洁净无尘室之定义标准和设备要求
食品洁净车间设计和建设要求
食品洁净车间设计和建设要求01何为洁净车间洁净车间也叫无尘车间、洁净室、无尘室,是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
什么是十万级洁净车间呢?简单来说,就是车间每立方米空气中直径≥0.5μm粒子数不大于352万个,空气中粒子数越少,就意味着灰尘和微生物数量越少,空气越洁净。
十万级洁净车间还要求车间每小时换气需达到15-19次,完全换气后空气净化时间不超过40分钟。
02食品厂洁净车间的分区一般食品厂洁净车间可大致分为三个区域:一般作业区、准清洁区、清洁作业区。
1、一般作业区(非清洁区):一般的原料、成品、工具储存区域,包装成品转运区域等原料、成品裸露风险较低的区域,如外包装室、原辅料仓库、包装材料仓库、外包装车间、成品仓库等。
2、准清洁区:要求次之,如原料处理、包材处理、包装、缓冲间(拆包间)、一般生产加工间、非即食食品的内包装间等成品处理但不直接裸露的区域。
3、清洁作业区:指卫生环境要求最高,人员、环境要求较高,必须经过消毒和更衣才可以进入,如:原料、成品裸露的处理区域,食食品的冷加工间、即食食品的冷却间、待包装即食食品的储存间、即食食品的内包装间等。
建有洁净车间的食品工厂在选址、设计、布局、建设和改造时应最大限度避免污染源、交叉污染、混料和差错的发生。
厂区环境整洁、人流和物流走向合理。
应有适当门禁措施,防止未经批准人员的进入。
保存建设和施工的竣工资料生产过程中发生空气污染较为严重的建筑,应建设在厂区常年最多风向的下风侧。
相互有影响的生产工艺,不宜设在同一建筑物内时,各自生产区域之间应有有效的隔断措施。
生产发酵产品应具备专用发酵车间。
03洁净生产区的要求有无菌要求但不能够实行最终灭菌的工艺和虽能实现最终灭菌,但灭菌后无菌操作的工艺,应在洁净生产区内进行。
千级无尘室标准
千级无尘室标准千级无尘室标准一、引言千级无尘室是指空气中的颗粒物浓度控制在每立方米不超过1000个,是一种高洁净度的生产环境。
在电子、半导体、精密仪器、医药等行业中得到广泛应用。
本文将介绍千级无尘室的标准。
二、建设标准1. 设计标准(1)空气洁净度:千级无尘室空气中的颗粒物浓度应控制在每立方米不超过1000个。
(2)温度:18℃~26℃。
(3)湿度:相对湿度为45%~65%。
(4)风速:风速应控制在0.25m/s~0.5m/s之间。
(5)压差:压差应控制在10Pa~30Pa之间。
(6)噪音:噪音水平应低于60dB(A)。
2. 建筑结构标准(1)地面材料:地面材料应选用防静电材料,如PVC地板等。
(2)墙壁材料:墙壁材料应选用易清洗的防静电涂料或不发尘的防静(3)天花板材料:天花板应选用易清洗的防静电涂料或不发尘的防静电材料。
(4)门窗:门窗应选用无尘室专用门窗,密封性好,易清洗。
(5)进出口:进出口应设有空气淋浴室和换鞋间。
3. 空调系统标准(1)过滤器:空气净化器应选用高效过滤器或超高效过滤器。
(2)送风系统:送风系统应采用层流送风方式,保证空气流动均匀。
(3)回风系统:回风系统应采用排风罩或吊顶式回风,避免死角。
(4)空调机组:空调机组应选用低噪音、低震动、高效能的设备。
4. 净化设备标准(1)洁净工作台:洁净工作台应选用无缝不锈钢台面,具有负压功能,并与室内环境连通。
(2)洁净手套箱:洁净手套箱应选用无缝不锈钢材质,具有负压功能,并与室内环境连通。
(3)洁净柜:洁净柜应选用无缝不锈钢台面,具有负压功能,并与室内环境连通。
三、运行标准1. 人员要求(1)进入千级无尘室前应穿戴干净的无尘服、帽子、口罩、鞋套等防(2)进入千级无尘室前应进行手部消毒。
(3)进入千级无尘室前应接受专业培训,了解相关操作规范。
