FBG传感器应用及设计实例
FBG可变灵敏度压力传感器设计
Ｄ ｅｓｉｇｎ ｏｆ ｖａｒｉａｂｌｅ ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ ｐｒｅｓｓｕｒｅ ｓｅｎｓｏｒ ｕｓｉｎｇ
ＦＢＧ
ＬＩ Ｋａｉ 一，ＺＨＡＯ Ｚｈｅｎ．ｇａｎｇ ，ＬＩ Ｙｉｎｇ．ｎａ ，ＣＡＩ Ｃｈｅｎ ，ＰＥＮＧ Ｑｉｎｇ－ｊｕｎ ，Ｌｉ Ｃｈｕａｎ
（１．Ｆａｃｕｌｔｙ ｏｆ Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ ａｎｄ Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ，Ｋｕｎｍｉｎｇ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ ｏｆ
ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ．Ｔｈｉｃｋｎｅｓｓ ｏｆ ｔｈｅ ｆ ｉｌｍ ｓｈｅｅｔ ｉｓ ｉ ｍｍ，ａｎｄ ｗｏｒｋｉｎｇ ｒａｄｉｕｓ ｉｓ ａｄｊｕｓｔｅｄ ｔＯ １０ ｃｍ，９ ｃｎｌ ａｎｄ ８ ｃｍ，ｔｈｅ
ｍａｘｉｍ ｕｍ ｄｅ￣ｒｍ ａｔｉｏｎ ｏｃｃｕｒｓ ａｔ ｔｈｅ ｃｅｎｔｅｒ ｏｆ ｔｈｅ ｆ ｉｌｍ ｓｈｅｅｔ ｕｎｄｅｒ ｔｈｅ ０．１ Ｍ Ｐａ ｓｕｒｆａｃｅ ｐｒｅｓｓｕｒｅ，ａｎｄ ｔｈｅ ｄｅｆｏｒ ｍ ａｔｉｏｎ ａｔ ｔｈｅ ｃｅｎｔｅｒ ｏｆ ｔｈｅ ｆｉｌｍ ｓｈｅｅｔ ｉｓ ３．８７５ ｍｍ ，２．５６１ ｍｍ ａｎｄ １．５７９ ｍｍ．Ａｆ ｔｅｒ ｔｈｅ ｂａｒｅ ｇ ｒａｔｉｎｇ ｉｓ ｆ ｉｘｅｄ， ｃｏｒｒｅｓｐｏｎｄｉｎｇ ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｉｅｓ ａｒｅ ３８．４４ｍｍ／ＭＰａ，２５．６２ｍｍ／Ｍｐａ ａｎｄ １５．７９ｍｍ ／ ＭＰａ，ＳＯ ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ ｔｒａｎｓｆｏｒｍａｔｉｏｎ ｉＳ ａｃｈｉｅｖｅｄ．
FBG温度传感器(简单设计)
FBG温度传感器——波长调制
1、基本原理
短周期光纤光栅又称为光纤布拉格光栅（FBG）是一种典型的波长调制型光纤传感器这种传感器能根据环境温度以及/或者应变的变化来改变其反射的光波的波长。
其结构如图所示
基于光纤光栅传感器的传感过程是通过外界参量对布拉格中心波长λB的调制来获取传感
信号，其数学表达式为错误！未找到引用源。
=2n eff A
错误！未找到引用源。
为Bragg波长，A为光栅周期，n为光纤模式的有效折射率。
引起光栅布拉格波长飘移的外界因素如温度、应力等会引起光栅周期A 和纤芯有效折射率的改变。
其中光纤布拉格光栅反射波长随应变和温度的变化可以近似地用方程
其中Δλ是反射波长的变化而λo 为初始的反射波长。
2、传感器结构设计
FBG温度传感器的基本构造如下图所示
光纤温度监测系统主要由光纤光栅传感器、传输信号用的光纤和光纤光栅解调器组成。
光纤光栅解调器用于对光纤光栅传感器的信号检测和数据处理，以获得测量结果，传输光纤用于传输光信号，光纤光栅传感器则主要用于反射随温度变化中心波长的窄带光，光纤光栅反射波长的移动与温度的变化成线性关系，通过解调器测量光纤光栅反射波长的移动,便可确定环境温度T。
由于光纤布拉格光栅周期和纤芯的有效折射率会同时受到应变和温度变化的影响。
当进行温度测量的时候，光纤布拉格光栅必须保持在完全不受应变影响的条件下。
即需要对光纤光栅传感部分进行封装，保证传感部分不受到外界应力的影响。
FBG传感器应用及设计实例
FBG传感器应用及设计实例FBG（Fiber Bragg Grating）传感器是一种基于光纤布拉格光栅原理设计的光纤传感器。
光纤布拉格光栅是通过在光纤内部引入一定的折射率改变周期性的折射率变化结构，形成的一种反射光栅。
FBG传感器利用光纤布拉格光栅的特性，可以对环境中的温度、应变等物理量进行测量。
FBG传感器具有体积小、抗干扰能力强、测量范围广等优点，因此被广泛应用于各个领域。
以下是几个FBG传感器的应用及设计实例：1.建筑结构监测：FBG传感器可以用来监测建筑结构的应变情况。
通过将多个FBG传感器布置在建筑结构上，可以实时监测结构的应变情况，及时发现结构的变形、开裂等问题，提前采取修复措施，保证建筑结构的安全性。
2.油气管道监测：FBG传感器可以用来监测油气管道的变形和温度变化。
将FBG传感器安装在油气管道上，可以实时监测管道的应变和温度变化，及时发现管道的变形、破损等问题，避免事故的发生。
3.地下水监测：FBG传感器可以用来监测地下水位的变化。
将FBG传感器固定在井口或地下水管道中，通过测量光纤的折射率变化来判断地下水位的变化情况。
这对于地下水资源的合理利用和保护具有重要意义。
4.航天器结构监测：FBG传感器可以用来监测航天器的结构应变情况。
将FBG传感器布置在航天器的关键结构上，可以实时监测结构的应变情况，判断航天器的工作状态是否正常，及时发现结构的变形和疲劳损伤，提高航天器的运行安全性。
5.生物医学应用：FBG传感器可以用于生物医学领域中的温度、压力和拉伸等参数的测量。
例如，可以将FBG传感器固定在医用器械上，实时测量医用器械的温度和应变情况，确保医疗操作的安全性。
以上是几个FBG传感器的应用及设计实例。
随着光纤技术的不断发展，FBG传感器将在更多的领域发挥更大的作用，为人们的生活和工作带来更多便利和安全。
FBG温度传感器
FBG温度传感器引言：随着科技的不断发展，温度传感器的应用范围越来越广泛。
