高纯气体讲稿分解
燃气发言材料
燃气发言材料尊敬的评委、亲爱的听众们，大家好！我是今天的演讲嘉宾，我将为大家带来关于燃气的发言。
燃气作为一种重要的能源，已经在人们的生活中发挥着重要的作用。
它被广泛用于家庭用气、工业生产、城市供暖等领域，给我们的生活带来了更多的便利和舒适。
下面我将从燃气的优势、应用和安全等方面进行介绍。
首先，我们来看看燃气的优势。
相比于传统的能源，燃气有着许多明显的优势。
首先，燃气的热效率高。
燃气燃烧时会产生高温，能迅速将热能传递给需要加热的物体，从而提高了加热效果。
其次，燃气清洁环保。
燃气的主要成分为甲烷，燃烧后只产生二氧化碳和水，没有固体废物和烟尘的排放，不会产生污染。
再次，燃气供应方便。
燃气供应厂家会将燃气供应到每户家庭，居民只需要安装好燃气设施，就可以直接使用，免去了购买和储存固体燃料的麻烦。
接下来，我们来看看燃气在不同领域的应用。
首先，燃气在家庭用气中的应用非常广泛。
燃气炉具、燃气热水器、燃气空调等成为了现代家庭生活中常见的设备，为我们提供了美食、舒适的洗浴，以及凉爽的室内环境。
其次，燃气也广泛应用于工业生产。
许多工厂、企业的加热、燃烧设备都选择使用燃气，因为它可以提供高效率、稳定的能源供应，提高生产效率。
再次，燃气也是城市供暖的主要能源。
通过铺设燃气管网，城市居民可以享受到便捷、节能的供暖服务，带来了舒适的冬季生活。
然而，我们也要认识到使用燃气时面临的安全问题。
燃气的燃烧过程中会产生明火和高温，一旦出现泄漏或设备故障，就可能引发火灾和爆炸等危险。
因此，我们在使用燃气时要提高安全意识，遵循以下几点：1. 安装合格的燃气设备：选择正规、有资质的燃气供应商或生产厂家的产品，确保安装过程符合规范，使用安全性得到保证。
2. 定期维护检查：燃气设备和管道应定期进行检查和维护，确保设备无故障、管道无泄漏。
3. 注意使用和操作：正确使用和操作燃气设备，如煤气灶使用时要确保煤气阀门关闭严密，燃气热水器使用时要遵循相关安全操作规程等。
高纯气体基本知识及客户群体
高纯气体一、氦气1、产品名称：高纯氦气2、产品规格：纯度：99.999%压力：14.5MPa/5.8Nm3/1kg3、包装容器：40L钢瓶/容器尺寸：25*110/阀门：PX-32或QF-2 螺纹G5/84、产品说明：氦气为无色无味，不可燃气体，空气中的含量约为百万分之5.2。
化学性质完全不活泼，通常状态下不与其它元素或化合物结合。
用于超低温研究、气相分析、焊接、探漏、化学气相沉积、晶体生长、等离子干刻、特种混合气等，用做标准气、平衡气、医疗气、气体电子管潜水服等的充气。
5、产品用途6、注意事项：高浓度时有窒息作用7、应用行业：军工、科研、石化、制冷、医疗、半导体、管道检漏、超导实验、金属制造、深海潜水、高精度焊接、光电子产品生产。
二、乙炔1、产品名称：高纯乙炔2、产品规格：纯度：99.999%压力：1.5≤2Mpa净重3.0KG3、包装容器：40L钢瓶/容器尺寸：25*110/阀门：QF-15A/CGA5104、产品说明：乙炔，分子式C2H2，俗称风煤和电石气，是炔烃化合物系列中体积最小的一员，主要作工业用途，特别是烧焊金属方面。
乙炔在室温下是一种无色、极易燃的气体。
纯乙炔是无臭的，但工业用乙炔由于含有硫化氢、磷化氢等杂质，而有一股大蒜的气味。
5、产品用途：乙炔可用以照明、焊接及切断金属（氧炔焰），也是制造乙醛、醋酸、苯、合成橡胶、合成纤维等的基本原料。
注意事项：吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。
保持呼吸道通畅。
如呼吸困难，给予输氧。
如呼吸停止，立即进行人工呼吸，就医。
呼吸系统防护：一般不需要特殊防护，但建议特殊情况下佩带合适的自吸过滤式防毒面具（氧气含量与空气中氧含量一致或接近时）。
眼睛防护：一般不需要特殊防护，高浓度接触时可戴化学安全防护眼镜。
身体防护：穿防静电工作服。
手防护：戴一般作业防护手套。
其他防护：工作现场严禁吸烟。
避免长期反复接触。
进入罐、限制性空间或其他高浓度区作业，必须有人监护。
高纯标准气体
高纯标准气体高纯标准气体是指气体的纯度高达99.999%以上的气体，通常用于实验室分析、工业生产和科研领域。
高纯气体的制备和应用对于保障实验数据的准确性和产品质量的稳定性至关重要。
本文将就高纯标准气体的制备方法、应用领域和质量控制等方面进行介绍。
首先，高纯标准气体的制备方法主要包括物理方法和化学方法两种。
物理方法是通过物理手段，如吸附、凝聚、蒸馏等，来分离气体混合物中的杂质，从而得到高纯度气体。
而化学方法则是通过化学反应将气体混合物中的杂质转化成易于分离的化合物，再进行分离提纯。
无论是哪种方法，都需要严格控制生产过程中的各项参数，以确保最终产品的纯度符合标准要求。
其次，高纯标准气体在实验室分析、工业生产和科研领域有着广泛的应用。
在实验室分析领域，高纯气体常用于气相色谱、质谱分析等仪器的载气和检测气体。
在工业生产中，高纯气体则被用于半导体制造、光伏产业、医药生产等领域。
在科研领域，高纯气体则是各种实验和研究的重要原料和工具。
可以说，高纯标准气体在现代化工和科研领域中扮演着不可或缺的角色。
最后，对于高纯标准气体的质量控制十分重要。
在生产过程中，需要严格控制原料气体的纯度和纯净度，确保生产过程中不会受到外界杂质的污染。
同时，对于生产设备和生产环境也需要进行严格的清洁和维护，避免杂质的混入。
此外，对于成品气体需要进行严格的检测和分析，确保其符合相关的标准和规定。
总而言之，高纯标准气体作为一种重要的化工原料，在实验室分析、工业生产和科研领域有着广泛的应用。
其制备方法、应用领域和质量控制对于保障实验数据的准确性和产品质量的稳定性有着重要的意义。
希望本文的介绍能够对高纯标准气体有所了解，并在相关领域的工作中起到一定的指导作用。
高纯度气体的制备与应用
高纯度气体的制备与应用高纯度气体是指气体中杂质的含量非常低，纯度高达99.999%以上。
它们在许多领域都有广泛的应用，包括制作电子元件、光学元件、太阳能电池、化学分析等。
如何制备高纯度气体并保持其高纯度，是一个重要的挑战。
制备高纯度气体的方法有许多，但常用的方法是分子筛吸附法、冷却凝聚法、恒温压缩法和膜分离法等。
其中，利用分子筛吸附法制备高纯度气体是最常用的方法之一。
分子筛是一种具有极强吸附能力的材料，可以去除气体中的杂质，从而得到高纯度气体。
例如，利用分子筛吸附法制备高纯度氮气，就可以将空气中的氧气、水蒸气、氩气等杂质去除，得到纯度高达99.999%的氮气。
除了制备高纯度气体外，如何保持气体的高纯度也是非常重要的。
一般来说，气体的纯度会随着时间的推移而逐渐降低，因为气体会与环境中的杂质接触并相互作用。
为了保持气体的高纯度，必须采取有效的措施，例如采用密封容器存储气体、使用高纯度材料制作容器等。
高纯度气体在各个领域都有广泛的应用。
其中，制造电子元件是最常见的应用之一。
例如，在芯片制造过程中，纯度高达99.999%的氢气可以用于去除氧化层，从而保证芯片的质量。
另外，高纯度氮气也可以用于制造有机LED器件，这些器件具有高亮度和长寿命等优点。
除了电子元件制造外，高纯度气体在化学分析、生物制药、太阳能电池等领域也有广泛的应用。
例如，在生物制药过程中，高纯度氧气可以用来增强细胞的代谢活性，从而提高生产效率。
在太阳能电池制造过程中，纯度高达99.999%的氢气可以用来清洗晶体硅片，从而提高太阳能电池的转换效率。
综上所述，高纯度气体的制备和应用是一个重要的课题。
通过采用分子筛吸附法、冷却凝聚法、恒温压缩法和膜分离法等制备技术，并采取有效的措施来保持气体的高纯度，可以得到高纯度氮气、氢气、氧气等气体，在电子元件制造、化学分析、生物制药、太阳能电池等领域中有广泛应用。
高纯标准气体
高纯标准气体
高纯标准气体是指气体中不含有杂质或者杂质含量极低的气体，通常用于科研
实验、工业生产和环境监测等领域。
高纯标准气体的纯度要求非常高，通常可以达到99.999%甚至更高的纯度。
高纯标准气体的制备和应用对于提高实验和生产的准
确性和稳定性具有重要意义。
首先，高纯标准气体的制备需要严格的工艺和设备保障。
在制备过程中，需要
采用高效的分离和净化技术，以去除气体中的杂质。
常见的制备方法包括物理吸附、化学吸附、冷凝分离等。
同时，还需要使用高精度的流量控制和混合技术，以确保气体的成分和纯度达到标准要求。
其次，高纯标准气体的应用范围非常广泛。
在科研领域，高纯标准气体常用于
实验室中的气体分析、气相色谱、质谱等领域。
在工业生产中，高纯标准气体则被广泛应用于半导体制造、光伏产业、医药制造等领域。
此外，高纯标准气体还被用于环境监测、食品安全检测等领域，为保障公共安全和健康提供了重要支持。
最后，高纯标准气体的质量控制是非常重要的。
在制备和使用过程中，需要严
格控制气体的成分、纯度和流量等参数，以确保气体的稳定性和可靠性。
同时，还需要定期对气体进行质量检测和分析，以确保气体符合标准要求。
只有通过严格的质量控制，才能保证高纯标准气体在科研和生产中发挥应有的作用。
综上所述，高纯标准气体在科研实验、工业生产和环境监测等领域具有重要的
应用价值。
通过严格的制备工艺、广泛的应用领域和严格的质量控制，高纯标准气体将继续发挥重要作用，推动科技进步和产业发展。
高纯气体制备
高纯气体制备高纯气体是指纯度超过99.995%的气体。
高纯气体广泛应用于半导体制造、光电材料、化学分析、医疗保健等领域。
制备高纯气体的方法有很多种，下面将介绍其中几种常见的制备方法。
1.液气法：液气法是指通过液化气体来制备高纯气体。
首先将气体通过压缩，使其液化。
然后，通过升温将液体气体蒸发成气体状态。
由于液化过程可以除去杂质，所以蒸发得到的气体纯度较高。
2.分离法：分离法是通过物理或化学方法将杂质与气体分离。
常见的分离方法包括吸附分离、膜分离、冷凝分离等。
吸附分离是指将混合气体经过活性炭等吸附剂，吸附杂质，从而得到高纯气体。
膜分离是指利用薄膜的选择性渗透性质，将杂质从气体中分离出来。
冷凝分离是通过降低气体温度，使杂质在较低温度下冷凝成液体，从而得到高纯气体。
