集成电路可靠性评价技术
集成电路制造中的可靠性设计与测试研究
集成电路制造中的可靠性设计与测试研究一、背景介绍随着电子技术的不断发展,集成电路已成为现代电子产品中的核心部件,集成电路的可靠性是保证电子产品正常运行的关键因素之一。
因此,在集成电路制造过程中,可靠性设计与测试是极为重要的工作之一。
二、可靠性设计1、产品设计阶段中的可靠性设计在产品设计阶段,可靠性设计包括确定可靠性指标、进行可靠性分析、制定可靠性设计规范等。
可靠性指标包括寿命、故障率、可靠度等。
通过可靠性分析,可以确定关键部件和系统的故障模式,进而通过设计保证其可靠性。
可靠性设计规范则是保证产品可靠性的重要手段之一,规范包括环境适应性、可靠性测试、可靠性分析等方面。
2、工艺流程中的可靠性设计在工艺流程中,可靠性设计包括选择适合的工艺和材料、制订可靠性工艺规范等。
要确保产品在制造过程中不会出现缺陷,需要采用裂解工艺、新型生长材料等技术,并制定标准的工艺流程,以确保产品可靠性。
三、可靠性测试1、可靠性检测技术集成电路制造中的可靠性测试技术包括环境应力测试、加速试验、可靠性评估等。
其中,环境应力测试是常见的可靠性测试方法,其目的是通过模拟极端条件来评估产品在使用过程中的可靠性。
加速试验则是在限定时间内模拟产品的寿命,以评估产品的可靠性。
可靠性评估则通过不同的数据收集、分析方法来评估产品的可靠性水平。
2、测试流程与系统设计在测试流程中,需要综合考虑各个阶段的测试数据和分析结果,对产品的可靠性水平进行评估。
同时,测试系统的设计也是非常关键的,在设计中需要考虑测试设备的精度、可靠性、稳定性等因素,同时还需要将产品应力状态的监测和数据采集等功能纳入到测试系统中。
四、结论在集成电路制造过程中,可靠性设计与测试是确保产品质量和可靠性的重要手段,可以减少产品故障率,提高产品稳定性和寿命。
因此,随着电子产品市场的不断扩大,集成电路制造中的可靠性设计与测试也会变得越来越重要。
超大规模集成电路可靠性评估综述
( p r n f o u e S in e n e h oo y T n i iesy S a g a 2 1 0 , hn ) De a me t C mp t c c dT c n lg , o N v r t, h n h i 0 8 4 C ia t o r e a Un i Ab ta t T e t e i efr n e e urme t o o ( s m n C is t e e s dc mpe i f S ii c a n ni— sr c : omet h g p r ma c q i h h o r e n s f C S t o hp) h ni a o l t o I s n r s gc t S ye , d t n y xy VL e i o n
不 足 和 困难
关键词 : 大规模 集成电路 ; 超 系统级 ; 寄存 器传输级 ; 逻辑级 ; 晶体管级 ; 可靠性评 估
中 图 分 类 号 : P 1 文 献 标 识 码 : 文 章 编 号 :0 9 3 4 (0 20 — 2 4 0 T 31 A 10 — 0 42 1)1 0 0 — 3
Ke r s VL I s s m v l r g s r r n frlv l l g clv l ta s t r e e ; eib l v l ai n ywo d : S ; y t l e ; e i e a s e ;o i e ; rn i o v l r l it e au t e e t t e e e s l a i y o
Vo., ., a u r 01 18 No1 J n ay2 2
超大规模集成 电路可靠性评估综述
朱 旭光
( ¨济大学 计算机科学 技术系, j 上海 2 1 0 ) 0 8 4
半导体集成电路的测试与可靠性分析
半导体集成电路的测试与可靠性分析半导体集成电路(Test and Reliability Analysis of Semiconductor Integrated Circuits)随着信息技术的不断发展,半导体集成电路已经成为了现代化社会中不可或缺的组成部分。
人们无论是在生产、生活还是娱乐,都离不开集成电路的帮助。
尤其是在智能手机、电脑、机器人等产品的生产中,它们的核心技术之一就是半导体集成电路。
而半导体集成电路的测试与可靠性分析更是决定其使用寿命和性能的关键所在。
一、半导体集成电路的测试1.半导体集成电路的测试目的半导体集成电路的测试是指对芯片进行检测和验证,以保证其电气特性符合工程设计的要求。
半导体集成电路需要经过严格的周期测试,以证明其所设计的功能和预期的性能是否均已满足。
半导体集成电路测试需要考虑各种因素,如电气特性测试、高压测试、温度测试和正常工作条件下的测试等,这些测试主要是为了保证半导体集成电路的功耗和正确性。
2.半导体集成电路的测试方法半导体集成电路的测试方法主要有两种,一种是逻辑化测试方法,另一种是电容电离测试方法。
其中逻辑化测试方法主要是在芯片内车墨点测试逻辑电路,进行的是测试程序和模拟技术。
而电容电离测试方法则主要是测试芯片内部电池的电压以及电池放电的电压。
3.半导体集成电路测试的流程半导体集成电路测试的流程主要包括制定测试策略、测试计划和系统测试。
测试计划是一份详细的测试计划,它包括测试的各个阶段、测试的目标、测试时间和计划。
系统测试则是在实验室内或者各个阶段完成后进行的测试,以验证芯片的性能和可靠性。
