氦质谱检漏仪使用说明资料

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氦质谱仪背压检漏方法_概述及解释说明

氦质谱仪背压检漏方法概述及解释说明1. 引言1.1 概述氦质谱仪背压检漏方法是一种常用的无损检测方法，用于检测工业设备及管道系统中可能存在的泄露点。

该方法通过利用氦气的特殊物理性质和气体流动原理，实现对泄漏点进行准确、快速的定位和评估。

背压检漏方法具有非侵入性、高灵敏度和自动化程度高等优势，在工业领域得到了广泛应用。

1.2 文章结构本文将围绕氦质谱仪背压检漏方法展开详细论述，文章结构包括引言、背压检漏方法的原理、背压检漏方法的步骤与实施、背压检漏结果分析与评估以及结论与展望等部分。

首先介绍了本文的概述和目的，然后详细解释了背压检漏方法相关的原理，并探讨其在不同领域中的应用优势。

接下来，阐述了使用该方法进行检测时所需进行的准备工作和步骤，并提供了数据分析与处理方法。

最后，对测试结果进行评估和解读，并分析存在的误差，并提出改进措施。

文章最后总结了本次研究的主要成果，并提出了未来进一步研究的方向。

1.3 目的本文旨在全面概述氦质谱仪背压检漏方法，介绍其原理、优势和应用领域，详细阐述该方法的步骤与实施过程，并提供相关数据分析与处理方法。

同时，通过对实验结果的评估与解读，发现存在的误差并提出改进措施。

通过对氦质谱仪背压检漏方法进行深入研究和分析，期望为工程技术领域中泄漏点检测及预防提供参考和指导，并为后续研究提供基础依据。

2. 背压检漏方法的原理:2.1 氦质谱仪背压检漏原理:氦质谱仪背压检漏是一种常用的方法，该方法基于气体分子的运动特性和质谱检测技术，通过检测目标物体表面的潜在泄漏点来实现泄漏检测。

其原理可以简要概括为以下几个步骤。

首先，将高纯度的氦气作为探测介质注入已密封的被测试系统或设备内部。

由于氦气分子具有很小的尺寸和较高的扩散性能，在目标物体出现泄露时，氦气会从泄漏点逸出到周围环境中。

接下来，使用一个质谱仪进行监测和分析。

质谱仪内部设置了一个称为“零背景样品”的容器，其中充满了监测过程中未受外部干扰影响而得到平衡状态的环境空气样品。

sfj-261说明书

sfj-261说明书SFJ-261 型氦质谱检漏仪皖仪科技使用说明书1-1概述42-1 仪器性能参数52-1-1 SFJ-261 性能参数5?2-2仪器使用环境62-2-1 SFJ-261使用环境6?2-3 仪器结构72-3-1仪器外观7 2-3-2内部结构及部件8 2-3-3操作面板92-3-3-1 261面板 (9)2-3-3-2 261外部接口 (9)2-3-4电子系统示意图11?2-4工作流程122-4-1系统示意图12 2-4-2系统工作流程143-1 开始使用（以喷吹法为例）161启动 (16)2 参数设定 (19)3 检漏（喷吹法） (27)4 标漏校准 (28)5 调零（校零） (28)6 停止 (29)7 运行状态 (29)8 停机断电 (30)3-2 其他检漏方法的操作303-2-1吸入法检漏30 3-2-2背压法检漏304-1 基本维护项目314-1-1漏率校准31 4-1-2 机械泵保养31 4-1-3 分子泵维护31 4-1-4 质谱管及离子源清洗315-1 常见故障和处理32?5-2 错误代码及其排除336-1 氦质谱检漏仪的工作原理34?6-2 氦质谱检漏仪的检漏方式35?6-3常用单位的换算366-3-1 压强单位的换算36 6-3-2 漏率单位的换算36?6-4常用检漏方法376-4-1 喷吹法——确定漏孔位置 (37)6-4-2 吸入法——确定漏孔位置 (38)6-4-3 钟罩法——测总漏率 (39)6-4-4 背压法——测总漏率 (40)6-4-5 辅助真空系统 (41)7-1 售后服务42一概述SFJ－261型氦质谱检漏仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的仪器。

氦质谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比，具有检测灵敏度高、速度快和适用范围宽，此外氦质谱检漏仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体，所以安全可靠。

目前，检漏技术在以下领域中得到了广泛的应用：科学研究航空航天汽车制冷军事工业分析仪器发电厂核工业压力容器精密机械加工医疗仪器/仪表真空炉、镀膜设备等装置或系统高真空和超高真空的工程半导体等行业SFJ－261型氦质谱检漏仪将为您提供更快速，更经济，更精确的检漏方案。