3.化学反应法：化学反应法是指通过化学反应将气体杂质与气体反应生成新的化合物，然后分离得到高纯气体。
例如，将氢气与氧气反应生成水，然后通过蒸馏等分离方法得到高纯氧气。
4.气相扩散法：气相扩散法是指通过气体在吸附剂中扩散，将杂质与气体分离。
吸附剂常用的有分子筛、活性炭等。
气体在吸附剂中扩散时，杂质因为质量较大，扩散速度较慢，从而实现分离。
5.质谱法：质谱法是一种通过质谱仪来分析气体组成的方法。
质谱仪可以将气体分子按照质量进行分离，并测量气体的相对丰度。
通过对分析结果的处理，可以得到纯度较高的气体。
在高纯气体制备的过程中，除了选择适合的制备方法外，还需要注意以下几点：1.控制工艺参数：制备高纯气体过程中，需要控制工艺参数，如温度、压力、流速等。
合适的工艺参数可以提高纯度，并保证气体品质的稳定性。
2.采用合适的设备：选择合适的设备可以保证高纯气体制备的效果。
例如，采用高效过滤器可以阻挡微小的杂质颗粒，提高气体的纯度。
3.严格保护制备环境：制备高纯气体时，需要确保制备环境的洁净度。
采用洁净室等设施，可以有效减少外界污染物对气体纯度的影响。
总之，高纯气体制备是一项关键的工序，对于确保气体的纯度和品质至关重要。
半导体气体设备培训01-半导体高纯特气材料基础
半导体气体设备设计技能培训第一部分高纯系统材料基础知识—认识高纯系统中常用的材料深圳正毅流体-2021-调压阀-隔膜阀及微漏阀-单向阀-过滤器-真空发生器-波纹管阀-PG(压力表）-PT(压力传感器）-PSG（电接点压力表）-过流量开关-VCR五件套-三通-弯头-变径接头（大小头）-CAP-PLUG主要阀门监控元件-流量计接头及附件培训内容概述1 前言-高纯系统及高纯材料概念高纯气体指纯度大于（包含）99.9999%（又称6N）的气体；高纯系统指设计用于输送高纯气体的系统，系统由气体输送设备和输送管路组成；高纯材料指组成高纯系统的各种阀门，管件，监控元件等零部件；高纯材料高纯材料对接触介质的零件材质，表面处理有特殊要求，材质要与介质相容，一般要求316L或更优质材质，表面需做电解抛光，表面粗糙度< Ra0.25μm。
电解抛光电解抛光实际上是利用电化学阳极溶解的原理，除去工件表面细微毛刺，使金属工件表面平滑，光亮，达到对金属表面进行抛光的目的；平滑，光亮的表面可以避免介质气体的沉积，减少介质对材料的腐蚀，减少沉积的气体对工艺气体的污染。
2 主要阀门材料2.1 调压阀作用：调节介质的压力，常用的调压阀出口压力一般都低于入口压力，又俗称减压阀；品牌：APTech,Parker, Rotarex,TESCOM；常用系列：APTech-AP10,AP12,AP14,AP15，用于腐蚀性或危险性高纯特气设备；APTech-AZ10, AZ14,AZ15，用于惰性高纯特气设备；APTech-AK10, AK13，用于普通气体设备。
2.1 调压阀常用系列：Rotarex–一般在大流量特气设备上选用，其大流量调压阀性能稳定。
TESCOM–目前性能不稳定，只用在惰性气体设备上（GR,VMP）并且客户没有限定品牌时。
常用规格：APTech,1/4”, 1/2”, F-VCR(Apxx2PW FV* FV*)2 主要阀门材料2.2隔膜阀半导体气体设备设计技能培训2.2 隔膜阀作用：控制介质的通断，起开关作用，属于截止阀的一种；特点：靠膜片和阀座密封，内部流道无死区，容易清洗，流量最大化，适合高纯流体；品牌：Swagelok（价格高，货期长）,Kitz(性价比高), Fujikin；常用系列：Kitz :VLD4MS, VLD8MS 低压手动隔膜阀，用于低压端（压力小于140psi），手动操作；VLD4CS, VLD8CS 低压气动隔膜阀，用于低压端（压力小于140psi），气动控制；VRD4MSI,RD8MSI 高压手动隔膜阀,用于高压端（最高压力3000psi）,手动操作；NRD4CSI, RD8CSI 高压气动隔膜阀，用于高压端（最高压力3000psi）,气动控制；2.3 单向阀作用：介质在阀内只能单向流动，防止介质逆向流动，起控制方向的作用；品牌：Swagelok（价格高，货期长）,Kitz(性价比高), Fujikin，（多数品牌都有）；常用系列：Kitz :IC4-1H-VF, IC8-1H-VF 开启压力6.8kpa，氟橡胶密封，用于非腐蚀性或者酸性低腐蚀性气体；IC4-1H-VKL, IC8-1H-VKL 开启压力6.8kpa，全氟橡胶密封，用于高腐蚀性气体；2.4 过滤器作用：过滤介质中的颗粒杂质，提高介质洁净度（高纯系统多数阀门是以膜片密封，颗粒杂质会对膜片造成损伤）；品牌：TK-性价比高，半导体气体过滤器系列全面，目前主要使用的品牌；PALL-专业过滤器品牌，产品系列全面，面向各行业，价格，质量中等；Entegris-专业过滤器和纯化器高端品牌，价格高，货期长；Swagelok-半导体气体应用较少，主要是工业级过滤器。
气体分析拆解实验报告
一、实验目的1. 了解气体分析的基本原理和方法；2. 掌握气体分析拆解实验的操作技能；3. 分析气体成分，了解不同气体的性质。
二、实验原理气体分析是指利用各种分析方法对气体成分进行定性和定量分析的过程。
本实验采用气体分析拆解法，通过将气体与一定量的试剂反应，观察反应现象，分析气体成分。
三、实验仪器与药品1. 仪器：气体发生装置、气体收集装置、气体分析装置、试管、烧杯、酒精灯、玻璃棒、石棉网、集气瓶、澄清石灰水、酚酞指示剂、蒸馏水、浓盐酸、浓硫酸、氢氧化钠固体、氯化钡固体等。
2. 药品：澄清石灰水、酚酞指示剂、蒸馏水、浓盐酸、浓硫酸、氢氧化钠固体、氯化钡固体等。
四、实验步骤1. 准备工作：检查仪器是否完好，确保实验安全。
2. 气体发生：将所需气体通过气体发生装置产生。
3. 气体收集：将产生的气体通过气体收集装置收集。
4. 气体分析拆解：（1）观察气体颜色、气味等物理性质，初步判断气体成分。
（2）利用澄清石灰水检验二氧化碳：将气体通入澄清石灰水中，若石灰水变浑浊，则说明气体中含有二氧化碳。
（3）利用酚酞指示剂检验碱性气体：将气体通入酚酞指示剂溶液中，若溶液变红，则说明气体中含有碱性气体。
（4）利用浓盐酸检验氯化氢：将气体通入浓盐酸中，若产生白烟，则说明气体中含有氯化氢。
（5）利用浓硫酸检验水蒸气：将气体通入浓硫酸中，若浓硫酸表面出现白雾，则说明气体中含有水蒸气。
（6）利用氯化钡固体检验硫化氢：将气体通入氯化钡固体中，若产生黄色沉淀，则说明气体中含有硫化氢。
5. 结果记录与分析：将实验过程中观察到的现象和结果进行记录，并分析气体成分。
五、实验结果与分析1. 观察到气体呈无色，无明显气味，初步判断为干燥气体。
2. 将气体通入澄清石灰水中，石灰水变浑浊，说明气体中含有二氧化碳。
3. 将气体通入酚酞指示剂溶液中，溶液变红，说明气体中含有碱性气体。
4. 将气体通入浓盐酸中，产生白烟，说明气体中含有氯化氢。
5. 将气体通入浓硫酸中，浓硫酸表面出现白雾，说明气体中含有水蒸气。
Parker高纯度气体生成解决方案介绍说明书
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Energy efficient technologies keep running costs down, there are no hidden charges such as on-going delivery costs, cylinder rental or storage fees for spares and empty cylinders, and maintenance and part replacement costs are minimal.A safer choiceHigh-pressure cylinders are inherently linked to safety issues - from the chance of injury through manual handling to the risk of gas leaks, which can make the atmosphere potentially explosive or deficient in oxygen. Gas generators from Parker are a safe alternative, thanks to leak detection technology with ‘auto shut off’ and integral alarms. They also operate at a fraction of the pressure and with low volumes of stored gas, further reducing the potential for harm.These generators eliminate many of the inconveniences of dependence on outside vendors, such as uncontrollable price increases, dewar ice and condensation, contract negotiations, long term commitments, and tank rentals. With a Parker generator, you control your gas supply.5Global support for your peace of mindWe know that business continuity is vital to your work. That’s why we offer a comprehensive package of expert service, care, and maintenance across our complete analytical gas systems range, worldwide. From installation, scheduled maintenance, and in very rare cases, emergency assistance, wherever you are, you can trust Parker to give you complete peace of mind.Continuous supply, available on-demandParker gas generators are engineered to transform standard compressed air into high quality analytical gas at safe, regulated pressures, on demand, without operator attention. Engineered for easy installation, operation, and long term performance, and permanently installed at the point of use, an on-site generator provides you with straightforward access to an unlimited supply of gas. 