二、半导体集成电路的可靠性分析1.半导体集成电路的可靠性半导体集成电路的可靠性是指它在使用过程中产生的失败率。
半导体集成电路可靠性的影响因素很多,如制造、使用环境、运输等都可能会对半导体集成电路的可靠性产生影响。
然而,与其它应用领域相比,半导体集成电路需要更高的可靠性,因为它们的生产成本高、使用时间长、使用环境复杂,所以需要更好的可靠性和性能。
集成电路设计的可靠性分析与优化
集成电路设计的可靠性分析与优化随着集成电路技术的迅猛发展,集成电路设计的可靠性分析与优化变得越来越重要。
可靠性是指电路在预定的条件下,正确执行其功能的能力。
在现代电子产品中,可靠性是保证产品正常运行的重要指标之一。
本文将对集成电路设计的可靠性进行分析和优化。
首先,可靠性分析是指通过对电路中各个元件的特性和失效机理的研究,对电路进行可靠性评估。
可靠性分析包括两个方面:故障模式和失效机理的研究、可靠性评估和可靠性增强方法。
故障模式和失效机理的研究是了解电路中可能出现的故障模式和失效机理,为可靠性评估提供依据。
可靠性评估是对电路中各个元件进行可靠性测试,通过失效率和失效率曲线等指标评估电路的可靠性。
可靠性增强方法包括在元件选型、电路设计和工艺制程等方面进行优化,提高电路的可靠性。
其次,集成电路设计的可靠性优化是指通过减少故障率、延长性能寿命和提高抗干扰能力等方法,提高电路的可靠性水平。
可靠性优化包括以下几个方面:电路设计优化、加工工艺优化和环境控制。
在电路设计优化方面,可以采用冗余设计、故障容忍设计和自动故障检测等方法,提高电路的容错能力和故障检测能力。
加工工艺优化是指在集成电路的制造过程中通过改进工艺流程和工艺参数来提高电路的可靠性。
环境控制是指在产品的使用环境中控制温度、湿度和外界干扰等因素,减少电路的故障和失效。
此外,集成电路设计的可靠性也与电路中的元件和材料选择密切相关。
不同的元件和材料具有不同的可靠性特性,因此在电路设计过程中需根据实际要求选择合适的元件和材料。
例如,高质量的晶体管、电容器和电阻器等元器件可以提高电路的可靠性。
同时,合适的封装和外露材料也可以影响电路的可靠性。
因此,在集成电路设计中,对元器件和材料的选择和测试是非常重要的。
此外,集成电路设计的可靠性还需要考虑电路的可靠性测试和可靠性评估。
可靠性测试是指对电路进行加速寿命测试、热循环测试和恒温恒湿测试等,以验证电路在不同工作条件下的可靠性。
集成电路的可靠性测验等级分类
集成电路的可靠性测验等级分类
可靠性(Reliability)是对产品耐久力的测量, 我们主要典型的IC产品的生命周期可以用一条浴缸曲线(Bathtub Curve)来表示。
如上图示意, 集成电路的失效原因大致分为三个阶段:
Region (I) 被称为早夭期(Infancy period), 这个阶段产品的失效率快速下降,造成失效的原因在于IC设计和生产过程中的缺陷;
Region (II) 被称为使用期(Useful life period), 这个阶段产品的失效率保持稳定,失效的原因往往是随机的,比如温度变化等等;
Region (III) 被称为磨耗期(Wear-Out period)这个阶段产品的失效率会快速升高,失效的原因就是产品的长期使用所造成的老化等。
军工级器件老化筛选
元器件寿命试验
ESD等级、Latch_up测试评价
高低温性能分析试验
集成电路微缺陷分析
封装缺陷无损检测及分析
电迁移、热载流子评价分析
根据试验等级分为如下几类:
一、使用寿命测试项目(Life test items)
EFR:早期失效等级测试(Early fail Rate Test )
目的:评估工艺的稳定性,加速缺陷失效率,去除由于天生原因失效的产。
集成电路可靠性电迁移评估技术
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集成电路设计技术评估
集成电路设计技术评估1. 背景集成电路(IC)设计是现代电子行业的核心随着技术的不断进步,集成电路设计变得越来越复杂,对设计技术和工具的要求也越来越高集成电路设计技术评估是对集成电路设计流程、方法、工具和技术的全面评价,主要目的是提高设计效率、缩短设计周期、降低设计成本,并提高集成电路的性能和可靠性2. 集成电路设计流程集成电路设计流程是集成电路设计的基本步骤,包括需求分析、体系结构设计、逻辑设计、物理设计、验证和生产2.1 需求分析需求分析是集成电路设计的第一步,主要是确定集成电路的功能和性能要求需求分析的结果将直接影响后续设计阶段的决策2.2 体系结构设计体系结构设计是确定集成电路的整体结构,包括处理器、存储器、输入/输出接口等体系结构设计的目的是为了满足需求分析阶段提出的功能和性能要求2.3 逻辑设计逻辑设计是依据体系结构设计的结果,使用硬件描述语言(HDL)编写电路的逻辑描述逻辑设计的目标是将体系结构设计中的功能需求转化为具体的逻辑电路2.4 物理设计物理设计是将逻辑设计的结果映射到具体的集成电路工艺上,包括布局、布线、时序优化等物理设计的目的是为了实现逻辑设计的功能,并满足集成电路的性能和可靠性要求2.5 验证验证是确保集成电路设计满足需求分析阶段提出的功能和性能要求验证的过程包括功能验证、性能验证、时序验证等2.6 生产生产是将验证通过的设计交给集成电路制造厂商,进行生产制造3. 