氦质谱检漏仪原理及使用方法及相关介绍

氦质谱检漏仪原理及使用方法及相关介绍一、原理氦质谱检漏仪的原理基于质谱技术。

质谱技术是一种将样品原子或分子离子化并加速到特定质量的仪器分离和检测方法。

在氦质谱检漏仪中，首先将氦气引入被测系统中，然后利用真空泵将系统抽成高真空状态，此时如果系统存在泄漏，氦气会从泄漏点进入真空室。

接下来，仪器将氦气离子化并加速，然后将其通过质谱仪进行分离和检测。

质谱仪按质量对氦离子进行分离，只保留本离子，其他离子则被排除在外。

最后，通过测量离子的电流，就可以确定氦气的浓度，从而判断系统是否有泄漏的情况。

二、使用方法1.准备工作：将氦气瓶连接到仪器中，确保连接紧固，打开氦气瓶阀门。

2.开机操作：按下电源开关，等待仪器启动并进入工作状态。

此时，仪器会进行自检，并显示相关的信息。

3.设置参数：根据需要，设置仪器的工作参数，如离子加速电压、离子电流等。

这些参数的设定会影响仪器的灵敏度和分辨率。

一般来说，根据被测系统的特点和泄漏的排查需求来确定。

4.测试操作：将仪器探头移至被测系统周围，并尽量靠近可能存在泄漏的区域。

慢慢移动探头，直到仪器探测到氦气浓度的变化。

此时，仪器会发出声音或显示信号，以提示泄漏处的位置。

5.结果判断：根据仪器显示的信号确定泄漏点，可以通过仔细观察和移动探头来进一步定位泄漏。

6.数据记录：记录泄漏点的位置、泄漏大小以及检测时间等信息，便于后续处理和跟踪。

三、相关介绍1.灵敏度：氦质谱检漏仪具有非常高的灵敏度，可以检测非常微小的氦气泄漏。

一般来说，它可以检测漏率为10^-9至10^-12毫升/秒的泄漏。

2.应用范围：氦质谱检漏仪广泛应用于各个领域，如航空航天、化学工业、电子、制药等。

在这些领域，确保系统的密封性非常重要，而氦质谱检漏仪的高灵敏度和精确度可以满足这些需求。

3.优点：氦质谱检漏仪的优点包括操作简单、快速、准确，具有高灵敏度和分辨率，可以定位并确定泄漏点。

4.注意事项：在使用氦质谱检漏仪时，需要保证被测系统处于高真空状态，以确保准确的检测结果。

氦质谱检漏仪作业指导书

一、氦质谱检漏仪作业指导书
1.氦质谱检漏仪的结构
氦质谱检漏仪由电源、控制器、探测器、探测器控制器、气体控制器、计算机、显示器等
组成。

2.氦质谱检漏仪的安装
（1）安装氦质谱检漏仪前，应检查检漏仪的各部件是否完整，并确保安装环境温度、湿度、电源电压等符合要求。

（2）安装时，应把检漏仪放置在平整、无振动的地面上，保证检漏仪的稳定性。

（3）安装完成后，应检查检漏仪的各部件是否连接正确，气体流量是否正常，电源电压
是否稳定，探测器的工作状态是否正常。

3.氦质谱检漏仪的操作
（1）操作前，应检查检漏仪的各部件是否连接正确，气体流量是否正常，电源电压是否
稳定，探测器的工作状态是否正常。

（2）将检漏仪连接到计算机，打开软件，设置检漏参数，设置检漏模式，设置检漏时间，设置检漏结果的显示方式等。

（3）启动检漏仪，检漏过程中应定期检查检漏仪的工作状态，并及时调整检漏参数。

（4）检漏完成后，应对检漏结果进行分析，如果出现异常，应及时修改检漏参数，重新
检漏。

4.氦质谱检漏仪的维护
（1）定期检查检漏仪的各部件，确保检漏仪的正常工作。

（2）定期清洁检漏仪，防止检漏仪的结构受潮、受污染。

（3）定期更换检漏仪的耗材，如滤芯、探测器等，确保检漏仪的正确性。

二、结论
氦质谱检漏仪是一种用于检测气体泄漏量的仪器，其安装、操作和维护都需要严格按照操作规程进行，以确保检漏仪的正确性和可靠性。

氦质谱检漏仪使用方法

氦质谱检漏仪使用方法
一、氦质谱检漏仪的简析：
1、为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。

氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散。

2、另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。

将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。

二、氦质谱检漏仪的使用方法：
1、氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。

2、是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。

由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。

3、质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场。

4、由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。

喷氦法、吸氦法是在电阻炉检漏中常用的两种方法。

总结：氦质谱检漏仪的简析及使用方法，看完本文您就应该有了基本的认识和了解相信大家都明白了吧！总的来说，希望对大家有所帮助。

氦质谱检漏仪操作规程

氦质谱检漏仪操作规程一、仪器准备1.确认氦质谱检漏仪的各个部件是否完好并连接良好，包括样品室、氦质谱仪、真空泵等。

2.检查氦气供应，确保氦气的储罐或瓶体已经安装好，并且压力稳定。

3.检查真空泵的状态，确认真空泵已经安装好并连接到氦质谱检漏仪上，并连接好电源。

4.确保仪器的电源线已经接通，并开启电源。

二、仪器操作顺序1.打开氦质谱检漏仪的电源开关，待仪器启动后，将仪器调至待机状态，等待稳定。

2.打开真空泵电源开关，将真空泵开始抽空样品室。

观察真空泵的压力表，确保真空泵的抽空状态良好。

3.打开氦气供应开关，将氦气注入样品室，以提高样品室的压力。

观察氦气的进入情况，并通过泄漏口校正阀门进行调整。

4.将样品室的压力调至所需的工作压力范围内（通常为0.1至1000毫巴），并通过仪表读数进行确认。

5.打开氦质谱仪的工作开关，选择所需的工作模式和参数，如质谱仪的检测灵敏度、扫描范围等。

确保质谱仪处于正常工作状态。

6.根据需要，调整质谱仪的检漏灵敏度，以便检测到所需的泄漏量。

根据仪器的使用说明进行操作。

7.打开泄漏校正阀门，将氦气泄漏到所需的被测目标上，确保样品室的氦气泄漏量符合检测要求。

三、数据记录与分析1.在仪器的工作过程中，及时记录所检测的泄漏目标、泄漏位置等相关信息。

2.根据需要，记录氦质谱仪的检测结果，包括泄漏的大小、位置和泄漏速率等。

3.对于检测到的泄漏，进行合理的分析和评估，确定泄漏的性质、原因和危害程度，并采取相应的处理措施。

4.对于检测结果的分析和报告，及时向相关人员进行传达，确保泄漏问题得到及时解决。

四、仪器维护1.在使用氦质谱检漏仪之前，对仪器进行必要的清洁和维护，以确保仪器的正常运行。

2.定期检查仪器的电源线、氦气供应线、真空泵连接线等是否有松动或损伤，及时进行维修或更换。

3.定期校准仪器的检漏灵敏度，确保其准确性和可靠性。

4.清洁氦质谱检漏仪的各个部件，防止灰尘和杂质的积累影响仪器的检测性能。

MSE-2000R检漏仪中文说明书

请由二人从前后分别用手抓住“※”标记的
位置进行搬运。
搬运时，请勿将手置于前盖的下方。
[ 注意]
请勿在主机上方放置重物或坐于主机上方如在主机上方放置重物或坐于主机上方，会导致主机罩盖变形•破损，影响安全性，敬请注意。
-4-
[ 警告]
MSE-2000R
保养•检查本装置时
本装置内部存在高压电(450 V)部分。为防止触电，在保养•检查本装置时，请务必先关闭[POWER]开关并拔掉电源线，然后再卸下顶盖。
2)本说明书内容如有改动恕不另行通知。 3)本说明书内容力求准确，如有错误或遗漏敬请谅解。 4)本产品和维修零部件的供应期限为制造结束后 10 年。超出此供应期限之后，可
能无法供应维修零部件，敬请谅解。但是，非本公司原装的零部件，其供应期限由该零部件的生产厂商规定。
-3-
MSE-2000R
[ 注意]
9.输入输出系统 ..................................................................................................................... 47 9.1.记录仪输出 .............................................................................................................. 47 9.2.打印机（选购件） .................................................................................................. 49 9.3.RS-232C ................................................................................................................... 50 9.4.EXT-UNIT................................................................................................................ 55

氦质谱检漏仪使用说明

氨质谱检漏仪使用说明检漏仪及其真空系统的组成VARIAN959-50检漏仪检漏漏率范围从1X10* （毫升/秒）至lj 2X1 O'10（毫升/秒）（相当于30年漏1毫升）,它主要由质谱管、高真空泵、热偶规管、一系列按钮控制的阀、测试接口、真空和漏率以及电路板等部分组成，其真空系统结构为（分子泵型）图1检漏仪真空系统结构图（分子泵型）指示， TC1V3-n-V6检漏仪开启后，VK V2 . V6阀打开，测试口与质谱管保持真空连接。