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The dryers incorporate the highest efficiency membrane available, offering low cost operation and minimal maintenance.The dryers are lightweight, compact, and can be easily installed on an existing air line. In a vertical or horizontal orientation (depending upon model), a high efficiency coalescing prefilter is installed directly upstream from the dryer module to protect the membrane from potential contamination caused by pipe scale, liquids, or other solids. These dryers require no electrical connections, making them ideal for remote and point-of-use installations or for deployment in hazardous areas.parker .com/igfg 7Description 64-0164-0264-10Annual Maintenance KitMK7601MK7601MK7610Installation Kit IK7572IK7572IK75880Pressure Regulator72-130-V88372-130-V88372-130-V883Preventive Maintenance Plan64-01-PM64-02-PM 64-10-PM Extended Support with 24Month Warranty64-01-DN264-02-DN264-10-DN2Ordering Information for assistance, call 800-343-4048Principal SpecificationsDescription 64-0164-0264-10Max. Flow Rate 1 at Dewpoints Shownat -40°F (-40°C)28 LPM 57 LPM 283 LPM at 32°F (0°C)71 LPM 142 LPM 708 LPM Min/Max Inlet Air Temp. 2-40°F/140°F (-40°C/60°C)-40°F/140°F (-40°C/60°C)-40°F/140°F (-40°C/60°C)Recommended Operating Temp. Range60°F-100°F (16°C-38°C)60°F-100°F (16°C-38°C)60°F-100°F (16°C-38°C)Min/Max Inlet Pressure 60 psig/150 psig 60 psig/150 psig 60 psig/150 psig Maximum Pressure Drop<4 psig <4 psig <4 psig Wall Mountable YesYesYesInlet/Outlet Port Size 1/4” NPT (female)1/4” NPT (female)1/2” NPT (female)Electrical RequirementsNone None None Shipping Weight9 lbs. (4 kg)10 lbs. (5 kg)18 lbs. (9 kg)Dimensions6”w x 22”h x 5”d (15x 57x 13 cm)6”w x 22”h x 5”d (15x 57x 13 cm)6”w x 22”h x 5”d (15 x 57 x 13cm)NOTES1. Dewpoint specified with inlet air at 100°F (38°C) saturated at 100 psig.2. Inlet compressed air dewpoint must not exceed the ambient air temperature8Each system is delivered complete and ready for easy installation. A high efficiency prefiltration system, automatic drains, a 0.01µm final filter , a moisture indicator, and pretested controls are integral to the design of each dryer.Designed specifically for NMR instrumentation, the generator is completely automatic and virtually maintenance free. 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The generator reduces the dewpoint to -100°F (-73°C) without operator attention.Model UDA-300• Supplies ultra-dry, purified compressed air to NMR Spectrometers and other analytical instruments• Ideal gas supply for spindle and automatic sample changer • Compact design frees up valuable floor space• Completely automatic - plug it in and forget about it •Simple installation & operation9/labgasThe Parker AA Gas Purifier is a wall mountable system designed to purify gases commonly used with atomic absorption spectrophotometers.Atomic Absorption Gas Purifier• Designed specifically for AA Instrumentation• Protects microcomputer gas controls and burner system • Ensures a clean, contaminant-free atomic cloud• Ensures consistent quality of compressed air oxidant and fuel gas •Convenient turnkey systemModel 73-100Compressed Air Inlet/Outlet1/4” NPT (female)Recommended Inlet Air Temperature< 78°F (26°C)Min/Max Inlet Pressure(compressed air)15 psig/125 psig Acetylene Inlet/Outlet9/16 - 18 LH (“B” size)Max Inlet Pressure (acetylene)15 psig max. working pressure Ambient Operating Temperature40°F - 100°F (4°C - 38°C)Dimensions 11” w x 8” d x 10” h (28cm x20cm x 25cm)Shipping Weight10 lbs (4.5 kg)DescriptionModel NumberAtomic Absorption Gas Purifier73-10073-100 Service Kit (contains one year supply of allreplacement filter cartridges)73065Acetylene Hose Assembly (6 feet