集成电路设计技术评估方法集成电路设计技术评估是对集成电路设计流程、方法、工具和技术的评价评估的方法包括定性和定量两种3.1 定性评估定性评估是通过专家评审、同行评审等方法对集成电路设计技术进行评价定性评估的优点是可以全面考虑集成电路设计的各个方面,缺点是主观性较强,结果可能不够客观准确3.2 定量评估定量评估是通过具体的数值指标对集成电路设计技术进行评价定量评估的优点是结果客观准确,缺点是需要大量的数据和统计分析,过程较为复杂4. 集成电路设计技术评估指标集成电路设计技术评估的指标是对集成电路设计技术性能的量化描述常用的评估指标包括:4.1 设计周期设计周期是指完成集成电路设计所需的时间设计周期的评估可以反映集成电路设计的效率4.2 设计成本设计成本是指完成集成电路设计所需的成本设计成本的评估可以反映集成电路设计的经济性4.3 性能指标性能指标是衡量集成电路性能的参数,包括频率、功耗、吞吐量等性能指标的评估可以反映集成电路设计的性能优劣4.4 可靠性指标可靠性指标是衡量集成电路可靠性的参数,包括失效率、寿命等可靠性指标的评估可以反映集成电路设计的可靠性5. 集成电路设计技术评估工具集成电路设计技术评估工具是对集成电路设计技术进行评估的工具常用的评估工具有:5.1 仿真工具仿真工具可以对集成电路设计进行功能验证和性能验证常用的仿真工具有Cadence、Synopsys等5.2 统计分析工具统计分析工具可以对集成电路设计的数据进行分析,得出评估指标常用的统计分析工具有Excel、SPSS等5.3 设计管理系统设计管理系统可以对集成电路设计的流程、进度、资源等进行管理设计管理系统的使用可以提高集成电路设计的效率6. 总结集成电路设计技术评估是对集成电路设计流程、方法、工具和技术的全面评价通过评估可以提高设计效率、缩短设计周期、降低设计成本,并提高集成电路的性能和可靠性在实际应用中,应根据具体的需求选择合适的评估方法、指标和工具,以达到最佳的评估效果1. 背景集成电路(IC)设计是现代电子行业的核心随着技术的不断进步,集成电路设计变得越来越复杂,对设计技术和工具的要求也越来越高集成电路设计技术评估是对集成电路设计流程、方法、工具和技术的全面评价,主要目的是提高设计效率、缩短设计周期、降低设计成本,并提高集成电路的性能和可靠性2. 集成电路设计流程集成电路设计流程是集成电路设计的基本步骤,包括需求分析、体系结构设计、逻辑设计、物理设计、验证和生产2.1 需求分析需求分析是集成电路设计的第一步,主要是确定集成电路的功能和性能要求需求分析的结果将直接影响后续设计阶段的决策2.2 体系结构设计体系结构设计是确定集成电路的整体结构,包括处理器、存储器、输入/输出接口等体系结构设计的目的是为了满足需求分析阶段提出的功能和性能要求逻辑设计是依据体系结构设计的结果,使用硬件描述语言(HDL)编写电路的逻辑描述逻辑设计的目标是将体系结构设计中的功能需求转化为具体的逻辑电路2.4 物理设计物理设计是将逻辑设计的结果映射到具体的集成电路工艺上,包括布局、布线、时序优化等物理设计的目的是为了实现逻辑设计的功能,并满足集成电路的性能和可靠性要求2.5 验证验证是确保集成电路设计满足需求分析阶段提出的功能和性能要求验证的过程包括功能验证、性能验证、时序验证等2.6 生产生产是将验证通过的设计交给集成电路制造厂商,进行生产制造3. 集成电路设计技术评估方法集成电路设计技术评估是对集成电路设计流程、方法、工具和技术的评价评估的方法包括定性和定量两种3.1 定性评估定性评估是通过专家评审、同行评审等方法对集成电路设计技术进行评价定性评估的优点是可以全面考虑集成电路设计的各个方面,缺点是主观性较强,结果可能不够客观准确3.2 定量评估定量评估是通过具体的数值指标对集成电路设计技术进行评价定量评估的优点是结果客观准确,缺点是需要大量的数据和统计分析,过程较为复杂4. 集成电路设计技术评估指标集成电路设计技术评估的指标是对集成电路设计技术性能的量化描述常用的评估指标包括:4.1 设计周期设计周期是指完成集成电路设计所需的时间设计周期的评估可以反映集成电路设计的效率设计成本是指完成集成电路设计所需的成本设计成本的评估可以反映集成电路设计的经济性4.3 性能指标性能指标是衡量集成电路性能的参数,包括频率、功耗、吞吐量等性能指标的评估可以反映集成电路设计的性能优劣4.4 可靠性指标可靠性指标是衡量集成电路可靠性的参数,包括失效率、寿命等可靠性指标的评估可以反映集成电路设计的可靠性5. 集成电路设计技术评估工具集成电路设计技术评估工具是对集成电路设计技术进行评估的工具常用的评估工具有:5.1 仿真工具仿真工具可以对集成电路设计进行功能验证和性能验证常用的仿真工具有Cadence、Synopsys等5.2 统计分析工具统计分析工具可以对集成电路设计的数据进行分析,得出评估指标常用的统计分析工具有Excel、SPSS等5.3 设计管理系统设计管理系统可以对集成电路设计的流程、进度、资源等进行管理设计管理系统的使用可以提高集成电路设计的效率6. 评估案例分析以下是一个集成电路设计技术评估的案例分析:6.1 案例背景某公司研发一款高性能的处理器,需要对集成电路设计技术进行评估,以确保设计满足性能要求6.2 评估方法采用定性和定量评估方法,结合专家评审和统计分析工具进行评估6.3 评估指标选择设计周期、设计成本、性能指标和可靠性指标作为评估指标6.4 评估过程1.进行需求分析,确定处理器性能要求2.使用设计管理系统对设计流程进行管理,记录设计周期和设计成本3.使用仿真工具对设计进行功能应用场合集成电路设计技术评估适用于以下场合:1.