传统的温度传感器基于热电效应、电阻变化等原理进行测量，但这些传感器存在灵敏度低、响应时间长、易受干扰等问题。
FBG（Fiber Bragg Grating）技术作为一种新型的传感器技术，具有优良的温度测量性能，被广泛应用于工业生产、交通运输、医疗健康等领域。
FBG温度传感器是基于光纤光栅的原理来实现温度测量的。
光纤光栅是一种通过在光纤内加入一定周期的折射率变化来产生反射光的结构，它对光波的波长具有高度选择性。
当光波波长与光栅周期相匹配时，光波会被光栅反射回来。
而当温度发生变化时，光栅的周期也会发生变化，进而改变反射光的波长。
通过测量反射光的波长变化，即可得到温度的变化。
1.光纤光栅的制备：选择合适的光纤材料和掺杂剂，以及适当的光栅周期，进行光纤光栅的制备。
一种常用的方法是利用紫外脉冲激光通过两光束干涉形成周期性的折射率分布，从而实现光纤光栅的制备。
制备完成后，将光纤固定在测量物体上，使其与要测温度的物体接触。
光纤光栅的长度和固定方式需要根据具体应用来确定。
2.光谱分析系统的搭建：制备好的光纤光栅需要连接到光谱分析系统中进行波长变化的测量。
光谱分析系统通常由光源、光栅衍射器、光电探测器等组成。
光源发出的光经过光栅衍射，产生不同波长的光束，然后经过光纤光栅反射回来，最终被光电探测器接收。
光电探测器会将接收到的光信号转化为电信号，并通过数据处理单元进行分析和记录。
根据反射光的波长变化，可以得到相应的温度变化。
3.温度测量精度的提升：为了提高温度测量的精度，可以采取一些措施，如增加光栅的反射次数、提高光栅的稳定性等。
同时，还可以在光谱分析系统上添加温度补偿装置，用于对温度的影响进行补偿，以提高温度测量的准确性。
结论：FBG温度传感器基于光纤光栅的原理，具有灵敏度高、响应时间快、抗干扰性强等优点。
通过合理的光纤光栅制备和光谱分析系统的搭建，可以实现简单而高效的温度测量。
用FBG传感器监测框架剪力墙结构裂缝
用FBG传感器监测框架剪力墙结构裂缝随着建筑行业的迅速发展，人们对建筑结构的安全性和稳定性要求越来越高。
而裂缝是影响建筑结构安全的重要因素之一。
为了及时了解和监测建筑结构中的裂缝情况，FBG传感器成为了一种常用的监测手段。
在框架剪力墙结构中，使用FBG传感器可以有效地监测裂缝，并对结构的安全性进行评估和预测。
FBG传感器是一种基于光纤布拉格光栅原理的传感器。
其工作原理是通过光栅的光波反射现象来感知物理量的变化。
在框架剪力墙结构中，裂缝的形成会导致结构的应力、应变等物理量发生变化，而这些变化可以通过FBG传感器准确地监测到。
FBG传感器的安装通常需要将其粘贴或固定在结构的关键位置，以便实时感知结构的变化。
在框架剪力墙结构中，建议将FBG传感器安装在剪力墙的重要节点、墙体的顶部和底部等位置，以便全面监测结构的裂缝情况。
一旦FBG传感器安装完毕，监测系统将会不断地记录和分析FBG 传感器所感知到的数据。
这些数据可以显示出结构的应力、应变等变化曲线，从而提供结构的变形和裂缝情况。
同时，传感器还可与计算机或智能手机等设备相连接，方便实时监测和数据管理。
通过使用FBG传感器监测框架剪力墙结构的裂缝，我们可以及时发现和应对潜在的安全隐患。
一旦传感器感知到结构中裂缝的变化，监测系统将会及时发送警报，提醒监测人员进行维修和加固工作。
这样可以避免裂缝进一步扩大，从而保障建筑结构的安全性和稳定性。
除了对结构裂缝的监测，FBG传感器还可以用于评估结构的健康状况。
通过比对结构的历史数据和当前数据，我们可以判断结构是否出现了疲劳、老化等问题。
一旦结构健康状态下降，监测系统将及时报警，以便进行相关的维修和保养工作，延长结构的使用寿命。
需要注意的是，使用FBG传感器监测裂缝需要专业的技术人员进行安装和数据分析。
只有专业的施工团队和监测人员才能保证监测的准确性和有效性。
因此，在实际应用中，建议与有经验和专业知识的企业或机构合作，以确保监测工作的顺利进行。
FBG应变传感器在盾构隧道监测中应用
安 隧道的结构健 康监测 ， 结果表 明光纤光 栅传感 器测
量 数据 稳 定 可靠 ， 测 效 果 良好 。 何 涛 等 ‘ 用 钢 筋 监 运
导原理 出发 ， 分析光纤 传感 器的可能 类型 。介 绍 了在
岩土力学研究 与工 程 监测 中应 用 光纤传 感 技术 取得
【 关键词】 光纤光栅传感 ； 隧道 ； 盾构 施工监测 ； 片 管 【 中图分类号 】 Ｔ ９ Ｕ４ 【 文献标识码 】 Ｂ
【 文章编号 】 １０ — ８４ ２ １ ）２—０９ Ｏ ０ １ ６ ６ （０ １ ０ ０ ５一 ３
国内学 者已经对光纤布拉格光栅 （ Ｂ 在隧道工 Ｆ Ｇ）
道开挖期间对喷射混 凝土的拱 架内力 、 凝土应 变与 混
传感 器监 测管片具 有 良好 的效 果。然 而将 隧道施工过 程 中 Ｆ Ｇ传感器 监测 结果与 隧道 管片 钢筋 应力 计进 Ｂ
行相关性 比较 的研究 尚未见报 道。 在上海某越 江双线 隧道后 建 隧道施 工过程 中 ， 作 者采用光纤 光栅 监 测技 术对 先建 隧道 管 片 内表 面应
处反射后会再返 回到原来的方向。如图 １ 所示。在 布 拉格光栅处施加外力 或温度改 变 ， 栅 的间隔产生 变 光 化后 ， 反射 回来的光 的波 长也会 相应发 生变化 。布拉 格波长 Ａ 同时受 布拉格光栅 周期 和纤芯有 效折射率
扰 动 的 影 响 ， 而 通 过 监 测 布 拉 格 波 长 的变 化 即可 测 因
分析结果表 明 Ｆ Ｇ所测的表面应变值与对应钢筋附加应 力值具有 较好 的相关性 。盾 构逐渐 邻近 ， Ｂ 两者具 有较好