如果按下u VENT"键，放气阀V3打开，V1关闭，测试口处于大气状态，同时V2打开，使分子泵、质谱管和机械泵连通。

分子泵运行时，质谱管真空度要达到2X104TORR以上，才能给离子源灯丝加热。

检漏仪工作原理]<■（2340高斯）图2检漏仪工作原理图如果被检系统有微小漏孔，在小孔周围喷氨气时，总有部分氨原子会通过漏孔进入检漏仪接口，通过其真空系统扩散到质谱管。

质谱1%管是检漏仪核心组成部分，参见上图2,在电场和磁场作用下，灯丝发射电子使气体电离，电离后带正电的离子通过聚焦和孔集中后，进入分析磁场（磁场强度为2340高斯），由于受洛仑磁力作用，离子会发生偏转，其它外界条件相同的情况下，偏转半径由带电粒子电量与质量之比即荷质比决定，荷质比小的离子偏转半径小，荷质比大的粒子偏转半径大，只有氮离子才能通过抑制小孔到达收集极，信号经放大后，检漏仪报警。

三、控制和指示器功能说明：序号控制、指示器功能Vent Start Hold 和Test 按检漏仪开关时，控制各个阀的钮动作顺序显示测试口压力，单位millitorr 显示漏率，单位std cc/sec （标准立方厘米每秒）,超过或低于测量量程，分别由上下端两个发光二极管（LED ）“over 55和 “under 乃显示。

随“range 55 和 tfiHi-Lo Sensitivity ”档位选择不同， X 10指数窗口将显示4、5、6、2 Pressure （压力指示）3 Leak rate （漏率指示）Coarse zero （粗调）Fil. Selector （灯丝选择）Fil. On - Off （灯丝开关）EMIS （发射控制）AUDIO （声音调节）CAL.（校准控制）漏率显示粗调二位开关选择灯丝1或灯丝2开关离子源灯丝通过改变灯丝电流来调节离子源电子发射调节检漏仪板警声音Range （量程选择）Zero （调零）FIL （灯丝指示）Hi vac ok （真空度ok ）Main power （主电源）Focus （聚焦）ION （离子源控制）Residual background （残余本底）量程选择共四个档位。

氦质谱检漏仪操作规程

氦质谱检漏仪操作规程氦质谱检漏仪操作规程一、检漏仪的常见故障及解决方法1. 漏气检测灵敏度低：检查氦气输送管道是否有泄漏，检查检漏仪保护罩是否安装正确，调整检漏仪探头的距离和角度。

2. 漏气检测结果不准确：检查检漏仪背景读数，并进行零点校准，检查漏气点的位置和状态，并使用带有氦气充装的喷嘴重新检测。

3. 检漏仪电源不工作：检查电源插头是否正确插入，检查电池是否安装正确并充电。

二、检漏仪的基本操作步骤1. 准备工作：将漏气检测仪连接到氦气供应系统，并将氦气气瓶连接到检漏仪上。

确保电源正常工作并充电。

2. 打开电源：按下电源按钮，检漏仪将开始初始化并显示相关信息。

3. 调节检测灵敏度：根据需要，通过调节检漏仪的灵敏度按钮来调整检测灵敏度。

通常，灵敏度越高，检测结果越准确，但也容易产生误报。

4. 零点校准：在开始检测之前，需要进行零点校准。

将检漏仪放在一个无气体泄漏的环境中，按下零点校准按钮进行校准。

5. 检测漏气点：将检漏仪探头靠近怀疑泄漏的部位，检测仪将开始收集氦气并进行分析。

过程中需要保持探头和被检测区域的距离适当，通常为5-10厘米。

6. 分析检测结果：检漏仪将显示漏气点的读数，并根据设定的报警值发出警报。

如果不确定结果，可以反复检测或调整探头位置。

7. 关闭电源：检测结束后，按下电源按钮关闭检漏仪，并将氦气源关闭。

三、检漏仪的安全使用注意事项1. 禁止将氦气直接吸入：氦气是惰性气体，但高浓度的氦气对人体有害。

在操作时应注意不要将氦气直接吸入，尽量避免长时间暴露在氦气环境中。

2. 避免氦气泄漏：在连接氦气供应系统时，要确保连接处紧固，避免氦气泄漏。

在检测过程中，检漏仪背景读数应为零，否则可能存在氦气泄漏，需要重新检查连接处。

3. 防止电源故障：在使用检漏仪时，应定期检查电源插头和电池的状态，确保电源正常工作。

在使用过程中，尽量避免电源过载或短路等故障。

4. 妥善保管和维护：使用完毕后，应将检漏仪存放在干燥、通风的地方，避免受潮或暴露在高温环境中。

231B-02(氦质谱检漏仪说明书)