集成电路项目初期规划:在项目启动阶段,通过评估确定设计目标和预期成果,为项目规划提供依据2.设计过程监控与优化:在设计过程中,定期进行评估,以确保设计进度和质量符合要求,及时调整设计策略3.技术升级与创新:在研究新技术或进行产品升级时,通过评估比较不同技术的优劣,指导技术选择4.设计团队能力建设:评估设计团队的工作效率和技能水平,用于指导团队建设和培训5.集成电路产品竞争分析:通过评估竞争对手的产品性能,了解市场状况,制定竞争策略6.风险评估与管理:评估设计中可能存在的风险,提前采取措施,降低风险影响注意事项在进行集成电路设计技术评估时,需要注意以下几点:1.评估方法的合理性:选择与设计目标和环境相匹配的评估方法,确保评估结果的有效性2.评估指标的全面性:确保评估指标能够全面反映集成电路设计的各个方面,避免片面性3.数据的真实性和准确性:评估过程中使用的数据应真实可靠,避免使用虚假或错误的数据4.评估工具的适用性:根据评估需求选择合适的工具,确保工具的功能能够满足评估需求5.评估结果的客观性:评估过程中应避免主观偏见,确保评估结果的客观性6.持续改进:评估是一个持续的过程,应不断地从评估结果中吸取经验,改进设计流程和方法7.资源投入:评估需要适当的人力和物力资源投入,确保评估工作的顺利进行8.知识产权保护:在评估过程中,应注意保护相关的知识产权,避免泄露敏感信息9.合规性:确保评估过程符合相关法律法规和行业标准,遵守职业道德10.保密性:评估过程中可能会涉及到公司的敏感信息,应确保评估过程中的保密性通过以上应用场合和注意事项,可以更好地应用集成电路设计技术评估,提高设计效率和质量,降低设计风险。
集成电路的工作原理及可靠性分析
电子技术 • Electronic Technology86 •电子技术与软件工程 Electronic Technology & Software Engineering 【关键词】集成电路 半导体集成电路 静电放电 可靠性1 集成电路的工作原理及组成结构集成电路,一般简称IC ,英文名为integrated circuit ,它是一种新型、微型的电子元件或者零部件。
通常情况下集成电路采用一种特定的工艺方法,把很多的微电子元件集成到一个硅片上,一般这些电子元件包括晶体管、二极管、电容电阻、电感等,现如今基本所有集成电路的都是以硅作为基础材料,再在其基础上通过扩散或者渗透的工艺方法让其形成N 型、P 型的半导体或者P-N 结。
让其在电路板上结合其他元器件一起来完成一些特定功能的电路模块,比如说一些我们平时生活中常见的一些承担运算、导电、存储功能的电子设备。
人们把集成电路也称作半导体集成电路,因为一般的集成电路的基板都是半导体材料,然后再在基板上把把至少一个有源元件或者更多的元件相互之间连接到一起,让其完成一些特定功能的元器件。
它们一般通过半导体材料所特有的电子空穴导电能了来进行通电,让电流通过半导体上的引线和引脚来进行输入或者输出电流信号,完成半导体集成电路的索要完成的特定功能。
人们一般认为集成电路是罗伯特•诺伊思(在硅(Si )的基础上发明的集成电路)和杰克•基尔比(在锗(Ge )的基础上发明的集成电路)发明的。
而后随着集成电路的一步步持续改进,现如今市面上大多数的的半导体集成电路都是在硅的基础上进行生产的,一般集成电路的工作原理及可靠性分析文/陈海彬情况下半导体的工艺过程是氧化→光刻→扩散→外延→蒸铝,然后形成集成电路所需要的半导体材料,把另外一些所需要的二极管、电容、电阻等元器件再焊接到加工好的特定的半导体材料上,就加工成了我们所需要的一些半导体集成电路。
它们会有各种各样的样式,比如有扁平式的、圆壳式的、双列直插式的等等,而且它们所实现的功能也是各种各样。
集成电路芯片可靠性分析研究
集成电路芯片可靠性分析研究随着现代科技的不断发展,集成电路芯片已经成为了现代电子、通信和计算机领域中不可或缺的核心部件。
然而,集成电路芯片的可靠性却一直是人们非常关注的一个问题。
在实际生产和应用过程中,不同的环境、工艺、材料和设计等因素都会导致芯片的可靠性问题。
因此,集成电路芯片可靠性分析研究成为了一个热门的课题。
1. 集成电路芯片的可靠性基本原理和分析方法首先,集成电路芯片的可靠性分析需要考虑多种因素。
其中,主要有以下几个方面:1) 错误率。
这是指芯片出现错误的数量与总运行时间之比。
错误率越小,芯片的可靠性就越高。
2) 寿命。
这是指芯片的使用寿命,也就是芯片在正常使用下可以承受的时间。
3) 可修复性。
这是指芯片在出现故障后能否进行自我修复或通过更换某些部件进行恢复。
在实际分析中,常用的方法包括:可靠性评估、应力试验、可靠性预测、可靠性模拟等。
每种方法都有其优点和局限性,需要根据具体情况进行综合选择。
2. 集成电路芯片可靠性问题的原因和影响因素接下来,我们来看一下造成集成电路芯片可靠性问题的主要原因和影响因素。
首先,不同的工艺和材料对芯片可靠性的影响很大。
例如,有些工艺可能会导致芯片的灵敏度下降或故障概率增加;而不同的材料则可能对芯片的稳定性、功率消耗等方面产生影响。
其次,芯片设计和制造过程中的误差也会影响芯片的可靠性。
例如,电路设计时不恰当的参数选择、尺寸过小或过大、布局不合理等都会导致芯片的可靠性降低。
此外,环境因素也是影响芯片可靠性的一个重要因素。
例如,温度、湿度、氧气浓度、电磁场等因素都可能导致芯片失效。
3. 集成电路芯片可靠性提升的方法和技术最后,我们来看一下如何提升集成电路芯片的可靠性。