的线性 相关性 ； 盾构到达后的 ３— ５环 内， 者相关性较差 ； 两 盾构通过过程 中及 后序管片脱出 ， 者具 有很好 的相关 两 性 。以此 说明监测结果较为理 想， Ｂ Ｆ Ｇ应变传感 器在 隧道 工程后 布法监测中具有较广阔的应用前景 。
自旋量程可调式金属化FBG温度传感器设计
Ａｂｓｔｒａｃｔ： Ａｉｍｉｎｇ ａｔ ｔｈｅ ｐｒｏｂｌｅｍ ｔｈａｔ ｌａｒｇｅ ｓｔｒｕｃｔｕｒａｌ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ｆ ｉｅｌｄ ｍｏｎｉｔｏｒｉｎｇ，ｇｒａｉｎ ｄｅｐｏｔｓ，ｐｅｔｒｏｃｈｅｍｉｃａｌ，
全光 测量 、本质安全 、不受雷击 、不 受电磁干扰 、使用 寿命 长 等优 点。光纤 传感 技术从 ２０世 纪末至 今 的几 十年 里发 展 极为迅速 ，除了应 用 到常见 的结 构监 测 等领 域… ，同时 也 开始应用在如应变点定 位 、光纤超 声传感 、液 体浓度 测量 、 温度测量等 其他 新 的领域 Ｊ。而光 纤布 拉格 光栅 （ｆ ｉｂｅｒ Ｂｒａｇｇ ｇｒａｔｉｎｇ，ＦＢＧ）温度 传 感器 在结 构上 可 以分 为 管式 结 构 、基片式 、压力 式 等 。实 验 发现 对于 普通 的光 纤 光栅 当温度超过 ２５０℃时涂覆层会 出现熔 化现象 ，因此 ，在
２０１８年 第 ３７卷 第 ｌ１期
传 感器与微系统（Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ ａｎｄ Ｍｉｃｒｏｓｙｓｔｅｍ Ｔｅｃｈｎ。１。ｇｉｅｓ）
７７
ＤＯＩ：１０．１３８７３／Ｊ．１０００－９７８７（２０１８）１１－００７７－０３
自旋 量 程 可 调 式 金 属 化 ＦＢＧ 温 度 传 感 器 设 计
朱星 盈 ，倪 屹 ，郭 瑜 ，刘化利 ，李岱林
ｐａｃｋａｇｉｎｇ ｓｕｂｓｔｒａｔｅ ｅｎａｂｌｅｓ ｔｈｅ ｓｅｎｓｏｒ ｔｏ ｈａｖｅ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ ｏｆ ｈｉｇｈ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ．Ｔ ｈ ｒｏｕｇｈ ｔｈｅ ｆ ｉｎｉｔｅ ｅｌｅｍｅｎｔ ａｎａｌｙｓｉｓ。ｃｈａｎｇｅｓ ｉｎ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ａｔ １００ ｏＣ ，ｐａｃｋａｇｅ ｓｕｂｓｔｒａｔｅ ｓｔｒａｉｎ ｉｓ ａｂｏｕｔ ０．０７３ ×１０ ｗｈｉｃｈ ｉｓ ｆａｒ ｌｅｓｓ ｔｈａｎ ｍｉｃｒｏ ｓｔｒａｉｎ ｏｆ ｔｈｅ ｆｉｂｅｒ ｓｔｒｕ ｃｔｕｒｅ ｉｔｓｅｌｆ，ｓｏｌｖｅ ｔｈｅ ｃｒｏｓｓ ｉｎｆｌｕｅｎｃｅ ｐｒｏｂｌｅｍｓ ｏｆ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ａｎｄ ｓｔｒｅｓｓ．Ａｔ
微型FBG应变传感器在大坝模型实验中的应用
关键词
大 坝；光纤光栅 ； 损伤识别 ；应变传感 器 ； 抗震 ；监测
中 图分 类号 Ｔ Ｖ３ ２ ’ ‘ １ ； ＴＶ３ ２ ３ ； Ｔ Ｐ ２ １ ２ ． ９
近年来 ， Ｆ Ｂ Ｇ 传感 技 术 在工 程 监测 领 域 发展 迅
引 言
在我国， 许 多水利设 施都 集 中在 中西部 地 区 ， 而
坝模 型实 验 中的难点 Ｌ ７ ］ 。
用 下 内部变 形 以及 裂 缝 发展 情 况 ， 对 大 坝 的抗 震 安
全性 能 进行 评 价 ， 并且 通 过 设 置 配筋 和 未 配 筋坝 段
＋
国 家 自然 科 学 基 金 委 创 新 研 究 群 体 基 金 资 助 项 目 （ ５ １ １ ２ １ ０ ０ ５ ） ； 国 家 自然 科 学 基 金 资 助 项 目 （ ５ １ １ ０ ８ ０ ５ ９ ，１ ０ ９ ０ ２ ０ ７ ３ ， ５ ０ ９ ０ ９ ０ １ ５ ） ； 沈 阳 建 筑 大 学 建 筑 结 构 工 程 省 级 重 点 实 验 室 开 放 基 金 资 助 项 目（ Ｊ Ｇ一 ２ ０ ０ ９ ０ ９ ） ； 国 家 自然 科 学 基 金 重 大 研 究 计 划 重 点 资 助 项 目（ ９ ０ ８ １ ５ ０ ２ ６ ） 收 稿 日期 ： ２ ０ １ １ — ０ ７ — １ ３ ； 修 改 稿 收 到 日期 ： ２ ０ １ １ — １ ０ — １ ０
第３ ３卷 第 ２期 ２ ０ １ ３年 ４ 月
振 动、 测 试 与诊 断
Ｊ ｏ ｕ ｒ ｎ ａ ｌ ｏ ｆ Ｖｉ ｂ ｒ ａ ｔ ｉ ｏ ｎ， Ｍｅ ａ ｓ ｕ ｒ ｅ ｍｅ ｎ ｔ＆ Ｄｉ ａ ｇ ｎ ｏ ｓ ｉ ｓ
光纤光栅传感器的工作原理和应用实例
光纤光栅传感器的工作原理和应用实例一、本文概述光纤光栅传感器作为一种先进的光学传感器，近年来在多个领域中都得到了广泛的应用。
本文旨在全面介绍光纤光栅传感器的工作原理及其在各领域中的应用实例。
我们将详细阐述光纤光栅传感器的基本原理，包括其结构、光学特性以及如何实现传感功能。
接着，我们将通过一系列应用实例，展示光纤光栅传感器在结构健康监测、温度测量、压力传感以及安全防护等领域的实际应用。
通过本文的阅读，读者将能够对光纤光栅传感器有一个全面深入的了解，并理解其在现代科技中的重要地位。
二、光纤光栅传感器的基本概念和原理光纤光栅传感器，也被称为光纤布拉格光栅（Fiber Bragg Grating, FBG）传感器，是一种基于光纤光栅技术的传感元件。
其基本概念源于光纤中的光栅效应，即当光在光纤中传播时，遇到周期性折射率变化的结构（即光栅），会发生特定波长的反射或透射。
光纤光栅传感器的工作原理基于光纤中的光栅对光的反射作用。
