制器
0131.气体质量流量控制器(MFC)与气体质量流量计(MFM)
气体质量流量控制器（MFC）与气体质量流量计（MFM）MFC是带有控制气体质量流量的装置，而MFM是不具有控制气体质量流量功能的装置。
MFC为Mass Flow Controller的缩写，即质量流量控制。
流体在旋转的管内流动时会对管壁产生一个力，它是科里奥利在1832年研究水轮机时发现的，简称科氏力。
质量流量计以科氏力为基础，在传感器内部有两根平行的T型振管，中部装有驱动线圈，两端装有拾振线圈，变送器提供的激励电压加到驱动线圈上时，振动管作往复周期振动，工业过程的流体介质流经传感器的振动管，就会在振管上产生科氏力效应，使两根振管扭转振动，安装在振管两端的拾振线圈将产生相位不同的两组信号，这两个信号差与流经传感器的流体质量流量成比例关系。
计算机解算出流经振管的质量流量。
不同的介质流经传感器时，振管的主振频率不同，据此解算出介质密度。
安装在传感器器振管上的铂电阻可间接测量介质的温度。
质量流量计直接测量通过流量计的介质的质量流量,还可测量介质的密度及间接测量介质的温度。
由于变送器是以单片机为核心的智能仪表，因此可根据上述三个基本量而导出十几种参数供用户使用。
质量流量计组态灵活，功能强大,性能价格比高，是新一代流量仪表。
测量管道内质量流量的流量测量仪表。
在被测流体处于压力、温度等参数变化很大的条件下，若仅测量体积流量，则会因为流体密度的变化带来很大的测量误差。
在容积式和差压式流量计中，被测流体的密度可能变化30％，这会使流量产生30～40％的误差。
随着自动化水平的提高，许多生产过程都对流量测量提出了新的要求。
化学反应过程是受原料的质量(而不是体积)控制的。
蒸气、空气流的加热、冷却效应也是与质量流量成比例的。
产品质量的严格控制、精确的成本核算、飞机和导弹的燃料量控制，也都需要精确的质量流量测量。
因此质量流量计是一种重要的流量测量仪表。
质量流量计可分为两类：一类是直接式，即直接输出质量流量；另一类为间接式或推导式，如应用超声流量计和密度计组合，对它们的输出再进行乘法运算以得出质量流量。
质量流量控制器原理
质量流量控制器原理质量流量控制器是一种用于控制气体质量流量的仪器，它可以根据用户设定的质量流量值，精确地调节气体的流量，从而确保气体流量的准确性和稳定性。
本文将重点介绍质量流量控制器的原理及其工作方式。
一、质量流量控制器原理质量流量控制器的原理基于流场动态计量技术，它通过测量气体密度和瞬时流量计算气体的质量流量，然后根据设定值调节流量控制阀门的开度，从而实现质量流量的精确控制。
在质量流量控制器中，气体通过流量计进入测量腔体，测量腔体中装有传感器，可以进行压力、温度、流量、密度等参数的测量。
这些参数直接影响了气体密度的计算，而气体密度的准确计算是控制质量流量的关键。
测量系统完成数据采集后，将数据转换为质量流量值，并通过控制阀门的开度来调节气体流量，实现质量流量的精确控制。
二、质量流量控制器的工作方式质量流量控制器主要分为两个部分，即测量模块和电子控制模块。
（一）测量模块测量模块由流量计和密度计组成。
流量计可以根据气体流过流体的速度进行测量，而密度计则是利用气体压力、温度、流量等参数进行测量。
这两种仪器都非常精确，可以实时测量气体的流量和密度。
在测量模块中，流量计和密度计通过传感器与电子控制模块相连。
当气体经过流量计时，流量计产生信号并将其传输到控制模块，控制模块根据信号计算出气体的流量。
当气体经过密度计时，密度计也会产生信号并传输到控制模块，控制模块根据信号计算出气体的密度。
（二）电子控制模块电子控制模块主要由控制器、流量计控制器、密度计控制器和阀门控制器等部分组成。
电子控制模块的主要作用是接收来自测量模块的信号，并根据用户设定的质量流量值自动调节阀门的开度，从而控制气体的流量。
具体的工作流程如下：1. 用户根据需要设定目标质量流量值，并将该值输入到控制器中。
2. 测量模块中的流量计和密度计开始测量气体的流量和密度，并将测量结果传输到电子控制模块中。
3. 电子控制模块根据测量结果计算出当前的质量流量值，并将该值与用户设定的目标质量流量值进行比较。
质量流量控制器技术说明书
质量流量控制器和质量流量计使用说明书1、特点及应用领域质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。
质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM），用于对气体的质量流量进行精密测量。
S49系列质量流量控制器和质量流量计特点：*采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、*适用于各种腐蚀性气体*气体流量不因温度、压力的变化而失准*高精度 *重复性好*响应速度快、软启动、稳定可靠*低压降*工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）。
*操作使用方便，可任意位置安装*便于与计算机连接实现自动控制。
S49系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域：*半导体制造行业的气体流量控制*分析仪器设备的气体计量与控制*各种形式的真空镀膜设备*环境检测与分析设备*化工、石化、食品行业气体流量监测和控制*特种材料表面处理装置与燃烧控制*混气配气系统和泄漏探测系统等2．S49系列质量流量控制器和质量流量计型号本产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件及命名方法。
其中：S49-33/MT型为高精度质量流量控制器S49-33A/MT型高精度质量流量计。
S49-33M/MT型为普通型质量流量控制器S49-33BM/MT型普通型质量流量计。
质量流量计主要精确测量气体流量，质量流量控制器不但具有质量流量计的功能还具备自动控制气体流量的功能。
执行Q/XCHBY001-2003企业标准3．主要技术指标质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N）标定。
