扩散炉维修手册(M5111-4W、UM系列高温扩散、氧化系统).

中国电子科技集团公司第四十八研究所

M5111-4W/UM系列高温扩散/氧化系统

维修手册

中国电子科技集团公司第四十八研究所

2007年6月

中国电子科技集团公司第四十八研究所

目录

1．设备型号涵义 (1)

1.1型号的组成 (1)

1.2各代号涵义 (1)

2．电气图纸的代号规定 (2)

2.1电气制图代号定义 (2)

2.2元器件编号规定······················

2.3电气接线编号规定····················

2.4电气转接端口定义····················

2.5计算机转接端口定义···················3．故障判别与维修······················

3.1温度控制系统·······················

3.1.1温控仪上显示oooo····················

3.1.2炉子不能升温······················

3.1.3面板上的超温指示灯亮··················

3.1.4炉温失控························

3.1.5面板上的短路指示灯亮··················

3.2自动推拉舟系统······················

3.2.1不能自动进出舟·····················

3.2.2不能自动停舟······················

3.3气体流量控制系统····················

3.3.1气动阀不能受控打开···················

3.3.2触摸屏上无气体流量显示·················

3.3.3气体流量总是显示最大值·················

3.3.4气体流量显示值波动大··················

3.4 H/O合成氧化系统····················

3.4.1火不能点燃·······················

3.4.2系统误报警·······················

I （3）（3）（3）（7）（11）（11）（11）（11）（12）（12）（13）（13）（13）（14）（14）（14）（14）（15）（15）（16）（16）（16）

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1．设备型号涵义

1.1 型号的组成

按照部颁标准，我所高温扩散/氧化系统的型号由如下代号组成：

M 5 1 11 — 4 W / UM型 48所）类别代号（表面处理和薄膜淀积设备）

1.2 各代号涵义

1300℃

3〞硅片工艺

4〞硅片工艺

6〞硅片工艺

8〞硅片工艺

1

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2．电气图纸的代号规定

2.1电气制图代号定义

按照国家电气制图标准，我所常用电气图纸器件代号如下：代号

A

B

C

E

F

G

H

J

K

L

M

N

P

Q

R

S

T

U

V

W

X

Y

Z 代号意义计算机及板卡、步进电机驱动器、印制电路板、带触发电路的可控硅模块、氢气报警器、湿度计、冷阱、触摸显示器薄膜规、热电偶、接近开关、光电开关电容加热器、扩散泵、照明灯熔断器开关电源、直流电源指示灯、报警器温控仪固态继电器、交流接触器、交流继电器、直流继电器、延时继电器三相总进线，分为：L1、L2、L3 真空泵、轴流风机、净化风机零线质量流量控制器、水压开关、水流开关、电接点压力表、真空计、记录仪、电流表、电压表、检测器件断路器、空气开关电阻、电位器、热敏电阻、压敏电阻按钮开关、旋钮开关、急停开关、行程开关、液位开关、接近开关变压器、调压器、电压互感器、电流互感器旋转编码器、变频器、整流器晶体管、晶闸管、可控硅模块、发光二极管、规管、光敏管导线、电缆接线排、端子排、连接片（XB）、电缆封端、接线板、普通插头座、航空插头座（头可采用XP、座可采用XS）电磁阀、电磁离合器、气动阀滤波器

2

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2.2元器件编号规定

* * * * *

如电控柜中下层第5号插头座编号为：X1205 ；净化台照明开关的编号为：

S2005

2.3电气接线编号规定

* * * **

连接线序号，零线号从001～099 ；其他线号从101～999 。层号：0—公共器件线，1—下层，2—中下层，3—中上层，4—上层柜子号：1—电控柜，2—净化台，3—炉体柜，4—气源柜，5—柜子间的转接线。

如电控柜中上层第35号零线编号为：13035 ；气源柜下层第89号线编号为：41189 ；

2.4电气转接端口定义

（注：以下的接口定义适用于修改后的WK92及WK93电气图纸）

3

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X2003:（Y2M-10TJ/ZK，净化台转接板至控制柜前门板）

脚号

1 2

V相指示灯火线

3

W相指示灯火线

4

净化台控制火线入

5

接触器线圈火线

照明灯火线

7

散热风扇火线

8

出舟提示线圈火线

作用 U相指示灯

火线

脚号 9 作用

常开阀

10

零线

X1103:（Y2M-19TJ/ZK，控制柜转接板至前面板）脚号作用脚号作用脚号作用

1

上电开关

火线入

2

上电开关火线出

3

加热开控制线出

4

5

急停开关控制线入

7

急停开关控制线出

8

加热关控制线入

9