扩散炉维修手册(M5111-4W、UM系列高温扩散、氧化系统).
扩散炉培训
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扩散炉培训
扩散—太阳能电池制造核心工序
1.28使用中的注意事项
8.压缩空气、 高纯N2 、高纯O2等各种气体进气压力设定值（气源柜 减压阀表读数）均应调在0.3～0.4Mpa 之内，太小会使得气动阀难以 开启以及质量流量控制器流量显示不稳定，太大则有可能损坏过滤器 及质量流量控制器。
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扩散炉培训
扩散—太阳能电池制造核心工序
1.27使用中的注意事项
5. 桨的位置调好后，基座上下、前后以及端头的俯仰调节螺钉均不得再 随意调动，否则在进出舟过程中极易造成石英挡板以及硅片的损坏，严 重的还会直接损坏石英管和桨。
6.石英炉门与桨的接触部位请定期进行清洗，防止由于工艺残留物堆积使 得滑动不畅造成石英门损坏。运行工艺时必须摇动挡板。
2. 测量方块电阻： 将“I”的指示灯切换至R□/ρ档，读取稳定值，并记录在
电池生产记录中， 重复以上步骤（注意炉里、炉中、炉口加以
区分。
3.判断是否返工 根据规定的工艺要求判断是否要返工，并及时调节扩散
的温度。将测试完的硅片卸到承载盒中，测量过程完毕。
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扩散—太阳能电池制造核心工序
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扩散—太阳能电池制造核心工序
1.18气路部分
氧气
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三氯氧 磷
三氯乙 烷
氮气
气路部分从左到右分别是氧 气. 清洗小氮. 扩散小氮. 大 氮. 需要用到气体时，系统会 自动开启气动阀。 清洗小
高温氧化扩散炉的工作原理
高温氧化扩散炉的工作原理高温氧化扩散炉是一种用于集成电路（IC）制造过程中的重要设备，它主要用于在硅片上形成氧化层、掺杂杂质和扩散杂质等工艺步骤。
下面将详细介绍高温氧化扩散炉的工作原理。
高温氧化扩散炉由炉膛、加热装置、气氛调节系统、控制系统和监测系统等组成。
其工作原理可分为三个主要步骤：预热、氧化和冷却。
首先，预热阶段。
在使用高温氧化扩散炉之前，需要对炉膛进行预热，使其达到工作温度。
预热一般分为两个阶段，首先是室温到400C之间的低温预热，其目的是预防因温度快速升高造成的炉膛损坏；然后是400C左右到工作温度的高温预热，这个阶段主要是为了使炉膛的温度稳定在工作温度。
其次，氧化阶段。
这个阶段是在工作温度下进行的，目的是在硅片表面形成一层氧化层。
工作温度一般在800C到1200C之间，具体温度取决于所需的氧化层厚度。
通常情况下，氧化阶段会持续一段时间，以确保氧化层的稳定性和质量。
在氧化过程中，氧气和惰性气体（如氮气）被搅拌并送入炉膛，氧气与硅片表面发生化学反应，生成二氧化硅（SiO2）薄膜。
氮气的作用是稀释氧气，防止氧气浓度过高，避免氧化层产生缺陷。
最后，冷却阶段。
在完成氧化过程后，炉膛需要冷却至室温，以便取出硅片。
冷却过程一般是逐渐降温，以避免快速温度变化对硅片的影响。
炉膛内部会通过风扇或其他冷却装置进行散热，以加快冷却速度。
冷却完毕后，可打开炉门取出硅片，经过下一步工艺处理。
在高温氧化扩散炉的工作过程中，温度、气氛和时间是三个主要的工艺参数。
温度控制是通过加热装置，如电阻丝或加热器等，将炉膛体系加热至设定温度，并通过温度传感器进行实时监测和控制。
气氛调节系统则通过气流控制和阀门调节，确保氧化过程中气氛的稳定性。
时间控制则是通过控制系统中的定时器或计时器实现，根据工艺要求设定氧化时间。
总结来说，高温氧化扩散炉的工作原理是通过施加高温、控制气氛和时间，实现在硅片表面形成氧化层，并完成杂质掺杂和扩散等工艺。
扩散炉安装说明书
M5111-4WP/UM系列软着陆闭管高温扩散/氧化系统 安装调试说明书中国电子科技集团公司第四十八研究所2009年10月目录1．概述 (1)2.设备的标识 (1)3.设备的安装 (1)3.1结构安装 (1)3.1.1安装要求 (1)3.1.2安装程序及注意事项 (2)3.2电气安装 (3)3.2.1安装要求 (3)3.2.2安装程序及注意事项 (3)4.关键部件的装调 (4)4.1 SiC桨及石英炉门的装调 (4)4.1.1开管装调步聚 (4)4.1.2 闭管装调步骤 (5)4.1.3 软着陆闭管装调步骤 (6)4.1.4注意事项 (10)4.2 真空部件的装调（如装备） (10)4.3 H/O合成部件的装调（如装备） (11)4.3.1装调步聚 (11)4.3.2注意事项 (11)4.4恒温区的调试方法及验收判据 (12)5.调试时的安全要求 (13)1．概述为了加强产品在安装调试过程中的质量控制、规范操作，确保设备合格率以及防止安全事故的发生，特制定高温扩散/氧化系统安装调试说明书；设备在出所前的装配调试以及调机人员在用户现户现场的安装调试均应严格按照此执行。
2.设备的标识1． 在设备的安装、调试及检验过程中，应在设备整体左端1.5米高处挂上设备的工作状态标识。
2． 设备的铭牌统一钉在净化操作台的后盖板底部。
3． 在设备中的强电裸露处和气源柜内应有相应的警示标识。
4． 在设备的安装、调试及检验过程中，视用电情况应在配电箱上设置“严禁拉闸”或“严禁合闸”标识。
3.设备的安装3.1结构安装3.1.1安装要求1． 设备应该在相对洁净的场地安装，装配人员在进入安装现场前应先换鞋；气路安装应在洁净度更高的专用房间内进行，非装配人员不得随意进入。
气路安装应严格按照《气路装配间管理规章制度》和《高温扩散/氧化系统气路装配技术规范》执行。
2． 装配前要由相应设计人员对送来的机架、门板以及机加工件等仔细核对尺寸、检查外观质量，如果不符合设计要求，应拒绝签收，同时与质管部门联系下一步的处理办法。
扩散炉常见故障整合
检查Paddle TC接头是否接触不良
检查paddle TC是否损坏 检查CPU模块错误指示灯是亮起 在手动情况下确认各个电机和Sense是否正常 检查各个电机到DMC的电缆是否损坏
7
在制程中卡桨
检查电机是否损坏 检查传动部分是否工作正常(丝杆和轴承) 检查电机到DMC的电缆是否接触不良或断裂