in length)19257Principal SpecificationsOrdering Information for assistance, call 800-343-4048Model 73-100The purifier consists of two independent filtration systems.The first system is designed to purify the compressed air (oxidant) with two stages of high efficiency coalescing filtration. These filters will remove all oil, water , and particulate matter down to 0.01 micron.The second filtration system is designed to purify the acetylene gas. This system removes liquid acetone and solid particulate from the gas. The 73-100 protects the microcomputer gas controls and AA burner assembly from contamination and corrosion. In addition, the acetylene filter has an integral flashback arrestor , meeting all OSHA require-ments, to enhance the safe operation of the spectrophotometer .PRD SeriesPRD Series Non-Cycling Refrigerated Air Dryers• Plug and Play design for easy installation• Robust timed solenoid drain - improved reliability (PRD15 - PRD175)• Unique 3-in-1 heat exchanger• Oversized demister separator resulting in excellent liquid removal over all operating conditions• Oversized condenser to operate in ambients to 122˚F (50˚C)• Fan cycling ensures stable operation • 3 stage - dewpoint indicator• Low pressure differential across dryer (1.45 psi average)• Environmentally friendly• Unique drain niche allows drain access without removing a single panel • Fan pressure switch• High refrigerant temperature switch•High refrigerant pressure switch (PRD150-175)CParker Refrigerated Non-Cycling Air Dryers are designed to reduce operational costs of a compressor by minimizing pressure loss.These innovative dryers ensure reliability, efficiency, and energy savings, at a compact dimension and weight – making them ideal for all industrial users. They provide clean/dry air and guarantee performance and superior efficiency in most extreme working conditions.10WDHparker.com/igfg 11Flowrates at the following climatic conditions - • Ambient Temperature: 100°F (38°C)• Inlet Temperature: 100°F (38°C)• Inlet Pressure: 100 psi g (7 bar g)For reliable operation, a Parker pre-filter is recommended. Dryers not operated in accordance with ISO air quality class 3 for solids may see degradation in performance and/or permanent dryer failure.NOTES1. Filters supplied loose.Product SelectionPrincipal SpecificationsModelAir ConnectionsNominal Capacity (scfm)*Dimensions ins (mm)WeightPrimary VoltagesRecommended Pre-FilterRecommended After-FilterHeightWidthDepthlbsgPRD10-A11516016FLU 1/2” NPT-F 1016.9 (430)17.7 (450)8.3 (210)4219115V/1Ph/60Hz AOP010CNFI AAP010CNFI PRD15-A11516016TXU 1/2” NPT-F 1516.9 (430)17.7 (450)8.3 (210)4219115V/1Ph/60Hz AOP010CNFI AAP010CNFI PRD25-A11516016TXU 1/2” NPT-F 2519.9 (505)19.7 (500)8.3 (210)5224115V/1Ph/60Hz AOP015CNFI AAP015CNFI PRD35-A11516016TXU 1/2” NPT-F 3519.9 (505)19.7 (500)8.3 (210)5224115V/1Ph/60Hz AOP015CNFI AAP015CNFI PRD50-A11516016TXU 3/4” NPT-F 5022.2 (565)20.5 (520)8.9 (225)5827115V/1Ph/60Hz AOP020DNFI AAP020DNFI PRD75-A11516016TXU 3/4” NPT-F 7522.2 (565)20.5 (520)8.9 (225)6831115V/1Ph/60Hz AOP025DNFI AAP025DNFI PRD100-A11516016TXU 3/4” NPT-F 10023.4 (604)21.9 (555)16.7 (425)11050115V/1Ph/60Hz AOP025DNFI AAP025DNFI PRD125-A11516016TXU 1 1/2”NPT-F 12523.4 (604)21.9 (555)16.7 (425)11552115V/1Ph/60Hz AOP030GNFI AAP030GNFI PRD125-A23016016TXU 1 1/2” NPT-F 12523.4 (604)21.9 (555)16.7 (425)11552230V/1Ph/60Hz AOP030GNFI AAP030GNFI PRD150-A11516016TXU 1 1/2” NPT-F 15023.4 (604)21.9 (555)16.7 (425)12858115V/1Ph/60Hz AOP030GNFI AAP030GNFI PRD150-A23016016TXU 1 1/2” NPT-F 15023.4 (604)21.9 (555)16.7 (425)12858230V/1Ph/60Hz AOP030GNFI AAP030GNFI PRD175-A23016016TXU 1 1/2” NPT-F17523.4 (604)21.9 (555)16.7 (425)13260230V/1Ph/60HzAOP030GNFIAAP030GNFIModelMax Ambient TemperatureMax Inlet TemperatureMin Ambient TemperatureMax Inlet PressureRefrigerantPRD10 - PRD175122°F (50°C)149°F (65°C)41°F (5°C)232 psi g (16 bar g)R134aRecommended Gas Generators for Analytical InstrumentsInstrument Gas Requirements Gas Purity Requirements Flow Rates GeneratorRecommendation/Model Atomic Absorption(AA) with Flame Air for Oxidant Gas Clean, dry1-7 SCFM AA Gas Purifier Model 73-100Atomic ThermalDesorber Zero AirHydrogen for FID FuelClean, dry, hydrocarbon-freeClean, dry, high purityUp to 1600 ml/min.Zero Air or TOC Gas GeneratorHPZA-3500 or