2. 物料要求(1)进入千级无尘室的物料应经过严格的清洗和消毒处理。
(2)进入千级无尘室的物料应符合相关标准和规范。
无尘室要求与等级标准
无尘室要求与等级标准
无尘室的要求与等级标准主要包括以下几个方面:
1.空气洁净度等级:无尘室的洁净度等级主要根据空气中悬浮粒
子浓度来划分,一般分为一级到十级。
一级无尘室主要适用于制作集成电路的微电子工业,十级无尘室主要用于带宽小于二微米的半导体工业,百级无尘室一般用于医药工业的无菌制作工艺等,千级无尘室主要用于高质量光学产品的生产,万级和十万级无尘室则多用于工业部门,如液压或气压体系的制作、食品饮料的出产等。
2.温湿度要求:无尘室的温度一般控制在20±2°C,相对湿度保
持在50±5%范围内。
3.照明与通风:无尘室内应有足够数量的局部照明装置及良好的
通风换气设备,同时,其风速和气流组织形式也有一定要求。
4.人员进出要求:人员进入洁净区必须穿防尘工作服或防静电工
作服,带好帽子口罩等个人防护用品,严禁非工作人员入内。
5.其他要求:如压差控制,相同洁净度等级的净化车间压差应保
持一致,对于不同洁净等级的相邻净化车间之间压差要
≥5Pa,净化车间与非净化车间之间要≥10Pa。
以上是无尘室的主要要求与等级标准,实际运用中可能根据具体情况有所调整。
如需更多信息,建议咨询无尘室设计或管理领域的专业人士。
无尘室的管理规范
无尘室的管理规范一、引言无尘室是一种特殊的环境控制室,用于对空气中的微粒进行控制,以确保在特定的工作场景中能够达到洁净的要求。
为了保证无尘室的正常运行和有效控制微粒的浓度,制定管理规范是必要的。
本文将详细介绍无尘室的管理规范,包括无尘室的设备要求、工作人员的管理、清洁维护以及记录和报告等方面。
二、无尘室设备要求1. 空气过滤系统:无尘室应配备高效过滤器,能够有效过滤微粒,保证空气质量符合要求。
2. 温湿度控制系统:无尘室内的温湿度应根据工作需求进行控制,确保工作环境的稳定性。
3. 静电控制系统:无尘室内应采取相应的静电控制措施,以防止静电对微粒的吸附和影响。
4. 照明系统:无尘室内应有足够的照明设备,确保工作人员能够正常操作和观察。
5. 其他设备:根据具体工作需求,无尘室还可以配备其他必要的设备,如洁净工作台、洁净椅等。
三、工作人员的管理1. 培训要求:无尘室的工作人员应接受相关的培训,了解无尘室的使用方法、操作规程、安全注意事项等。
2. 人员限制:无尘室内的人员数量应根据无尘室的大小和工作需求进行限制,避免过多人员造成空气污染。
3. 人员着装:进入无尘室的工作人员应穿戴符合要求的无尘服、鞋套、帽子等防护用品,以防止外部微粒进入无尘室。
4. 人员行为:无尘室内的工作人员应注意自身行为,避免产生过多的灰尘和微粒,如吸烟、打喷嚏等行为应在无尘室外进行。
四、清洁维护1. 定期清洁:无尘室应定期进行清洁,包括地面、墙壁、设备和工作台等,以保持无尘室的洁净度。
2. 清洁工具:清洁无尘室时应使用专门的无尘室清洁工具,避免带入外部微粒。
3. 清洁剂选择:选择适合无尘室的清洁剂,避免对无尘室内的设备和材料产生伤害。
4. 维护设备:无尘室的设备应定期进行维护,确保设备的正常运行和过滤效果。
五、记录和报告1. 记录要求:无尘室应建立相应的记录系统,记录无尘室的温湿度、过滤器更换情况、清洁维护记录等。
2. 报告要求:无尘室的管理人员应定期编制无尘室的运行报告,包括无尘室的洁净度、设备运行情况、维护情况等,并及时向相关部门汇报。
无尘室的管理规范
无尘室的管理规范一、引言无尘室是一种特殊的环境控制系统,用于对空气中的弱小颗粒物进行控制,以确保在特定的工作区域内保持洁净度。
无尘室的管理规范是为了确保无尘室的正常运行和维护,保证产品质量和生产效率。
本文将详细介绍无尘室的管理规范。
