酸碱排气规范
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5. 洗涤塔入口关断风门、风机出口止回风门和烟囱 1) 洗涤塔入口须有关断风门。风机出口须有止风门。烟囱设置在止回 风门之后。 2) 洗涤塔入口关断风门、风机出口止回风门和烟囱使用之玻璃纤维强 化聚树脂（FRP），必须具有大约 25%之玻纤强化材料和 75%之树 指含量。FRP 之使用必须符合 BS 或 SATM 标准，并且必须能抵抗 紫外线避免退化。 3) 洗涤塔入口关断风门、风机出口止回风门和烟囱内部表，必须平滑 （Smooth Surface）。 4) 洗涤塔入口关断风门以电动制动器驱动与风机连动。电动制动器须 具足够驱动扭力，屋外防水型，防护等级 IP65。
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酸碱废气处理设备规范
一、通则 1. 说明 承包商需负责整体系统工程之规划、设计、施工安装、测试、验收及空 气污染防治计算书送审等相关事项。
2. 工程范围 其设备包括：洗涤塔、风机、循环帮浦、洗涤塔入口关断风门、风机出 口止回风门、烟囟、检测操作平台、FMCS 及 PLC 控制系统、设备运 转监测仪器、空气污染排放侦测 On Line 监控系统(FLOW METER FOR ACID SCRUBBER)和所有其它必须的控制仪表板等。
9) 每一洗涤塔，旁须装置一户外型仪表盘，以容纳洗涤塔操作必须之 相关仪面，风机及循环帮浦之紧急停止开关，并作为接线中站。
10) 承包商必须确定能够完整的安装本型清洗设备并在蓝图上之机器 空间安排上，预留足够的保养空间。
11) 承包商必须确定水源供和系统所选用化学品之形式，能够依照规格 消除所提到的气味或微粒物质。系统零组件的详细提案，在下订单 或制造前必须经过批准。
H. 该系统所有的设备和材料，包括洗涤塔、风机、帮浦、洗涤塔 入口关断风门、风机出口止回风门、烟囱、监测仪器、FMCS 及 PLC 控制系统和所有其它必须的控制仪表板等，承包商必 须以一套完整的套件方式供应。
I. 安装时该系统所有的设备，承包商须安排适当的维修空间。并 预留未来扩充设备之安装空间。
7) 洗涤塔液体分配系统必须是喷雾式。喷雾式喷嘴组必须是完全的近 似方锥状，高速流动型。该喷嘴必须安装成使其能在正常的操作下， 喷雾能够覆盖完整的区域。组件必须包括内部喷雾配管和喷嘴。任 一喷嘴必须可独立取出清洁。所有的配管必须是防腐蚀型式。
8) 每一洗涤塔内部须装置一组水雾或微粒去除组件。此去除组件位于 填充层和洗涤塔出口间，为一具备适当间隔数量之叶片，用来去除 气体所挟带的水雾或微粒。叶片必须由 FRP 或 PVC 制成。水雾或 微粒粒径 15 micron 以上，去除效率须在 90%以上。
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5) 烟囱之设置须配合业主环安单位向主管机关申请设置许可和操作 许可通过后，再依许可方得建造符合法规规定之烟囱。
6) 烟囱须设置一对一式之污染空气排放自动流量连续监测设施，并将 信号传递至指定位置之 PLC PANEL。
7) 各烟囱须设置避雷针，避雷针之接地导线须接至业主指定接地点且 为导线须耐强碱等级。