首先,根据可靠性分析结果,进行芯片设计和制造时需要注意材料选择、工艺优化、误差控制、灵敏度和功耗优化等方面。
此外,应根据不同环境要求对芯片进行测试和应变试验等,以评估芯片在实际使用时的可靠性。
其次,采用先进的封装技术也能有助于提升芯片的可靠性。
电子设计领域集成电路测试与验证的技术方法
电子设计领域集成电路测试与验证的技术方法在电子设计领域中,集成电路的测试与验证是确保电路设计质量和可靠性的重要环节。
随着电子技术的不断发展和集成电路复杂度的增加,测试与验证技术的重要性也日益凸显。
本文将介绍几种常用的集成电路测试与验证技术方法。
一、功能验证功能验证是测试与验证的基础环节,旨在验证电路在不同输入条件下是否能够正确地产生预期输出。
在功能验证中,可以采用仿真验证和实际硬件验证两种方法。
1. 仿真验证仿真验证是利用计算机软件对电路进行模拟和测试的方法。
通过建立电路的数学模型,可以模拟电路在不同输入下的输出情况,进而验证电路的功能和性能。
仿真验证的优点是成本低、可重复使用和调试方便,可以在电路设计的早期阶段进行验证。
常用的仿真工具有SPICE、Verilog和VHDL等。
2. 实际硬件验证实际硬件验证是将电路设计制作成实际的硬件原型,并通过实验室设备对其进行测试和验证的方法。
相比仿真验证,实际硬件验证更加接近真实环境,可以更准确地评估电路的性能。
实际硬件验证的缺点是成本高、周期长、调试困难,适合在电路设计的后期阶段进行验证。
二、电路板级测试和芯片级测试电路板级测试和芯片级测试是针对电路板和集成电路芯片进行的测试与验证方法,用于确保电路板和芯片的运行正常和性能优良。
1. 电路板级测试电路板级测试是针对整个电路板进行测试的方法。
在电路板级测试中,可以使用测试点和测试仪器对电路板进行全面的功能测试,以确保整个电路板的正常运行。
电路板级测试一般包括功能测试、耐压测试、温度测试等环节。
2. 芯片级测试芯片级测试是针对集成电路芯片进行测试的方法。
由于芯片集成度高、结构复杂,芯片级测试需要运用先进的测试技术和设备。
芯片级测试一般包括逻辑测试、信号测试、功耗测试等环节。
常用的芯片级测试方法有扫描链(Scan Chain)测试、缺陷模拟测试等。
三、自动化测试和在线测试自动化测试和在线测试是通过引入计算机和自动化设备来提高测试效率和精度的测试与验证方法。
半导体集成电路可靠性测试及其数据处理方法
• 194•半导体集成电路可靠性测试及其数据处理方法长电科技(滁州)有限公司 邱冬冬研究人员在对产品使用时间进行分析中,产品的可靠性至关重要,可靠性目前是检验产品质量很重要的一个项目,它能够明确反映产品质量。
在运用全新工艺和材料的条件下,常见的半导体集成电路线宽逐渐降低,所以科研人员就要提升其集成度,因此半导体集成电路可靠性的要求也更加严格。
本文主要对半导体集成电路的可靠性测试进行了介绍,并分析了处理数据的两种方法,即热载流子注入测试和栅氧化层测试,希望对半导体集成电路的研发有所帮助。
随着科技的进步,相关行业对半导体集成电路的性能要求越来越高,这些要求使半导体集成电路在制作时工艺制造趋向复杂化,结构制作也更精细。
为了集成电路的可靠性能经得住检验,同时减少生产本钱,半导体集成电路可靠性的测试就显得很有必要了。
1.半导体集成电路的可靠性测试1.1 半导体的可靠性当前,使用被动筛选的方式是我国国内检验半导体可靠性的重要方法,然而这种方法需要投入大量人力物力,利用原始的人工筛选方式将可靠性不达标的半导体筛选出来,效率极低。
同时这种方法耗时长、成本高,最重要的是,这种方法无法从根本上提高半导体的可靠性。
因此,当前需要知道在什么条件下才能制作出可靠性能高的半导体,从而进一步避免半导体使用过程中发生失效。
这就要求我们综合考虑制作周期、制作工艺、制作条件对半导体可靠性能的影响,通过科学的数据分析对半导体进行设计。
1.2 半导体集成电路工艺的可靠性如果想最大限度的提高半导体集成电路的可靠性,采用的主要方法就是加强对制造工艺的研究,这个研究是可靠性提升的关键。
在集成电路可靠性的研究中,分析制造工艺能够在哪些方面影响半导体集成电路可靠性的使用,保证可靠性的工艺进行重要的监测与控制,构造集成电路产品可靠性的评价规范程序和方法,这些工作都是能够保障半导体集成电路可靠性的研究,因此,要保证产品实物的可靠性,就必须要保证生产工艺的可靠性。
集成电路可靠性介绍
集成电路可靠性介绍可靠性的定义是系统或元器件在规定的条件下和规定的时间内,完成规定功能的能力。
从集成电路的诞生开始,可靠性的研究测试就成为IC设计、制程研究开发和产品生产中的一个重要部分。
Jack Kilby 在1958年发明了集成电路,第一块商用单片集成电路在1961年诞生;1962年9月26日,第一届集成电路方面的专业国际会议在美国芝加哥召开。
当时会议名称为“电子学失效物理年会”;1967年,会议名称改为“可靠性物理年会”;1974年又改为“国际可靠性物会议”(IR PS) 并延续至今。
IRPS已经发展成集成电路行业的一个盛会,而可靠性也成为横跨学校研究所及半导体产业的重要研究领域。
集成电路可靠性评估体系经过四十多年的发展,集成电路的可靠性评估已经形成了完整的、系统的体系,整个体系包含制程可靠性、产品可靠性和封装可靠性。
制程可靠性评估采用特殊设计的结构对集成电路中制程相关的退化机理(Wearout Mechanism)进行测试评估。