二、无尘室的分类和级别根据对颗粒物的控制要求和洁净度级别的不同,无尘室可分为多个级别,如ISO 14644-1标准中的1至9级。
不同级别的无尘室对颗粒物的控制要求不同,其管理规范也有所差异。
三、无尘室的设计与建设1. 设计要求无尘室的设计应满足颗粒物控制要求和洁净度级别的要求。
设计过程中应考虑空气流动、过滤系统、排风系统、温湿度控制等因素,以确保无尘室的正常运行。
2. 建设要求无尘室的建设应按照设计要求进行,包括施工材料的选择、施工工艺的控制、设备的安装等。
建设过程中应注意防止灰尘和杂质的进入,确保无尘室的洁净度。
四、无尘室的日常管理1. 人员管理无尘室的管理人员应具备相关的技术知识和管理能力,能够熟练操作无尘室设备,并进行日常维护和保养。
管理人员应定期进行培训,了解最新的无尘室管理技术和规范。
2. 进出管理进入无尘室的人员应按照规定的程序进行换装,包括穿戴无尘服、戴无尘帽、戴无尘鞋套等。
进出无尘室的通道应保持清洁,并设置洁净室和非洁净室之间的过渡区域,以防止污染物的进入。
3. 清洁管理无尘室的清洁管理是保证无尘室洁净度的重要环节。
清洁工作应定期进行,包括地面、墙壁、天花板、设备等的清洁。
清洁过程中应使用合适的清洁剂和工具,避免产生二次污染。
4. 设备管理无尘室的设备应定期进行维护和保养,确保其正常运行。
设备管理包括设备的定期检查、保养和更换,以及故障的处理和记录。
5. 颗粒物控制无尘室应定期检测颗粒物的浓度,并根据检测结果进行调整和控制。
颗粒物控制包括过滤系统的维护和更换、空气流动的调整、温湿度的控制等。
6. 记录管理无尘室的管理人员应建立完善的记录管理系统,记录无尘室的运行情况、维护情况、检测结果等。
无尘室的管理规范
无尘室的管理规范一、概述无尘室是一种特殊的环境控制空间,用于在生产、实验或者其他需要高度洁净环境的场合中进行工作。
为了确保无尘室的正常运行和洁净度要求,制定一套科学、规范的管理规范是必要的。
本文将详细阐述无尘室的管理规范,包括无尘室的分类、设备要求、人员要求、操作规程、清洁维护等方面的内容。
二、无尘室的分类根据洁净度要求的不同,无尘室可分为多个等级,常见的有ISO 14644标准中的等级1至等级9。
不同等级的无尘室在洁净度要求、空气流速、过滤效率等方面存在差异,因此在管理时需要根据具体等级制定相应的管理措施。
三、设备要求1. 空气净化设备:无尘室应配备适当的空气净化设备,如高效过滤器、风淋室、换气系统等,以保证室内空气的洁净度。
2. 温湿度控制设备:根据工作需要,无尘室应配备相应的温湿度控制设备,确保室内环境的稳定性。
3. 静电控制设备:对于对静电敏感的工作,无尘室应配备静电控制设备,如静电消除器、防静电地板等,以防止静电干扰。
四、人员要求1. 培训:无尘室的工作人员应接受专业的培训,了解无尘室的管理规范、洁净度要求、操作规程等,并具备相应的技能和知识。
2. 人员限制:无尘室应设立进入限制措施,惟独经过培训并获得许可的人员才干进入无尘室,并且需要佩戴适当的防护装备。
3. 衣着要求:进入无尘室的人员应穿戴符合要求的洁净服、鞋套、帽子等防护装备,并进行必要的消毒处理。
五、操作规程1. 进出室规定:进入无尘室前,工作人员应进行必要的洁净处理,如洗手、更换洁净服等。
离开无尘室时,应进行相应的清洁处理,以防止带出污染物。
2. 工作区域划分:无尘室内应划分不同的工作区域,根据工作需要和洁净度要求进行合理的划分,避免交叉污染。
3. 工作操作规范:无尘室内的工作操作应按照规定的程序进行,避免操作不当引入污染物。
操作过程中应注意防护装备的完整性和使用正确性。
4. 物品管理:无尘室内的物品应按照规定进行分类、标识和存放,避免杂乱无章和交叉污染的情况发生。
无尘室等级,无尘室标准,无尘室等级标准是什么?