K. 本项规格之目的就是系统之安装必须在各方面都能完成，并且 承包商对任何必须建造但没有在图面或规范上指明的细节承 担责任。
L. 水洗式洗涤系统各项设备须安装于一共享水泥基础座上,基础 座含于本工程范围内。其结构强度除负荷设备重量外，尚须注 意震动、楼板负荷、系统排水..。
M. 对于本系统正常运转所须之管路皆包含于本工程中，风管材质 为 PPS，室外管路需外裹FRP，连接点位置依业主工程师指定。
二、产品 1. 通论 水洗式洗涤系统之功能设计、施工制造及操作安全，必须符合规范。承 商所提之设备，应提送规范明细表及差异表，说明并证明其能有同等以 上之功能。本规范如有任何疑虑依业主及总顾问解释为准。 1) 相关法规： A. 当地消防法规 B. 当地电气法规 C. 当地劳工安全卫生法规 D. 当地空气污染防治法 E. 当地半导体制造业空气污染管制及排放标准 F. 当地固定污染源烟囟设置标准 G. 国际半导体设备和物料基准(SEMI) H. NFPA 90A 空调及通风系统之按装 I. SMACNA 风管制造标准 J. FACTORY MUTUAL 4922(FM4922 及 FM4910) 2) 水洗式洗涤系统，共分：酸(ACID)废气处理系统 、碱(ALKALINE) 废气处理系统、氨气(NH3)废气处理系统。 A. 酸(ACID)废气处理系统运转条件：365 日/年，操作温度：25℃。 B. 碱(ALKALINE)废气处理系统运转条件：365 日/年，操作温度： 25℃。 C. 氨气(NH3)废气处理系统运转条件：365 日/年，操作温度：25℃。 D. 水洗式洗涤系统为水平交叉流式洗涤塔，期以维持一固定抽气 静压。每套洗涤塔，包括洗涤器、风机、循环帮浦、洗涤塔入 口关断风门、风机出口止回风门、烟囱、监测仪器和所有其它 必须的控制仪表板等，用来建立功能设施以满足本厂需求的辅 助设备。 E. 水洗式洗涤系统各项设备与制程酸、碱废气接触部份，FRP 材质制作。 F. 该洗涤系统设备的构造设计和材质选择，须与废气中酸、碱性 物质兼容且适合在所选择的化学药品下操作，包括清洗中和作 用后所产生的副产品。 G. 该洗涤系统设备的构造设计、材质选择和安装，须能承受现场 外在自然或人为环境，对设备所产生的危害及运转操作上的危 害，设置安全保护装置并加以说套。
2. 洗涤塔 1) 本洗涤塔必须是水平交叉流式。设计通过填充层垂直断面之气体流 速：须在 2.0m/s 以下。去除效率或排放消减率：须在 95%以上。 洗涤塔进口间压损：须在 500pa 以下。洗涤塔进出口间，设置电子 式差压计，提供模拟 Alarm 讯息。 2) 洗涤塔必须具有整体的集液箱，来收集所清洗之液体做再循环之 用，并设置 4 点式液位检测器(High-high level alarm，High level， Low level，Low-low level alarm)。 3) 所有内部湿的螺栓和外部的螺栓与扣件包括锚定螺栓和凸缘螺栓 必须是由不锈钢制成。所有和脏空气接触之表面，必须能够抵抗所 使用化学物品的侵蚀。 4) 洗涤塔必须能在所设计的气体流动率和系统压力下操作。洗涤塔外 壳、洗涤塔入口关断风门、风机出口止回风门、烟囱和所有的内部 结构组件必须是以最小厚度 8mm 制作，并具有足够的维修孔及窗 口以供所有内部零件之检查、拆卸和保养。对受压和真空条下之部 位，必须于内部装设加强肋条。构件必须有足够的机械强度，来承 受静态和动态的负荷。 