qx01主断路器断开1检查线路接点有无短路重新合上r12继电器不工作2更换同型号的继电器更换同型号的5a熔断器芯4上电按扭开关接触不良检查线路重新接线温控器上显示0000热电偶开路换新热电偶或重新热电偶及导线补偿导线与温控器接触不良系统显示超温报警并自动切断加热电源更换同型号的可控硅触发板炉体不升温不能自动进出上下舟1面板上的急停按扭处于按下位置松开急停按扭2极限限位开关没复位或损坏检查平移行程开关及上下光电开关3驱动器与计算机通讯不上检查或更换同型号电机炉门不能自动开关1进气压力不够压力报警检查线路或更换同型号的继电器5电磁阀或汽缸故障检查气路或更换气管无流量显示检查线路或更换同型号流量计tempress扩散炉tube尾气压力偏高检查尾气管是否被偏磷酸堵塞检查尾气压力控制器是否损坏或需要重新校正检查进入尾气压力控制器的氮气调节阀是否关闭tube尾气压力偏低检查炉管是否存在缺口或裂口检查炉门是否关闭不良检查炉门是否被偏磷酸腐蚀或磨损检查进入炉管的氮气气管或接头是否漏气检查进入尾气压力控制器的氮气调节阀是否调大各气路流量异常检查气路阀的气路气管或接头是否漏气检查气路阀气是否损坏检查气路流量计是否工作正常部分制程中paddletc温度偏高或偏低检查随温度升高加热区的输入功率是否正常如果有波动可让工艺做profiling检查spiketc是否与炉管接触良好全制程中paddletc温度较高或显示1499度检查paddletc接头是否接触不良检查paddletc是否损坏dmc通迅错误检查cpu模块错误指示灯是亮起在手动情况下确认各个电机和sense是否正常检查各个电机到dmc的电缆是否损坏检查电机是否损坏检查传动部分是否工作正常丝杆和轴承检查电机到dmc的电缆是否接触不良或断裂炉管无法升温检查温度控制器是否警报r2d机械手在自动或home中不移动检查控制y轴的保险丝是否烧断10r2d机械手在自动无法从桨上取舟检查工艺制程是否完成在r2d屏幕中检查输入输出通迅是否正常检查r2d机械手的触点开关是否工作正常检查shuttle上的触点开关是否工作正常11机械手在自动中无法从shuttle上取舟在r2d机械手屏幕中检查炉管的状态必要时清除检查r2d机械手的触点开关是否工作正常在r2d屏幕中检查输入输出通迅是否正常furnacespikefurnacespikefanfan如果压力低于当前设定值首先重新检测所有接口各路阀门以及炉门情
扩散炉使用说明
高温扩散炉使用说明书北京中联科利技术股份有限公司目录1．概述 (2)1．1产品特点 (2)1．2主要用途及适用范围 (2)1．3品种、规格 (2)1．4型号的组成及其代表意义 (2)2．结构特征与工作原理 (3)2．1总体结构 (3)2．2分部件结构 (3)2．3系统控制原理 (7)2．4系统各主要单元功能结构及工作原理 (7)3．主要性能指标 (10)4．安装、调试 (11)4．1安装条件 (11)4．2安装程序及注意事项 (11)4．3调试程序及注意事项 (12)4．4 SiC桨及石英炉门的装调 (13)4．5调试恒温区的方法及验收判据 (14)4．6工艺试运行 (15)5．使用、操作 (15)5．1温控仪的使用 (15)5．2恒温槽的操作使用 (16)5．3计算机的操作使用 (16)5．4操作过程中应注意事项 (16)6．常见故障分析与排除 (17)7．安全 (19)1．概述1.1产品特点本设备加热部分选用进口炉丝以及耐高温保温材料，炉体使用寿命长，保温性能好。
送片系统采用丝杠、导轨及SiC桨悬臂式推拉舟机构，可确保进出舟运行平稳，同时能有效地防止因磨擦而产生的粉尘污染。
温控部分采用了内外联合的控温方式，炉体内置5段控温热电偶，实时实地检测和控制炉内温度，从根本上保证了恒温区的精度和稳定性，彻底改变了常规扩散炉（炉外单控模式）必须靠不断拉恒温区，校准炉外温控仪与炉内实际温度的偏差来保证恒温区的控温方式。
气路部分的关键件均采用进口件，并具有完善的安全保护措施，可靠性好。
整机由计算机控制，各部分软、硬件联锁；操作部分采用先进的触摸屏技术，工艺参数的设置及运行均可在触摸屏上直接进行；自动化程度高、操作简便、可靠性好。
1.2主要用途及适用范围本设备主要用于6英寸、8英寸太阳能晶体硅电池片的扩散、氧化工艺；也可用于半导体器件制造中的扩散、氧化、退火及合金工艺，同时还适用于对其他材料的特殊温度处理。
1.3使用环境要求1.3.1 环境温度5～40℃。
四十八所扩散作业指导书现场版本_图文.
规范四十八所扩散炉常规维护项目的操作二、适用范围适用于佳诚太阳能有限公司电池车间扩散一到四线工序三、规范性引用文件四十八所扩散炉操作说明书四、职责设备人员:1、检查温控仪表及热电偶是否正常2、检查触摸屏是否偏移,矫正3、检查电气线路按钮开关及指示灯是否正常4、检查插片房风机是否正常5、检查变压器及炉体接线端子是否老化、发黑等现象6、保养完后,确认每台炉管加热、流量正常工艺人员:1、负责协助生产拆装废液瓶夹子2、检查有毒气体管道密封性和老化程度,是否需要更换生产员工:1、检查传动是否平滑,有无震动和异响,加润滑油2、清理净化滤网,必要时更换3、清理废气室及废气管滴下的偏磷酸4、检查恒温水槽不锈钢源瓶座是否有积水,清理5、检查恒温水槽液位是否过低;控温等是否正常6、检查气路是否有漏气现象,更换卡套和四通阀7、检查废液瓶内废液,是否需要清理五、设备主要技术参数 :六、设备介绍与操作1.1总体结构总体结构分为四大部分,见平面安装图 1,从右到左为:控制部分、推舟净化部分、电阻加热炉部分、气源部分。
图 1 软着陆扩散炉平面安装图1.2分部件结构1.2.1工控机控制框图见图 2。
图 2在控制柜的底层, 安装有四管控制系统的推舟控制装置、保护电路、电路转接控制板及各层的开关、保险等 , 前盖板上装有三相电源指示灯及照明、净化、抽风开关等。
该柜内有 220V 的交流电,也有 15V 、 5V 直流电和控制信号线,检修时请注意区分及安全,谨防接错和短路。
1.2.2推舟净化部分推舟净化柜的顶部装有照明灯;正面是悬臂桨推拉舟机构,推舟水平运动采用步进电机 +减速机 +同步带 +同步带轮的传动机构,推动悬臂桨水平移动;推舟垂直运动采用步进电机 +减速机 +升降机的驱动机构,推动推舟底板整体上下移动。
导轨的两端和上下运动的两端都装有限位开关和极限保护开关。
靠近炉口的净化柜顶部设有漏斗状的抽气罩,与外接抽风系统连接后,用来排掉出舟时散发的大量高温有毒气体。
扩散炉安全使用说明书
M5111-4W/UM系列高温扩散/氧化系统安全使用说明书中国电子科技集团公司第四十八研究所2007年2月目 录1．使用环境要求 (1)2．工作条件要求 (1)3．设备调试时注意事项 (1)4．设备使用注意事项 (2)5．运行H/O合成工艺注意事项 (4)6．真空系统注意事项 (5)7．化学品的安全使用 (6)8．气体的安全使用 (7)9． 保养与维修 (8)10、碳化硅制品使用说明 (8)11、石英器件使用说明 (11)1、使用环境要求1.1 环境温度5～40℃。
1.2 相对湿度＜75％。
1.3 海拔不超过2500m。
1.4 电网电压波动不超过额定值±10%。
1.5 环境洁净度不劣于：1000级。
1.6 有良好的抽风排毒系统，每管抽风量3000～5000L/min。
1.7 无高频及较强的磁场干扰。
2、工作条件要求2.1 供电：3Ф＋中线+地线，50HZ；设备功率：序号 反应管形式 炉膛内径 单台管数 单台总功率1 开管 Ф300mm 3管/台 105KVA2 开管 Ф300mm4管/台 140KVA3 闭管 Ф330mm3管/台 128KVA4 闭管 Ф330mm4管/台 170KVA5 闭管 Ф350mm4管/台 195KVA2.2 供水：3／4＂管供自来水，水压0.1～0.3MPa，冷却用；去离子水，清洗及工艺用。
2.3 供气：N2、O2 、H2、压缩空气，进气压力0.4～0.6Mpa，工艺气体纯度99.99﹪。
2.4 气源柜、废气室、净化台顶部均应接入排毒、排气管道。
2.5 设备应接入专用接地线，接地电阻≤3 Ω。
3、调试时注意事项3.1 逐柜、逐层上电，检查各部件上电情况，注意检查机壳是否带电。
3.2控制柜及气源柜上电，检查计算机、温控仪、温度保护仪、各控制开关、指示灯、电磁阀、质量流量控制器、流量计电源等是否正常。
在计算机手动操作屏上逐一试验，看对各器件的控制是否正确无误。
扩散炉维修手册(M5111-4W、UM系列高温扩散、氧化系统).