2质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);SLM (标准升/分)标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ );气压— 101325 Pa (760mm Hg)F.S (Full Scale): 表示满量程值表1 S49-33/MT型﹑S49-33M/MT型质量流量控制器技术指标表2. S49-33A/MT﹑ S49-33BM/MT型质量流量计技术指标注意： S49系列质量流量控制器，质量流量计分不同的流量范围，供用户选择，也可根据用户提出流量定制。
质量流量控制器原理
质量流量控制器原理质量流量控制器是一种用于控制流体流量的装置，它在工业生产中起着非常重要的作用。
它可以根据需要调整流体的流量，保证生产过程中的安全稳定。
那么，质量流量控制器的原理是什么呢？首先，质量流量控制器的原理基于流体力学和控制理论。
它通过控制流体的流速和流量来实现对流体的精准控制。
一般来说，质量流量控制器包括流量传感器、控制阀和控制系统三个部分。
流量传感器是质量流量控制器的核心部件之一，它通过检测流体的流速和流量来获取实时的流体信息。
流量传感器通常采用电磁式、超声波式或者压力式等原理来测量流体的流量，然后将这些信息传输给控制系统。
控制阀是质量流量控制器的执行部件，它根据流量传感器获取的信息，通过控制流体的流动来实现对流量的调节。
控制阀的开合程度可以根据需要进行调整，从而控制流体的流速和流量。
控制系统是质量流量控制器的大脑，它接收来自流量传感器的实时信息，并根据预设的控制策略来调节控制阀的开合程度，从而实现对流体流量的精准控制。
控制系统通常采用PID控制、模糊控制或者神经网络控制等算法来实现对流量的闭环控制。
总的来说，质量流量控制器的原理就是通过流量传感器获取实时的流体信息，然后通过控制阀和控制系统对流体的流速和流量进行调节，从而实现对流量的精准控制。
质量流量控制器在化工、石油、冶金、电力等领域有着广泛的应用，它可以保证生产过程中的安全稳定，提高生产效率，降低能耗，减少生产成本。
总之，质量流量控制器的原理是基于流体力学和控制理论，通过流量传感器、控制阀和控制系统实现对流体流量的精准控制，为工业生产提供了重要的保障。
希望通过本文的介绍，读者能对质量流量控制器的原理有一个更加清晰的了解。
质量流量计(MFC)原理
质量流量计（MFC）原理及如何来选择使用首先什么是质量流量计（MFC）?质量流量计，即Mass Flow Meter（缩写为MFM），是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。
质量流量控制器，即Mass Flow Controller（缩写为MFC），不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。
简单地说，质量流量控制器就是一个稳流装置，是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
质量流量计/质量流量控制器的主要优点是什么？（1）流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。
对于普通的流量计，压力及温度的波动将导致较大的误差；对于质量流量计/质量流量控制器，则一般可以忽略不计。
（2）测量控制的自动化质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。
这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。
对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。
通常，模拟的MFC/MFM输入输出信号为0～+5V或4～20mA，数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口，能非常方便地与计算机连接，进行自动控制。
（3）精确地定量控制流量质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。
（4）适用范围宽，有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10MPa；可以适用于多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如HCL）；有很宽的流量范围，我们的产品最小流量范围可达0～5 sccm，最大流量范围可达0～200 slm。
流量显示的分辨率可达满量程的0.1%，流量控制范围是满量程的2～100% （量程比为-- 50:1），因此在很多领域得到广泛应用。
horiba mfc工作原理 -回复
horiba mfc工作原理-回复Horiba MFC（Mass Flow Controller），也称为质量流量控制器，是一种广泛应用于工业和实验室环境中的流量控制设备。
它能够准确地控制气体的流量，这在许多应用中是非常重要的，例如半导体制造、气体混合、燃烧过程和实验室分析。
Horiba MFC的工作原理可以分为几个关键步骤，包括传感器测量、控制电路和执行机构。
下面将一步一步地解释Horiba MFC的工作原理。
首先，Horiba MFC使用传感器来测量气体的质量流量。
传感器通常采用热毛细管（Thermal Capillary）流量传感器，该传感器基于热传导原理。
传感器内部包含一个非常细微的毛细管，气体流经该毛细管时会带走一部分热量。
传感器通过测量在气体流动中所损失的热量来确定质量流量。
其次，测量到的信号被传送到控制电路中进行处理。
控制电路通常由一个微处理器和一些模拟电子元件组成。
微处理器根据从传感器接收到的信号来计算气体的质量流量，并与用户预设的目标流量进行比较。
如果实际流量低于或高于预设流量，控制电路将根据需求调整执行机构以控制气体流量。
最后，执行机构是Horiba MFC的关键部件之一。