5) 每一洗涤塔组件必须装设有数组循环帮浦，一组当作备分件。帮浦 组必须是垂直、无轴封、单吸入离心式帮浦，马达座于集液箱上部， 帮浦沉入水中。帮浦外壳、叶轮和轴之套筒必须是坚固的氯化后之 聚氯乙烯。叶轮轴必须由不锈钢制成。并且必须在每一帮浦装设附 属设备如压力表、关断和止回阀、电子式流量指示计和配管等。承 包商必须对所选择之帮浦、配管等承担责任，适合所处理之化学物 品，并提供足够之帮浦水头弥补配管和洗涤设备之摩擦损失。帮浦 及配管支撑必须有足够的机械强度，来承受静态和动态的负荷。 6) 循环水采电导度值量测，高于设定值自动排放。
J. 投标时，需提供洗涤效率计算书，药品消耗计算书、噪音计算 书，水量计算书，载重计算书，单台风车性能及并联曲线图， 洗涤塔总压损计算书及相关曲线图，湿润因子，填充段空塔滞 流时间，填充物比表面积，安全 INTERLOCK 保护装置或控 制逻辑图，控制点数表及其它业主要求认可之第三者认证单位 证明文件。
3. 风机 1) 必须在洗涤塔出口处装设风机，风机须有足够的能力来传送所需的 废气量，其操作静压应能克服风机壳、洗涤塔、洗涤塔入口关断风 门、风机出口止回风门、烟囱等之压力损失。 2) 风机外壳，凸缘和叶轮必须是以聚乙烯树脂或验证过同级品玻璃纤 维强化聚酯树脂（FRP）积层制作。叶轮必须是具有后倾曲线的叶 片。所有暴露在大气表面必须能稳定的扺抗紫外线所造成的退化， 在表面遮蔽物下方的外部和内部表面之层积物，必须是一种切碎织 席或编织布。叶轮表面须具抗静电涂装。 3) 出入口连接必须是凸缘连接之全软性塑料波浪式耐酸碱腐蚀之挠 性接头。 4) 每一具风必须是 V 型皮带验动，具有最小 1.5 皮带系数乘上额定制 动马力（BHP）之风机马达，马达安全系数至少 1.15 倍，并且必 须装设有强力的，自我调整之轴承。风机轴必须是碳钢制成，并且 特大号使其运转低于关键转速。必须装设有一组封入 FRP 之钢制 轮轴并指向外壳之冲洗处。轮子和轴之组合在组装和每次装运前之 风机运转测试必须做静态和动态的平衡达到最大 3mils 之位移量。 并提供叶轮动平衡测试证明。 5) 风机基座必须是碳钢制成，在所有的金属表面喷砂、热浸镀锌后、 涂底漆并使用 Epoxy 进行内、中外及涂层。 6) 风机必须是 CLASS II，并且必须适合在湿的环境下安装及户外操 作。 7) 风机必须具有完整的马达，驱动器和皮带，不锈钢马达、驱动器和 风机轴覆罩、机壳排水孔、导轨式避震弹簧、滑轨式马达座和检修 孔。 8) 风机必须设置一压差开关。 9) 风机全压效率达 80%以上，静压效率不得低于全压效率 10%，风 机内部需光滑平整（Smooth Surface）。 10) 承包商必须对配合系统所需风机静压力之计算和所提出之设备负 责任，并在安装顺序前，送交业主批准。
8) 烟囱材质须为不锈钢全焊管，烟囱出口高度需符合法规规定及高出 FAB 屋顶（实际高度由业主指定）。
9) 需设置采样设施 (含采样孔、安全采样台、扶梯、水源及电源设施) 并符合环保法规检查公私场所空气污染物排放状况之采样设施规 范，承商需提出经结构技师签证之计算报告，证明结构安全无虞。
6. 马达： 1) 除非在设备清单内另有指定，每一马达必须装设有足够能量之水平 鼠笼式感应马达，使风机和循环水帮浦操作曲线上的每不点，皆不 须使用大于名牌上所列的马达供应功率。 2) 马达外壳必须完全的包住，风扇冷却(TEFC)F 级，屋外型，上覆不 锈钢防雨盖。 3) 马达必须符合 NEMA 4 标准。 4) 风车控制盘于现场需设隔离开关。
