石英材料特性.

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石英材料特性

本公司採用之半導體級石英玻璃係屬高純度、高穩定性、耐高溫、耐酸鹼、耐熱震、耐高壓的玻璃,其物理、化學特性節要概述如下。

【化學特性】

本公司採用GE214/124之石英玻璃純度均為99.995重量百分比以上,其主要不純物含量為: Na 0.7ppm、Li 0.6ppm、Ca 0.4ppm、K 0.6ppm、Al 14ppm、OH 5ppm。在常溫下,大多數的酸、金屬、氯及溴與石英都不起反應,鹼溶液若溫度及濃度增加則略起反應。在溫度超過150℃時磷酸會侵蝕石英。獨氫氟酸可以隨時侵蝕石英。300℃以上則鹼性氧化物、碳酸鹽、硫酸鹽等會起反應。總之,石英是非常穩定的材料。

【機械特性】

石英的機械特性與一般玻璃極為相似,抗壓強度高於11 x 109pa,但表面裂縫會急劇降低其原有強度。光滑的石英板拉伸強度超過4.8 x 107pa(7000psi),實際應用上,一般設計壓力為0.68 x 107pa(1000psi)。

【熱氣特性】

石英最顯著的特性是熱澎漲係數最小為5.5 x 10-7mm℃(20℃~320℃之間),是銅的1/34,而耐熱震的能力可將石英薄片加溫至1500℃後浸入水中,而不會龜裂。石英玻璃的應變點約1120℃、退火點約1215℃,軟化點約1680℃、熔點約在2200℃以上。

【電氣特性】

透明石的電絕緣性及微波傳導在溫度及頻率大幅變化下仍然保持穩定,其電阻值為0.7 x 109ohm-cm(350℃)、比電阻為1018ohm / cm(20℃)、介電常數為3.75(20℃1Mhz)、介電耗損小於0.0004 (20℃,1Mhz)。

【光學特性】

透明石英從紫外線到紅外線間都有很好的穿透率,若加入一些過渡元素則會改變部份紫外線的吸收,而氫氧根會影響紅外線的吸收。一般石英在250mm~2.5 μm 間有85~92%的穿透率,折射係數為1.4586隨波長而略變。

石英器皿最好仍用原有送貨的保護包裝來儲存,以免碰傷並防灰塵及水氣。在清洗時先去油脂後,浸入濃度10%以下的氫氟酸溶液5分鐘以內,再迅速用去離子水沖洗及漂洗多次後快速烘乾。石英在高溫使用條件下不會有析晶現象,尤其是有不純物或外來灰塵存在,則成為析晶之晶核。故維持石英之純淨不污染是用戶最應注意之重點。

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