无尘室等级,无尘室标准,无尘室等级标准是什么?依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可将无尘室分为六级。
分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸不是0.5um,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。
例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75颗/立方英尺),1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35颗/立方英尺)。
而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。
无尘室等级,无尘室标准,无尘室标准定义一、无尘室定义将空气中之尘埃、压力、温度、湿度、气流分布之情形及速度,控制于一定范围内之空间。
此处所指之尘埃为肉眼无法看见的灰尘及粒子,且指一般空气清净机无法完全清除之灰尘。
无尘室一般分为电子、精密工业用IndustraialCleanRoom(ICR);及需控制微生物浓度等制药、食品产业用BiologicalCleanRoo(BCR)。
二、联邦规格无尘室等级现今一般多奉行与美国所制定的联邦规格(U.S.Federalstandard209b),BCR则多参考明定生物粒子限制值的NASA规格(美国航空署5340.2规格)。
其Fed.std清洁度的表示法为:1ft3空气中,含有多少个0.5μm(micro)以上的微粒子,及称为[等级○○]。
例如:空气中含有10个0.5以下时,表示为“等级10”。
二自然界大气中通常含有300000~30000000个微粒子。
三、在JIS标准下,无尘室清洁度,共分为8个等级一般清洁度是指空气的洁净等级,分为等级1、2•••8,8阶段。
在1立方公尺的空气中,粒径0.1微米的灰尘若是在10个以下时为1;百个以下是100=102是等级2;千个以下时是1000=103等级3,一次类推。
21世界,最尖端产业的发展,加速了产业结构的变革,无尘室设立之必要性也相对地提高。
无尘室的管理规范
无尘室的管理规范引言概述:无尘室是一种特殊的环境控制设施,用于在生产过程中减少或防止微小颗粒物的产生和积聚。
为了确保无尘室的正常运行和有效性,需要严格遵守管理规范。
本文将详细介绍无尘室管理规范的五个方面。
一、无尘室的设计与建设1.1 确定无尘室的用途和级别:根据生产过程的需求,确定无尘室的用途和级别,如电子行业的洁净度要求高于一般工业领域。
1.2 合理规划无尘室的布局:根据生产工艺流程,合理规划无尘室的布局,确保物料流、人员流和空气流动的合理性,避免交叉污染。
1.3 选择合适的材料和设备:选择符合洁净环境要求的材料和设备,如防静电地板、无尘室门、过滤器等,确保无尘室的正常运行。
二、无尘室的操作规范2.1 人员培训和操作手册:对无尘室操作人员进行培训,制定详细的操作手册,包括进入无尘室的注意事项、操作流程和个人卫生要求等。
2.2 进出无尘室的控制:设立进出无尘室的控制措施,如换鞋、更衣、洗手等,确保人员的清洁度和无尘室的洁净度。
2.3 使用工具和设备的规范:使用无尘室专用的工具和设备,避免带入外部污染物,同时定期维护和清洁工具和设备。
三、无尘室的环境控制3.1 温度和湿度的控制:根据生产需求,控制无尘室内的温度和湿度,保持在合适的范围内,避免影响生产和产品质量。
3.2 空气质量的控制:通过空气过滤和循环系统,控制无尘室内的颗粒物浓度和微生物数量,确保洁净度符合要求。
3.3 噪音和振动的控制:采取合适的措施,减少无尘室内的噪音和振动,保证生产过程的稳定性和工作人员的舒适度。
四、无尘室的清洁与维护4.1 定期清洁无尘室:制定无尘室的清洁计划,定期进行地面、墙壁、天花板等各个部位的清洁,确保无尘室的洁净度。
4.2 维护设备和过滤器:定期维护和更换无尘室的设备和过滤器,确保其正常运行和有效过滤颗粒物。
4.3 监测和记录:建立无尘室的监测系统,定期对洁净度、温湿度等进行监测,并记录相关数据,以便及时调整和改进管理措施。
无尘室的管理规范
无尘室的管理规范一、背景介绍无尘室是一种高洁净度的工作环境,用于对特定产品进行生产、加工或者实验。
为了确保无尘室的洁净度和稳定性,需要制定一套科学合理的管理规范。
本文将详细介绍无尘室的管理规范,包括无尘室的分类、入室要求、操作规程、设备维护等方面。