4. 化学溶液供应系统： 1) 每一洗涤塔系统必须装设有完整的化学溶液供应系统来储存和供 应所须之化学溶液。贮存槽必须对化学溶液之储存，安装和操作提 供足够的供应，并遵照消防条例（Fire Service Regulation）危险物 品目录（Dangerous goods Category）所列之清洗化学溶液之使用规 定，pH 检测器，化学溶液注入管、计量帮浦、化学溶液输送管路、 化学溶液贮存槽、阀件及控制电路。 2) 化学溶液计量帮浦必须能按比例混合，依据 pH，进行比例式加药， 来维持所须之循环液酸、碱浓度，化学溶液必须经由 pH 分析仪控 制，以维持 pH 值，达到洗涤塔之设计去除效率。 3) 化学溶液计量帮浦必须是隔膜式定量帮浦。接液端材质必须可承受 其输送化学溶液的腐蚀且能防尘、防水至 IP65 等级之防护。帮浦 能力必须调整至 1：10 比例之冲程长度和 1：25 之冲程频率。 4) 化学溶液计量帮浦须可能接近注入点，注入点须设置在循环水管中 段，pH 检测器取样点之后。并在注入点设置注入阀和关断阀。 5) 化学溶液计量帮浦吸入口，须低于化学品贮存槽最低操作液位，并 设置足阀和切断阀。 6) 化学溶液输送管路需用符合半导体业规定之双套管。 7) 每一洗涤塔系统之化学溶液贮存槽容量，须能贮存玻璃纤维强化聚 酯每一洗涤塔系统一周之使用量。设置高低液位 Alarm。 8) 化学溶液若使用硫酸时，贮存槽须为铁氟龙材质内衬之玻璃纤维强 化聚酯树脂（FRP）桶。化学溶液输送管路之内管亦为铁氟龙材质。 9) 每一洗涤器必须在适当位置装有 pH 检测器来分析洗涤液之ｐＨ 值。检测器必须符合下列规格： pH 探测器 范围：0 至 14pH 稳定度：每天 0.03pH 单位不蓄积 温度：0 至 40℃ 额定压力：4.83kPa 潮湿材料：耐氟离子浓度 1000ppm 准确敏感度：0.1pH unit 每一检测器必须置放在取样杯中。取样点须设置在循环水管中段， 化学品注入点之前。每一探测器必须是套完整的分析仪器。
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一、通则 1. 说明 承包商需负责整体系统工程之规划、设计、施工安装、测试、验收及空 气污染防治计算书送审等相关事项。
2. 工程范围 其设备包括：洗涤塔、风机、循环帮浦、洗涤塔入口关断风门、风机出 口止回风门、烟囟、检测操作平台、FMCS 及 PLC 控制系统、设备运 转监测仪器、空气污染排放侦测 On Line 监控系统(FLOW METER FOR ACID SCRUBBER)和所有其它必须的控制仪表板等。
9) 每一洗涤塔，旁须装置一户外型仪表盘，以容纳洗涤塔操作必须之 相关仪面，风机及循环帮浦之紧急停止开关，并作为接线中站。
10) 承包商必须确定能够完整的安装本型清洗设备并在蓝图上之机器 空间安排上，预留足够的保养空间。
11) 承包商必须确定水源供和系统所选用化学品之形式，能够依照规格 消除所提到的气味或微粒物质。系统零组件的详细提案，在下订单 或制造前必须经过批准。
H. 该系统所有的设备和材料，包括洗涤塔、风机、帮浦、洗涤塔 入口关断风门、风机出口止回风门、烟囱、监测仪器、FMCS 及 PLC 控制系统和所有其它必须的控制仪表板等，承包商必 须以一套完整的套件方式供应。