例如,我们使用在芯片切割道(Scribe Line)上的测试结构来进行HCI ( Hot Carrier Injection) 和NBTI (Negative Bias Temperature Instability) 测试,对器件的可靠性进行评估。
产品可靠性和封装可靠性是利用真实产品或特殊设计的具有产品功能的TQV (Technology Qualification Vehicle) 对产品设计、制程开发、生产、封装中的可靠性进行评估。
集成电路可靠性工作者的主要任务可靠性定义中“规定的时间”即常说的“寿命”。
根据国际通用标准,常用电子产品的寿命必须大于10年。
显然,我们不可能将一个产品放在正常条件下运集成电路可靠性介绍行10年再来判断这个产品是否有可靠性问题。
可靠性评估采用“加速寿命测试”(Accelerated Life Test, ALT)。
把样品放在高电压、大电流、高湿度、高温、较大气压等条件下进行测试,然后根据样品的失效机理和模型来推算产品在正常条件下的寿命。
集成电路测试与可靠性评估方法
集成电路测试与可靠性评估方法集成电路测试与可靠性评估是保障集成电路品质和可靠性的重要环节。
在集成电路生产过程中,测试环节主要是对电路功能和性能进行全面的验证,而可靠性评估则是通过一系列的可靠性试验和统计分析,来预测电路在使用中的寿命和性能衰减情况。
集成电路测试主要分为芯片级测试和封装级测试两个阶段。
芯片级测试是在芯片元件封装之前进行的一系列测试,包括功能测试、性能测试、可靠性测试等。
功能测试是验证芯片功能是否正常的关键步骤,通过输入不同的电信号,观察输出是否符合设计要求。
性能测试则是对芯片性能进行测试和评估,包括速度、功耗、噪声等指标。
可靠性测试则是模拟芯片在特定环境下的工作条件,如温度、湿度等,通过长时间运行和应力测试来评估芯片的可靠性。
封装级测试是将芯片封装成成品之后进行的测试过程,主要是对封装后的电路进行功能验证和可靠性测试。
功能验证是对整个封装电路进行的测试,测试的内容包括输入输出特性、信号延迟、功率特性等。
可靠性测试则是通过模拟使用条件,对封装电路进行长时间运行测试,以评估其寿命和可靠性。
集成电路可靠性评估是通过一系列的可靠性试验和统计分析,来对电路的寿命和性能衰减情况进行预测和评估。
常见的可靠性试验包括热老化试验、温度循环试验、湿热试验等。
热老化试验是将芯片或封装电路置于高温环境中,通过加速老化的方式来评估电路的寿命。
温度循环试验则是通过将电路反复置于高低温环境中,来模拟电路在温度变化时的性能衰减情况。
湿热试验则是将电路置于高温高湿环境中,通过湿度和温度的协同作用来评估电路的可靠性。
除了可靠性试验,还可以通过统计分析方法来评估电路的可靠性。
常见的统计分析方法包括故障数据分析、可靠性增长分析等。
故障数据分析是对电路的故障数据进行收集和分析,通过统计方法来评估电路的失效率和失效模式。
可靠性增长分析则是通过长时间运行测试,收集电路的失效数据,通过分析失效数据的分布和趋势,来预测电路的寿命和性能衰减情况。
集成电路的工作原理及可靠性分析
集成电路的工作原理及可靠性分析摘要:集成电路是现代电子技术中的重要组成部分,其工作原理涉及到多种物理原理和技术方法。
本文将对集成电路的工作原理进行深入分析,并探讨其可靠性问题。
首先,本文将简要介绍集成电路的基本结构和分类,并详细介绍CMOS技术在集成电路中的应用。
然后,本文将分析集成电路的工作原理,包括数字电路和模拟电路两个方面,并介绍集成电路中常见的逻辑门和模拟电路。
最后,本文将探讨集成电路的可靠性问题,包括热稳定性、电子迁移效应、辐射效应等,以及集成电路的可靠性评估方法。
关键词:集成电路,工作原理,可靠性评估方法。
引言:集成电路是现代电子技术的核心之一,其广泛应用于计算机、通信、娱乐等各个领域。
集成电路的发展经历了数十年的探索和实践,逐步从简单的门电路发展到了复杂的微处理器和存储芯片。
在集成电路的发展过程中,CMOS技术成为了最为成熟和广泛应用的技术之一。
与此同时,随着集成电路规模的不断增大和工艺的不断进步,集成电路的可靠性问题也逐渐引起人们的关注。
因此,本文将深入分析集成电路的工作原理和可靠性问题,以期为相关研究提供参考。
一、集成电路的基本结构和分类集成电路是指将多个电子器件(晶体管、电容、电阻等)以一定的规律和方法集成到一块半导体晶片上,形成一个完整的电路系统。
根据功能和结构的不同,集成电路可以分为数字电路和模拟电路两种类型。
数字电路主要用于数字信号的处理和计算,包括逻辑门、存储器、微处理器等;模拟电路主要用于模拟信号的处理和放大,包括放大器、滤波器、电源管理芯片等。
此外,根据集成度的不同,集成电路还可以分为SSI(小规模集成电路)、MSI(中规模集成电路)、LSI(大规模集成电路)和VLSI(超大规模集成电路)等不同类型。
二、集成电路的工作原理1.数字电路的工作原理数字电路主要是处理离散的数字信号,其中最基本的逻辑门包括与门、或门、非门等。
这些逻辑门的输出取决于其输入信号的状态,可以用真值表来描述其逻辑功能。
集成电路测试技术
数字集成电路测试技术
随着数字集成电路的普及,数字集成电路测试技 术逐渐成为主流,如JTAG测试、边界扫描测试等 。
自动测试设备(ATE)
随着集成电路规模的扩大和复杂性的增加,自动测 试设备(ATE)逐渐成为主流的测试工具,能够实 现高效、高精度的测试。
02
集成电路测试技术分类
功能测试