TOC-1250Atmospheric Pressure Ionization (API-MS)Air for nebulizer gas, nitrogen forcurtain, sheath, and shield gasClean, dry, hydrocarbon-free99% or higher (Nitrogen orZero Air)20-67 lpmNitrogen GeneratorN2-14, N2-22, N2-35, N2-45,N2-80, N2-135, N2-200, Nitroflowlab,Nitroflow60, NitroflowTG1, NitroflowTG2,76-98-N100, 76-98-N200, 76080Autosamplers for Various Instruments Air for pneumatic controls, nitro-gen for sample injectorClean, dryUltra high purity<1 SCFM<550 cc/minMembrane Air Dryer 64-02UHP Nitrogen Generator UHPN2-1100CO2 Analyzers Calibration Air CO2 free0.5-1.0 SLPM FT-IR Purge Gas GeneratorSpectra15, Spectra 30Continuous Emissions Monitoring (CEM)Calibration AirDilution AirDry, CO2, SO2, NO X,Hydrocarbon-free10-15 SLPM CEM Zero Air Generator 75-45-M744Emissions Analyzers Zero Air Hydrocarbon-free2-15 SLPM Zero Air Generator HPZA-18000Fourier Transform Infrared Spectrometer(FT-IR)Air for sample compartment,optics, and/or air-bearing Clean, dry, CO2-free0.5-3 SCFMFT-IR Purge Gas GeneratorSpectra 15, Spectra 30Lab Gas Generator 74-5041NAGas Chromatograph(GC)GC-FID Zero air as flame support airHydrogen as flame fuel gasHydrogen as capillary carrier gasNitrogen as packed carrier gasNitrogen as make up gasClean, hydrocarbon-freeUltra high purityUltra high purityUltra high purity, zero gradeUltra high purity, zero grade150-600 cc/min.30-40 cc/min.VariesVaries<100 cc/minZero Air Generator HPZA-3500Hydrogen Generator H2PEM-260Hydrogen Generator H2PD-300UHP Nitrogen Generator UHPN2-1100UHP Nitrogen Generator UHPN2-1100GC-FPD Zero Air as Flame Support AirHydrogen as Flame Fuel GasHydrogen as Capillary Carrier GasNitrogen as Packed Carrier GasClean, hydrocarbon-freeUltra high purityUltra high purityUltra high purity<200 cc/min50-70 cc/minVariesVariesZero Air Generator HPZA-3500Hydrogen Generator H2PEM-260Hydrogen Generator H2-1200UHP Nitrogen Generator UHPN2-1100GC-NPD Zero Air to Rubidium/ThermonicBeadHydrogen as Detector Support GasHydrogen as Capillary Carrier GasNitrogen as Packed Carrier GasDry, clean, hydrocarbon-freeUltra high purityUltra high purityUltra high purity<200 cc/min<10 cc/minVariesVariesZero Air Generator HPZA-3500Hydrogen Generator H2PEM-100Hydrogen Generator (Palladium)H2PD-300UHP Nitrogen Generator UHPN2-1100GC-ECD Nitrogen as carrier gasNitrogen as make up gas Ultra high purity, zero gradeUltra high purity, zero gradeVaries<100 cc/minUHP Nitrogen Generator UHPN2-1100UHP Nitrogen Generator UHPN2-1100GC-ELCD, HALL Hydrogen as reaction gas Ultra high purity70-200 cc/min Hydrogen Generator H2PD-300FAILURE OR IMPROPER SELECTION OR IMPROPER USE OF THE PRODUCTS AND/OR SYSTEMS DESCRIBED HEREIN OR RELATED ITEMS CAN CAUSE DEATH, PERSONAL INJURY AND PROPERTY DAMAGE.This document and other information from Parker Hannifin Corporation, its subsidiaries and authorized distributors provide product and/or system options for further investigation by users having technical expertise. It is important that you analyze all aspects of your application and review the information concerning the product or system in the current product catalog. Due to the variety of operating condi-tions and applications for these products or systems, the user , through its own analysis and testing, is solely responsible for making the final selection of the products and systems and assuring that all performance, safety and warning requirements of the application are met. The products described herein, including without limitation, product features, specifications, designs, availability and pricing, are subject to change by Parker Hannifin Corporation and its subsidiaries at any time without notice.Legal NotificationsWARNING!Instrument Gas Requirements Gas Purity Requirements Flow RatesGeneratorRecommendation/ModelGC-TCD Hydrogen as carrier & reference gas Ultra high purity Varies Hydrogen generator H2PD-300LC-MS Nitrogen as a curtain gasLC-MS Grade 3-30 lmp Nitrogen generator N2-14,NitroFlowLab, NitroFlow60, N2-35ICP SpectrometerNitrogen as Optic/Camera PurgeUltra high Purity <1-5 lmp Nitrogen generator 76-98NA Nuclear MagneticResonance (NMR)Air for lifting, spinningClean, dry <10 SCFM Air dryer UDA-300NALab gas generator 74-5041NA Ozone generator Supply air Clean, dry .3-20 SCFM Air dryer 64-01, 64-02, 64-10, UDA-300NAProtein analyzerDry