它由一个电磁比例阀（Electromagnetic Proportional Valve）和一个驱动电路组成。
根据控制电路的指令，执行机构会相应地调整电磁阀的开度，从而控制气体流量。
电磁阀的开度调整将导致阀门内的孔径相应变化，进而调整流通截面，从而控制气体的流动速度和量。
总结起来，Horiba MFC的工作原理是通过传感器测量气体质量流量、控制电路计算流量误差并调整执行机构来达到精确控制气体流量的目的。
这个过程是连续的，以确保流量的稳定性和一致性。
需要注意的是，Horiba MFC的性能和准确性受到多种因素的影响，包括气体压力、温度和比例阀的响应时间等。
因此，在使用Horiba MFC进行精确流量控制时，需要对环境条件进行细致的调节和校准，以确保其在各种工况下的可靠性和稳定性。
一种气体流量的精密测量与自动控制装置
一种气体流量的精密测量与自动控制装置摘要：介绍了一种气体流量的精密测量与自动控制装置，采用单片机作为微控制器，选用流量传感器、独立按键、12864液晶等作为辅助设备，实现气体流量数据的实时采集、显示和处理，并建立人机界面友好的流量测量和控制系统。
试验表明，该装置具有控制精度高、实时性好、反应速度快，功耗低，价格低廉等优点，适用于小流量气体的测量与控制。
关键词：单片机；气体流量；实时采集；人机交互；自动控制1 引言气体质量流量控制器（MFC）是一种能够对气体流量进行测量与控制的设备。
随着真空领域和半导体行业的发展，气体流量控制器的重要性更加突显出来，它的主要作用是对气体的流量进行精确地检测和控制，以达到工艺要求。
在半导体制作过程中，如分子束外延、等离子刻蚀、扩散等关键工艺，都要求对气体的流量进行严格的控制。
气体流量控制器在现代新能源新材料领域中应用也非常广泛，如在单晶硅、多晶硅、非晶硅、太阳能集热管以及太阳能电池等的生产制造过程中，也需要通过气体流量控制器来对气体的流量进行精确的计量和严格的控制。
2 工作原理总体设计方案如图1所示，被检测的气体通过一个流量传感器，传感器实时采集流量数据，并送到A/D 转换器，即可得到数字化的流量信息，再与设定值进行比较，根据比较所得的差值，控制舵机的转向，通过齿轮传动进而调节阀门的开度大小，实现流量的自动控制。
该装置以单片机作为核心控制芯片，采用PID控制算法，并提供基本的人机交互界面，配备有12864液晶显示屏和独立按键，通过LCD 显示器输出气体的瞬时流量和累积流量。
其中各部分名称为：1. 气源，2. 手动控制阀，3. 自动控制阀，4. 流量传感器，5. 控制和显示模块，6. 舵机，7. 齿轮组。
3 设计方案及选材3.1电源部分本装置总的供电系统如图2所示：3.1.1稳压电路本装置采用8～10V的蓄电池作为电源，由于单片机、舵机和A/D转换芯片（ADC0804）所需电压均为5V，因此在蓄电池后，需加稳压电路使其电压降低才能达到各部分对电压的要求。
质量流量控制器技术说明书
1、质量流量控制器和质量流量计使用说明书特点及应用领域质量流量控制器（M ass Flow Controller缩写为MFC）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。
质量流量计（M ass Flow Meter缩写为MFM），用于对气体的质量流量进行精密测量。
S49系列质量流量控制器和质量流量计特点：*采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、VITON 、聚四氟乙烯等*适用于各种腐蚀性气体*气体流量不因温度、压力的变化而失准*高精度*重复性好*响应速度快、软启动、稳定可靠*低压降*工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）。
*操作使用方便，可任意位置安装*便于与计算机连接实现自动控制。
S49系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域：*半导体制造行业的气体流量控制R*分析仪器设备的气体计量与控制*各种形式的真空镀膜设备*环境检测与分析设备*化工、石化、食品行业气体流量监测和控制*特种材料表面处理装置与燃烧控制*混气配气系统和泄漏探测系统等2．S49系列质量流量控制器和质量流量计型号本产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件及命名方法。
其中：S49-33/MT型为高精度质量流量控制器S49-33A/MT型高精度质量流量计。
S49-33M/MT型为普通型质量流量控制器S49-33BM/MT型普通型质量流量计。
质量流量计主要精确测量气体流量，质量流量控制器不但具有质量流量计的功能还具备自动控制气体流量的功能。
执行Q/XCHBY001-2003 企业标准3．主要技术指标质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。
质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);SLM (标准升/分)标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ );气压—101325 Pa (760mm Hg)F.S (Full Scale):表示满量程值表1 S49-33/MT型﹑S49-33M/MT型质量流量控制器技术指标表2.S49-33A/MT﹑S49-33BM/MT型质量流量计技术指标注意：S49系列质量流量控制器，质量流量计分不同的流量范围，供用户选择，也可根据用户提出流量定制。
气体质量流量计MFM和气体质量流量控制器MFC小知识
气体质量流量计MFM和气体质量流量控制器MFC小知识1、什么是气体质量流量计?质量流量计,即Mass Flow Meter(缩写为MFM), 是一种精确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。