功能测试是集成电路测试中的基础测试,主要目的是验证集成电路的功能是否符合 设计要求。
挑战
随着集成电路封装的小型化,测试的难 度也在增加,因为小型化封装可能导致 引脚间距缩小和引脚数量增加,使得测 试的准确性和可靠性受到影响。
解决方案
采用先进的探针卡和连接器技术,以提 高测试连接的稳定性和可靠性。同时, 开发和应用更先进的测试算法和软件, 以应对小型化封装带来的挑战。
05
集成电路测试技术发展趋势
测试计划制定
确定测试目标
01
明确测试范围、测试项目、测试标准等,为后续测试提供指导。
制定测试方案
02
根据测试目标,设计合理的测试方案,包括测试方法、测试步
骤、测试环境等。
分配测试资源
03
根据测试方案,合理分配测试所需的硬件、软件、人力等资源。
测试硬件与软件选择
选择测试设备
根据测试需求,选择合适的测试设备,如测试机台、探针台、负 载板等。
的性能表现,满足设计要求。
性能测试通常需要在不同的环境 条件下进行,以模拟实际工作情
况。
可靠性测试
可靠性测试是为了评估集成电路在长 时间工作或恶劣环境下的稳定性。
可靠性测试的结果可以用来评估集成 电路的可靠性和寿命,以及预测潜在 的故障风险。
可靠性测试通常包括寿命测试、高低温 循环测试、湿度测试等,以模拟实际使 用过程中可能遇到的各种环境因素。
集成电路可靠性试验及其分析与评估
集成电路可靠性试验及其分析与评估集成电路(Integrated Circuit, IC)是现代电子领域的核心技术之一,它被广泛应用于通讯、计算机、家用电器、汽车等各个领域,为人类社会的科技进步做出了重要贡献。
然而,随着芯片制造工艺的不断发展和集成度的提高,IC可靠性问题也愈加复杂和严峻。
为了确保IC在使用过程中能够稳定可靠地运行,科学家和工程师们对IC可靠性问题进行了数十年的研究与试验。
本文将着重介绍集成电路可靠性试验及其分析与评估方法。
一、IC可靠性指标:IC可靠性是指其在一定的工作条件下,能够在规定的时间和区间内完成其设计任务的程度。
IC的可靠性主要包括以下几个方面:1.寿命:IC在特定的实际工作条件下,运行至失效的时间。
2.失效率:IC在特定的实际工作条件下,单位时间内实际失效的概率。
3.可修复性:IC的失效后,是否能够通过修复方式恢复其原有功能。
4.鲁棒性:IC在受到外界干扰或异常工作条件下,能否保持其正常的工作状态。
以上指标是评估IC可靠性的主要参考指标,一般情况下,寿命和失效率是评估IC可靠性的重要指标,下面我们将介绍IC可靠性试验的主要内容。
二、IC可靠性试验内容:IC可靠性试验是指对IC进行一系列实验,以评估其可靠性及寿命等参数的试验。
其主要包括以下几个方面:1.温度试验:对IC进行高温和低温试验,以评估IC在极端温度条件下的可靠性。
2.湿度试验:对IC进行潮湿试验,以评估IC在高湿环境下的可靠性。
3.热应力试验:对IC进行热应力试验,以评估IC在温度梯度环境下的可靠性。
4.振动试验:对IC进行振动试验,以评估IC在机械振动等异常工作条件下的可靠性。
5.电学试验:对IC进行电学试验,以评估IC在电学参数变化时的可靠性。
以上试验是IC可靠性试验的主要内容,每一项试验都需要严格的操作规范和数据记录流程,下面我们将着重介绍IC可靠性试验数据分析与评估方法。
三、IC可靠性试验数据分析与评估方法:IC可靠性试验所得的试验数据一般包括失效时间、失效率、可修复性等参数,下面我们将介绍常用的IC可靠性数据分析与评估方法。
IC工艺技术13集成电路可靠性PPT79页课件
产品可靠性取决于设计,工艺和封装 相同设计规则,相同工艺和封装的不同产品应有相同的可靠性水平 可靠性要从源头-设计抓起 可靠性是内在质量,是靠‘做’出来的,不是靠‘测’出来的
可靠性设计
电路设计的可靠性考虑 器件和版图结构设计的可靠性考虑 工艺设计的可靠性考虑
可靠性设计 -电路设计时的考虑
耗损失效期
在曲线的最后区域,失效速率急剧上升,意味着封装器件达到了预期寿命,诸如开裂和过度的应力不可能对该区域有重大影响,因为这些问题造成的失效应更早出现。引起该失效的最典型的原因是较慢锈蚀过程的累积效应。失效速率开始快速上升的时间应该超过系统的预期寿命,以保证消费者的质量要求。
(三)硅片级可靠性设计和测试
可靠性试试验 (1)
可靠性评价不可能等待器件自然失效后再进行测试和分析,而是通过一系列模拟环境和加速试验,使器件在较短的时间内失效,然后再进行失效机理的分析。 加速因子包括潮气、温度、一般的环境应力和剩余应力等。 设计合理的加速试验,可以达到检测器件可靠性的目的。 选择合适的样本数也是可靠性试验的关键参数之一,因为样本数少了,不能真实反映器件的可靠性,样本数太大的话,又会造成资源的浪费,需用数理统计方法,合理选择样本数。
28
MTTF (Years) 125oC 60% UCL
243
MTTF (Years) 90oC 60% UCL
4060
温度循环(T/C)
条件: 500 cycles, -65℃ to +150℃ at a ramp rate of 25℃/min and with 20 min dwell at each temperature extreme 目的:模拟环境温度变化,考核温度交替变化对产品机械/电性能的影响,暴露粘片/键合/塑封等封装工艺/材料缺陷,及金属化/钝化等圆片工艺问题 失效机理:不同材料间热膨胀系数差异造成界面热匹配问题,造成金线断裂、键合脱落致使开路,塑封开裂使密封性失效、界面分层使热阻增大 、钝化层开裂、硅铝接触开路、芯片开裂