二、无尘室的分类根据洁净度要求的不同,无尘室可分为多个级别,如ISO 14644-1标准中的等级。
根据等级的不同,对无尘室的要求也有所不同,包括空气洁净度、温湿度控制、静电控制等。
三、入室要求1.人员准入:进入无尘室的人员必须接受培训,了解无尘室的管理规范和操作规程,掌握洁净室的入室要求和个人卫生要求。
2.穿戴要求:进入无尘室的人员必须穿戴洁净服、洁净鞋、无尘手套等防护用品,避免带入尘埃和细菌。
3.设备准入:进入无尘室的设备必须经过清洁和消毒处理,且符合无尘室的要求。
四、操作规程1.洁净室内禁止吸烟、饮食和饮水,以防止细菌和灰尘的污染。
2.操作人员必须经过洗手、消毒等程序后方可进行操作。
3.操作人员应按照规定的工艺流程进行操作,不得擅自改变或者省略任何步骤。
4.操作人员应定期清洁和消毒操作区域,保持洁净室的洁净度。
5.操作人员应定期检查和更换过滤器、空气净化设备等,确保其正常运行。
五、设备维护1.设备定期维护:无尘室内的设备应定期进行维护和保养,以确保其正常运行和洁净度要求。
2.设备清洁:无尘室内的设备应定期清洁和消毒,防止尘埃和细菌的滋生。
3.设备校准:无尘室内的设备应定期进行校准,确保其测量结果的准确性和可靠性。
4.故障处理:无尘室内的设备浮现故障时,应及时进行处理和修复,以确保生产和实验的正常进行。
六、洁净室的监测与验证1.洁净度监测:无尘室的洁净度应定期进行监测,包括空气洁净度、微生物检测等。
2.温湿度监测:无尘室的温湿度应定期进行监测,确保符合要求。
3.静电监测:无尘室的静电情况应定期进行监测,以防止静电对产品和设备的影响。
七、培训与考核1.新员工培训:对进入无尘室的新员工进行培训,包括无尘室的管理规范、操作规程、个人卫生要求等。
洁净室之定义
洁净室之定义发布日期:[2009-5-9] 点击[43]次(一)洁净室之定义洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。
「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「洁净室」。
(二)洁净室之等级世界各国均有自定规格,但普遍还是用美国联邦标准209为多,以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。
209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位,洁净室等级以‵M′字头表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推,配合国际公制单位之标准化,M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示,取指数为之,若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间,则以1.5、2.5、3.5….表示。
美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英呎为单位,日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位,以0.1μm微粒子为计数标准。
日本标准之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,最好的等级为Class 1,最差则为Class 8,以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方,取其指数而得。
(三)洁净室控管之项目1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。
2. 能防止微尘粒子之产生。
3. 温度和湿度之控制。
4. 压力之调节。
5. 有害气体之排除。
6. 结构物与隔间之气密性。
7. 静电之防制。
8. 电磁干扰预防。
9. 安全因素之考虑。
无尘室相关标准
无尘室衡量标准
洁净度——参照 STD-209E
无尘室衡量标准
Air Change & HEPA 遮蔽率
无尘等级
Class 100 Class 1000 Class 10000
Air Change
(次/hr) 240~480 17~240
备注 风机档位:3档
图片欣赏
FFU
风淋室
1、2米方通
立柱
托框
初效
高效
自己找找瞧? 1、盲板? 2、PVC帘? 3、垂帘?