4.5.2 遥控器接口、232 接口
接口：BD9 公头
图8
RS232 接口
图9
遥控器接口
4.5.3 RS485 接口
A B GND RS485
RS485 图 10 RS485 接口
- 11 -
仪器简介
4.5.4 I/O 输入输出接口
接口: DB25（母头）
图 11
- 12 -
I/O 接口分布
仪器操作
5
仪器操作
仪器搬运到检漏现场；提供 220V±10% ,50Hz 的交流电源，并且确保有地线；准备好三芯的插座，并且确保插座的容量是 250V*10A；准备好氦气和喷枪及其他配件如：波纹管，快卸法兰等。
5.1 基本操作说明 5.1.1 启动
将检漏口用专用堵头堵住，接通电源,按下电源开关到“—”的位置，仪器开始加电。设备显示启动画面。如下图：
本公司最新产品信息、相关文档修订和勘误表，请联系本公司客服。 400 112 0066
1.1 图标约定
符号含义可能对人身造成伤害的操作，必须由本公司确认的专业人士操作。必须严格按照使用手册规程、确认安全后操作，或由专业人士操作，否则可能导致故障。日常操作时需要注意的事项 ¨ 参见的章节如果您第一次使用本仪器，请仔细阅读本手册的所有章节。本手册中的图片仅供参考，在不影响性能和操作方式的前提下，厂家保留产品升级且不用另行通知的权利。为确保操作人员和仪器的安全，请在使用前仔细阅读《说明书》
4.5.1 模拟输出接口
1
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6
7
8
图4 5 6 7 8 AO-1 AGND AGND AO-2 GND
模拟输出各接口备注

氦质谱检漏仪说明书

氦质谱检漏仪说明书
氦质谱检漏仪是一种用于检测气体泄漏的仪器，常用于工业生产中的排气管道、气密系统、发动机、航空航天等领域。

使用氦质谱检漏仪需要注意以下事项：
1. 确保氦气源充足并连接到仪器上。

2. 预热仪器至工作温度，一般为25℃-35℃之间。

3. 将检漏仪连接至被检测泄漏物的管路或设备。

4. 打开仪器的氦气流控开关，使氦气流经被检测泄漏物的管路或设备。

5. 打开检测仪器的高压控制开关，使电离针产生电离氦原子。

6. 从氦气源中选择一个适合被检测设备的质量标准。

7. 根据设备的检测需求，选择不同的泄漏检测程序和扫描速度。

8. 正常情况下，泄漏位置将在仪器上以响声、指示灯或数字显示的形式出现。

9. 检测完毕后，将仪器清洁干净并储存至干燥处。

10. 注意安全，避免氦气泄漏对人体造成危害。

以上是氦质谱检漏仪的基本操作使用说明，使用时务必遵守安全操作规程，以确保操作人员的安全和设备效果。

氦质谱检漏仪安全操作及保养规程

氦质谱检漏仪安全操作及保养规程1. 引言氦质谱检漏仪是一种用于检测气体或气体混合物中微小的泄漏的仪器。

其检测灵敏度高、检测速度快，广泛应用于石油化工、航空航天、电力、制药等行业。

为确保氦质谱检漏仪的正常使用，保障操作人员的安全，延长仪器的使用寿命，制定本规程。

2. 安全操作规程2.1 前期准备操作人员应在进行检测前对仪器进行预热、泄漏检查和验气，确保仪器在良好的工作状态下。

2.2 操作流程1.打开检漏仪电源，等待仪器自检结束；2.准备好需要检测的气源，并连接到检测仪仪器端口；3.按照仪器指示操作，进行检测；4.完成检测后，关闭气源和仪器电源；5.拆卸各个管路和接头，清洗仪器和配件。

2.3 安全注意事项1.操作人员应始终保持注意力集中，防止发生意外；2.在操作过程中，必须戴上适当的防护手套和眼镜；3.在连接气源和检测仪仪器端口前，要确保气源中没有易燃易爆气体，并确认气源的压力不超过仪器的额定压力；4.操作人员不得将手指或其他物体接近检测仪仪器端口；5.使用过程中如发现仪器异常，应立即停止操作，并通知专业维修人员；3. 保养规程3.1 保养周期氦质谱检漏仪的保养周期为半年一次。