air , nitrogen Clean, dry Up to 5 SCFM Nitrogen generator N2-14, N2-22, NitroFlowLab, N2-35Solvent evaporators (sample concentrators)Nitrogen Clean, dry nitrogen 2-15 SLPM Zero Air GeneratorNitrovap-1LV, Nitrovap-2LVStack gas samplerDilution airClean, dry <1.0 SCFM CEM zero air generator (75-45-M744)Total oxygen demand(TOD)Nitrogen as a carrier gasUltra high purity300 cc/minNitrogen Generator UHPN2-1100Thermal gravametricanalyzer (TGA)Nitrogen as furnace purgeClean, dry, inert <100 cc/minZero Air Generator HPZA-3500Hydrogen Generator H2PEM-260Hydrogen Generator H2PEMPD-1300-100UHP Nitrogen Generator UHPN2-1100Differential scanningcalorimeter (DSC)Air for air shieldClean, dry<100 cc/min Dry Air Generator 64-01, UDA-300Total hydration analyzer (THA)Zero Air for FIDHydrogen as flame fuel gas Clear, hydrocarbon free Ultra high purity50-500 cc/min 5-50 cc/min Zero Air Generator 75-82S, 75-83NA Hydrogen Generator H2PEM-100Total organic carbon analyzer (TOC)Dry air or nitrogen for carrier gasCombusion gasClean, dry, hydrocarbon-free,CO 2 Free, Ultra high purity100-500 SLPM 50-700 cc/minTOC gas generator TOC-625, TOC-1250UHP Nitrogen Generator UHPN2-1100Parker Also Offers Gas Generators for these Applications Products for Spectroscopy• Remove water and CO2 from compressed air• Protect expensive optics from damage from water vapor• Increase Signal to Noise Ratio and maximize instrument sensitivity• Ultra dry air for NMR injecting, spinning, and ejecting samplesAnalytical Gas Supplies• Installation kits, compressors, purifiers, flow-meters, regulators, and all the materials needed to equip your lab • High quality components, designed specifically for use with Parker gas generators, to deliver high purity gas to your instrumentsProducts for LC-MS & Evaporation• High purity nitrogen for LCMS instruments and solvent evaporation• Tri-gas units available for instruments that require nitrogen, dry air, and zero grade air• Produce a continuous supply of high purity nitrogen from an existing compressed air supply• Integrated compressor systems eliminate the need for house air• Systems available to support one or dozens of instrumentsProducts for Chromatography• Hydrogen, Zero Air, and UHP Nitrogen Generators for gas chromatography• Combination systems available to providemultiple gasses from one unit• Highest purities available from any supplierProducts for TOC Analysis• Generate gasses for all combustion, UV persulfate, and wet oxidation techniques• Ensures consistent, reliable, instrument operation and reduces instrument service and maintenance costsParker Hannifin CorporationIndustrial Gas Filtration and Generation Division 4087 Walden Avenue Lancaster, NY 14086phone 800 343 /igfg© 2019 Parker Hannifin Corporation. Product names are trademarks or registered trademarks of their respective companies BRO-AGS-UDA-C-072019Worldwide Filtration Manufacturing LocationsNorth AmericaCompressed Air TreatmentIndustrial Gas Filtration and Generation DivisionLancaster, NY 716 686 6400/igfg Haverhill, MA 978 858 0505/igfgEngine FiltrationRacorModesto, CA 209 521 7860/racor Holly Springs, MS 662 252 2656/racorHydraulic FiltrationHydraulic & Fuel FiltrationMetamora, OH 419 644 4311/hydraulicfilter Laval, QC Canada 450 629 9594 VelconColorado Springs, CO 719 531 5855 Process Filtrationdomnick hunter Process Filtration SciLogOxnard, CA 805 604 3400/processfiltrationWater PurificationVillage Marine, Sea Recovery, Horizon Reverse OsmosisCarson, CA 310 637 3400/watermakersEuropeCompressed Air Treatmentdomnick hunter Filtration & SeparationGateshead, England +44 (0) 191 402 9000 /dhfnsParker Gas SeparationsEtten-Leur, Netherlands +31 76 508 5300/dhfnsHiross Zander Essen, Germany +49 2054 9340/hzfdPadova, Italy+39 049 9712 111 /hzfdEngine Filtration & Water PurificationRacorDewsbury, England +44 (0) 1924 487 000 /rfdeRacor Research & DevelopmentStuttgart, Germany+49 (0)711 7071 290-10Hydraulic FiltrationHydraulic FilterArnhem, Holland +31 26 3760376 /hfde Urjala, Finland+358 20 753 2500Condition Monitoring Parker KittiwakeWest Sussex, England +44 (0) 1903 731 470 Process Filtrationdomnick hunter Process Filtration Parker Twin Filter BVBirtley, England+44 (0) 191 410 5121/processfiltrationAsia PacificAustraliaCastle Hill, Australia +61 2 9634 7777/australiaChinaShanghai, China +86 21 5031 2525 /chinaIndiaChennai, India +91 22 4391 0700 /indiaParker FowlerBangalore, India +91 80 2783 6794JapanTokyo, Japan +81 45 870 1522/japanKoreaHwaseon-City +82 31 359 0852/koreaSingaporeJurong Town, Singapore +65 6887 6300/singaporeThailandBangkok, Thailand +66 2186 7000/thailandLatin AmericaParker Comercio Ltda. Filtration DivisionSao Paulo, Brazil +55 12 4009 3500 /brPan American DivisionMiami, FL 305 470 8800/panamAfricaAeroport Kempton Park, South Africa +27 11 9610700/africa。