中国电子科技集团公司第四十八研究所M5111-4W/UM系列高温扩散/氧化系统维修手册中国电子科技集团公司第四十八研究所2007年6月中国电子科技集团公司第四十八研究所目录1．设备型号涵义 (1)1.1型号的组成 (1)1.2各代号涵义 (1)2．电气图纸的代号规定 (2)2.1电气制图代号定义 (2)2.2元器件编号规定······················2.3电气接线编号规定····················2.4电气转接端口定义····················2.5计算机转接端口定义···················3．故障判别与维修······················3.1温度控制系统·······················3.1.1温控仪上显示oooo····················3.1.2炉子不能升温······················3.1.3面板上的超温指示灯亮··················3.1.4炉温失控························3.1.5面板上的短路指示灯亮··················3.2自动推拉舟系统······················3.2.1不能自动进出舟·····················3.2.2不能自动停舟······················3.3气体流量控制系统····················3.3.1气动阀不能受控打开···················3.3.2触摸屏上无气体流量显示·················3.3.3气体流量总是显示最大值·················3.3.4气体流量显示值波动大··················3.4 H/O合成氧化系统····················3.4.1火不能点燃·······················3.4.2系统误报警·······················I （3）（3）（3）（7）（11）（11）（11）（11）（12）（12）（13）（13）（13）（14）（14）（14）（14）（15）（15）（16）（16）（16）中国电子科技集团公司第四十八研究所1．设备型号涵义1.1 型号的组成按照部颁标准，我所高温扩散/氧化系统的型号由如下代号组成：M 5 1 11 — 4 W / UM型 48所）类别代号（表面处理和薄膜淀积设备）1.2 各代号涵义1300℃3〞硅片工艺4〞硅片工艺6〞硅片工艺8〞硅片工艺1中国电子科技集团公司第四十八研究所2．电气图纸的代号规定2.1电气制图代号定义按照国家电气制图标准，我所常用电气图纸器件代号如下：代号ABCEFGHJKLMNPQRSTUVWXYZ 代号意义计算机及板卡、步进电机驱动器、印制电路板、带触发电路的可控硅模块、氢气报警器、湿度计、冷阱、触摸显示器薄膜规、热电偶、接近开关、光电开关电容加热器、扩散泵、照明灯熔断器开关电源、直流电源指示灯、报警器温控仪固态继电器、交流接触器、交流继电器、直流继电器、延时继电器三相总进线，分为：L1、L2、L3 真空泵、轴流风机、净化风机零线质量流量控制器、水压开关、水流开关、电接点压力表、真空计、记录仪、电流表、电压表、检测器件断路器、空气开关电阻、电位器、热敏电阻、压敏电阻按钮开关、旋钮开关、急停开关、行程开关、液位开关、接近开关变压器、调压器、电压互感器、电流互感器旋转编码器、变频器、整流器晶体管、晶闸管、可控硅模块、发光二极管、规管、光敏管导线、电缆接线排、端子排、连接片（XB）、电缆封端、接线板、普通插头座、航空插头座（头可采用XP、座可采用XS）电磁阀、电磁离合器、气动阀滤波器2中国电子科技集团公司第四十八研究所2.2元器件编号规定* * * * *如电控柜中下层第5号插头座编号为：X1205 ；净化台照明开关的编号为：S20052.3电气接线编号规定* * * **连接线序号，零线号从001～099 ；其他线号从101～999 。
扩散炉维修手册
M5111-4W/UM系列高温扩散/氧化系统维修手册中国电子科技集团公司第四十八研究所2007年2月目录1．设备型号涵义 (1)1.1型号的组成 (1)1.2各代号涵义 (1)2．电气图纸的代号规定 (2)2.1电气制图代号定义 (2)2.2元器件编号规定 (3)2.3电气接线编号规定 (3)2.4电气转接端口定义 (3)2.5计算机转接端口定义 (7)3．故障判别与维修 (11)3.1温度控制系统 (11)3.1.1温控仪上显示oooo (11)3.1.2炉子不能升温 (11)3.1.3面板上的超温指示灯亮 (12)3.1.4炉温失控 (12)3.1.5面板上的短路指示灯亮 (13)3.2自动推拉舟系统 (13)3.2.1不能自动进出舟 (13)3.2.2不能自动停舟 (14)3.3气体流量控制系统 (14)3.3.1气动阀不能受控打开 (14)3.3.2触摸屏上无气体流量显示 (14)3.3.3气体流量总是显示最大值 (15)3.3.4气体流量显示值波动大 (15)3.4 H/O合成氧化系统 (16)3.4.1火不能点燃 (16)3.4.2系统误报警 (16)1．设备型号涵义1.1 型号的组成按照部颁标准，我所高温扩散/氧化系统的型号由如下代号组成：M 5 1 11 — 4 W / UM型所企业代号（中国电子科技集团公司第48所）特点代号设计顺序号主参数（1100℃）品种代号（扩散设备）形式代号（掺杂设备）类别代号（表面处理和薄膜淀积设备）1.2 各代号涵义M 薄膜淀积设备5 掺杂设备1 扩散掺杂设备13 主参数，最高使用温度1300℃1 炉膛有效内径φ150mm，适用于3〞硅片工艺2 炉膛有效内径φ180mm，适用于4〞硅片工艺3 炉膛有效内径φ250mm，适用于6〞硅片工艺4 炉膛有效内径φ300mm，适用于8〞硅片工艺W 微控H 悬臂舟A 内燃式B 外燃式S 双温区2．电气图纸的代号规定2.1电气制图代号定义按照国家电气制图标准，我所常用电气图纸器件代号如下：2.2元器件编号规定* * * * *0—公共器件，1—下层，2—中下层，3—中上层，4—上层 1—电控柜，2—净化台，3—炉体柜，4—气源柜如电控柜中下层第5号插头座编号为：X1205 ；净化台照明开关的编号为：S20052.3电气接线编号规定* * * * *001～099 ；其他线号从101～999 。
热扩散专用感应加热电源维护和检修指导手册
第三节
3.1 电源基本结构说明
电源的使用及维护
感应加热电源主要分为四个部分： 整流桥、 电抗器滤波和保护电路、 逆变桥、 控制电路，其原理框图如图 3 所示。 电源机柜正面门打开后， 如图 4 所示。从照片可以看到左侧门内上部为控制 箱， 包括电源主要的 7 块控制板、 显示仪表和调整器件。 左侧门内下部为启动板， 布置有控制电开关、 控制电各路保险、 控制供电变压器、 控制电路用采样变压器、 同步变压器、霍尔板（用于直流电压和直流电流的信号采样，并供给生产线主控 PLC）和接线端子（电源外部控制电路的接口） 。 右侧门内上部为保护电路的元器件和过压保护板， 下部为单相逆变桥的电气 元件和驱动电路板。 图 5 为电源的右后门打开照片，上部为主电源开关和整流桥的电气元件，下 部为滤波电抗器和电流霍尔元件。
f
L
1 2 LC
(1)
R