3.2 保养流程1.对仪器表面进行清洁；2.检查各个管路和接头，并使用光伏夜视镜检查能否看到泄漏；3.检查并更换仪器中的过滤器，确保其在工作性能范围内；4.对氦质谱检漏仪进行校准，保证其检测精确度。

3.3 保养注意事项1.在进行维修和保养前，必须先关闭气源和电源；2.维修和保养时，必须使用专业工具，防止人为损坏仪器；3.不得将任何液体或紫外线照射到氦质谱检漏仪的窗口处，以免损坏仪器；4.定期更换仪器中的过滤器，并确保新过滤器的性能符合要求。

4. 结论氦质谱检漏仪广泛应用于工业生产中，是保障生产安全的重要工具。

但仪器本身具有一定的风险性，因此在使用和保养过程中必须遵守相关规定，才能保障仪器的正常工作和操作人员的安全。

该规程应成为仪器使用和保养的标准流程，严格执行，以延长仪器的使用寿命、提高工作效率和检测精度。

氦质谱检漏仪操作规程

氦质谱检漏仪操作规程一、前言二、设备准备1.检查氦质谱检漏仪是否完好无损，确认所有部位都连接牢固。

2.准备空气压缩机并将其连接到氦质谱检漏仪上。

3.确保氦气瓶和氮气瓶都充足，并将其连接到氦质谱检漏仪上。

三、操作步骤1.打开氦气瓶和氮气瓶的气阀，并逐步调整其压力，将压力控制在设备要求的范围内。

2.检查氦质谱检漏仪的电源是否正常，并将其接通。

3.打开气源系统，确保氦气和氮气顺利进入系统。

4.启动空气压缩机，使其通过高强度过滤器将气体吹洗，保持系统清洁。

5.将被测设备与氦质谱检漏仪连接，确保连接口密封良好。

6.打开氦质谱检漏仪的控制面板，选择合适的检漏模式和参数。

四、操作注意事项1.在操作整个过程中，必须随时注意保持设备和周围环境的安全。

2.在操作前必须穿戴好相关的个人防护设备。

3.在操作过程中，不得随意拆卸或更换任何设备部件。

4.操作人员应该保持专注，避免分心或麻痹大意。

5.使用氦质谱检漏仪时，应避免将火焰和高温物体接近其表面。

6.任何发现的异常情况都必须及时向相关部门汇报。

五、事故处理和紧急措施1.若发现气体漏洞，应立即停止使用氦质谱检漏仪，关闭所有操作开关，并迅速离开现场。

2.在紧急情况下，应立即关闭氦气和氮气的气阀，并迅速通知紧急人员。

3.若发生火灾等危险情况，应按照紧急预案执行相应的措施。

六、设备维护1.定期对氦质谱检漏仪进行检修和清洁，确保其正常运行。

2.不定期更换氦气和氮气瓶，确保其充足。

3.定期对氦质谱检漏仪进行校准，确保其准确性和可靠性。

七、结语氦质谱检漏仪是一种精确的仪器，可以用于检测和定位气体漏洞。

遵循以上操作规程，保证了氦质谱检漏仪的正常使用和操作安全，有助于提高工作效率和保护人员的安全。

同时，合理维护和定期校准氦质谱检漏仪，可保证其长久的使用寿命和准确性。

ZQJ-230D氦质谱真空检漏仪使用说明书.