I. 安装时该系统所有的设备，承包商须安排适当的维修空间。并 预留未来扩充设备之安装空间。
7) 洗涤塔液体分配系统必须是喷雾式。喷雾式喷嘴组必须是完全的近 似方锥状，高速流动型。该喷嘴必须安装成使其能在正常的操作下， 喷雾能够覆盖完整的区域。组件必须包括内部喷雾配管和喷嘴。任 一喷嘴必须可独立取出清洁。所有的配管必须是防腐蚀型式。
8) 每一洗涤塔内部须装置一组水雾或微粒去除组件。此去除组件位于 填充层和洗涤塔出口间，为一具备适当间隔数量之叶片，用来去除 气体所挟带的水雾或微粒。叶片必须由 FRP 或 PVC 制成。水雾或 微粒粒径 15 micron 以上，去除效率须在 90%以上。
ຫໍສະໝຸດ Baidu
5) 烟囱之设置须配合业主环安单位向主管机关申请设置许可和操作 许可通过后，再依许可方得建造符合法规规定之烟囱。
6) 烟囱须设置一对一式之污染空气排放自动流量连续监测设施，并将 信号传递至指定位置之 PLC PANEL。
7) 各烟囱须设置避雷针，避雷针之接地导线须接至业主指定接地点且 为导线须耐强碱等级。
K. 本项规格之目的就是系统之安装必须在各方面都能完成，并且 承包商对任何必须建造但没有在图面或规范上指明的细节承 担责任。
L. 水洗式洗涤系统各项设备须安装于一共享水泥基础座上,基础 座含于本工程范围内。其结构强度除负荷设备重量外，尚须注 意震动、楼板负荷、系统排水..。
M. 对于本系统正常运转所须之管路皆包含于本工程中，风管材质 为 PPS，室外管路需外裹FRP，连接点位置依业主工程师指定。
二、产品 1. 通论 水洗式洗涤系统之功能设计、施工制造及操作安全，必须符合规范。承 商所提之设备，应提送规范明细表及差异表，说明并证明其能有同等以 上之功能。本规范如有任何疑虑依业主及总顾问解释为准。 1) 相关法规： A. 当地消防法规 B. 当地电气法规 C. 当地劳工安全卫生法规 D. 当地空气污染防治法 E. 当地半导体制造业空气污染管制及排放标准 F. 当地固定污染源烟囟设置标准 G. 国际半导体设备和物料基准(SEMI) H. NFPA 90A 空调及通风系统之按装 I. SMACNA 风管制造标准 J. FACTORY MUTUAL 4922(FM4922 及 FM4910) 2) 水洗式洗涤系统，共分：酸(ACID)废气处理系统 、碱(ALKALINE) 废气处理系统、氨气(NH3)废气处理系统。 A. 酸(ACID)废气处理系统运转条件：365 日/年，操作温度：25℃。 B. 碱(ALKALINE)废气处理系统运转条件：365 日/年，操作温度： 25℃。 C. 氨气(NH3)废气处理系统运转条件：365 日/年，操作温度：25℃。 D. 水洗式洗涤系统为水平交叉流式洗涤塔，期以维持一固定抽气 静压。每套洗涤塔，包括洗涤器、风机、循环帮浦、洗涤塔入 口关断风门、风机出口止回风门、烟囱、监测仪器和所有其它 必须的控制仪表板等，用来建立功能设施以满足本厂需求的辅 助设备。 E. 水洗式洗涤系统各项设备与制程酸、碱废气接触部份，FRP 材质制作。 F. 该洗涤系统设备的构造设计和材质选择，须与废气中酸、碱性 物质兼容且适合在所选择的化学药品下操作，包括清洗中和作 用后所产生的副产品。 G. 该洗涤系统设备的构造设计、材质选择和安装，须能承受现场 外在自然或人为环境，对设备所产生的危害及运转操作上的危 害，设置安全保护装置并加以说套。