2、什么是气体质量流量控制器?质量流量控制器, 即Mass Flow Controller(缩写为MFC), 不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。
简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
3、气体质量流量计/质量流量控制器的主要优点是什么?(1)流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
对于多数流量测控系统而言,很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。
对于普通的流量计,压力及温度的波动将导致较大的误差;对于质量流量计/质量流量控制器,则一般可以忽略不计。
(2)测量控制的自动化质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。
这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。
对质量流量控制器而言,还可以实现流量的自动控制。
通常, 模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~+5V 或4~20mA, 数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口, 能非常方便地与计算机连接, 进行自动控制。
(3)精确地定量控制流量质量流量控制器可精确地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。
(4)适用范围宽有很宽的工作压力范围,产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体,如HCL);有很宽的流量范围,产品最小流量范围可达0~5 sccm,最大流量范围可达0~1500 slm。
质量流量控制器原理
质量流量控制器原理质量流量控制器是一种用于控制流体流量的装置，它能够有效地调节流体的流量，保证系统的稳定运行。
在工业生产中，流量控制是非常重要的，它涉及到流体的输送、混合、分配等工艺，对于保证生产过程的稳定性和产品质量都起着至关重要的作用。
本文将介绍质量流量控制器的原理及其工作方式。
首先，质量流量控制器的原理是基于质量守恒定律和动量守恒定律的。
在流体力学中，质量守恒定律是指在封闭系统中，质量是守恒的，即质量的输入等于输出。
而动量守恒定律则是指在封闭系统中，动量也是守恒的，即动量的输入等于输出。
基于这两个基本定律，质量流量控制器通过控制流体的压力、速度、流道面积等参数，从而实现对流体流量的控制。
其次，质量流量控制器的工作方式主要包括两种，一种是基于压力差的控制方式，另一种是基于流速的控制方式。
在基于压力差的控制方式中，质量流量控制器通过改变流体管道中的压力差来实现对流量的控制。
当需要增加流量时，可以通过增加管道的压力差来促使流体流动；当需要减小流量时，则可以通过减小管道的压力差来降低流体流动。
而在基于流速的控制方式中，质量流量控制器通过改变流体的流速来实现对流量的控制。
通过调节流体的流速，可以有效地控制流体的流量大小。
除此之外，质量流量控制器还可以根据具体的应用需求，采用不同的控制策略。
例如，在一些需要精确控制流量的场合，可以采用闭环控制策略，通过不断地检测流体流量并对控制信号进行调整，来实现对流量的精确控制。
而在一些对流量要求不是很严格的场合，也可以采用开环控制策略，通过事先设定好的控制参数来实现对流量的控制。
总的来说，质量流量控制器是一种非常重要的流体控制装置，它基于质量守恒定律和动量守恒定律，通过控制流体的压力、流速等参数来实现对流量的控制。
在工业生产中，质量流量控制器的应用范围非常广泛，它对于保证生产过程的稳定性和产品质量起着至关重要的作用。
希望通过本文的介绍，读者能够对质量流量控制器有一个更加深入的了解。
质量流量计介绍MFC
谢谢！
2. MFC的构造和原理 3. 气体及其CF值 4. MFC的使用条件（温度、压力） 5. 液体材料的控制
6. 产品应用介绍
上海新爱示国际贸易有限公司
气体的流量控制类型
. 流量控制阀 （针阀、稳流阀等等）
. 面积式流量计（浮子方式） ->体积流量控制 cc/min m3/hr . 质量流量控制器 ->质量流量控制 g/min、mol/min
上海新爱示国际贸易有限公司
有关安装方向
热循环现象
被加热气体对流现象
低密度气体也容易发生逆流现象
上海新爱示国际贸易有限公司
液体材料控制
① HT-MFC
② 加热系统
③ 液化对策
上海新爱示国际贸易有限公司
HT-MFC（高温式样MFC）
PCB分离 最高85℃适用
上海新爱示国际贸易有限公司
蒸发系统
蒸发系统
上海新爱示国际贸易有限公司
温度系统设计
上海新爱示国际贸易有限公司
蒸发系统
产品系列 ● AS50、AS50C TEOS\HCD
● AS60C H2O ● AS90C/90AC/91C/92C TEOS AS100S TEOS\HCD\TiCL4\SICL4…
上海新爱示国际贸易有限公司
上海新爱示国际贸易有限公司
气体的特点
. 气体的体积
->体积根据条件（温度、压力）变化改变 . 气体的质量 ->温度、压力等因素丌受影响
上海新爱示国际贸易有限公司
气体的流量控制
半导体应用过程的化学反应
->化学反应以mol单位进行 例：2H2+O2=2H2O ->要求以mol单位进行流量控制 ->需要高性能流量控制器对应
气体质量流量控制器的结构和工作原理
气体质量流量控制器的结构和工作原理集团文件版本号：（M928-T898-M248-WU2669-I2896-DQ586-M1988）气体质量流量计/控制器的结构和工作原理气体质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对于气体的质量流量进行精密测量和控制；气体质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM）用于对于气体的质量流量进行精密测量。
扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。
并广泛用于石油化工，冶金，制药等。
特点：精度高，重复性好。
1、结构MFM由电路板、传感器、进出气管道接头、分流器通道机壳等部件组成，只能对气体质量流量进行测量；在MFM基础上加上调节阀构成MFC，既可以对气体质量流量进行测量，也能对流量进行控制。
2、工作原理气流进入进气管道街头后大部分流量流过分流器通道，其中很小一部分进入传感器内部的毛细钢管。
由于分流器通道的特殊结构，可以实现这两部分气体流量成正比例关系。
传感器经过预热加温，里面的温度高于进入的气流温度，此时通过毛细钢管传热和温差量热法原理测量这一小部分气体的质量流量。
用这种办法测出的气体流量可以忽略温度和压力的影响，将传感器测得的流量检测信号输入电路板，经过放大后输出，就完成了MFM的功能。
将电路板中加入PID闭环自动控制功能，把传感器测得的流量检测信号与用户给出的设定信号进行比较，以此为基础控制调节阀，使得流量检测信号与设定信号相等，这样便实现了MFC 的功能。
北京华旭世纪科技有限公司是一家集设计、生产、销售机电设备、仪器仪表、实验室设备为一体的综合性技术企业。
北京华旭世纪科技有限公司自主研发的MFC、MFM具有稳定可靠，响应时间短，标定精度和重复精度高等特点，安装方便，无安装位置和直管段要求，操作简单，可配合流量显示仪或其他显示仪表使用，也可配合计算机使用。
质量流量控制器原理及选型教程（1）
质量流量控制器原理及选型教程（1）1. 什么是质量流量计？什么是质量流量控制器？质量流量计，即Mass Flow Meter （缩写为MFM ）, 是⼀种精确测量⽓体流量的仪表，其测量值不因温度或压⼒的波动⽽失准，不需要温度压⼒补偿。
质量流量控制器, 即Mass Flow Controller （缩写为MFC ）, 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能⾃动控制⽓体流量，即⽤户可根据需要进⾏流量设定，MFC ⾃动地将流量恒定在设定值上，即使系统压⼒有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。
简单地说,质量流量控制器就是⼀个稳流装置, 是⼀个可以⼿动设定或与计算机联接⾃动控制的⽓体稳流装置。
2. 质量流量控制器的原理是什么？质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放⼤控制器等部分组成。
质量流量控制器的剖⾯结构图见图1。
⽓体流量传感器采⽤⽑细管传热温差量热法原理测量⽓体的质量流量(⽆需温度压⼒补偿)。
将传感器加热电桥测得的流量信号送⼊放⼤器放⼤, 放⼤后的流量检测电压与设定电压进⾏⽐较, 再将差值信号放⼤后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
分流器决定主通道的流量。
与质量流量控制器配套的流量显⽰仪上设置有稳压电源,数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。
⽓体质量流量控制器与流量显⽰仪连接后的⼯作原理如图2所⽰。
流量显⽰仪质量流量计分流器通道传感器⼊⼝I 调节阀驱动阀控-15V +15V 0V ~220V 电源流量显⽰100.0(0 ~ +5.00V)setout 放⼤器⽐较器COM 设定+5.00V内(0 ~ +5.00V)外+15V出⼝-15V清洗关闭0 电平流量检测设定质量流量控制器图1. 质量流量控制器结构图图2. 质量流量控制器原理图3. 怎么理解质量流量计/质量流量控制器的流量单位？⽓体质量流量单位⼀般以sccm （Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标准毫升）和slm （Standard Liter per Minute,每分钟标准升）来表⽰。
质量流量计介绍MFC
->约30%程度丌能流动
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气体的特性
① 温度特性
Байду номын сангаас
② 压力特性 （压缩系数） ③ 故障例
上海新爱示国际贸易有限公司
温度特性（比热、0.1Mpa）
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压力特性（体积、300K）
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流量的标定
气体流量的标定方法
PVTt法 或称 增进法
上海新爱示国际贸易有限公司
盘片式ByPass
上海新爱示国际贸易有限公司
电磁阀
线圈 提升阀
特点：高速应答 提升阀距离长适用 大流量，精密控制 FC-R7700、7800 PRA7800、780HT系列
弹簧垫片 阀头
气体流向
内径
上海新爱示国际贸易有限公司
压电阀
特点：高速应答
调节螺母
压电原件
适用于高供给压
安装方向
上海新爱示国际贸易有限公司
有关压力的条件
通常动作压差0.5-2.8KgfD
耐压10Kgfg
低压式样可对应（液体材料控制） 高密度气体（SF6、C4F8等），低压供给 避免发生震荡
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有关温度的条件
使用环境温度
-通常式样->0 ~ 45 ℃
- 高温式样->0 ~ 80℃ 温度持续稳定（避免对传感器干扰） 流路气体温度和环境气体无差异性
HITACHI METALS产品集合
上海新爱示国际贸易有限公司
MFC 技术交流会
1. 质量流量控制器（MFC）的特点
2. MFC的构造和原理 3. 气体及其CF值 4. MFC的使用条件（温度、压力） 5. 液体材料的控制
气体质量流量控制器的安装方法
气体质量流量控制器的安装方法气体质量流量控制器是一种重要的仪器设备，用于控制气体流量的大小，是实验室、工厂等场所不可缺少的装置。
对于气体质量流量控制器的安装，需要特别注意一些问题，以确保其正常工作。
