电子束加工技术及其应用

广东白云学院

先进制造技术论文

题目：电子束加工技术及其应用

专业：机械设计制造及其自动化（数控方向）

班级： 07数控本科

姓名：林华英

学号： 0701012229

摘要 (1)

引言 (1)

一.电子束技术在国内外的发展现状 (1)

多轴控制的基本概念： (2)

二.多轴控制特点 (2)

1、 5轴控制加工中心的加工特点： (2)

2、 6轴控制加工中心的加工特点： (3)

3、 6轴控制特点如下： (3)

三.发展趋向。 (3)

1、用5轴控制加工的NURBS插补 (3)

2、利用二次曲面头立铣刀作5轴控制加工 (4)

四.结论 (4)

五.参考文献 (4)

摘要

电子束加工技术是近年发展起来的一种先进制造技术,其在材料表面改性、机械加工等方面的应用已受到广泛关注。主要介绍电子束在表面工程、打孔和焊接等方面的应用。

关键词：电子束;加工原理;工业应用

引言

近年来,许多国家对电子束加工原理及方法进行了大量的实验研究,并在工业上得到一定的实际应用,使得该技术得到了飞速发展。本文主要针对电子束加工技术的研究现状和应用进行理论分析和探讨。

发展、

一.电子束技术在国内外的发展现状

1948 年 ,德国物理学家Steigerwald K. H 发明了第一台电子束加工设备 (主要用于焊接) 。1949年 ,德国首次利用电子束在厚度为0. 5mm 的不锈钢板上加工出直径为<0. 2mm 的小孔。从而开辟了电子束在材料加工领域的新天地。1957年法国原子能委员会萨克莱核子研究中心研制成功世界上第一台用于生产的电子束焊接机,其优良的焊接质量引起人们广泛重视。

20世纪60年代初期,人们已经成功地将电子束打孔、铣切、焊接、镀膜和熔炼等工艺技术应用到各工业部门中，促进了尖端技术的发展。微电子学的发展对集成电路元件的集成度要求不断提高,因而对光刻工艺提出了更高的要求，扫描电子束曝光机研制成功，并在20世纪70年代进入市场 ,使得制造掩膜或器件所能达到的最小线宽已小于

0. 5 μm。

近年来，国外对电子束焊接及其他电子束加工技术的研究主要在于以下几个方面：1）完善超高能密度电热源装置；2）掌握电子束品质及与材料的交换行为特性，改进加工工艺技术；3）通过计算机CNC控制提高设备柔性以扩大应用领域。

我国自20世纪60年代初期开始研究电子束加工工艺，经过多年的实践，在该领域也取得了一定成果。大连理工大学三束材料改性国家重点实验室，采用电子束对材料表面进行照射，研究其对材料表面的改性。郝胜志等以纯铝材为基础研究材料，深入研究不同参数的脉冲电子束轰击处理对试样显微结构和力学性能的影响规律，进而获得强流脉冲电子束表面改性的一些微观物理机制，通过载能电子与固体表面的相互作用过程，建立较为合理的实际加工中的物理模型，利用二维模型数值计算方法模拟计算试样

中的动态温度场及应力场分布，并选用Cr18Ni9Ti和GCr15进行初步的改性应用尝试性工作。吴爱民等以H13和D2模具钢为基材，通过脉冲电子束直接淬火和电子束表面合金化等方法进行表面改性处理试验。吉林大学关庆丰教授带领的科研小组，对于强流脉冲电子束作用下金属材料微观组织结构的形成与性能进行研究。张万金教授对于采用电子束辐照对新型质子交换膜的合成及性能的影响进行研究等。

虽然电子束加工目前已在仪器仪表、微电子、航空航天和化纤工业中得到应用，电子束打孔、切槽、焊接、电子束曝光和电子束热处理等也都陆续进入生产，但从电子束加工技术现状及新的发展趋势可以看出，我国在该领域的研究与世界先进水平差距很大，今后的任务还很艰巨。

二.电子束加工原理

电子束流是由高压加速装置在真空条件下形成束斑极小的高能电子流，属于高能密度束流（HEDB），真空电子束的功率密度大于106 W /cm2，极限功率为300kW。电子束加工是以高能电子束流作为热源，对工件或材料实施特殊的加工，是一种完全不同于传统机械加工的新工艺，其加工原理如图1所示。按照电子束加工所产生的效应，可以将其分为两大类：电子束热加工和电子束非热加工。

图 1 电子束加工原理

2. 1 电子束热加工

电子束热加工是将电子束的动能在材料表面转化成热能,以实现对材料的加工,其中包括: 1 )电子束精微加工。可完成打孔、切缝和刻槽等工艺, 这种设备一般都采用微机控制, 并且常为一机多用; 2 ) 电子束焊接。与其他电子束加工设备不同之处在于,除高

真空电子束焊机之外,还有低真空、非真空和局部真

空等类型; 3 )电子束镀膜。可蒸镀金属膜和介质膜;

4 )电子束熔炼。包括难熔金属的精炼,合金材料的制

造以及超纯单晶体的拉制等; 5 )电子束热处理。包括

金属材料的局部热处理以及对离子注入后半导体材料的退火等。上述各种电子束加工总称为高能量密

度电子束加工[ 7 ] 。

电子由电子枪的阴极发出,通过聚束极汇聚成电子束, 在电子枪的加速电场作用下, 电子的速度被提高到接近或达到光速的一半,具有很高的动能。电子束再经过聚焦线圈和偏转线圈的作用,汇聚成更细的束流。束斑的直径为数微米至1mm , 在特定应用环境,束斑的直径甚至可以小到几十纳米,其能量非常集中。电子束的功率密度可高达109 W /mm2 [ 8 ] 。

当电子束轰击材料时, 电子与金属碰撞失去动能,大部分能量转化成热能, 使材料局部区域温度急

剧上升并且熔化,甚至气化而被去除,从而实现对材

料的加工。

2. 2 电子束非热加工电子束非热加工是基于电子束的非热效应,利用

功率密度比较低的电子束和电子胶(又称电子抗蚀剂,由高分子材料组成) 相互作用产生的辐射化学或物理效应对材料进行加工。其应用领域主要是电子束曝光。

电子束曝光原理如图2 所示,是先在待加工材料

2、 6轴控制加工中心的加工特点：

有一点要注意的，是在使用回转刀具进不可能用6轴控制加工。但由于切削速度与进给速度相等而具有加工效率高的特点，所以用5轴控制对一次装夹的坯料也可以作多种加工。也正是由于切削速度与刀具进给速度相当，所以必须使用高刚性结构的加工中心。精加工的切入量很小，只有几个um，还要求机床具有很高的定位精度。

3、 6轴控制特点如下：

1、对平面和曲面作平滑加工：由于是用线接触加工，所以在加工表面不残留进给痕。

2、在平面和曲面上加工异形断面的槽：即可以加工与刀具前进方向成直角的槽，可以是非对称的任何形状。用回转刀具则无法加工这种异形断面槽。

3、加工两曲面交界处的特征线：这是用固定刀具与沿交线的面相接触。条件下移动刀具进行刨削。用回转刀具也无法加工这种特征线。

4、隅角加工：由于回转刀具是圆形的，所以无法形成隅角处的直角。用6