2. 洗涤塔 1) 本洗涤塔必须是水平交叉流式。设计通过填充层垂直断面之气体流 速：须在 2.0m/s 以下。去除效率或排放消减率：须在 95%以上。 洗涤塔进口间压损：须在 500pa 以下。洗涤塔进出口间，设置电子 式差压计，提供模拟 Alarm 讯息。 2) 洗涤塔必须具有整体的集液箱，来收集所清洗之液体做再循环之 用，并设置 4 点式液位检测器(High-high level alarm，High level， Low level，Low-low level alarm)。 3) 所有内部湿的螺栓和外部的螺栓与扣件包括锚定螺栓和凸缘螺栓 必须是由不锈钢制成。所有和脏空气接触之表面，必须能够抵抗所 使用化学物品的侵蚀。 4) 洗涤塔必须能在所设计的气体流动率和系统压力下操作。洗涤塔外 壳、洗涤塔入口关断风门、风机出口止回风门、烟囱和所有的内部 结构组件必须是以最小厚度 8mm 制作，并具有足够的维修孔及窗 口以供所有内部零件之检查、拆卸和保养。对受压和真空条下之部 位，必须于内部装设加强肋条。构件必须有足够的机械强度，来承 受静态和动态的负荷。 5) 每一洗涤塔组件必须装设有数组循环帮浦，一组当作备分件。帮浦 组必须是垂直、无轴封、单吸入离心式帮浦，马达座于集液箱上部， 帮浦沉入水中。帮浦外壳、叶轮和轴之套筒必须是坚固的氯化后之 聚氯乙烯。叶轮轴必须由不锈钢制成。并且必须在每一帮浦装设附 属设备如压力表、关断和止回阀、电子式流量指示计和配管等。承 包商必须对所选择之帮浦、配管等承担责任，适合所处理之化学物 品，并提供足够之帮浦水头弥补配管和洗涤设备之摩擦损失。帮浦 及配管支撑必须有足够的机械强度，来承受静态和动态的负荷。 6) 循环水采电导度值量测，高于设定值自动排放。
J. 投标时，需提供洗涤效率计算书，药品消耗计算书、噪音计算 书，水量计算书，载重计算书，单台风车性能及并联曲线图， 洗涤塔总压损计算书及相关曲线图，湿润因子，填充段空塔滞 流时间，填充物比表面积，安全 INTERLOCK 保护装置或控 制逻辑图，控制点数表及其它业主要求认可之第三者认证单位 证明文件。
3. 风机 1) 必须在洗涤塔出口处装设风机，风机须有足够的能力来传送所需的 废气量，其操作静压应能克服风机壳、洗涤塔、洗涤塔入口关断风 门、风机出口止回风门、烟囱等之压力损失。 2) 风机外壳，凸缘和叶轮必须是以聚乙烯树脂或验证过同级品玻璃纤 维强化聚酯树脂（FRP）积层制作。叶轮必须是具有后倾曲线的叶 片。所有暴露在大气表面必须能稳定的扺抗紫外线所造成的退化， 在表面遮蔽物下方的外部和内部表面之层积物，必须是一种切碎织 席或编织布。叶轮表面须具抗静电涂装。 3) 出入口连接必须是凸缘连接之全软性塑料波浪式耐酸碱腐蚀之挠 性接头。 4) 每一具风必须是 V 型皮带验动，具有最小 1.5 皮带系数乘上额定制 动马力（BHP）之风机马达，马达安全系数至少 1.15 倍，并且必 须装设有强力的，自我调整之轴承。风机轴必须是碳钢制成，并且 特大号使其运转低于关键转速。必须装设有一组封入 FRP 之钢制 轮轴并指向外壳之冲洗处。轮子和轴之组合在组装和每次装运前之 风机运转测试必须做静态和动态的平衡达到最大 3mils 之位移量。 并提供叶轮动平衡测试证明。 