下面，将详细介绍气体质量流量控制器的安装方法，以供参考。
步骤一：选择适当位置在安装气体质量流量控制器之前，需要选择合适的位置。
首先，应该考虑到流量控制器的使用对象，确定使用流量控制器的场所，该场所应能够满足流量控制的要求。
其次，需要选择一个通风良好、温度、湿度、照明等环境条件稳定的位置，以确保气体质量流量控制器能够正常工作。
步骤二：安装支架安装气体质量流量控制器需要一个适当的支架，以确保设备可以稳定地放置并固定于支架上。
在安装支架之前，需要对支架的穴位置进行测量，然后在墙上打钉子、钻孔以便安装支架。
然后，将支架放置到墙上，并用螺钉将其固定。
步骤三：连接气源和管线在气体质量流量控制器的安装过程中，需要将气源和管线连接好。
首先，需要关闭气体管道的主控制阀门，并用空气枪将管道吹干净。
然后，将流量控制器的两端连接到管道上，确保连接处密封牢固。
步骤四：连接电源在连接电源之前，需要确保电源的控制开关关闭，以防设备因为误操作而受损。
然后，将设备的电源连接到电源插座上，并将电源线与设备连接。
在连接电源时需要注意安全，避免导致漏电、短路等故障。
步骤五：校准在安装完成后，需要进行校准，确保设备达到预期的效果。
校准过程需要按照设备使用说明书进行，以确保校准结果准确。
总结：气体质量流量控制器的安装需要按照一定的步骤进行，以确保其正常工作。
首先，需要选择合适的位置；其次，需要安装支架；然后，进行管道和电源的连接；最后，进行校准。
安装前，需要进行周密的计划、测量，以避免不必要的错误和损失。
在使用过程中，需要注意保养和维护，以延长设备的使用寿命。
horiba mfc精度等级
horiba mfc精度等级
Horiba MFC（质量流量控制器）是一种用于精确控制气体流量的设备，通常用于半导体制造和其他精密工业应用中。
Horiba MFC 通常具有不同的精度等级，以满足不同应用的需求。
一般来说，Horiba MFC的精度等级通常包括标准精度、高精度和超高精度等级。
标准精度MFC通常用于一般工业应用，提供较为基本的流量控制精度。
高精度MFC通常用于需要更高精度流量控制的应用，如半导体制造。
而超高精度MFC则提供最高级别的流量控制精度，通常用于对流量控制要求极高的应用，如光刻机和其他精密加工设备。
Horiba MFC的精度等级通常由其设计、传感器和控制系统的精度决定。
这些精度等级的选择取决于具体的应用需求，用户需要根据自己的实际情况来选择合适的精度等级的MFC。
总的来说，Horiba MFC提供了多种精度等级，以满足不同应用领域对流量控制精度的需求，用户在选择MFC时应该根据具体应用需求来进行选择。
MFC1000气体质量流量控制器
采用闭环控制技术实现气体流量控制。闭环控制技术是一种有实测信号反馈，并根据系统输 出气体流量信号变化进行控制，即通过比较输入气体流量值与输出气体流量信号之间的偏 差，并消除偏差以获得预期的系统性能，至此具有自动调节功能。在反馈控制系统中，不管 出于什么原因（外部扰动或系统内部变化），只要被控制量气体流量偏离规定设定值，就会 产生相应的控制作用去消除偏差。因此，它具有抑制干扰的能力，对元件特性变化不敏感， 并能改善系统的响应，控制精度高的特性。
额定规格和电气规格 z 绝对最大额定：
工作温度 最大工作压力 电源电压
0℃～50℃ 100Kpa～700Kpa DC+15V±0.5V 电流 500Ma DC-15V±0.5V 电流 100mA
z 电气规格： 供电电源
MFC-1000 需供电电源为直流+15V±0.5V，电流为 500mA；-15V±0.5V，电流为 100mA。 此电源需保证一定稳定性的直流电压，对气体控制精度和范围具有一定的影响。若电压过高 会对其控制器的比例阀部件有一定的损坏。
0～100 SSCM
200Kpa 以上，能控制最大流量
0～200 SSCM
350Kpa 以上，能控制最大流量
0～500 SSCM
100～200Kpa 的压力范围内，可到达以
上的控制精度（即分辨率）
0～1000 SSCM
100～200Kpa 的压力范围内，可到达以
上的控制精度（即分辨率）
z 标准状态规定为： 温度——25℃ 气压——101Kpa
通讯方式
z RS232 串口通讯协议规范
项目
MFC质量流量控制器
Cu, PVD & Integrated SystemsMFC Introduction and Settings for Endura ToolsPVD GroupApplied Materials ChinaHow does the MFC Work -Flow Sensor (1)A A= With no gas flow heattransfer from coil to resistors is equal therefore current through resistors is equalResistive Heater CoilTemperature ResistorsControl ElectronicsSet pointFeed BackGas InletGas OutletHow does the MFC Work -Flow Sensor (2)A BA A= Represents heat transfer•With gas flow heat transfer from coil to resistors is unequal,therefore current through resistor A decreases and B increases proportional to gas flow •This current difference reflect the gas flowControl ElectronicsSet pointGas OutletFeed backGas OutletPin out for 9-pin D connector on MFCPin #Signal1Manual valve Open/Close2Output signal (0-5 VDC or 0-2.5mA), <2kohm 3Power, +15Vdc, 