在制造过程中，通过在光纤芯部形成周期性的折射率变化，即形成光栅，当入射光满足布拉格条件时，即入射光的波长等于光栅周期的两倍与光纤有效折射率的乘积时，该波长的光将被反射回来。
当外界环境（如温度、压力、应变等）发生变化时，光纤光栅的周期或折射率会发生变化，从而改变反射光的波长，通过对这些波长变化的检测和分析，就可以实现对环境参数的测量。
光纤光栅传感器具有许多独特的优点，如抗电磁干扰、灵敏度高、测量范围大、响应速度快、能够实现分布式测量等。
这使得它在许多领域，如结构健康监测、航空航天、石油化工、环境监测、医疗设备、智能交通等，都有广泛的应用前景。
光纤光栅传感器的工作原理决定了其可以通过测量光栅反射光的波长变化来感知外界环境的变化。
因此，在实际应用中，通常需要将光纤光栅传感器与光谱分析仪、解调器等设备配合使用，以实现对环境参数的精确测量。
光纤光栅传感器的基本概念和原理为其在各种应用场景中的广泛应用提供了坚实的基础。
FBG传感器应用及设计实例
计量光栅式
0.001~1000 mm
测量精度
±0.1% ±（2%~3%
±1% ±0.5% ±（1%~3%） ±0.005% ±1% 3 μm~1 mm
0.5% 3 μm~1 m
工作特点
分辨率较好，可静态或动态测量， 但是机械结构不牢固
使用方便，需要温度补偿
只适用于小位移测量
分辨率好，需要屏蔽磁场干扰
光纤传感
（2）功能型——利用光 纤本身的某种敏感特性。 （感和知）
8
光纤传感技术： Optical Fiber Sensor
光纤传感的原理是在外界因素（如温度、压力、加速度、电压、电流、 位移、振动、转动、弯曲、应变以及生物化学量的影响）直接或间接地 作用于光导纤维上时，可以导致光纤本身的传导光性能的改变，从而使 得光纤内部传导的光波的特征参量（如振幅、波长、相位、偏振态和模 式分布等）发生变化。信号可以通过光纤以透射或者反射的形式输出并 进行解调。
8 110
1 59.7 160
单位 mm nm
Gpa mm mm mm N/m mm pm/mm mm
三、基于混合型悬臂梁结构的FBG位 移传感器结构设计与封装
3.1 FBG位移传感器设计原则
3.1.1 相容性
强度相容性 尺寸相容性 界面相容性 场分布相容性
3.1.2 传感特性 3.1.3 工艺性 3.1.4 使用性能
4
传 感 器：sensor
5
传 感 器：sensor
6
光纤传感技术： Optical Fiber Sensor
7
光纤传感技术： Optical Fiber Sensor
（ 1 ） 传 光 型 —— 光 纤 仅 仅 起 传输光的作用，它在光纤端面 或中间加装其它敏感元件感受 被测量的变化。（传和行）
FBG光纤光栅点式传感器在高速公路中的应用
FBG光纤光栅点式传感器在高速公路中的应用在高速公路的运转过程中，实现对车辆的精确监测和数据传输是非常关键的。
FBG光纤光栅点式传感技术应用在高速公路中，实现了监测数据的准确传输，提高了管理管控的效率。
FBG光纤光栅点式传感器通过检测光纤受到的扭曲变化，进行数据采集和分析，实现全局性的数据控制，从而提高了高速公路设备的运行效率、智能化程度和管理能力。
本文将介绍FBG光纤光栅点式传感器在高速公路中的应用。
1. FBG光纤光栅点式传感器的工作原理FBG光纤光栅点式传感器的工作原理是通过将光纤反射光的波长特性或反射光的反相位变化封装在光纤内部来检测光纤所受的扭曲变化。
FBG光纤光栅点式传感器可以实现对三维空间中的扭曲变化、温度、物理形变、压力、声波、光波等物理参量的检测。
FBG光纤光栅点式传感器能够在较长的光纤距离内进行数据检测，广泛应用于高速公路维护、地震预警、长距离油气管道监测和环境监测等领域。
2. FBG光纤光栅点式传感器在高速公路中的应用FBG光纤光栅点式传感技术在高速公路的应用，涉及到了车辆、路面和边缘等多个方面的监测。
FBG光纤光栅点式传感技术不仅可以作为数据控制点进行监测，还可以配合其他传感器一起协作完成对高速公路的全面监测。
主要应用包括：2.1. 路面检测FBG光纤光栅点式传感技术可以应用于道路路面技术的监测，如路面压力检测、路面形变检测、路面磨损检测等，通过分析路面状况，及时发现路面出现的异常情况，提高行车的安全性。
2.2. 车辆检测FBG光纤光栅点式传感技术还可以应用于车辆检测，如车辆的速度、质量、位置、轮廓等信息的获取，以及车流量统计、车牌识别等操作的实现。
通过对车辆信息的检测和分析，可以实现高速公路的自动化管控，并对车辆的安全行驶进行监测和保障。
2.3. 边缘监测FBG光纤光栅点式传感技术还可以应用于边缘检测，如边缘渗漏检测、边缘坍塌检测等，实时监测边缘的情况，及时采取措施进行维修或改进，保障边缘的完好性和高速公路的正常通行。
FBG传感器在钢筋混凝土梁中的应用
图 ３ 中心波长为 １ ２ ｌ ９ｎ ５ ｎ的温度传感器变化 曲线
图 ４ 裸光栅钢筋 传感器 波长与应变关系曲线
３ 混 凝土梁 固化 和受 弯监测 实验数 据分 析
３ １ 混凝土 固化 实验 ．
本实验在室外进行监测 ， 监测时间为混凝 土浇筑后 ０ｈ一 ４ｈ ２ ， 因为难 以避免外界温度对监测结果的影响， 以同时需要对外界温 所 度和混凝土内部温度进行监测。在 ２ ４ｈ内， 每小时采集一次数据 。
旦
Ｌ （） ｏ ６
混凝土达到极 限破坏 时 ， 拉区拉 力全 由钢筋 承担 ， 受 Ⅱ级热 变化 曲线 。由图 ５中４号 曲线可 以看 出， 天中昼夜温差较大 ， 一 温 轧钢筋 ＝ １ ／ ｍ， ２ ０Ｎ ｍ 钢筋微应变达到 １ ０ ０时屈服。 ０ 度的变化是波长变化 的主要 因素 。５号 蛆线 表 明， 混凝 土 内部水 表 １ 钢筋理论值与 Ｆ Ｇ测量值对 比 Ｂ 化热的温度是逐渐 上升 的， 浇筑后 １ 达到最高 ， ５ｈ后 温度变化造