5) 风机基座必须是碳钢制成，在所有的金属表面喷砂、热浸镀锌后、 涂底漆并使用 Epoxy 进行内、中外及涂层。 6) 风机必须是 CLASS II，并且必须适合在湿的环境下安装及户外操 作。 7) 风机必须具有完整的马达，驱动器和皮带，不锈钢马达、驱动器和 风机轴覆罩、机壳排水孔、导轨式避震弹簧、滑轨式马达座和检修 孔。 8) 风机必须设置一压差开关。 9) 风机全压效率达 80%以上，静压效率不得低于全压效率 10%，风 机内部需光滑平整（Smooth Surface）。 10) 承包商必须对配合系统所需风机静压力之计算和所提出之设备负 责任，并在安装顺序前，送交业主批准。
8) 烟囱材质须为不锈钢全焊管，烟囱出口高度需符合法规规定及高出 FAB 屋顶（实际高度由业主指定）。
9) 需设置采样设施 (含采样孔、安全采样台、扶梯、水源及电源设施) 并符合环保法规检查公私场所空气污染物排放状况之采样设施规 范，承商需提出经结构技师签证之计算报告，证明结构安全无虞。
6. 马达： 1) 除非在设备清单内另有指定，每一马达必须装设有足够能量之水平 鼠笼式感应马达，使风机和循环水帮浦操作曲线上的每不点，皆不 须使用大于名牌上所列的马达供应功率。 2) 马达外壳必须完全的包住，风扇冷却(TEFC)F 级，屋外型，上覆不 锈钢防雨盖。 3) 马达必须符合 NEMA 4 标准。 4) 风车控制盘于现场需设隔离开关。
4. 化学溶液供应系统： 1) 每一洗涤塔系统必须装设有完整的化学溶液供应系统来储存和供 应所须之化学溶液。贮存槽必须对化学溶液之储存，安装和操作提 供足够的供应，并遵照消防条例（Fire Service Regulation）危险物 品目录（Dangerous goods Category）所列之清洗化学溶液之使用规 定，pH 检测器，化学溶液注入管、计量帮浦、化学溶液输送管路、 化学溶液贮存槽、阀件及控制电路。 2) 化学溶液计量帮浦必须能按比例混合，依据 pH，进行比例式加药， 来维持所须之循环液酸、碱浓度，化学溶液必须经由 pH 分析仪控 制，以维持 pH 值，达到洗涤塔之设计去除效率。 3) 化学溶液计量帮浦必须是隔膜式定量帮浦。接液端材质必须可承受 其输送化学溶液的腐蚀且能防尘、防水至 IP65 等级之防护。帮浦 能力必须调整至 1：10 比例之冲程长度和 1：25 之冲程频率。 4) 化学溶液计量帮浦须可能接近注入点，注入点须设置在循环水管中 段，pH 检测器取样点之后。并在注入点设置注入阀和关断阀。 5) 化学溶液计量帮浦吸入口，须低于化学品贮存槽最低操作液位，并 设置足阀和切断阀。 6) 化学溶液输送管路需用符合半导体业规定之双套管。 7) 每一洗涤塔系统之化学溶液贮存槽容量，须能贮存玻璃纤维强化聚 酯每一洗涤塔系统一周之使用量。设置高低液位 Alarm。 8) 化学溶液若使用硫酸时，贮存槽须为铁氟龙材质内衬之玻璃纤维强 化聚酯树脂（FRP）桶。化学溶液输送管路之内管亦为铁氟龙材质。 9) 每一洗涤器必须在适当位置装有 pH 检测器来分析洗涤液之ｐＨ 值。检测器必须符合下列规格： pH 探测器 范围：0 至 14pH 稳定度：每天 0.03pH 单位不蓄积 温度：0 至 40℃ 额定压力：4.83kPa 潮湿材料：耐氟离子浓度 1000ppm 准确敏感度：0.1pH unit 每一检测器必须置放在取样杯中。取样点须设置在循环水管中段， 化学品注入点之前。每一探测器必须是套完整的分析仪器。