120mA max.4Power COMMON5Power, -15Vdc, 120mA max.6Set Signal (0,1-5 VDC or .05-2.5mA), >1Mohm 7Alarm Signal (Open Collector)8Valve Voltage Monitor (-0.7 to 6 VDC)9Auto Zero Command TriggerMisc -> System Configuration ->Configure Gas Panel•STEC 4400 MFC LABEL:MASS FLOW CONTROLLER MODEL SEC-4400M GAS N2FLOW RATE 100 SCCM CALIB.N2 C.F. 1.00MFC RangeC.F. (Coefficient Factor)Meaning:•Calibrate Gas is N2•If used for N2, the C.F.=1.00•If used for Ar, the C.F.=1.40Optionssettings, see next slide•STEC 4400 MFC LABEL:MASS FLOW CONTROLLER MODEL SEC-4400M GAS Ar FLOW RATE 100 SCCM CALIB.Ar C.F. 1.00Meaning:•Calibrate Gas is Ar•If used for Ar, the C.F.=1.00•Generally, not used for N2Misc -> System Configuration ->Configure Gas Panel -> Options•“Fixed zero offset” isrecommended•If “Auto zero” is enabled, itis extremely difficult to havethis feature work properly.Chamber # -> Monitor Gas PanelGas Flow DeltaIn case the actual flow has a certain value when gas notflowing, use this delta setting to bring actual flow back to zero.MFC Set point MFC Actual Flow。
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主要技术指标
规格
条件
范围：
产品型号
MFC-1000
流量范围 性能指标：
标准气N2
精度
10～100%FS
（分辨率） <10%FS
准确度
重复精度
响应时间
设定流量值
A型 0～50
±0.2 ±0.2 ±1.5 ±0.2 0.5
B型 0～100
±0.1 ±0.1 ±1.5 ±0.2 0.5
数值
C型 0～200
额定规格和电气规格 z 绝对最大额定：
工作温度 最大工作压力 电源电压
0℃～50℃ 100Kpa～700Kpa DC+15V±0.5V 电流 500Ma DC-15V±0.5V 电流 100mA
z 电气规格： 供电电源
MFC-1000 需供电电源为直流+15V±0.5V，电流为 500mA；-15V±0.5V，电流为 100mA。 此电源需保证一定稳定性的直流电压，对气体控制精度和范围具有一定的影响。若电压过高 会对其控制器的比例阀部件有一定的损坏。
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MFC-1000 气体质量流量控制器
对于气体质量流量控制器要特别注意工作介质的上、下游的气压，应注意使控制器进出气口 两端的工作压差保持在指标范围之内。在高压下工作时，气压差过大，将有可能直接损坏其 比例阀部件；在低压工作时，气压差过小，将无法控制到技术指标的气体流量值。 z 标定和不同气体的换算 本气体质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）和氢气（H2）标定，可通过以上命令方式自 动切换至用户所设定气体。如果要求用使用其它气体时, 需要在订货时与销售人员特别申明 以于标定。
z 数据链路层 数据链路层规定路协议的数据帧格式。MFC-1000 和主机采用相同数据帧格式，数据帧中的 每个字段使用 16 进制数表示，命令字为非 ASCII 码，前导字、地址、结束字和数据都使用 标准 ASCII 表示。 数据帧格式如下：
前导字 地址字 命令字 数据 结束字 前导字：为固定的字符 0x24 或 0x23，ASCII 表示“$”,表示一个帧的开始； 地址字：单模块控制模式地址为固定 0x7E；多模块控制模式地址可有用户自定义
（0x00—0x1F）； 命令字：命令字为非 ASCII 码，除 0x0d 和 0x0a 两种数据； 数据：由多 ASCII 码数据组成的一组数据； 结束字：为 0x0d；
z 通讯命令格式 关于气体质量流量控制器的通信协议请查阅《气体电子流量、压力控制器通信协议》
技术文档。
注意事项 z 禁用流量介质 使用气体必须净化，切忌粉尘、液体和油污。必要时，须在气路中加装过滤器等。 z 使用腐蚀性气体问题 控制器通道采用的材料为: 00Cr17Ni14Mo2 (相当于 316L 不锈钢) , 聚四氟乙烯, 氟橡胶 等耐蚀材料。在用户系统无水汽、低泄漏、勤清洗、使用得当的条件下, 可以用于控制一 般的腐蚀性气体。使用氨气、有机溶剂蒸汽（如丙酮等）或其它强腐蚀性气体（如 BCl3、 BBr3 等）的用户，应在定货时声明。 z 阀口密封问题 气体质量流量控制器的电磁阀是调节阀, 不是截止阀, 不能当截止阀使用, 用户应另配截 止阀。特别是用户如果使用腐蚀性气体, 通常应该在气体质量流量控制器进出气口各加一 个截止阀, 以保证工作安全。长期工作后, 如果控制器阀口的漏气率在 1%F.S 以内,是属于 正常情况。如果漏气大于满量程的 2%, 则应进行维修。 z 安装位置问题 本气体质量流量控制器的安装时最好保持安装面水平, 但对位置并不特别敏感。 z 注意工作压差