Ａ ｍ＾ 埘Ａ
Ａ 皿Ａ 毋Ａ
＾ ∞＾ ｍ＾
图１ Ｆ ＢＧ 传 感 器 工 作 原 理 示 意 图
当光纤 的入射光 波的波长 Ａ满足 Ｆ Ｇ衍射 条件 时 ： Ｂ
Ａ ＝ ｎ Ａ Ｂ ２ ・ 感器光栅的栅距 。 （） １
图 ２ 管式封装 Ｆ Ｇ温度传感器 Ｂ
其 中， 为 Ｆ Ｇ波长 ； Ａ Ｂ ｎ 为有效纤芯 的折射 率 ； Ａ为 Ｆ Ｇ传 Ｂ
其 中 ， 为光纤 的热膨胀 系数 ； 为光纤的热光系数。 由式（ ） 式 （ ） ３ ， ４ 得到 同时考虑应变 与温度变化 △ 时 ， 所
Ａ ｌ
效消除 了温 度变化对 Ｆ Ｇ应 变传 感器 的影 响 ， 了对温度 和应 引起的波长 移动 △ ： Ｂ 实现 Ａ
基于FBG传感器的铁路计轴系统
基于FBG传感器的铁路计轴系统摘要：光纤布拉格光栅传感器由于其抗电磁干扰、耐腐蚀和有效使用寿命长等优点，在铁路传感领域获得了广泛应用。
基于传统光纤布拉格光栅的原理，我们设计了两种计轴解调方法，一种是基于法布里-珀罗谐振腔的滤波解调法；另一种是基于匹配布拉格光栅的解调方法。
根据提出的两种方法和列车载荷对钢轨应力分布的影响，我们设计了能够检测轨道应力的轨道传感器。
F-P腔滤波器使用波长扫描法来获得中心波长，但是这种方法的采样率较低。
匹配光纤布拉格光栅方法能有效解决温度和应力的交叉敏感问题，结构简单，体积小，因此能够满足铁路系统的计轴要求。
Axle Counter for Railway Based on Fiber Bragg Grating Sensor Abstract:For the benefit of electrical isolation,corrosion resistance and quasi-distributed detecting,Fiber Bragg Grating Sensor has been studied for high-speed railway application progressively. Up to the principle of conventional Fiber Bragg Grating Sensors,we investigate a F-P filter and a matched-FBG based demodulation scheme that can be used as the track sensor.According to the proposed strain sensing method using a F-P filter or two matched FBGs and theoretical analysis of track strain distribution under load,we design a track sensor that can detect the local axial strain.The F-P filter uses wavelength scanning to obtain center wavelength,but the sampling frequency is low. The matched-FBG approach can effectively solve the temperature and strain induced cross sensitivity problem,therefor it can meet requirements of axle-counting in rail systems.Key word:Fiber Bragg Grating；Fabry-Perot Filter；Demodulation；Axle-Counting轨道交通是采取轮轨运输方式的快速大运量公共交通的总称，具有运量大、速度快、运营安全、环保、节约能源等优点，从而使它具备了缓解城市交通拥堵，优化城市布局结构，有利于节约资源、改善环境，促进国民经济发展等社会功能。
FBG应变传感器应用于起重机械的实验模拟
实验证 明 ．这种 Ｆ Ｇ应 变传 感器测得 的应 变与 门式起 重机 实际的应 变很接 近 ，其反射 波长和应 变具有很好 Ｂ 的相关性。可应用于现实工程 中起 重机械 的应变测量。
关 键 词 ：光 纤 光栅 应 变传 感 器 ；相 关 系数 ； 门式 起 重机 中 图分 类 号 ：Ｔ ２ ：Ｔ ２ ３ Ｈ８３ Ｎ ５
ｖ ｒ ｌｓ ｏ ｈ ｃｕ ｌｓ ａ ｎ ｏ ａ ｔ ｒ ｎ ． ｈ Ｂ ｔ ｉ ｅ ｓｒ ｃ ｕｄ ｏ ｔｉ ｅｔｒ ｃ ｒ ｌｔ ｎ ｃ ｅ ｃ ｅ ｔｏ ｅ ｃ ｏ ｅ ｔ ｔｅ ａ ｔａ ｔ ｉ ｆｇ ｎｒ ｃ ａ ｅ Ｔ ｅ Ｆ Ｇ ｓｒ ｎ ｓ ｎ ｏ ｏ ｌ ｂ ａｎ ｂ ｔ ｏ ｒ ａｉ ｏ ｆ ｉｎ ｆ ｙ ｒ ｙ ａ ｅ ｅ ｏ ｉ ｒｆ ｃｉｎ ｗ ｖ ｌｎ ｔ ｎ ｔ ｉ ． ｔ ｏ ｌ ｅ ａ ｐ ｉｄ ｔ ｈ ｔ ｉ ａ ｕ ｅ ｎ ｆ ｉ ｉ ｇ ａ ｐ ｉｎ ｅ ｎ ｐ ａ ｔ ａ ｎ ｉ ｅ ｅ ｔ ａ ｅｅ ｇｈ ａ ｄ ｓ ａｎ Ｉ ｃ ｕ ｄ ｂ ｐ ｌ ｏ ｔｅ ｓ ａｎ ｍｅ ｓ ｒ ｍｅ ｔ ｆ ｎ ｐ ｌ ｃ ｓｉ ｒ ｃｉ ｌ ｇ－ ｌ ｏ ｒ ｅ ｒ ｏ ｌｔ ａ ｃ ｅ
ｃｓｏ ｔａｎ ｇ ｕ ｅ ｗａ ｄ ．Ｅｘ ｅ ｍｅ ｔｌｒ ｓ ｌｓ ｓ ｏ ｄ ｔａ ｈ ｔａｎ ｍｅ ｓ ｒ ｄ ｂ ｈ ｉｉｎ ｓｒ ｉ ａ ｇ ｓｍａ ｅ ｐ ｒ ｎａ ｅ ｕ ｔ ｈ ｗｅ ｈ ｔｔｅ ｓｒｉ ａ ｕ ｅ ｙ ｔｅ ＦＢＧ ｔａｎ ｓ ｎ ｏ ｓ ｉ ｓｒ ｉ ｅ ｓ ｒ ｗａ
第２ 卷 ７