Z
L RC
(2)
图 1 常规并联谐振负载电路原理图
而在热扩散感应加热炉中， 采用了电容升压的并联谐振电路，原理框图如图 2 所示，其中 C1 称为谐振电容，C2 称为升压电容，电路的固有频率和阻抗可由 公式（3）和（4）计算得到。
采用了电容升压方式， 目的是为了能够匹配感应器两端的电压，改变负载的 固有阻抗和频率。简单来说，加入 C2 之后，感应器电压提高（C1+C2）/C2 倍， 同时负载的阻抗降低 C2/（C1+C2）倍，同时加热炉的固有频率也发生变化。
热炉内部结露现象，严重影响加热系统的安全，因此冷却的水温应控制在 25～ 35℃之间。 5）电源内部电气元件的检查：感应加热热扩散为生产线上的关键工艺和设 备，每次开机以及运行过程中，应对电源内部的相关元气件和指示表进行检查， 包括控制电源指示是否正常； 控制回路保险是否正常；控制电源变压器是否有过 热现象；主要元气件是否正常（IGBT、快恢复二极管、可控硅，检查方法参见第 三节内容） ；电源运行状态是否有异常（频率和阻抗，参见第四节内容） 。
扩散炉的安装调整
用手触摸尾 管来感知尾 管的温度。 注意不要烫 伤手指。
石英炉盖与石英炉 口的密封
炉盖与炉口的密封可用一 个橡皮圈实现。但橡皮圈 不能承受超过一千度的高 温，而且橡皮圈也不能保 证炉口密封的效果。 然而，实践中发现，没有 橡皮圈也可以达到密封的 效果。但要保证炉口没有 碎硅片或磷源的干块等物 体。
在炉管清洗安装及使用过程中需要注意的事项
1。炉体的清洁
我发现大部分北京扩散炉的排毒箱内都有大量的粉尘， 可能是隔热封装材料的粉末，还有金属切割的碎屑。 这些都应当在安装炉管前后清理干净。也可在降温维 修时将其清理干净。 偏磷酸石英收集槽和不锈钢收集槽必须经常打扫干净， 防止偏磷酸将排毒箱腐蚀坏。收集偏磷酸的石英槽可 在每十天一次的半天设备维护时，将炉温下降到200300度后，用 Teflon 管将石英槽内的偏磷酸以虹吸 法吸出。
不锈钢 压力环 必须接 触炉门 小弹簧 的固定 螺杆 弹簧螺 杆的固 定螺母
4个炉门小弹簧的调整
小弹簧的螺 杆要在炉门 关闭时与碳 化硅板分离 1到2毫米
小弹簧的 螺杆要用 两个螺母 相互咬死
炉门安装的检查
炉门的密封机构安装完毕后，或发现冷尾管、对炉门调整之后， 要对炉门的安装作如下的检查。
两个螺 母相互 咬紧， 前一个 螺母接 触碳化 硅盘。
炉管口的清洁维持
发现缺口或硬块，损坏的橡皮圈 要及时更换，完好的橡皮圈要经常清理。
清理时炉温要降到200-300度，硬块、碎硅片用 石英片刮除。再用超净布打湿去离子水擦干净。 同时擦净橡皮圈和炉门其它部分的干源块。 （利用10天一次的半天设备维修时间，降温2小 时，清洗1小时，升温后以正常扩散条件作一次 饱和，在进行扩散）。
观察此定位螺丝(X3) 观察此压脚（X3） 是否后退约3毫米 是否压住炉门 观察此压环是否 观察此定位螺丝（X4) 全部压住炉门 是否后退约1-2毫米
48所扩散炉及刻蚀机参数
M5111-4WL/UM型高温扩散/氧化系统主要技术指标及使用条件设备主要由电控柜1个、净化操作台1个、加热炉柜1个及气源柜1个四部分组成。
1.主要技术指标1.1 炉膛有效内径φ350mm（适应石英管内径φ320mm）；1.2 温度控制范围：400~1100℃；1.3恒温区长度及精度：≤±1℃/1080mm （801～1100℃）≤±1.5℃/1080mm （400～800℃）；1.4 单点温度稳定性：≤±1℃ /4h （880℃时）；1.5 温度斜变能力:最大升温速率: 15℃/min最大降温速率: 5℃/ min ；1.6具有自动斜率升降温及恒温功能；1.7内置Profile TC 实时显示工艺过程恒温区内前、中、后三点的实际温度；1.8尾气收集方式：尾部集中收集，定向排放；1.9 具有超温、断偶、短路、断气等报警和保护功能；1.10 净化工作台净化级别：1000级（环境10000级）；1.11 送片方式：采用SiC悬臂桨自动送片机构，速度20～500mm/min.连续可调；定位精度:≤±2mm，SiC桨最大载片承重 14Kg；1.12 工艺过程由工控计算机全自动控制，直接在触摸屏上操作；1.13 可存储100条工艺曲线、每条曲线不少于30个拐点；1.14 设备总功率: ≤150KVA（3管）；1.15 炉管温控系统采用五段控温。
2.使用环境要求：2.1电力供应：三相五线供电， 380VAC、50Hz,电压波动不大于±10%，频率波动不大于±1%，谐波误差小于5%2.2气源供应：供应气压0.4～0.8Mpa,压缩空气：压力0.4～0.6Mpa,用于气动阀门的的开启，设备预留3/8”接口。
2.3水源供应：去离子冷却水或软化水，水温：18℃～25℃，水压0.1～0.2Mpa ，设备预留4分内丝接口。
2.4 排废：气源柜、炉体柜、废气室及净化操作台顶部均要求有密封负压，抽气管与设备相连，总抽气流量≥6000L/；另尾气排放管道单独设立管径φ60mm，排气口压力不小于-450Pa.2.5 使用环境：环境要求优于10000级，5～40℃，相对湿度小于60%。
北方华创立式扩散炉使用手册
北方华创立式扩散炉使用手册
立式扩散炉是北方华创生产的一种高温电炉，可以应用于各种金属材料，玻璃，陶瓷等材料的高温氧化气氛处理。
立式扩散炉使用手册是立式扩散炉使用的最重要的参考资料之一1.炉膛温度：当扩散炉温度高于900°C时，炉膛内的高温气体（通常为空气）需要在冷却条件下排除。
2.电极：在使用立式炉管时，可以直接把电极插入石墨管中进行加热。
3.加热方式：用电-热电方式对金属材料进行加热，可以实现对不同元素的选择性氧化。
4.操作规程：1 •操作人员必须熟悉本设备的工作原理，并掌握必要的操作技能。
2- 为了保证设备正常运转和安全操作，应经常检查设备各部位（特别是电热元件）及加热器绝缘情况并作好记录；对于易损坏处应及时更换；发现设备有异常现象应及时处理。
3•当发现设备出现烧损、开裂等现象。
德国扩散炉故障处理
德国扩散炉故障处理Centrotherm德国扩散炉一．故障分析与排除1.1 Process exhaust suction high alarm level 工艺废气抽风超出上限报警（上限值3mbar）。
解决措施：(1)查看气源柜顶部排废传感器有无问题,拔出进气管道,屏幕显示流量是否变化，无变化说明传感器坏,需检修。
(2)如流量显示正常,测量其管道内抽风是否正常，有异常通知外围动力设施调节流量。
1.2 Process exhaust suction low alarm level 工艺废气抽风超出下限报警（上限值0.3mbar）。
解决措施：(1)查看气源柜顶部排废传感器有无问题,拔出进气管道,屏幕显示流量是否变化，无变化说明传感器坏,需检修。
(2)如流量显示正常,测量其管道内抽风是否正常，有异常通知外围动力设施调节流量。
1.3 Excess temp heating zone high alarm level 该加热区域温度过高,上限抱警（上限值1100度）。
解决措施：(1) 检查该区域的温度设定值显示值是否正常。
(2) 重新设定加热温度(要求设定值和显示值差值在200以下)。
(3) 检修加热系统。
1.4 Gas pocl3-out of 1 st tolerance 气体三氯氧磷源温度超出规定的公差值（3度）。