高纯气体在化学分析中的应用研究
高纯气体在化学分析中的应用研究摘要：高纯气体在化学分析领域具有广泛的应用，可用于仪器分析、质谱分析、环境监测、生物医学研究等方面。
本文将详细讨论高纯气体在化学分析中的应用，并重点介绍了气相色谱和质谱联用技术以及开发出的新型气体分析方法。
1. 引言高纯气体是指纯度较高的气体，其中杂质的含量较低。
它们在化学分析中起着重要的作用，因为杂质的存在可能会干扰到分析结果的准确性。
因此，在化学分析中使用高纯度气体十分必要。
2. 高纯气体的制备方法目前高纯气体的制备方法主要包括物理方法和化学方法两种。
2.1. 物理方法物理方法主要包括冷凝、吸附和膜过滤等。
冷凝是通过将气体冷却并使其凝结，以去除其中杂质。
吸附则是利用吸附剂来吸附气体中的杂质，从而提高气体纯度。
膜过滤是通过微孔膜将气体中的杂质分离出来。
2.2. 化学方法化学方法主要包括化学反应和化学吸收两种。
化学反应是指通过化学反应将气体中的杂质转化为其他物质，从而达到去除杂质的目的。
化学吸收则是利用溶液来吸收气体中的杂质。
3. 高纯气体在仪器分析中的应用仪器分析是一种使用科学仪器来测量和分析样品性质的方法。
高纯气体在仪器分析中扮演着关键的角色，因为它们能够提供高质量的载气和稳定的环境条件。
3.1. 气相色谱和质谱联用技术气相色谱（GC）是一种常用的分离分析技术，可以对分子进行分离和定量。
质谱（MS）则是一种能够提供复杂样品的分析和鉴定的技术。
将气相色谱和质谱联用可以更加准确地确定和鉴定样品中的组分。
3.2. 新型气体分析方法近年来，研究人员针对高纯气体分析开发出了一系列新型的方法。
例如，基于光谱分析的气体检测方法能够实时监测气体成分，并具有高灵敏度和高选择性。
另外，基于微电子技术的气体传感器能够快速响应气体成分的变化，并进行准确检测。
4. 高纯气体在环境监测中的应用环境监测是指对大气、水体、土壤等环境中的污染物进行检测和分析。
高纯气体在环境监测中具有重要意义，因为它们可以提供准确的参比气体和稳定的背景气体条件。
工业气体安全分解课件
PART 06
工业气体安全管理与法律 法规要求
安全生产法律法规体系概述
国家安全生产法律法规
宪法、安全生产法、职业病防治法等。
地方政府安全生产法规
根据地区差异和产业特点，制定相应的地方性法规。
国际公约和协议
参与国际劳工组织、联合国环境规划署等制定的相关公约和协议。
工业气体安全生产标准要求
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分类
按照性质可分为惰性气体、反应 性气体、有毒有害气体等；按照 用途可分为切割气、保护气、制 冷气等。
性质与用途
性质
工业气体具有不同的物理和化学性质， 如无色无味、易燃易爆、有毒有害等。
用途
工业气体广泛应用于钢铁、化工、电 子、医药等各个领域，如氧气用于切 割和焊接，氮气用于保护气和制冷剂等。
市场规模及发展趋势
优点
处理效率高，适用于处理大量 有害气体；可以回收部分热量， 降低能耗。
缺点
设备投资大，运行成本高；可 能产生二次污染，如废气、废
渣等。
催化分解技 术
定义
在催化剂的作用下，将工业气体中的 有害物质进行催化分解，转化为无害 或低毒性物质的方法。
原理
催化剂可以降低有害物质分解所需的 活化能，加速分解反应，如催化燃烧、 催化氧化等。
优点
处理效率较高，适用于处理中低浓度 有害气体；催化剂可再生，降低运行 成本。
缺点
催化剂易中毒、失活，需定期更换； 可能产生二次污染，如废气、废渣等。
其他分解技 术
生物分解技术
利用微生物将有害气体转化为无害物质的方法，具有环保、可持续的优点，但处理效率较低，适用于处理低浓度 有害气体。
光催化分解技术
设备选型依据和建议
选型依据
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46、我们若已接受最坏的，就再没有什么损失。——卡耐基 47、书到用时方恨少、事非经过不知难。——陆游 48、书籍把我们引入最美好的社会，使我们认识各个时代的伟大智者。——史美尔斯 49、熟读唐诗三百首，不会作诗也会吟。——孙洙 50、谁和我一样用功，谁就会和我一样成功。——莫扎特
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26、机遇对于有准备的头脑有特别的 亲和力 。 27、自信是人格核心。
28、目标的坚定是性格中最必要的力 量泉源 之一， 也是成 功的利 器之一 。没有 它，天 才也会 在矛盾 无定的 迷径中 ，徒劳 无功。- -查士 德斐尔 爵士。 29、困难就是机遇。--温斯顿．丘吉 尔。 30、我奋斗，所以我快乐。--格林斯 潘。
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1、最灵繁的人也看不见自己的背脊。——非洲 2、最困难的事情就是认识自己。——希腊 3、有勇气承担命运这才是英雄好汉。——黑塞 4、与肝胆人共事，无字句处读书。——周恩来 5、阅读使人充实，会谈使人敏捷，写作使方正 姚体
11、获得的成功越大，就越令人高兴 。野心 是使人 勤奋的 原因， 节制使 人枯萎 。 12、不问收获，只问耕耘。如同种树 ，先有 根茎， 再有枝 叶，尔 后花实 ，好好 劳动， 不要想 太多， 那样只 会使人 胆孝懒 惰，因 为不实 践，甚 至不接 触社会 ，难道 你是野 人。(名 言网) 13、不怕，不悔(虽然只有四个字，但 常看常 新。 14、我在心里默默地为每一个人祝福 。我爱 自己， 我用清 洁与节 制来珍 惜我的 身体， 我用智 慧和知 识充实 我的头 脑。 15、这世上的一切都借希望而完成。 农夫不 会播下 一粒玉 米，如 果他不 曾希望 它长成 种籽； 单身汉 不会娶 妻，如 果他不 曾希望 有小孩 ；商人 或手艺 人不会 工作， 如果他 不曾希 望因此 而有收 益。-- 马钉路 德。
高纯气体制备
高纯气体制备1. 简介高纯气体是指纯度高于99.995%（5N5）的气体，其中杂质含量非常低。
高纯气体在许多领域中具有重要的应用，如电子工业、光电子学、半导体制造等。
为了满足对高纯气体的需求，科学家们研究和发展了各种高纯气体制备技术。
本文将介绍几种常见的高纯气体制备技术，包括物理方法、化学方法和分离技术。
2. 物理方法2.1. 蒸馏法蒸馏法是一种基于气体混合物的沸点差异进行分离的方法。
在高纯气体制备中，常用的蒸馏法有简单蒸馏法和分馏蒸馏法。
简单蒸馏法适用于沸点差异较大的气体混合物，如液氧和液氮的分离。
通过加热混合物，使其沸腾，然后冷凝收集所需气体。
分馏蒸馏法适用于沸点差异较小的气体混合物，如氧气和氮气的分离。
在分馏蒸馏中，通过多级冷凝器和分馏塔，将混合物逐渐分离为不同纯度的气体。
2.2. 吸附法吸附法是利用吸附剂对气体进行吸附和解吸的方法。
常用的吸附剂有活性炭、分子筛等。
在高纯气体制备中，常用的吸附法有压力摩擦吸附法（PSA）和温度摩擦吸附法（TSA）。
PSA是一种基于压力变化的吸附法。
通过调整吸附剂的压力，使其在不同压力下吸附和解吸气体。
根据气体的亲和性，可以实现对不同气体的分离和纯化。
TSA是一种基于温度变化的吸附法。
通过调整吸附剂的温度，使其在不同温度下吸附和解吸气体。
根据气体的吸附热，可以实现对不同气体的分离和纯化。
3. 化学方法3.1. 化学反应法化学反应法是通过化学反应将混合气体转化为所需气体的方法。
常用的化学反应法有催化剂法和化学转化法。
催化剂法是指利用催化剂促进气体反应的方法。
例如，将一氧化碳和氢气通过催化剂反应，可以制备高纯度的一氧化碳气体。
化学转化法是指通过化学反应将混合气体转化为所需气体的方法。
例如，通过氧化反应将二氧化硫转化为二氧化硫气体。
3.2. 化学吸收法化学吸收法是利用溶液对气体进行吸收和解吸的方法。
常用的化学吸收法有碱吸收法和酸吸收法。
碱吸收法是指利用碱性溶液对酸性气体进行吸收的方法。
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2、监测压力（MPa）：0～1，0～1.6，0～2.5，0～4，0～6，0～10，0～25，0～40， 0～60。 压力单位换算：1Mpa＝10.19818 kgf / cm。 3、电接点压力表： ①、适用范围：用于测量对铜和铜合金无腐蚀作用的气体或液体。 ②、工作原理：可设置和监测压力报警值，在压力超标时输出开关量，触发报警主机鸣笛报 警。 ③、测量精度：≤±2.5﹪。 ④、电接点容量：≤1A。
2020/3/23
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低压报警器