依据ISO14644-1可分为三种操作状态:⑴完工状态-无制程 设备、原料或工作人员。⑵完工后停止生产状态-室内有 制程设备,不含工作人员。⑶运转状态-三者皆在工作状态。
无尘室验收标准
取样次数要求
单一方向气流得测试数量
方法一、气流得流入体积/25 方法二、气流得流入体积/洁净度等级得平方根
选数字小者
无尘室相关标准
Contents
无尘室原理 无尘室衡量标准 无尘室验收标准
无尘室原理
无尘室概念:
以工业铝材(或不锈钢方通、铁方通喷塑)作为框架,采用风 机滤网机组FFU送风,四周用防静电垂帘(或钢化玻璃),内部 净化级别可达100~100K级,适用局部净化级别要求高得区 域。
对微粒控制、温度、湿度、照明、噪声、静电、微振得
多功能综合整体。
无尘室原理
依据送风方式得不同:
可分为乱流式(非均匀流型)与单一方向式(均匀流型)。
Class 1~100 均采用单向流送风方式,即在同一截面得任一 点,气流得方向与速度均保持一致,将室内得尘埃粒子以最 快得速度带走。靠送风气活塞般得挤压作用。新风量不小 于总风量得2%~4%。
无尘室知识及规范
手段
粗、中效过滤加热湿交换
除空调手段外还要加高效、超高效过滤器 ,对微生物还要有灭菌措施
送风量(次/h)
初投资(元/m2)
运行耗电(Kw/m2 )
冷量指标(W/m2 )
一般降温空调8~10次/h一般恒温空调 10~15次/h
一般降温500元/m2一般恒温800元~1000 元/m2
九. 无尘室的性能测试
洁净度等级 项目
1~3
温度
循环监测
湿度
循环监测
压差值
循环监测
洁净度
循环监测
风量
循环监测
4、5、6
7
8、9
每班二次
每班二次
每周一次
每月一次
每周一次
每3个月一次
每6个月一次
不得超过12个月
九. 无尘室的性能测试
无尘室性能测试的主要仪器和仪表:
压差计
①风压测试仪器:主要用于测 定无尘室之间或洁净与非洁净 区之间的微压差,也可利用压 差法测量风速,计算风量。
一般降温0.04~0.06 Kw/m2一般恒温 0.08~0.10 Kw/m2
一般降温150~200 W/m2一般恒温200~250 W/m2
单向流400~600次/h非单向流15~60次/h
单向流5000~15000元/m2非单向流 1500~3000元/m2 单向流0.9~1.35 Kw/m2非单向流0.13~0.33 Kw/m2 单向流800~1500 W/m2非单向流350~700 W/m2
施工验收规范JGJ71和设计规范GB50073的比较
内容
测定断面的 选取
测点的布置 最少测点数 测定仪器
无尘室的管理规范
无尘室的管理规范一、引言无尘室是一种具有特殊环境要求的工作场所,主要用于对微小颗粒物进行控制,以确保在生产过程中的高品质和高效率。
为了有效管理无尘室,确保其正常运行和维护,制定了以下管理规范。
二、无尘室的分类根据不同的应用领域和环境要求,无尘室可分为多个等级,如ISO 14644-1标准中的等级。
根据实际情况,确定无尘室的等级,并根据等级要求进行管理。
三、无尘室的布局和设计1. 布局规划:根据无尘室的用途和工艺流程,合理规划无尘室的布局,确保各个区域的流线顺畅,避免交叉污染。
2. 设计要求:无尘室的设计应符合相关标准和规范,包括但不限于空气流动、过滤系统、温湿度控制、静电控制等方面的要求。
四、无尘室的入口管理1. 人员准入:进入无尘室的人员应接受相关培训,了解无尘室的管理规范和操作要求,并佩戴适当的防护服装和个人防护装备。
2. 物料准入:所有进入无尘室的物料和设备应经过清洁处理,并进行适当的封装和标识,以防止污染。
3. 准入记录:建立准入记录,记录进入无尘室的人员和物料信息,以便追溯和管理。
五、无尘室的操作规范1. 清洁要求:无尘室应定期进行清洁和维护,包括地面、墙壁、天花板、设备等的清洁,以确保无尘室内的洁净度。
2. 人员行为:无尘室内的人员应遵守相关规定,包括但不限于禁止吸烟、饮食、随意走动等,以防止产生污染。
3. 工具使用:使用的工具和设备应经过清洁处理,并定期进行维护和检修,以确保其正常运行和不产生污染。
4. 废弃物管理:无尘室内产生的废弃物应按照规定进行分类、收集和处理,以防止污染和交叉感染。
六、无尘室的环境监测1. 空气质量监测:定期对无尘室内的空气质量进行监测,包括颗粒物浓度、温湿度等指标,确保符合相关标准和要求。
2. 静电监测:对无尘室内的静电进行监测,采取相应的措施进行控制,以防止静电对产品和设备的影响。
七、无尘室的维护和保养1. 设备维护:定期对无尘室内的设备进行维护和保养,包括但不限于过滤系统、空调系统、洁净工作台等设备的清洁和检修。
洁净无尘室之定义标准和设备要求
洁净无尘室之定义标准和设备要求公司标准化编码 [QQX96QT-XQQB89Q8-NQQJ6Q8-MQM9N]洁净无尘室之定义(一)洁净室之定义(供大家参考)洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。
「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「洁净室」。
(二)洁净室之等级世界各国均有自定规格,但普遍还是用美国联邦标准209为多,以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。
209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位,洁净室等级以‵M′字头表示,如M1、、、M3…..依此行推,配合国际公制单位之标准化,M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=(m之微尘粒子数目字以10的幂次方表示,取指数为之,若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间,则以、、….表示。
美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英尺为单位,日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位,以(m微粒子为计数标准。