解决措施：（1）查看设备操作软件上，源温设定值和显示值，计算之间的差值，检查源温控制器设定的公差报警值是否在允许范围之中。
（2）检查三氯氧磷源瓶中的测温器在指定的位置，传感器测温正常。
（3）检查装源瓶载体盖子是否紧闭，关闭正常。
（4）检查源温控制器和设备主机是否通信（REMOTE灯亮）。
（5）检修恒温槽整体。
1.5 Handing stop 手动停止。
解决措施：（1）设备报警灯红色报警显示，设备打在手动状态（手动按钮启动）。
（2）检查设备装载区的的平移柜门是否打开。
（3）检查柜门关闭的位置传感器是否动作，调整紧固。
扩散炉操作培训
关机操作（ 关机操作（一）
1、检查并确定各管工艺已运行完毕，设定“Paddle”温度为500℃： 按下“Manual/T_Paddle/All/Setpoint”,输入“500”并按 “ENTER” 确认。 2 2、逆时针旋转TGA顶部调压阀，关闭炉门的压缩空气，使压力为零。 TGA
关机操作（ 关机操作（二）
维护保养（ 维护保养（一）
1、清理冷却瓶和过滤瓶的偏磷酸。 、清理冷却瓶和过滤瓶的偏磷酸。 2、检查并更换聚四氟密封圈。 、检查并更换聚四氟密封圈。
维护保养（ 维护保养（二）
3、检查并清理气柜抽风管道下部的偏磷酸。 、检查并清理气柜抽风管道下部的偏磷酸。 4、清理冷阱内部和盛放冷凝瓶的接液盘。 、清理冷阱内部和盛放冷凝瓶的接液盘。
开机操作（ 开机操作（五）
9、当温度到达500℃ 时，用手推动炉门 的气缸，使炉门关 闭。 10、顺时针打开TGA 上部调压阀，使压 缩空气压力恢复到 4Bar左右。
开机操作（ 开机操作（六）
11、打开恒温箱控制器的 黑色电源开关，检查 并确认设定温度20℃； 按下“RUN”按钮， 启动恒温箱。当实际 温度达到设定温度后， 才可生产。 12、当源瓶的磷源用尽需 要更换时，恒温控制 器会有液位报警提示， 需更换新的磷源。
生产操作（ 生产操作（八）
15、当工艺运行完，自动取舟到“Storage”位置冷却；冷却后“Slider”自动取舟到下料 位置并伴有蜂鸣提示，进行取舟卸片和测试方块电阻；再放上需要扩散的舟。 16、同时CMI电脑弹出“Boat Info”界面，点击“Unload done”按钮，在软件中完成卸 舟信息。 17、进入“Boat Info Mode Select”界面，选择“Wafer（Production wafer with host validation）”项，点击“OK”按钮。
高温氧化扩散炉的工作原理
高温氧化扩散炉的工作原理高温氧化扩散炉是一种用于制备半导体器件的设备，其工作原理如下：1. 炉腔加热：高温氧化扩散炉的炉腔通常由石英或石英包覆的金属材料构成，可容纳待处理的半导体器件或衬底。
炉腔内壁周围有加热元件，如电阻丝或电热管，用于加热炉腔至所需的高温。
2. 氧化源和气体流量控制：高温氧化扩散炉通过进气口引入氧化源，通常是氧气（O2）或氮氧化物（如氮氧化物NO、二氧化氮NO2），将氧化源送入炉腔内。
同时，还会引入稀释气体，如氢气（H2），用于调节氧化源的浓度和扩散速度。
气体流量由流量控制器控制，以确保稳定的进气条件。
3. 氧化反应：一旦稳定的氧化源和稀释气体流入炉腔，其与待处理的半导体器件或衬底发生反应。
在高温下，氧化源中的氧化物分子会与半导体材料表面上的元素发生反应，形成一个薄的氧化层。
这个氧化层具有不同的厚度，可以控制或改变半导体器件的电学性质。
4. 温度控制和压力控制：高温氧化扩散炉通过加热元件和传感器实时监测和调节炉腔内的温度，以确保反应条件的稳定性和一致性。
此外，炉腔的压力也需要控制，通常通过排出炉腔内的废气并使用真空泵来维持恒定的压力。
5. 冷却和后续处理：完成氧化反应后，半导体器件或衬底需要冷却至室温。
冷却过程可以通过减少加热元件的能量输入或使用辅助冷却装置来实现。
一旦冷却完成，半导体器件可以进行后续的加工步骤，如清洗、薄膜沉积或电极定义等。
总体而言，高温氧化扩散炉通过加热炉腔、控制进气流量和温度，以及监测和调节压力，实现对半导体材料的氧化及扩散过程的控制。
这一过程对于半导体器件的性能和性质具有重要影响，因此高温氧化扩散炉在半导体工业中扮演着重要的角色。
工业高温热风炉维修手册
工业高温热风炉维修手册随着工业化进程的不断加快，工业设备的维护保养变得尤为重要。
在众多的工业设备中，高温热风炉是常见的一种。
本手册旨在为工业高温热风炉的维修提供指导，以确保其正常运行和延长使用寿命。
一、维修前的准备工作1. 安全措施在进行任何维修工作之前，必须确保维修人员了解和遵守相关的安全操作规程。
戴上适当的防护设备，如安全帽、护目镜、手套等，以降低维修过程中的可能风险。
2. 工具准备准备常用的工具，如扳手、螺丝刀、气动工具等，并确保其良好的工作状态。
同时，关注工具的保养和维修，以确保其安全可靠的使用。
3. 环境检查在维修开始之前，要对维修现场进行环境检查。
确保工作区域干燥、通风良好，并清理可能存在的杂物和障碍物，以保障工作的顺利进行。
二、维修流程1. 故障诊断当高温热风炉出现故障时，首先需要进行仔细的故障诊断。
通过观察、检测和测试，确定故障原因的具体位置，并对故障进行分类。
2. 维修方案根据故障的具体情况，制定相应的维修方案。
在制定方案时，要考虑到维修的时间、所需材料和设备，以及相关的维修技巧。
3. 维修操作根据维修方案，执行相应的维修操作。
在进行维修操作时，注意遵循操作规程和正确的操作步骤，以确保维修过程的安全和有效。
4. 维修记录在维修过程中，应做好详细的维修记录。
记录故障原因、维修操作、使用的材料和工具等信息，以便后续参考和维护。
三、常见故障及维修方法以下为一些常见的高温热风炉故障及相应的维修方法：1. 炉体漏风故障原因：炉体密封不严，导致漏风现象。
维修方法：检查炉体密封件的状态，如有磨损或老化，应及时更换。
排查漏风口的位置，做好密封工作。
2. 燃烧不洁净故障原因：燃烧系统存在堵塞或脱位，导致燃烧不洁净。
维修方法：清理燃烧系统中的堵塞物，确保燃气的顺畅流动。
调整燃烧器的位置，使燃烧更加均匀。
3. 温度控制失效故障原因：温度控制系统出现故障，无法准确控制炉内温度。
维修方法：检查温度控制器和传感器的工作状态，确保其正常运行。
扩散炉常见故障及维护讲解
Tempress扩散炉
1 TUBE尾气压力偏高 2 TUBE尾气压力偏低
3 各气路流量异常 4 部分制程中Paddle TC温度偏高或偏低
检查尾气管是否被偏磷酸堵塞 检查尾气压力控制器是否损坏或需要重新校正 检查进入尾气压力控制器的氮气调节阀是否关闭 检查炉管是否存在缺口或裂口 检查炉门是否关闭不良 检查炉门是否被偏磷酸腐蚀或磨损 检查进入炉管的氮气气管或接头是否漏气 检查进入尾气压力控制器的氮气调节阀是否调大 检查气路阀的气路气管或接头是否漏气 检查气路阀气是否损坏 检查气路流量计是否工作正常
1－CPU模 2－电机驱动单元 3－Interface板
二．各个伺服单元位置的校正
1.当清除CPU模块内存后,扩散炉会自动自动执行校准，炉门和桨的上升下降伺服电机会自 动运行，确认当前的位置, 这时door和haight两个伺服电机的“Position Valid”和 “Calibrated”均显示为YES.
2.当炉门同桨上升下降位确认后,请确认桨是否有前进,如果没有,请选择第九号test程序.