第 １ 期Байду номын сангаас ０
文章 编 号 ：０ ７ １ ８ （ １）０ ０ ６ — ３ １０ — ０２ ０１— ０ ７ ０ １ ０
FBG传感技术的研究及应用
FBG传感技术的研究及应用一、引言FBG（Fiber Bragg Grating）是一种基于光纤的传感技术，具有高灵敏度、高稳定性、易集成等特点，广泛应用于机械、航空、航天、水利、石油等领域。
本文将就FBG传感技术的研究及应用进行探讨。
二、FBG的基本原理光纤光栅（FBG）是一种利用一定的周期性折射率变化在光纤中形成反射效应的光学元件。
FBG是由一段光纤的一部分中引入了周期的折射率变化而形成的。
这种折射率变化通常是由于光纤受到了受控压力、温度变化、应变等物理量的影响而引起的。
当一束光通过FBG时，会由于其与光纤中的折射率变化而形成反射，反射产生的光谱特征可以依据Fiber Bragg Grating的滤波特征得到解读。
三、FBG传感技术的应用领域在机械领域，FBG传感技术被广泛应用于机械结构的损伤检测。
通过在机械结构的不同位置安装含有FBG传感器的传感器，可以实时监测机械结构的应变、温度变化等情况，及时发现问题，避免事故发生。
在航空航天领域，FBG传感技术可以用来测量飞机翼的应变，以实现对飞机的结构进行监测。
FBG传感器会在飞机翼上布置数百个传感器，以测量翼面的应变，可充分了解飞机结构的状况，及时发现漏洞，避免飞机失效。
在石油勘探领域，FBG传感技术可用于地下油气管道的监测。
通过油管埋入环境传感器或钻井监测接口中，可实现实时监测井深、温度变化、应变等参数，通过分析数据，可推算出油气存储量和油气状况，达到提高采油效率的效果。
四、FBG传感技术的发展趋势随着人们对工业生产环节的越来越高的精度要求和对环境、能源利用的需求，对于传感器的精度和数据信息的量衡也有了更高的要求。
FBG传感技术作为一种高精度、大数据量、可远程实时监测的传感技术，将在更多领域有着更广泛的应用。
未来，随着物联网技术的不断革新和发展，FBG传感技术也将得到更为广泛的应用。
特别是在高端制造、智能环保、智能家居等领域，FBG传感技术将为行业的智能化、自动化发展提供有力支撑，让企业更好地实现数字化转型。
光纤光栅(FBG)传感技术在轨道变形监测中的应用
光纤光栅（FBG）传感技术在轨道变形监测中的应用摘要：近年来，随着我国城市建设的发展，许多大城市开始修建地铁。
变形监测已成为地铁工程的重要环节，它不仅为安全施工提供相关信息和依据，也为工程理论与实践研究提供宝贵的第一手资料。
光纤光栅（FBG）传感技术具有精度高、准分布、实时性、耐腐蚀及抗电磁干扰等独特优势，已在众多工程监测领域中得到应用。
关键词：光纤光栅（FBG）；轨道变形监测；FBG传感器1、FBG 传感原理光纤Bragg光栅是利用紫外光曝光的方法将入射光的相干场图形写入纤芯，使纤芯的折射率发生周期性变化，使其产生周期性调制，从而在单模光纤的纤芯内形成永久性空间相位光栅。
FBG的基本原理是当光栅受到拉伸、挤压及热变形时，检测光栅反射信号的变化。
以工程结构的应变监测为例，荷载由结构传递至纤芯的光栅区域，导致光栅区域内栅距发生变化，从而使纤芯的折射率随之变化，进而引起反射波长的变化，通过测量反射波长的变化便可得出被测结构的应变变化。
FBG是一种在由光纤刻制而成的波长选择反射器，其背向反射光中心波长λB与纤芯的有效折射率neff 和刻制的栅距（周长）Λ有关，即根据光纤光栅传感器原理（图1）可知，该传感器在变形监测中可以测试地基沉降、地面沉降、高层建筑沉降、初支拱架内力、应力应变、实时温度等监测项目。
2、FBG光纤传感系统的应用① 光纤光栅地面沉降监测1）周期测试功能：地质灾害监测系统的波长解调与分析模块以用户指定的测试周期连续不断地对监测对象进行数据采集和分析，并且建立测量数据的历时数据库。
2）点名测试功能：根据用户指定的测试对象或测试区域，进行快速的定位测试，并且给出数据分析的结果。
3）报警监测功能：由用户设置监测对象的被测物理量监测控制值，对监测对象进行超控制值报警或超变化速率报警，将告警信息远程传输到监测中心或者管理人员。
4）监测数据分析、远传与组网监测功能。
通过对监测数据的分析，进行快速定位。
超大应变FBG专用传感器
目录
• 引言 • FBG传感器技术原理 • 超大应变FBG专用传感器的设计与制造 • 超大应变FBG专用传感器的性能测试与评估 • 超大应变FBG专用传感器的应用案例 • 超大应变FBG专用传感器的发展趋势与展望
01
引言
传感器简介
超大应变FBG传感器是一种高精度、高稳定 性的光纤传感器，专门用于监测结构应变和 温度变化。
石油、天然气等管道的监测
在石油、天然气等管道中，超大应变FBG传感器可以实时监测管道的应变和温度变化，预 防管道泄漏和断裂等事故发生。
电力、通信等线路的监测
电力、通信等线路在长期运行过程中可能会受到外界因素的影响而发生变形和位移，超大 应变FBG传感器可以实时监测线路的状态，保障线路安全。
02
FBG传感器技术原理
在石油化工领域的应用
总结词
高温高压环境下的测量
详细描述
在石油化工领域，超大应变FBG专用传感器被广泛应用于管道、储罐和反应器等设备的应力监测。由 于其能够在高温高压环境下稳定工作，因此能够实时监测设备的应力变化，预防设备损坏和事故发生 。
在土木工程领域的应用
总结词
大型结构监测
详细描述
在土木工程领域，超大应变FBG专用传感器主要用于大型桥梁、高层建筑和隧道等结构的健康监测。通过对结 构的应变、振动和温度等参数进行实时监测，可以及时发现结构存在的问题，确保结构的安全性和稳定性。
市场前景展望
广泛应用领域
超大应变FBG专用传感器在结构健康监测、压力容器检测、石油 化工等领域具有广泛应用前景。