4、报警主机： ①、工作原理：监测到压力超标时立即声光报警 ②、报警音量：≤110分贝 ③、工作电压：AC220V 5、外形体积：电接点压力表Φ100mm×95mm或Φ60mm×55mm，报警主机65×45×25mm。 6、工作环境：温度－30～＋70℃，相对湿度≤85% RH。 耐震型声光压力报警器适用于环境剧烈振动场所，可耐受介质的脉动，冲击及突然卸荷， 仪表指示稳定清晰稳定。广泛应用于机械、石油、化工、冶金、矿山、电力等部门，测量 对铜和铜合金无腐蚀性介质的压力。使用寿命长，是普通压力报警器的替代产品..防护等级 IP65。使用工作温度：-5℃~55℃；-25℃~55℃ 。使用工作环境振动频率不大于25Hz，振幅 不大于1mm 。
高纯气体研究报告
高纯气体研究报告高纯气体在现代工业生产和科学研究中有着广泛的应用。
本文以氦气为例，介绍了高纯气体的制备方法、性质及应用，并探讨了高纯气体制备技术的发展趋势。
关键词：高纯气体、制备、性质、应用、技术发展一、引言高纯气体是指气体中杂质含量极低的气体。
在现代工业生产和科学研究中，高纯气体有着广泛的应用。
例如，高纯氦气常用于氦气质谱仪、核磁共振仪等仪器中，以提高仪器的精度和稳定性；高纯氮气和氧气则常用于半导体制造等高技术领域中，以保证产品的质量和性能。
因此，高纯气体的制备技术和质量控制显得尤为重要。
二、高纯气体的制备方法高纯气体的制备方法多种多样，常用的有以下几种：1. 液化分离法液化分离法是指将混合气体冷却至其某些组分的沸点以下，使其液化，然后进行分离。
这种方法适用于制备高纯氦气和氧气等气体。
2. 分子筛吸附法分子筛吸附法是指利用分子筛的吸附作用将杂质分离出来，从而制备高纯气体。
这种方法适用于制备高纯氮气、氢气等气体。
3. 膜分离法膜分离法是指利用膜的分离作用将混合气体中的杂质分离出来，从而制备高纯气体。
这种方法适用于制备高纯氮气、氢气等气体。
三、高纯气体的性质高纯气体的性质与普通气体相比，具有以下显著特点：1. 纯度高高纯气体中杂质含量极低，可以达到ppb（亿分之一）或更低的级别。
2. 稳定性好高纯气体中杂质含量少，因此对环境的影响也比较小，稳定性较好。
3. 电性能好高纯气体中杂质含量少，因此其电性能也比较好，可以被用于一些高精度的仪器和设备中。
四、高纯气体的应用高纯气体在现代工业生产和科学研究中有着广泛的应用。
以下是一些常见的应用领域：1. 仪器制造高纯氦气、氮气等气体常用于氦气质谱仪、核磁共振仪等仪器中，以提高仪器的精度和稳定性。
2. 半导体制造高纯氮气和氧气则常用于半导体制造等高技术领域中，以保证产品的质量和性能。
3. 医学高纯氧气常用于医学领域中，以治疗一些呼吸系统疾病等。
4. 航空航天高纯气体在航空航天领域中也有着广泛的应用，例如，高纯氦气常用于氦气球等飞行器中。
高纯气体讲稿分解共42页
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21、要知道对好事的称颂过于夸大，也会招来人们的反感轻蔑和嫉妒。——培根 22、业精于勤，荒于嬉；行成于思，毁于随。——韩愈
23、一切节省，归根到底都归结为时间的节省。——马克思 24、意志命运往往背道而驰，决心到最后会全部推倒。——莎士比亚
高纯气体讲稿分解
1、战鼓一响，法律无声。——英国 2、任何法律的根本；不，不成文法本 身就是 讲道理 ……法 律，也 ----即 明示道 理。— —爱·科 克
3、法律是最保险的头盔。——爱·科 克 4、一个国家如果纲纪不正，其国风一 定颓败 。—— 塞内加 5、法律不能使人人平等，但是在法律 面前人 人是平 等பைடு நூலகம்。 ——波 洛克
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一、高纯/特种气体的概念
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半导体集成电路制造所需要的高纯气体主要分为两 大类： 普通气体：也叫大宗气体，主要有：H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。 特种气体：主要指各种掺杂用气体、外延用气体、 离子注入用气体、刻蚀用气体等。
半导体制造用气体按照使用时的 危险性分类
• 可燃、助燃、易燃易爆气体：H2 、CH4、 H2S、NH3 、SiH4、PH3 、B2H6、 SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等。 有毒气体：AsH3、PH3 、B2H6等 助燃气体：O2 、N2O、F2 、HF等 窒息性气体：N2 、He 、CO2、Ar等 腐蚀性气体：HCL 、PCL3 、POCL3 、HF 、SiF4、CLF3、 等
• 现场制气、管道供气 图
2 1
制 气 装 置
3
9
10
12 12
114 7 6 5 2来自室外室内室外 7
制 气 装 置
室内 9 10 11 12
2 1 8
3
7
13
14
2．外购气体供气
• 由集中制气工厂制取的液态气体由低温液态气体贮罐 槽车运送至用气工厂，再使用工厂设置低温液态气体 贮罐，将液态气体槽车中的液态气体抽送入液态气体 贮罐贮存，根据工厂用气量，液态气体由贮罐送出经 汽化器化为气体后，经由调压器组调压并经气体过滤 器送去使用车间，若气体纯度或杂质含量不能满足使 用要求，则需要再在车间内设置末端提纯装置，对气 体进行提纯并去除杂质，同时为满足不同需求，还应 在工厂使用车间末端或在车间内集中设置不同过滤精 度的气体过滤器，示意图如下： • 1－液态气体贮罐；2－汽化器；3－调压装置；4－气 体纯化装置；5－末端气体纯化器；6－气体过滤器； 7－用气点
– a图为采用液态气体贮存气体，中压贮罐。作为缓 冲罐的供应系统。气体纯化设备设在工厂内，实 际上在各用气工厂还应设置各种过滤精度的气体 过滤器、计量仪器、分析仪器等，有的工厂对高 纯气体中杂质含量控制十分严格，此时还需安装 末端提纯设备。 – b图为采用高压（P=15~20MPa）气体贮罐的供气 系统，常用于氢气供应系统中，设高压气体压缩 机从中压贮气罐中吸气经压缩到15~20MPa送入若 干个高压贮气罐组储气，根据供气用气的平衡， 高压贮气罐放气经二级调压阀组减压后由自动控 制阀送入供气系统。
• 超高纯气体 气体中杂质总含量控制在1ppm以下，水份含量控 制在0.2~1ppm。 • 高纯气体 气体中杂质总含量控制在5%ppm以下，水份含量控 制在3 ppm以内. • 洁净气体 气体中杂质总含量控制在10 ppm以下,对水份含量 未作严格规定。 • 上述规定，都未涉及洁净度。我们知道，集成电路的 生产，几乎都是在洁净环境中进行，是防止尘埃粒子 污染微电子产品所必需的。所以，对洁净的生产环境 绝不允许采用不洁净的气体来破坏，必须使气体的洁 净度与洁净环境保持一致，根据相关资料以及近些年 公司相关工程的经验，我进行了一些归纳，希望能够 给大家提供一些参考。
• 外购气体供气图：
1 室外 2 3 4 5 室内 6 7
3.外购气体钢瓶供气
– 外购气体钢瓶集中存放在工厂的气瓶间(库)中， 气瓶中高压气体经气体总线，减压阀组汇集，减 压至一定压力经气体纯化装置纯化后供气。为确 保连续供气，气体钢瓶一般分为两组，交替放气 ，根据产品工艺要求，选择满足供气品质的气体 纯化装置或在用气点处设置末端气体纯化装置。 示意图如下：1－钢瓶及总线2－减压阀组；3－调 压装置；4－气体纯化装置； 5－末 气 体 纯 化 器；6－气 体 过 滤 器；7－用 气 点
1.现场制气、管道供气
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这种供气方式时将制气设备建造在用气量较大或者用气品种 较多的工厂内或按区域设置供应周边各单位用气 示意图如下：1－中压贮气罐；2－调压阀组；3－气体过滤器 ；4－液态气体贮罐；5－汽化器；6－安全阀； 7－自动控制阀；8－气体纯化装置；9－ 流量计；10－末端气体过滤器；11－末端气体纯化器 12－用气点；13－高压气体压缩机；14－ 高压气体贮罐（P=15~20MPa）
高纯/特种气体工艺与施工概要
前言
近10年来，随着更复杂、更密集的大规模和超大规模 集成电路的生产，对高纯气体洁净度的要求，已不亚 于对纯度和干燥度的要求，凡工艺气体，无一不对其 中的粒子提出限制。因此，对于高纯气体，纯度、干 燥度、洁净度是三项重要的标度。由于高纯度气体的 使用地点、性质、工况（如温度、压力等）都不完全 一致，所以，如何确定高纯气体的“三度”（纯度、 干燥度、洁净度），还没有一个严格而明确的概念。 对于纯度和干燥度的控制，我国CBJ73—84《洁净 厂房设计规范》中指出，“高纯气体系指纯度大于或 等于99.9995%，含水量小于5ppm气体。” 日本把微电子生产中所采用的气体，按其不同的品位， 具体分为下列几个不同的档次：
•
• 外购气体钢瓶供气图
室外 3 4
室内 6 5 7
2
1
4.将高纯气体钢瓶设置在用气设 备附近直接供气
• 常用于用气量很少的场所，《规范》规定， 当日用气量不超过一瓶（指水容积不超过 40L的钢瓶）时，气瓶可设置在洁净室内， 但必须采取不积尘和易于清洁的措施，若工 艺对高纯气体要求较为严格时，比如气体中 总杂质含量≤1.0×10－6 时，还需要在气瓶 与用气设备之间设置末端气体提纯装置，包 括高精度气体过滤器，以确保供气质量。
• • • •
二．特种气体供应系统
• 特种气体的供应方式截至目前为止，几乎皆用钢瓶的方式进 行，一般常用的为高压钢瓶，依其填充的气体特性有分为气 态和液态两种，一般气体依液态储存于钢瓶内，瓶内压力较 高，所以最佳方式是选用吸附式气态钢瓶，以气体分子与吸 附剂间的范德瓦力将气体吸附于吸附剂孔隙中，其优点为供 气压力低于一个大气压，无任何泄漏的危险，且供气量为普 通高压钢瓶的10倍，低蒸汽压的气体以液态储存于钢瓶内； 针对易燃易爆，有毒性腐蚀性的气体，常将钢瓶至于特气柜 中，再通过管路将气体供应至现场附近的阀箱，经过一系列 的控制而后进入用气点；一般惰性气体以开放式的气瓶架和 阀盘供应；具体方式如下：