1 TXD/A+ 3 RXD/B- 5 GND_S 7
2 GND 4 DC-15V 6 DC+15V 8 DC+15V
z 引脚的定义和特性
引脚号
引脚信号定义
1
未定义
2
GND
3
TXD/A+
4
DC-15V
5
RXD/B-
6
DC+15V
特性
电源的地线 标准 RS-232（或 RS-485）通讯接口的数据发送信号端 MFC-1000 的电源端（-15V） 标准 RS-232（或 RS-485）通讯接口的数据接收信号端 MFC-1000 的电源端（+15V）
MFC-1000 气体质量流量控制器
用户说明书
上海睿熹科技有限公司 ShangHai Wise&Choose Technology Co.,Ltd
MFC-1000 气体质量流量控制器
MFC-1000 气体质量流量控制器
产品特点 z 高精度气体质量流量控制器 z 取代传统的手动调节的气体控制部件即气体稳压阀、稳流阀和针形阀 z 采用独特的 CMOS 兼容 MEMS 工艺制造的气体质量流量传感器 z 气体流量数字化标定，进行温度补偿 z 快速响应时间（设定值 2%范围内<0.5s） z 输出方式灵活，采用数字化输入/输出接口（RS-232），可根据用户需求量身定做通讯模
D型 0～500
±0.05 ±0.05 ±1.5 ±0.2 0.5
±0.1 ±0.2 ±1.5 ±0.3 0.5
单位
E型 0～1000
SCCM
±0.2 ±0.4 ±1.5 ±0.3 0.5
%F.S %F.S %F.S %F.S S
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2
MFC-1000 气体质量流量控制器
2%范围内 工作压差范围
式 z 具有多款符合不同用户需求的气体质量流量控制器（根据不同气体量程和控制精度）
气体流量量程： 0～50 SSCM 0～100 SSCM 0～200 SSCM 0～500 SSCM 0～1000 SSCM
z 连接尺寸与其它的标准质量控制器兼容
产品应用 z 研究实验室的试验工场装置； z 分析仪器（气相色谱仪）、环境设备气体流量控制； z 食品的加工控制； z 化学和石化工业的气体流量监控； z 发酵和生物技术； z 质量控制和泄漏探测系统； z 气体混合和环境的控制； z 燃烧控制； z 半导体制造业； z 表面处理装置； z 气体分配消费量测量； z 探测物体气体泄漏等；
0～100 SSCM
200Kpa 以上，能控制最大流量
0～200 SSCM
350Kpa 以上，能控制最大流量
0～500 SSCM
100～200Kpa 的压力范围内，可到达以
上的控制精度（即分辨率）
0～1000 SSCM
100～200Kpa 的压力范围内，可到达以
上的控制精度（即分辨率）
z 标准状态规定为： 温度——25℃ 气压——101Kpa
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安装和接线 z 外形及安装尺寸：
MFC—1000 气体质量流量控制器
MFC-1000 气体质量流量控制器
85mm
115mm 145mm
42mm
z 电气连接： MFC-1000 电气连接是使用标准 Sub-D8(针型)接头，接线简单可靠。 MFC-1000 Sub-D8 引脚图：
通讯方式
z RS232 串口通讯协议规范
项目
协议规范
物理级
TIA/EIA-232-E
传送线
3 芯屏蔽电缆线
配线长度
≤3m
传输速率
19200bps
数据交换方式
同步串行、全双工
传送协议
点对点
字长
10bit
起始位长度
1bitΒιβλιοθήκη 停止位长度1bit
奇偶校验
无
出错检查方式
无
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6
MFC-1000 气体质量流量控制器
z F.S（Full Scale）: 满量程 z 以上各类型的气体质量流量控制器都可通过命令字改变标定的气体类型（即N2或自定
义气体），但其流量范围将有所变化。
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MFC-1000 气体质量流量控制器
工作原理 气体质量流量控制器（MFC）由气体流量传感器部件、流量控制部件、比例阀体部件
MFC-1000 气体质量流量控制器的型号选型
型号
流量范围
标定气体
MFC-1000
A （0～50 SSCM） N2
B （0～100 SSCM）
C （0～200 SSCM）
C （0～500 SSCM）
D （0～1000 SSCM）
通讯方式 R2 （RS-232） R4 （RS-485）
z 关于气体质量流量控制器的应用请查阅《电子气体控制器应用》文档。 z 关于气体质量流量控制器的通信协议请查阅《气体压力流量控制器通讯协议》文档。
耐压 标准标定气体 工作环境温度 外部泄漏率 输入电源 通讯方式
He 数字量
引线
模拟量
100～700 200～700 350～700
1 以氮气（N2）和自定义 4 种气体 5℃～45℃ 1×10-6 DC±15V(±0.5V) 500mA ■ RS-232 □ RS-485 □ RS-232（TTL 电平） □ 0～5V □ 4mA～20mA Sub-D8 芯
100～200 100～200 Kpa
（在以上的 （在以上的 精度范围内） 精度范围内）
Mpa
℃ ml/s V
注意： z 气体质量流量控制器出厂使用氮气（N2）和用户自定义四种标准气体标定。 z 工作压差范围根据不同气体流量量程范围，要求如下（氮气）：
流量量程范围
工作压差范围
0～50 SSCM
100Kpa 以上，能控制最大流量
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5
7
GND_S
8
DC+15V
z 电缆引线：
MFC-1000 气体质量流量控制器
标准 RS-232 通讯接口的信号地线 MFC-1000 的电源端（+15V）