3.将test程序桨的到达位置更改为2550mm, 执行该程序．炉门会自动打开并且桨会起进入 炉管内，到达end sensor位置.完成程序．
4.将test程序桨的到达位置更改为10mm，执行该程序．桨将返回home sensor位置，炉门关 闭，完成loader位置的校准．
48所扩散炉
1 按下进舟按钮时,将不移动 1 警报灯这,显示ER.01 2 警报灯这,显示ER.03
3 警报灯这,显示ER.19（温度过升）
4 警报灯这,显示ER.20（空烧异常）
检查将是否后退太多导致限位触点压下 48所恒温槽 检查温度传感器是否断线,异常 检查恒温槽电压是否异常 检查加热丝是否断线 检查循环泵是否卡死 检查冷却器是否损坏 检查水位是否不够（适当水位是从顶部往下约3MM） 检查浮动开关是否卡死或损坏
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中国电子科技集团公司第四十八研究所M5111-4W/UM系列高温扩散/氧化系统维修手册中国电子科技集团公司第四十八研究所2007年6月中国电子科技集团公司第四十八研究所目录1．设备型号涵义 (1)1.1型号的组成 (1)1.2各代号涵义 (1)2．电气图纸的代号规定 (2)2.1电气制图代号定义 (2)2.2元器件编号规定······················2.3电气接线编号规定····················2.4电气转接端口定义····················2.5计算机转接端口定义···················3．故障判别与维修······················3.1温度控制系统·······················3.1.1温控仪上显示oooo····················3.1.2炉子不能升温······················3.1.3面板上的超温指示灯亮··················3.1.4炉温失控························3.1.5面板上的短路指示灯亮··················3.2自动推拉舟系统······················3.2.1不能自动进出舟·····················3.2.2不能自动停舟······················3.3气体流量控制系统····················3.3.1气动阀不能受控打开···················3.3.2触摸屏上无气体流量显示·················3.3.3气体流量总是显示最大值·················3.3.4气体流量显示值波动大··················3.4 H/O合成氧化系统····················3.4.1火不能点燃·······················3.4.2系统误报警·······················I （3）（3）（3）（7）（11）（11）（11）（11）（12）（12）（13）（13）（13）（14）（14）（14）（14）（15）（15）（16）（16）（16）中国电子科技集团公司第四十八研究所1．设备型号涵义1.1 型号的组成按照部颁标准，我所高温扩散/氧化系统的型号由如下代号组成：M 5 1 11 — 4 W / UM型 48所）类别代号（表面处理和薄膜淀积设备）1.2 各代号涵义1300℃3〞硅片工艺4〞硅片工艺6〞硅片工艺8〞硅片工艺1中国电子科技集团公司第四十八研究所2．电气图纸的代号规定2.1电气制图代号定义按照国家电气制图标准，我所常用电气图纸器件代号如下：代号ABCEFGHJKLMNPQRSTUVWXYZ 代号意义计算机及板卡、步进电机驱动器、印制电路板、带触发电路的可控硅模块、氢气报警器、湿度计、冷阱、触摸显示器薄膜规、热电偶、接近开关、光电开关电容加热器、扩散泵、照明灯熔断器开关电源、直流电源指示灯、报警器温控仪固态继电器、交流接触器、交流继电器、直流继电器、延时继电器三相总进线，分为：L1、L2、L3 真空泵、轴流风机、净化风机零线质量流量控制器、水压开关、水流开关、电接点压力表、真空计、记录仪、电流表、电压表、检测器件断路器、空气开关电阻、电位器、热敏电阻、压敏电阻按钮开关、旋钮开关、急停开关、行程开关、液位开关、接近开关变压器、调压器、电压互感器、电流互感器旋转编码器、变频器、整流器晶体管、晶闸管、可控硅模块、发光二极管、规管、光敏管导线、电缆接线排、端子排、连接片（XB）、电缆封端、接线板、普通插头座、航空插头座（头可采用XP、座可采用XS）电磁阀、电磁离合器、气动阀滤波器2中国电子科技集团公司第四十八研究所2.2元器件编号规定* * * * *如电控柜中下层第5号插头座编号为：X1205 ；净化台照明开关的编号为：S20052.3电气接线编号规定* * * **连接线序号，零线号从001～099 ；其他线号从101～999 。
层号：0—公共器件线，1—下层，2—中下层，3—中上层，4—上层柜子号：1—电控柜，2—净化台，3—炉体柜，4—气源柜，5—柜子间的转接线。
如电控柜中上层第35号零线编号为：13035 ；气源柜下层第89号线编号为：41189 ；2.4电气转接端口定义（注：以下的接口定义适用于修改后的WK92及WK93电气图纸）3中国电子科技集团公司第四十八研究所X2003:（Y2M-10TJ/ZK，净化台转接板至控制柜前门板）脚号1 2V相指示灯火线3W相指示灯火线4净化台控制火线入5接触器线圈火线照明灯火线7散热风扇火线8出舟提示线圈火线作用 U相指示灯火线脚号 9 作用常开阀10零线X1103:（Y2M-19TJ/ZK，控制柜转接板至前面板）脚号作用脚号作用脚号作用1上电开关火线入2上电开关火线出3加热开控制线出45急停开关控制线入7急停开关控制线出8加热关控制线入9消声开关报警线入10漏氢指示灯火线11火未燃指示灯火线12超温指示灯火线13工艺指示灯火线14短路指示灯火线15加热开指示灯火线16加热关指示灯火线17加热关控制线出18前面板工作火线19前面板工作零线X1104:（Y2M-10TJ/ZK，控制柜转接板至后面板）脚号作用脚号作用1后面板工作火线2后面板工作零线3报警输出4温控Ⅰ输出＋5温控Ⅱ输出＋温控Ⅲ输出＋7温控Ⅳ输出+8温控Ⅴ输出+9温控输出COM10X1105:（Y2M-19TJ/ZK，控制柜转接板至固态继电器板）脚号作用脚号作用1扩散小氮2大氮3 4 5氢气清洗小氮7 8大（干）氧湿（小）氧D/O备用一 D/O备用二9设备异常灯塔指示灯10 11 12工艺灯13热偶短路报警1415出舟音乐提示16净化风机启动D/O备用四 D/O备用五脚号作用17指示灯火线入18电磁阀火线入194中国电子科技集团公司第四十八研究所X1106:（Y2M-14TJ/ZK，控制柜转接板至X1119 D型25芯针）脚号作用脚号1扩散小氮流量检测2大氮流量检测3 4 5氢气流量检测6清洗小氮流量检测扩散小氮源瓶压力检测8清洗小氮源瓶压力检测大（干）氧湿（小）氧流量检测流量检测9 10 11 12A.GND、G.GND13OPTO14点火信号作用 A/D备用一（风量检测） FREE（启DIR（方向动电平）电平）X1107:（Y2M-24TJ/ZK，控制柜转接板至X1120 D型37芯针）脚号作用脚号作用脚号作用1扩散小氮流量设定2大氮流量设定3 4 5氢气流量设定6清洗小氮流量设定前限位8后限位大（干）氧湿（小）氧流量设定流量设定9急停状态10断水状态11极限保护12炉体开状态13火未燃14火已燃15漏氢16点火温度到17超温18 19 20A.GND、G.GND21222324D/I备用CP（脉冲输（POCL3泄出）漏检测）X1119:（25针D型插头，A/D、D/O信号至计算机）脚号1 2 3 4 5氢气流量检测6清洗小氮流量检测扩散小氮源瓶压力检测8清洗小氮源瓶压力检测作用扩散小氮大氮流量检流量检测测脚号 9 10 作用 A/D备用一（风量检测）脚号 17 作用大（干）氧湿（小）氧流量检测流量检测11DIR（方向电平）12A.GND、G.GND13OPTO141516181920212223FREE（启动电平）24点火信号X1120:（37针D型插头，D/I、D/A信号至计算机）脚号作用脚号作用脚号1前限位2急停状态3极限保护4火未燃5漏氢6超温89101112131415湿氧流量设定161718 19 20521 22 23 24中国电子科技集团公司第四十八研究所作用脚号作用氢气流量设定清洗小氮流量设定后限位断水状态炉体开状态火已燃点火温度到25D/I备用（POCL3泄漏检测）262728CP29扩散小氮流量设定3031大氮流量设定32脚号作用33干氧流量设定3435A.GND、G.GND3637X1108:（Y2M-10TJ/ZK，控制柜转接板至净化台）脚号作用脚号作用1步进电机A+2步进电机A－3步进电机B+4步进电机B-5前限位6后限位7限位COM910极限保护X1109:（Y2M-19TJ/ZK，控制柜转接板至功率板X3102）脚号作用脚号作用脚号作用1温控Ⅰ触发信号2温控Ⅱ触发信号3温控Ⅲ触发信号4温控Ⅳ触发信号5温控Ⅴ触发信号6触发信号COM7+15V触发板GND9功率板零线引入101112131415加热开指示灯火线16加热关指示灯火线17接触器线圈火线18自锁开关触点出线19控制电源火线入X1110或X4101（Y2M-32TJ/ZK，控制柜转接板至气源柜转接板）脚号作用脚号1扩散小氮流量设定2 