特种气体系统验收

13 特种气体系统验收

6.1一般规定

特种气体系统验收包括设备验收、管路系统验收和气体侦测/监控系统验收等。

6.2设备验收

6.2.1机械面板验收

1．外观和流程检验

对照流程图、配置表、钢瓶接口形式等设计参数进行检验，包括管道横平竖直、焊接质量合格、调节阀规格和流向、气动/手动阀门规格和流向、单向阀规格和流向、微漏阀规格和流向、压力变送器/压力表规格、过滤器规格、过流开关规格和安装方向、安全阀流向和设定压力、VCR是否锁紧、管道支架安装、吹扫入口管径、工艺出口管径、排放口管径、危险标签等。

2．仪器测试

检查出厂各项仪器测试报告，包括保压、氦检、颗粒度、水分、氧分等测试。参见管路系统验收章节。

6.2.2 控制系统验收

根据控制逻辑，检查各监测和联动部件的功能，包括压力传感器、电子秤、过流开关(EFS)、高温开关、火焰侦测器(UV/IR)、负压开关、紧急切断(EMO)、输入电源、输入输出信号、接地保护、功能联动测试等。

6.3 管路系统验收

施工单位应通过其质检人员对施工质量进行检验。建设单位或其授权机构，应通过其质检人员对施工质量进行监督和检查。

6.3.1外观与文件检验

1．对照流程图，检查管件的安装位置和方向。

2．检查焊接管道是否有裂缝，特别是弯管处；

3．检查管道对焊是否符合下列规定：

4．检查管道组成件的质量文件；

5．检查施工过程中的焊样、焊接日志。

6.3.2压力试验

1．管道安装完毕，外观检验合格后,必须进行压力试验。为了避免污染，高纯系统压力测试采用气压试验，不可采用水压试验，不得使用检漏液。试验气体应采用高纯氮气或氩气，不可采用氦气。在进行系统保压之前请确认完成管道吹扫，避免铁屑污染阀门及管道。吹扫需采用大压力大流量的气源(5kg/cm2以上)进行循环吹扫；

2．压力试验前应确保焊缝及其他待检部位尚未涂漆和绝热，待试管道与无关系统已用盲板或采取其他措施隔开，待试管道上的安全阀、爆破板及仪表元件等已经拆下或加以隔离；

3．试验用压力表已经校验，并在周检期内。试验用压力表，直径应大于150mm。对于低压（<150psig），要求刻度为1 psi；对于高压(>500psig),刻度可采用5psi的刻度；

4．压力测试分耐压测试和保压测试两种。耐压测试采用设计压力的115%，时间30分钟。保压测试采用设计压力的90%，时间24小时；

特气系统的测试压力最高不超过2,000psig.

5．保压过程应记录起止温度。考虑温度修正后，压降值不得超过1%；

P c = [(P1 + P atm) x (T2)/(T1)] - P atm

和: dP = P c - P2

此处，P1 =初始表压

P2 =最终表压

P c =温度校正最终表压

P atm =大气压力，通常为1.01 bar a (14.7 psia)

dP =温度校正后的压差

T1 =初始周围温度°K （=℃+273.15)

T2 =最终周围温度°K （=℃+273.15) 6．建设单位应参加压力试验。压力试验合格后，应和施工单位一同填写“管道系统压力试验记录”,包括；

●所测系统名称、测试日期

●所测系统管道直径和长度

●测试开始时间、终止时间和总历经时间

●压力和温度数据

●仪器校验报告

7．压力测试目的和程序见附件（条文说明）；

6.3.3 氦测漏

1．特气系统压力试验完成后，考虑到安全和纯度的要求，必须进行氦测漏;

2．所有可能泄漏点需要用塑料袋隔离；

3．氦测漏应采用质谱式检测仪，其检测下限不低于1x10-10

/sec;

4．氦测漏包括内漏(Inboard)测试、阀座(Cross seat)测试和外漏

(Outboard)测试；特气系统通常采用内漏测试法；

5．内漏测试（喷氦法）不得高于1x10-9 /sec

6．阀座测试不得高于１x10-6 /sec

7．外漏测试（吸枪法）不得高于１x10-6 /sec

8．氦测漏的测试顺序为：内漏法、阀座测试、外漏法；

9．检测漏点修补后，必须重新经过保压测试，然后才能再进行氦检；

10．系统测试完毕，应充入高纯氮气或氩气，并维持1-5slpm的吹扫；

11．氦测试完毕后，应提交测试报告，包括：

●所测系统名称、测试日期

●所测系统管道直径和长度、检测点数量

●测试开始时间、各点喷氦时间、终止时间、泄漏峰值时间

●背景氦漏率和峰值氦漏率

●测漏仪器序列号

●仪器校验报告

6.3.4 颗粒测试

1．为了保证特气管路纯度，系统应进行颗粒测试；

2．特气系统颗粒测试时，吹扫气体的雷诺数应大于10,000（2”及以下管道）；

3．应首先测试气源纯度；合格后再进行样品测试；

4．测试指标：大于0.1微米的颗粒小于等于1颗/立方英尺；连续3次合格则测试完成；

5．不合格系统吹扫后应在6小时内完成第二次测试。

6．颗粒测试完毕后，应提交测试报告，包括：

●所测系统名称、测试日期、测试时间

●所测系统管道直径和长度

●吹扫气体压力和流量

●取样点位置和颗粒度等级

●仪器序列号

●仪器校验报告

6.3.4水分测试

1．为了保证特气管路纯度，系统应进行水分测试；

2．特气管道测试时，吹扫速度低于管道设计流速的10%，且小于

50slpm；

3．应首先测试气源纯度；合格后再进行样品测试；

4．测试指标：<20ppbv，测试气体水分增量；

5．测试结果达到后，数值需保持稳定或下降趋势20分钟后，测试结束；