日本标准之表示法以Class 1,Class 2,Class3……Class8表示,最好的等级为Class 1,最差则为Class 8,以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方,取其指数而得。
(三)洁净室控管之项目 1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。
2. 能防止微尘粒子之产生。
3. 温度和湿度之控制。
4. 压力之调节。
5. 有害气体之排除。
6. 结构物与隔间之气密性。
7. 静电之防制。
无尘实验室标准
无尘实验室标准无尘实验室的标准包括以下几个方面:1.洁净度:无尘实验室的洁净度要求非常高,通常需要达到ISO 5级或更高。
这意味着在实验室中,空气中的微粒数量需要被严格控制,以防止对实验结果产生干扰。
2.温度和湿度:无尘实验室的温度和湿度也需要受到严格控制。
通常,实验室内的温度需要保持在22℃-25℃之间,湿度需要保持在45%-60%之间。
3.空气压力:无尘实验室的空气压力需要保持稳定,以防止外界污染物进入室内。
通常,实验室内的空气压力需要略高于周围环境,以保持空气清洁。
4.光照:无尘实验室的光照需要足够明亮,以保证实验结果的准确性。
同时,光照的均匀性和稳定性也需要受到严格控制。
5.噪音:无尘实验室的噪音需要尽可能低,以保证实验操作人员的舒适度和实验结果的准确性。
6.空气过滤:无尘实验室需要配备高效的空气过滤系统,以去除空气中的微粒和有害气体。
通常,实验室需要配备初效、中效和高效过滤器,以确保空气的清洁度。
7.材料选择:无尘实验室的材料选择也非常重要。
通常,实验室内部需要使用防静电、抗菌、易清洁的材料,以确保实验室的洁净度。
8.人员管理:无尘实验室的人员管理也非常重要。
实验室操作人员需要经过严格的培训和考核,以确保他们能够遵守实验室的各项规定并保证实验结果的准确性。
9.安全措施:无尘实验室需要配备完善的安全措施,以保障实验操作人员的安全。
通常,实验室需要配备紧急排气装置、紧急照明装置、防火设备等安全设施。
以上是无尘实验室的一些标准,具体要求可能会因不同的行业和产品而有所不同。
在建设或改造无尘实验室时,建议参照相关行业标准和规范进行设计和施工。
洁净室定义标准分类及维护
洁净室定义标准分类及维护(一)洁净室之定义洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。
「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「洁净室」。
世界各国均有自定规格,但普遍还是用美国联邦标准209为多,以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。
209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位,洁净室等级以‵M′字头表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推,配合国际公制单位之标准化,M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示,取指数为之,若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间,则以1.5、2.5、3.5….表示。
美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英呎为单位,日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位,以0.1μm 微粒子为计数标准。
日本标准之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,最好的等级为Class 1,最差则为Class 8,以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方,取其指数而得。
(三)洁净室控管之项目1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。
2. 能防止微尘粒子之产生。
3. 温度和湿度之控制。
4. 压力之调节。
5. 有害气体之排除。
6. 结构物与隔间之气密性。
7. 静电之防制。
8. 电磁干扰预防。
9. 安全因素之考虑。
10. 节能之考量。
(四)洁净室之分类1.乱流式(Turbulent Flow):空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。
洁净无尘室之定义、标准和设备要求
洁净无尘室之定义、标准和设备要求————————————————————————————————作者: ————————————————————————————————日期:ﻩ洁净无尘室之定义(一)洁净室之定义(供大家参考)洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。
「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「洁净室」。
(二)洁净室之等级世界各国均有自定规格,但普遍还是用美国联邦标准209为多,以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。
209E与209D等最大之不同在于209E 表示单位增加了公制单位,洁净室等级以‵M′字头表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此行推,配合国际公制单位之标准化,M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5(m之微尘粒子数目字以10的幂次方表示,取指数为之,若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间,则以1.5、2.5、3.5….表示。