3 4 5氢气流量设定6清洗小氮流量设定7扩散小氮流量检测大氮流量检测大氮干（大）氧湿（小）氧流量设定流量设定流量设定9 10 11氢气流量检测12清洗小氮流量检测13扩散小氮源瓶压力检测14清洗小氮源瓶压力检测15A/D备用一(风量检测)16作用干（大）氧湿（小）氧流量检测流量检测脚号作用17181920 2122温度到23点火信号24D/I备用（POCL3泄漏检测）6中国电子科技集团公司第四十八研究所脚号作用25断水状态26火已燃2728293031+15V32COMX1111或X4102:（Y2M-14 TJ/ZK，控制柜转接板至气源柜转接板）脚号作用脚号作用1扩散小氮电磁阀2大氮电磁阀3干（大）氧电磁阀4湿（小）氧电磁阀5氢气电磁阀6清洗小氮电磁阀7火未燃报警8漏氢报警10D/O备用线111121314气源柜火线入X4114:（Y2M-10TJ/ZK，气源柜转接板至电磁阀）脚号作用脚号作用1扩散小氮2大氮3 4 5氢气或氮氢混合气6清洗小氮78干（大）氧湿（小）氧或气帘氮常开阀10零线X4105-X4110:（Y2M-7TJ/ZK，至质量流量计）脚号作用1流量设定2COM3流量检测4COM5＋15V6－15V7X4105:至扩散小氮质量流量计 X4106:至大氮质量流量计 X4107:至大（干）氧质量流量计 X4108:至湿（小）氧质量流量计 X4109:至氢气或氮氢混合气质量流量计X4110:至清洗小氮质量流量计（注：修改后与扩散小氮共用） X4113:冷阱电源插座（～220V）P4101-P4107:（9芯D型插头，STEC 质量流量计）脚号6 4 27 3 57中国电子科技集团公司第四十八研究所作用流量设定COM流量检测COM＋15V－15VP4101-P4107:（15芯D型插头，BROOKS 质量流量计）脚号作用8流量设定1COM2流量检测10和9COM5＋15V6－15VP4101-P4107:（15芯D型插头，七星华创质量流量计）脚号作用4流量设定3COM7流量检测6和8COM15＋15V11和12－15VP4101-P4107:（20芯扁平插头，UNIT 质量流量计）脚号作用A流量设定2COM3流量检测B和CCOM4＋15VF－15V（注：以下接口定义的适用于修改前的WK80及WK49等其它图号的电气图纸）X2003:（Y2M-10TJ/ZK，净化台转接板至控制柜前门板）脚号1 2V相指示灯火线3W相指示灯火线4净化台控制火线入5接触器线圈火线6照明灯火线7散热风扇火线8出舟提示线圈火线作用 U相指示灯火线脚号 9 作用常开阀零线X1103:（Y2M-19TJ/ZK，控制柜转接板至前面板）脚号作用脚号作用脚号作用1上电开关火线入2上电开关火线出3加热开控制线出456急停开关控制线入7急停开关控制线出8加热关控制线入9消声开关报警线入漏氢指示灯火线11火未燃指示灯火线12超温指示灯火线13工艺指示灯火线14短路指示灯火线15加热开指示灯火线16加热关指示灯火线17加热关控制线出18前面板工作火线19前面板工作零线8中国电子科技集团公司第四十八研究所X1104:（Y2M-7TJ/ZK或Y2M-14TJ/ZK，控制柜转接板至后面板）脚号作用脚号作用1后面板工作火线2后面板工作零线3报警输出4左温控输出＋5中温控输出＋6右温控输出＋7温控输出COM8左温控外热偶＋9左温控外热偶－10中温控外热偶＋中温控外热偶－1213右温控外热偶＋14右温控外热偶－X1105:（Y2M-19TJ/ZK，控制柜转接板至固态继电器板）脚号作用脚号作用脚号作用1扩散小氮2大氮3 4 5氢气6清洗小氮7冷阱开8湿氧开大（干）氧湿（小）氧9扩散小氮后阀10湿（小）氧后阀清洗小氮后阀12工艺灯13热偶短路报警14散热风扇15出舟音乐提示16净化风机启动17指示灯火线入18电磁阀火线入19净化台火线入20 21 22 23 24X1106:（Y2M-24TJ/ZK，控制柜转接板至X1119和X1120）脚号作用脚号1扩散小氮流量设定2大氮流量设定3 4 5氢气流量设定6清洗小氮流量设定7扩散小氮流量检测8大氮流量检测大（干）氧湿（小）氧流量设定流量设定9 10 11氢气流量检测12清洗小氮流量检测13火已燃14点火温度到15火未燃16漏氢作用大（干）氧湿（小）氧流量检测流量检测脚号 17 18 作用点火信号A.GND、G.GND19前限位20后限位21CP（脉冲输出）22DIR（方向电平）23FREE（启动电平）24OPTOX1119:（25针D型插头，A/D、D/A信号至计算机）脚号作用脚号作用脚号作用1扩散小氮流量设定23大氮流量设定45大（干）氧流量设定67A.GND8扩散小氮流量检测9大氮流量检测10 11 12氢气流量检测13清洗小氮流量检测141516大（干）氧湿（小）氧流量检测流量检测17A.GND18湿（小）氧流量设定1920氢气流量设定921A.GND22清洗小氮流量设定2324中国电子科技集团公司第四十八研究所X1120:（25针D型插头，D/I、D/O信号至计算机）脚号作用脚号作用脚号作用1 2 3FREE（启动电平）4G.GND5OPTO6点火温度到7火已燃8火未燃点火信号 DIR（方向电平）9漏氢10G.GND1113141516171819前限位20后限位21222325CP（脉冲输出）X1108:（Y2M-14TJ/ZK，控制柜转接板至净化台）脚号作用脚号作用1步进电机A+2步进电机A－3步进电机B+4步进电机B-5前限位6后限位7 8限位COM 编码器A9编码器B10+15V11COM极限保护1314X1109:（Y2M-19TJ/ZK，控制柜转接板至功率板X3102）脚号作用脚号作用脚号作用1温控Ⅰ触发信号2温控Ⅱ触发信号3温控Ⅲ触发信号4触发信号COM5+15V6触发板GND7功率板零线引入8温控Ⅰ外热偶＋9温控Ⅰ外热偶－10温控Ⅱ外热偶＋11温控Ⅱ外热偶－+24V13温控Ⅲ外热偶＋14温控Ⅲ外热偶－15加热开指示灯火线16加热关指示灯火线17接触器线圈火线18自锁开关触点出线19控制电源火线入X1110或X4101（Y2M-32TJ/ZK，控制柜转接板至气源柜转接板）脚号作用脚号1扩散小氮流量设定2 3 4 5氢气流量设定6清洗小氮流量设定7扩散小氮流量检测8大氮流量检测大氮干（大）氧湿（小）氧流量设定流量设定流量设定9 10 11氢气流量检测清洗小氮流量检测13+24V或+5V备用14扩散小氮15大氮16干（大）氧作用干（大）氧湿（小）氧流量检测流量检测脚号 17 1819 20 21 22 23 2410中国电子科技集团公司第四十八研究所作用湿（小）氧氢气清洗小氮湿氧加热冷阱开温度到（氩气流量检测）点火信号扩散小氮（模拟地）后阀（备用氮）脚号25 26 27 28 29清洗小氮后阀（氩气）30气源柜火线入31+15V32COM作用湿（小）氧后阀火已燃火未燃报漏氢气（备用氮警(备用氮（氩气流流量检测）流量设定) 量设定）X4102或X4116:（Y2M-14或19TJ/ZK，气源柜转接板至电源盒）脚号作用脚号作用1火未燃23火已燃45COM6COM7+15V8-15V9温度到1011 12 13氢气阀：J141516点火信号氢气阀：KX4103:（25芯D型孔头，电源盒内至氢氧合成保护板）脚号作用脚号1 2 3 4COM5COM6COM7＋15V8－15V检测热电火已燃：e 火焰探头：偶：入－＋9 10 11 14 15火线：l24氢气阀：k25作用温度到：n 检测热电点火信号：火未燃：m 偶：入＋ a氢气阀：jX4112:（XS16-3芯，至氢气报警器）脚号作用1火线2零线3漏氢气X4114:（Y2M-10TJ/ZK，气源柜转接板至电磁阀）脚号作用1扩散小氮2大氮3 4 5氢气或氮氢混合气6清洗小氮7扩散小氮后阀或备用氮8清洗小氮后阀或氩气干（大）氧湿（小）氧或气帘氮脚号作用9常开阀10零线X4117:（Y2M-10TJ/ZK，电源盒至氢氧合成点火控制部件）脚号作用1检测热偶－2检测热偶＋3火焰检测探头＋4火焰检测探头－5温控输出＋6温控输出－7控制热偶＋8控制热偶－11中国电子科技集团公司第四十八研究所X4105-X4110:（Y2M-7TJ/ZK，至质量流量计）脚号作用1流量设定2COM3流量检测4COM5＋15V6－15V7X4105:至扩散小氮质量流量计 X4106:至大氮质量流量计 X4107:至大（干）氧质量流量计 X4108:至湿（小）氧质量流量计 X4109:至氢气或氮氢混合气质量流量计X4110:至清洗小氮质量流量计（注：后来有与扩散小氮共用的） X4115:至备用氮气质量流量计 X4119:至氩气质量流量计 X4113:冷阱电源插座（～220V）P4101-P4107:（9芯D型插头，STEC 