市场需求增长
随着工业领域对设备安全性和可靠性的要求不断提高，市场需求呈 现快速增长趋势。
技术创新推动市场发展
基于FBG传感器的巷道顶板离层状态智能监测
基于FBG传感器的巷道顶板离层状态智能监测随着城市化进程的加快，地下空间的利用越来越广泛，而地下的巷道工程则成为城市基础设施建设的重要组成部分。
巷道工程在长期风化和人为挖掘的影响下，巷道顶板离层状态的监测就显得尤为重要。
为了及时监测巷道顶板离层状态，FBG传感器技术逐渐被引入到巷道工程中，实现巷道顶板离层状态的智能监测。
在传统的巷道顶板监测中，常常使用的是传统的应变计和应变片来监测顶板的离层状态。
这种方法存在着监测精度低、安装和维护难度大等问题。
而基于FBG传感器的巷道顶板离层状态监测技术，能够有效地解决上述问题，实现对顶板离层状态的高精度、实时监测。
FBG传感器是一种新型的光纤传感器，其具有不锈钢保护套管，抗振动、抗腐蚀、高温高压和电磁干扰等特点。
FBG传感器非常适合用于巷道顶板离层状态监测。
通过将FBG 传感器布设在巷道顶板上，并通过光纤线将其连接到数据采集系统，可以实现对巷道顶板的温度、应变等参数的在线监测。
基于FBG传感器的巷道顶板离层状态监测技术具有许多优点。
由于其高精度的监测能力，能够实时监测到巷道顶板的微小变形和离层现象，有助于提前发现顶板的安全隐患。
FBG传感器具有较高的抗干扰能力和稳定性，能够在恶劣的地下环境下长期稳定运行。
FBG 传感器的采集系统可以实现远程监测和数据传输，方便工程管理人员对巷道顶板状态进行实时监测和分析。
FBG传感器具有较长的使用寿命和较低的维护成本，能够大大降低巷道顶板监测的运行成本。
除了传感器本身的优势，基于FBG传感器的巷道顶板离层状态监测技术还可以结合先进的数据处理和分析算法，实现对巷道顶板状态的智能监测。
通过建立巷道顶板离层状态的三维数字模型，并结合FBG传感器采集的数据，可以实现对巷道顶板离层状态的智能预测和分析。
一旦监测到巷道顶板出现离层现象，监测系统可以通过预设的报警机制及时向管理人员发出警报，以便及时采取应对措施，避免因顶板离层而导致的安全事故的发生。
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波 长 /nm
0
10
20
30
40
50Βιβλιοθήκη 607080
90
100
温度/
谢谢！
2016.03.20
常见的位移传感器
类型
电阻式
测量范围
1~300 m ±0.3%应变 ±0.2 mm ±（0.08~75） mm ±（2.5~250） mm 0.001~1000 mm 0.001~10 mm 0.001~10000 mm ±1.5 mm 0.001~1000 mm
测量精度
±0.1% ±（2%~3% ±1% ±0.5% ±（1%~3%） ±0.005% ±1% 3 μm~1 mm 0.5% 3 μm~1 m
positive wave lo Intercept positive wave lo Slope negative wave l Intercept negative wave l Slope
波 长 差/nm
9 8 7 6 5 4 3 2 0
正行程 逆行程 正行程拟合直 线 逆行程拟合直 线
10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 110 120 130 140 150 160
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 110 120 130 140 150 160
功率(dBm)
波 长 (nm)
4.2 FBG位移传感器的静态特性分析
按照线性位移传感器校准规范，以正、反两个行程
为一个循环，共测试三个循环。对该传感器经行正 逆行程全程测量3次
4.2 FBG位移传感器的静态特性分析
三、基于混合型悬臂梁结构的FBG位 移传感器结构设计与封装
3.1 FBG位移传感器设计原则
3.1.1 相容性
强度相容性 尺寸相容性 界面相容性 场分布相容性
3.1.2 传感特性
3.1.3 工艺性 3.1.4 使用性能
3.4 光纤光栅的选择
FBG稳定性
避免波长重叠
滑线式 应变片式 自感变气 隙型 差动变压 器式 电涡流式 变面积式
电感式
电容式
变间距式 磁致伸缩式 霍尔式 计量光栅式
二、基于混合悬臂梁结构的FBG位移 传感器设计方案
2.1 FBG位移传感器原理分析
x
弹簧 悬臂梁 wB
(b)
光纤
FBG1 FBG2
光纤光栅的温度去敏
1、在光敏光纤同一位置重叠写入两个具有 不同Bragg波长的光栅来区别温度和应变效 应； 2、利用同一光纤Bragg光栅的一阶和二阶衍 射效应来区别出温度和应变效应； 3、采用特殊封装、埋入方式的方法来消除 温度－应力的交叉敏感问题。
4.3 FBG位移传感器温度特性测试
4.3 FBG位移传感器温度特性测试
1554 1553 1552 1551 1550 1549
FBG1 FBG2 Linear Fit of wavelength Linear Fit of wavelength
Equation Adj. R-Square y = a + b*x 0.99956 Intercept Slope Intercept Slope 0.99963 Value wavelength wavelength wavelength wavelength 1549.41101 0.01619 1552.00574 0.01586 Standard Error 0.00423 8.02821E-5 0.0038 7.21708E-5