美国联邦标准FS209D 都以英制每立方英呎为单位,日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位,以0.1(m微粒子为计数标准。
日本标准之表示法以Class1,Class 2,Class 3……Class8表示,最好的等级为Class 1,最差则为Class8,以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方,取其指数而得。
(三)洁净室控管之项目1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。
2.能防止微尘粒子之产生。
3.温度和湿度之控制。
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洁净无尘室之定义(一)洁净室之定义(供大家参考)洁净室(CleanRoom),亦称为无尘室或清净室。
「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
亦即是不论外在之空气条件特性。
湿度,。
(二)以下仅就209D 如M1、,尘粒子总数中化为10的幂次方,取其指数而得。
(三)洁净室控管之项目1.能除去空气中飘游之微尘粒子。
2.能防止微尘粒子之产生。
3.温度和湿度之控制。
4.压力之调节。
5.有害气体之排除。
6.结构物与隔间之气密性。
7.静电之防制。
8.电磁干扰预防。
9.安全因素之考虑。
10.节能之考量。
(四)洁净室之分类1.乱流式(TurbulentFlow):空气由空调箱经风管与洁净室内之空气
过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。
气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。
此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
优点:构造简单、系统建造成本,洁净室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。
缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。
另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往
线形,此。
其
(2)
ULPA
装运转费用。
此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易;B.维修设备时可在维修区轻易执行。
(2)洁净管道(CleanTube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。
因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,
不需人工的自动化生产线为最适宜使用。
药品、食品业界及半导体业界均适用。
(3)并装局部洁净室(CleanSpot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
洁净工作台:等级Class1~100级。
洁净工作棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之HEPA或ULPA
2.5
(五)
、ULPA
在
是在壁面,气流会延着壁面发生涡流作用,此时要实现高洁净度事实上很困难。
垂直层流式方向要保持均一气流必须:(a)吹出面的风速不可有速度上的差异;(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。
速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流之现象发生,而0.5m/s之速度,气流则较均一,目前一般洁净室,其风速均取在0.25~0.5m/s之间。
影响洁净室的气流因素很多,如制程设备、人员、洁净室组装
材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。
一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部份的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率
因素。
(六)
杆
(5)照
泥,
B.
※無塵室定義
無塵室是一個為了對空間內空氣中的微粒做控制,所建造的特殊封閉性建築。
一般而言,無塵室也會對溫溼度、氣流運動模式、與震動噪音等環境因素做控制。
無塵室依等級的不同,對一定空間內的微塵粒子最大容許量亦有一定規範,在國際標準中最常用的規範有
Fed-Std-209E及ISO-14644,以下表格為Fed-Std-209E及ISO-14644的等級定義。
※Fed-Std-209E潔淨度定義
※ISO-14644潔淨度定義
ISO的等級劃分,首先定義了微粒的粒徑是從0.1mm到5mm,在此範圍之外就不列入等級表,但是另定義有超微粒子與超大粒子針對範圍外粒子。
ISO等級本身歸類為ISOClass1到ISOClass9,其允許上限的定義是大於等於該粒徑的微粒數,數目字如下表,單位是每立方公尺的微粒數。
1.
2.
3.都來的
/中效/
第三,进入无尘净化车间之前先进入缓冲区,缓冲区门安装电子互锁,更衣处放置洁净储衣柜,空气清新机。
第四,人和货物进入无尘净化车间须经过,风淋室,货淋室,传递窗主要传递小物品。
第五,在无尘净化车间内局部需要达到10-1000级地方安装垂直层流工作台,层流罩(FFU),洁净棚(可移式净化工作棚),自净器。
第六,测试洁净室洁净度用,激光尘埃粒子计数器。