质量流量计）脚号作用6流量设定4COM2流量检测7COM3＋15V5－15VP4101-P4107:（15芯D型插头，BROOKS 质量流量计）脚号作用8流量设定1COM2流量检测10和9COM5＋15V6－15VP4101-P4107:（15芯D型插头，七星华创质量流量计）脚号作用4流量设定3COM7流量检测6和8COM15＋15V11和12－15V12中国电子科技集团公司第四十八研究所2.5计算机转接端口定义（注：以下的接口定义适用于工控机后为25针和37针D型插头组合的情况）PCL－812PG：CN1（Analog Input）地址备注控制位 A/D 0 A.GND A/D 1 A.GND A/D 2 A.GND A/D 3 A.GND A/D 4 A.GND A/D 5 A.GND A/D 6 A.GND A/D 7 A.GND A/D 8 A.GND A/D 9I/O脚 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 191 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19出入线X1119（25）1 14 2 15 3 16 4 17 5 18 6 19 7 20 8 21 9 22 10功能控制含义扩散小氮流量检测模拟地大氮流量检测模拟地干氧流量检测模拟地湿氧流量检测模拟地氢气流量检测模拟地清洗小氮流量检测模拟地扩散小氮源瓶压力检测模拟地清洗小氮源瓶压力检测模拟地 A/D备用一模拟地 A/D备用二PCL－812PG：CN3（Digital Output）地址备注控制位 D/O 13 D/O 14 D/O 15 D.GND D.GND +5VI/O脚 14 15 16 17 18 191 2 3 4 5 6出入线X1119（25）23 11 24 12 25 13功能控制含义推舟启动电平FREE 推舟方向电平DIR 点火信号 D.GND D.GND OPTOPCL－812PG：CN4（Digital Input）地址控制位 D/I 4 D/I 5 D/I 6I/O脚 5 6 75 6 7出入线功能X1120（37）控制含义 1 推舟前限位开关 20 推舟后限位开关 2 急停按钮状态13中国电子科技集团公司第四十八研究所备注D/I 7 D/I 8 D/I 9 D/I 10 D/I 11 D/I 12 D/I 13 D/I 14 D/I 15 D.GND D.GND +5V +12V 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 208 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 2021 3 22 4 23 5 24 6 25 7 26 8 27断水状态推舟极限保护开关炉体加热状态火未燃信号火已燃信号漏氢状态检测点火温度到信号超温D/I备用二 D.GND D.GND +5V +12VPCL－812PG：CN5（Counter）地址备注控制位 NoCTR0 OUT NoI/O脚 9 10 119 10 11出入线功能X1120（37）控制含义 9 28 推舟脉冲 10PCL－726：CN1（Digital Output）地址备注控制位 D/O 0 D/O 1 D/O 2 D/O 3 D/O 4 D/O 5 D/O 6 D/O 7 D/O 8 D/O 9 D/O 10D/O 11 D/O 12 D/O 13 D/O 14 D/O 15 D.GND D.DNG +5V +12VI/O脚 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20出入线功能控制含义扩散小氮电磁阀大氮电磁阀干氧电磁阀湿氧电磁阀氢气电磁阀清洗小氮电磁阀D/O备用一 D/O备用二设备异常指示灯 D/O备用四 D/O备用五工艺指示灯短路指示灯 D/O备用三出舟音乐提示净化风机 D.GND D.DNG +5V +12V14中国电子科技集团公司第四十八研究所PCL－726：CN3（D/A Output）地址备注控制位 D/A 1# V D/A 1# I D/A 1# R D/A 1# A D/A 2# V D/A 2# I D/A 2# R D/A 2# A D/A 3# VI/O脚 5 6 7 8 9 10 11 12 13出入线 X1113 X1120（37）5 29 6 11 7 30 8 12 9 31 10 13 11 32 12 14 13 33功能控制含义扩散小氮流量设置模拟地大氮流量设置干氧流量设置PCL－726：CN4（D/A Output）地址 Base+6，7Base+8，9Base+10，11 备注控制位 D/A 4# V D/A 4# I D/A 4# R D/A 4# A D/A 5# V D/A 5# I D/A 5# R D/A 5# A D/A 6# VI/O脚 1 2 3 4 5 6 7 8 9出入线 X1114 X1120（37）1 15 2 34 3 16 4 35 5 17 6 36 7 18 8 37 9 19功能控制含义湿氧流量设置模拟地氢气流量设置清洗小氮流量设置（注：以下的接口定义适用于工控机后为25针和25针D型插头组合的情况）PCL-726 6通道D/A板基址:2C0H CN1出入线功能地址控制位 I/O脚X1112-I X1112-O 控制含义Base+13 DO0 1 1 1 扩散小N2阀 Base+13 DO1 2 2 2 大N2阀 Base+13 DO2 3 3 3 干（大）O2阀 Base+13 DO3 4 4 4 湿（小）O2阀 Base+13 DO4 5 5 5 H2阀Base+13 DO5 6 6 6 清洗小N2阀 Base+13 DO6 7 7 7 冷阱开 Base+13 DO7 8 8 8 湿氧开 Base+12 DO8 9 9 9 扩散小N2后阀 Base+12 DO9 10 10 10 湿（小）O2后阀Base+12 DO10 11 11 11 清洗小N2后阀 Base+12 DO11 12 12 12 工艺指示灯15中国电子科技集团公司第四十八研究所Base+12 Base+12 Base+12 Base+12备注DO12 DO13 DO14 DO15 D．GND D．GND +5V +12V13 14 15 16 17 18 19 2013 14 15 16 17 18 19 2013 热偶短路报警 14 散热风扇 15 出舟音乐提示 16 净化风机启动 17 18 19 20使用20芯扁平电缆连接到固态继电器板PCL-726 6通道D/A板基址:2C0H CN3地址 Base+0，1Base+2，3Base+4，5备注控制位 D/A 1# V D/A 1# I D/A 1# R D/A 1# A D/A 2# V D/A 2# I D/A 2# R D/A 2# A D/A 3# VI/O脚 5 6 7 8 9 10 11 12 13出入线功能 X1113 X1119（25）控制含义 5 1 扩散小N2流量设置 6 14 7 2 8 15 9 3 大N2流量设置 10 16 11 4 12 17 模拟地 13 5 干（大）O2流量设置X1119共有9根线连接PCL-726:CN3PCL-726 6通道D/A板基址:2C0H CN4地址 Base+6，7Base+8，9Base+10，11 备注控制位 D/A 4# V D/A 4# I D/A 4# R D/A 4# A D/A 5# V D/A 5# I D/A 5# R D/A 5# A D/A 6#I/O脚 1 2 3 4 5 6 7 8 9出入线 X1114 X1119（25）1 18 2 6 3 19 4 7 5 20 6 7 8 9 22功能控制含义湿（小）O2流量设置模拟地 H2流量设置清洗小N2流量设置（详见注一）X1119共有5根线连接PCL-726:CN4PCL-812PG 12通道A/D板基址:220H CN1地址 Base+4，5Base+4，5控制位 A/D 0# A．GND A/D 1# A．GNDI/O脚 1 2 3 2出入线 X1115 X1119（25）1 8 2 21 3 9 ―――――22功能控制含义扩散小N2流量检测模拟地大N2流量检测连接清洗小N2流量设置（详见注一）16中国电子科技集团公司第四十八研究所Base+4，5 A/D 2# 5 5 10 干（大）O2流量检测A．GND 2 2 23Base+4，5 A/D 3# 7 7 11 湿（小）O2流量检测A．GND 2 2 24Base+4，5 A/D 4# 9 9 12 H2流量检测A．GND 2 2 25Base+4，5 A/D 5# 11 11 13 清洗小N2流量检测备注 X1119共有11根线连接PCL-812PG:CN1注一：清洗小N2流量设置的引出线为X1119的22脚，连接时先制作一根15芯的扁平电缆与X1119的18、6、19、7、20这五个脚构成一个20芯电缆连接至PCL-726:CN4,然后剥出PCL-726:CN4的第9脚。