ZQJ-230D氦质谱检漏仪企业通过ISO 9001质量管理体系认证ZQJ-230D型氦质谱检漏仪使用说明书目录第一部分仪器介绍1.1外观尺寸.................................................1-1 1.2仪器结构.................................................1-11.2.1 质谱室..............................................1-31.2.1.1 离子源.........................................1-31.2.1.2 磁分析器.......................................1-41.2.1.3 接收极与前置放大器.............................1-41.2.1.4 全离子检测极...................................1-41.2.2 真空系统............................................1-51.2.2.1 机械泵.........................................1-51.2.2.2 涡轮分子泵.....................................1-61.2.2.3 组合阀.........................................1-71.2.2.4真空测量.......................................1-81.2.3 电气系统............................................1-81.2.3.1 电子机柜.......................................1-81.2.3.2 操作台板......................................1-101.2.3.3 电磁阀电源箱..................................1-121.3 仪器主要性能参数.......................................1-131.4 仪器使用环境条件.......................................1-131.5 仪器成套性.............................................1-14 第二部分使用方法.....................................2-12.1 开箱...................................................2-12.2 操作前准备.............................................2-12.3 安装...................................................2-22.4 操作...................................................2-22.4.1 首次开机..........................................2-22.4.2 氦峰调试与漏率校准................................2-32.4.3 喷吹法检漏........................................2-62.4.3.1 正常检漏操作(≤10Pa........................2-62.4.3.2 高压检漏操作(10~20Pa......................2-72.4.3.3 延长预抽时间..................................2-72.4.3.4 超高压检漏(>20Pa...........................2-82.4.4 吸枪检漏...........................................2-82.5 停机....................................................2-92.5.1 维持备用..........................................2-92.5.2 完全停机.........................................2-10 第三部分维护.......................................3-13.1 漏率校准...............................................3-13.2 真空维护与清洗.........................................3-1 目录III3.2.1 机械泵油面观测.....................................3-1 3.2.2 更换机械泵油.......................................3-1 3.2.3 分子泵加注润滑油...................................3-2 3.2.4 清洗分子泵.........................................3-23.2.5 清洗质谱室.........................................3-23.2.6 更换离子源........................................3-113.2.7 清洗组合阀........................................3-123.3 电子部件调整...........................................3-13 3.3.1 发射调节..........................................3-133.3.2 离子源电压校正....................................3-13 3.3.3 热偶规管调整......................................3-14 3.3.4 过压保护调节......................................3-14 3.3.5 分子泵启动设置....................................3-15 3.3.6 漏率显示放大器调整................................3-15 3.3.7 检查前置放大器供电................................3-15 3.4 检验氦本底.............................................3-163.5 仪器泄漏自检...........................................3-16 第四部分常见故障及处理.............................4-14.1 正常运转与故障判断.....................................4-14.2 故障检查与排除.........................................4-3 附录A ZQJ-230D氦质谱检漏仪的工作原理...............A-1A.1 质谱原理.................................................A-1A.2 真空系统原理.............................................A-2A.3 电子学线路的原理.........................................A-5 附录B 氦质谱检漏仪的检漏方式和检漏方法..............B-1B.1 检漏方式................................................B-1B.2 检漏方法................................................B-2B.2.1 喷吹法--确定漏孔位置..............................B-2B.2.2 吸入法——确定漏孔位置..............................B-2B.2.3 钟罩法——测总漏率..................................B-3B.2.4 背压法——测总漏率..................................B-3 附录C 压强和漏率单位换算IV目录KYKY ZQJ-230D 氦质谱检漏仪第一部分仪器介绍 1-1第一部分仪器介绍ZQJ -230D 型氦质谱检漏仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的完整仪器。