FBG传感器应用及设计实例
许红彬
传 感 器：sensor
人们为了从外界获取信息，必须借助于感觉器官。 人的五种感觉器官：视觉、听觉、嗅觉、味觉、触觉。
2
传 感 器：sensor
3
传 感 器：sensor
是一种检测装置，能感受到被测量的信息，并能将感受到的信息，按一定 规律变换成为所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显 示、记录和控制等要求。它是实现自动检测和自动控制的首要环节。（信 息获取、转译和传导）
9
光纤传感技术的优势
1、石英材料，抗电磁、绝缘、耐腐蚀、本质安全
2、灵敏度高
3、体积小巧，灵活弯曲，成本低
4、应用广泛，测量参数多 5、对被测物体影响小，化学性质稳定、兼容性强 6、光波作为传感信号，易于实时动态监测 7、可以实现波长编码，绝对值传感 8、易于组网，可分布式
10
光纤传感器的市场预测
采用相位掩膜板成栅技术，通过紫外光刻写，刻写 完成的FBG在140 ℃环境下退火14小时，以保证 FBG的稳定性。
四、基于混合型悬臂梁结构的FBG位 移传感器性能测试
4.1 FBG位移传感器实验室标定实验
-45 -50 -55 -60
-65 -70 -75 -80 -85 -90 1544 1546 1548 1550 1552 1554 1556 1558
304不锈钢 变截面悬臂梁 铍青铜 弹簧 65Mn
2.5 灵敏度计算与设计
物理量 传感器最大长度 入射光波波长/λ 光弹系数/Pe 混合型悬臂梁弹性模量/E 混合型悬臂梁有效长度/l 混合型悬臂梁等强度段长度/l1 混合型悬臂梁固定端宽度/b0 弹簧弹性系数/k 混合型悬臂梁厚度/h 传感器设计灵敏度/S 传感器量程 数值 400 1550 0.22 128 40 15 8 110 1 59.7 160 单位 mm nm Gpa mm mm mm N/m mm pm/mm mm
4
传 感 器：sensor
5
传 感 器：sensor
6
光纤传感技术： Optical Fiber Sensor
7
光纤传感技术： Optical Fiber Sensor
（ 1 ）传光型 —— 光纤仅仅起 传输光的作用，它在光纤端面 或中间加装其它敏感元件感受 被测量的变化。（传和行）
光纤传感
一、背景及意义
位移是大型工程结构安全监测的重要参数，它为了
解大型结构工程有无裂缝、变形及沉降趋势提供了 可靠的信息。目前工程应用领域大多采用电类传感 器进行位移测量，但是其测量精度、寿命等受环境 影响较大，易受电磁干扰，信号传输距离受限，复 用能力差。 为此，针对光纤传感的优势及实际需求设计了一种 基于混合型悬臂梁结构的光纤光栅（FBG）位移传 感器。
25
硅管
光纤光栅
螺母
有涂敷的光纤
铝帽
环氧胶
螺纹铝管
26
光纤光栅温度补偿装置结构
2.4 材料选择
2.4.1 材料选择基本原则
（1）要满足零件的工作要求
（2）要满足工艺性能要求
（3）要重视选材的经济性 （4）所选材料的牌号应符合国家标准
2.4 材料选择
2.4.2 材料选择方案 外壳
工作特点
分辨率较好，可静态或动态测量， 但是机械结构不牢固 使用方便，需要温度补偿 只适用于小位移测量 分辨率好，需要屏蔽磁场干扰 分辨率好，被测物体必须是导体 介电常数受环境温度、湿度影响 大；量程越大，体积越大 分辨率好，测量范围小，只能在 局部范围内近似保持线性 测量工作速度可达12 m/min 结构简单，动态特性好；但是量 程小 分辨率高，需要在洁净的环境下 使用
11
安全监测——桥梁
12
安全监测——大型建筑
13
安全监测——输油管道
14
安全监测——航空航天
15
光纤传感器的应用
16
光纤传感器的应用
17
光纤传感器的应用
18
FBG位移传感器设计
许红彬
提纲
一、背景及意义 二、基于混合悬臂梁结构的FBG位移传感器设计
方案 三、基于混合型悬臂梁结构的FBG位移传感器结 构设计与封装 四、基于混合型悬臂梁结构的FBG位移传感器性 能测试
（2）功能型——利用光 纤本身的某种敏感特性。 （感和知）
8
光纤传感技术： Optical Fiber Sensor
光纤传感的原理是在外界因素（如温度、压力、加速度、电压、电流、 位移、振动、转动、弯曲、应变以及生物化学量的影响）直接或间接地 作用于光导纤维上时，可以导致光纤本身的传导光性能的改变，从而使 得光纤内部传导的光波的特征参量（如振幅、波长、相位、偏振态和模 式分布等）发生变化。信号可以通过光纤以透射或者反射的形式输出并 进行解调。
位移/mm
4.2 FBG位移传感器的静态特性分析
误差分析
（1）FBG粘贴误差。在设计中，应将FBG粘贴在混合型
悬臂梁等强度段中轴线上，由于粘贴时手工操作粘贴位置 存在一定的误差，以及涂胶的均匀性等问题，造成采用相 同材料封装的传感器的灵敏度不同。 （2）试件加工及装配精度存在误差。由于该传感器有多 个部件组成，其加工过程也是工人控制机床单件加工，每 个试件的加工精度都在可控的范围内存在不同的误差，再 加上手工装配式产生的误差，可能导致两个理论上相同的 传感器产生不同的误差。 （3）测试精度引起的误差。该测试是通过手动移动平台 上测量的，由于手动调节不够精确，引入的测量误差比较 大。
灵敏度、线性度、迟滞、重复性
61.19 pm/mm ±2.1% 1.6% 1.40%
13 12 11 10
Equation Adj. R-Square
y = a + b*x 0.99786 0.99747 Value Standard Error 0.06638 7.07615E-4 0.07186 7.66067E-4 2.55061 0.06119 2.56546 0.06086