普发氦质谱检漏仪安全操作及保养规程

普发氦质谱检漏仪安全操作及保养规程普发氦质谱检漏仪是一种高精度的检漏仪器，适用于一些需要高精度检测的行业，如化学、制药、军工等。

使用氦气作为测试介质，通过分析氦气在被测目标表面的漏出率，确定被测物体的漏气情况。

本文将介绍普发氦质谱检漏仪的安全操作及保养规程。

操作规程1.检测前准备在检测前，确认被测物体处于安全状态并且没有其他危险性物质存在。

检测人员需要穿戴防护用具，包括手套、口罩和防护服等。

2.启动仪器将普发氦质谱检漏仪完全插上电源，按下电源开关开机。

在按下开机键后，仪器会进行初始化和自检，在自检完成后，仪器处于正常工作状态。

3.调节仪器参数在将被测物体放置于检漏仪上后，需要调节仪器参数以及检漏仪内部的质谱仪相关参数（如进气口的开合、电离器热量等），使仪器能够正确地对氦气进行分析。

不同的物体需要不同的参数设置，通常需要使用仪器的说明书进行正确设置。

4.开始检测检测前需要准确地将氦气喷洒于被测物体上，并记录被测物体表面的温度和其他相关参数。

在检测过程中需要对检测仪器作出正确的响应，如注意信号指示器、检查密封情况等。

5.结束检测在检测完毕后，关闭氦气的输入口，关闭检测仪器，并移除检测过的被测物体。

注意在移除被测物体时要小心操作，以避免破坏被测物体和导致泄漏。

保养规程1.清洁仪器普发氦质谱检漏仪能够检测极小的泄漏量，并且氦气对电子元器件具有腐蚀作用，因此需要经常进行清洁。

每次检测结束后需要将检测仪表内的氦气、杂质等清除干净，并使用干燥气体吹干内部。

在仪器外部的细节部位也需要进行清洗，并防止液体或粉尘进入检测仪器内部。

如需要进行更深层次的清洁，建议请专业维修人员进行处理。

2.定期更换必要部件普发氦质谱检漏仪内的电子元器件等易受氦气、湿度以及环境温度等影响，因此其寿命会受到较大制约。

为保证仪器能够长期稳定、精准地工作，建议定期更换必要部件（如灯管、检测器、检漏电离器等），以保持仪器的优良性能。

3.保持合适的工作环境普发氦质谱检漏仪工作时需要处于相对稳定的温度、湿度和空气流动状态。

氦检仪操作规程

氦检仪操作规程1. 目的：正确指导SFJ-211氦检仪的使用。

2. 适用范围：本操作规程适用于SFJ-21氦检仪使用操作3. 责任：3.1 本操作规程由质保部制定修改。

3.2使用人员严格按照操作规程作业。

4. 设备:SFJ-211氦质谱检漏仪5. 设备专用辅助工具：氦气、氧气袋、喷枪、波纹管2根，快卸法兰2只6. 开机前的准备6.1 确认需要检测的设备内部无水无尘及其他漂浮物，干燥清洁6.2 确认需要检测的设备放置平稳，氦检仪放置水平，脚轮制动可靠6.3 确认需要检测的设备内部压力在1000Pa以下；如需做精密检漏被检设备内部压力≤10Pa6.4 把氧气袋装满氦气。

6.5 把需要检测的设备（管道）用波纹管连接到氦检仪上。

6.6 连接氦检仪的电源7.开机操作步骤7.1 将检漏仪的电源插头插入250V10A的电源插座（接地良好）。

7.2 将后置电源控制面板上的电源开关置于 l 位置。

7.3 主屏幕上出现启动中画面。

若启动前检漏仪已关闭很长一段时间 (数小时)，则可能需要最多三分半钟的时间稳定下来，主屏幕上出现待机中画面，同时提供可靠的量化泄漏率读数。

8. 检漏操作8.1采用氦气作为跟踪气体来探测漏眼的方法多种多样。

本规程适用真空喷吹法检测9. 关机操作步骤9.1 首先要切断氦检仪和被检工件之间相通的阀门，然后按下操作面板上的停止按钮，主屏幕上出现待机中画面，然后置电源控制面板上的电源开关置于 O 位置10.氦检仪使用注意事项10.1 检测口规管电压≯2000mv10.2 电源电压不能超过220V额定电压的±10%。

10.3 电源插座要接保护性地线10.4 0% 至 80% 相对湿度，无凝缩10.5 10°C 至 + 40 °C环境温度11. 日常维护要求11.1 对污浊或变色的真空泵油进行更换，建议真空泵油牌号为LV20 11.2 校准外部校准泄漏：确认标漏样件完好，将标漏样件和氦检仪正确连接，系统执行自动校准程序。

氦质谱检漏仪操作规程

氦质谱检漏仪操作规程《氦质谱检漏仪操作规程》一、引言氦质谱检漏仪是一种专业用于检测密闭容器和管道系统泄漏的仪器。

它利用氦气作为探测气体，通过质谱分析技术来检测微小泄漏。

正确的操作规程能够确保检测的准确性和可靠性，提高工作效率。

二、操作规程1. 准备工作：检测前需要确认被检测系统已断开氦气供应，并且处于密闭状态。

检测仪器也需要连接好电源和氦气供应管路。

同时，在进行实际操作之前，需要对界面软件进行启动和设置。

2. 仪器校准：启动检测仪器后，需要进行系统的自动校准，确保各项参数的正常工作。

包括氦气流量、真空泵运转状态、质谱仪的灵敏度等。

同时还需要对氦气的纯度进行测试，并记录相关数据。

3. 检测操作：将检测仪器放置在被检测系统附近，打开氦气供应阀门，开始充入氦气。

在氦气充入的过程中，观察质谱仪的数据显示，一旦出现氦气浓度异常升高的现象，即可判定系统存在泄漏。

并且质谱仪会自动记录并报警。

4. 结果分析：当检测结束后，需要对检测仪器的数据进行分析。

包括泄漏位置、泄漏程度等情况。

同时也需要对数据进行记录和存档。

5. 整理仪器：检测完成后，及时关闭氦气供应管路，关闭仪器电源，并对仪器进行整理清洁。

同时还需要进行定期的维护和保养。

三、注意事项1. 操作人员需要经过专业培训，并严格按照操作规程进行操作。

2. 在使用时，需要对仪器进行定期的校准。

3. 在检测过程中需要保持现场通风良好，避免仪器受到污染。

4. 检测仪器需放置在平稳的工作台上，避免因振动引起误差。

通过严格按照《氦质谱检漏仪操作规程》进行操作，能够有效提高检测的准确性和可靠性，保障设备和系统的正常运行。