集成电路可靠性介绍
集成电路可靠性介绍集成电路(Integrated Circuit,简称IC)是创新的微电子器件,通过在单片半导体基片上集成数百万个电子元器件,实现高度集成、高性能、小体积、低功耗等优势。
然而,随着IC技术的不断发展,集成电路可靠性问题也逐渐凸显出来。
IC可靠性指的是IC在特定工作环境下运行稳定的能力,即IC正常工作的概率和寿命。
本文将对集成电路可靠性进行介绍。
首先,IC可靠性主要受到以下几个因素的影响。
第一,制造工艺。
IC的可靠性很大程度上取决于制造工艺的优劣。
制造工艺包括晶圆制备、掩膜制备、刻蚀、离子注入、金属化以及测试等多个环节。
如果这些环节中的任何一个出现缺陷或不稳定,都可能导致IC的质量下降以及可靠性问题。
第二,环境因素。
IC在不同环境条件下的可靠性表现也不同。
温度、湿度、电磁场等因素对于IC的可靠性有着重要影响。
高温会引起晶体管发射率的增加,从而导致晶体管电流失控;湿度会促进金属腐蚀,产生导电性的氧化物,并可能引起短路或开路等故障。
第三,应力效应。
应力效应是指在工作状态下,由于外界因素施加力或热效应导致内部应力的变化。
这种应力变化会导致材料疲劳、电流漂移和互连间隙变化等,从而影响IC的可靠性。
第四,电压应力。
电压应力是指IC在实际工作过程中的电压变化和峰值电压。
过高或过低的电压都会对IC造成损害,导致电路的可靠性下降。
在提高集成电路可靠性方面,有以下几种常见的方法。
第一,制造工艺改进。
制造工艺的改进可以提高IC的质量以及可靠性。
例如,改进晶圆制备工艺、掩膜制备技术以及测试设备等,都能够有效减少制造过程中的缺陷以及良率问题。
第二,设计优化。
在IC设计过程中加入冗余电路、纠错码等措施可以提高系统的可靠性。
例如,通过添加额外的晶体管,即使其中一个晶体管出现故障,电路仍能正常工作。
第三,可靠性预测和测试。
通过对IC进行全面的可靠性预测和测试,可以及早发现潜在的问题并采取相应的措施。
例如,可以利用加速试验方法模拟长时间工作环境,验证IC的可靠性表现。
集成电路中的可靠性设计与测试
集成电路中的可靠性设计与测试随着科技的不断发展,集成电路已经成为现代智能电子产品中不可或缺的组成部分。
然而,由于电子产品的高度复杂性和高密度的电路设计,集成电路的可靠性设计与测试成为一项至关重要的任务。
本文将探讨在集成电路中的可靠性设计与测试。
一、可靠性设计在集成电路中的重要性集成电路作为现代电子产品的核心技术,它的可靠性成为保障产品正常运行和长期使用的重要因素。
因此,集成电路的设计和测试必须要充分考虑到可靠性问题。
集成电路设计的可靠性包括电路设计的稳定性、噪声、温度和时间等多方面的因素。
对于电路设计的稳定性,可在设计阶段中采用合适的电磁兼容技术和稳定电源等方法,降低电路噪声和抖动等问题。
而对于温度和时间等因素,则需要设计具有较高实验稳定性和可重复性的电路。
另一方面,可靠性测试是集成电路生产过程中的重要环节之一。
通过对集成电路进行可靠性测试可以有效评估电路的稳定性和可靠性,及早发现存在的问题,并对测试数据进行动态分析和优化改进。
因此,在集成电路的设计和生产中,可靠性测试应该被认为是对电路可靠性进行验证和监控的重要手段。
二、集成电路的可靠性测试方法为了测试集成电路的可靠性,需要采用合适的测试方法和技术。
下面介绍几种常见的集成电路可靠性测试方法。
1. 温度加速测试温度加速测试是一种重要的集成电路可靠性测试方法,它通过将被测试芯片置于高温环境下,模拟电路使用寿命,并测量芯片的可靠性和寿命。
此测试方法可以有效发现电路中的潜在问题,对设计进行改进和优化。
温度加速测试也可以结合其他测试方法,如电性能测试和可靠性老化测试,实现综合性能评估。
2. 电性能测试电性能测试是另一种重要的集成电路可靠性测试方法。
它通过测试芯片的电气特性,包括电压、电流、功耗、输入输出电阻和逻辑门延时等指标来评估芯片的可靠性和性能。
此测试方法适用于评估芯片较低层次的性能指标和实现电路测试。
3. 可靠性老化测试可靠性老化测试是一种长时间测试芯片的可靠性的测试方法。
集成电路封装材料可靠性评估技术研究
集成电路封装材料可靠性评估技术研究随着集成电路技术的不断发展,封装材料的可靠性评估成为了重要的研究方向。
对于集成电路制造商和封装材料供应商来说,提高封装材料的可靠性是确保产品质量和可靠性的关键。
因此,研究和发展封装材料可靠性评估技术对于促进集成电路产业的发展具有重要的意义。
首先,我们需要了解集成电路封装材料的可靠性评估技术是如何进行的。
当集成电路封装材料在实际工作环境中受到温度、湿度、机械应力等外部因素的影响时,封装材料可能会出现热膨胀、应力集中、裂纹扩展等问题。
因此,评估封装材料的可靠性需要考虑这些因素,并通过实验和模拟等手段进行研究。
一种常用的封装材料可靠性评估技术是可靠性试验。
通过将封装材料置于特定的环境条件下进行长时间稳定性测试,如高温老化试验、湿热试验等,观察材料在不同条件下的性能退化情况,从而评估材料的可靠性。
在试验过程中,可以通过测量材料的物理性质、电性能等指标来得到相应的数据。
同时,还可以采用加速寿命试验的方法,通过增加环境条件的严酷程度来加速材料的老化过程,以便更快地得到可靠性评估结果。
除了试验方法外,模拟和数值计算方法也是封装材料可靠性评估的重要手段。
通过建立封装材料的数学模型,研究材料在特定环境下的热力学、力学响应等特性,预测材料的可靠性。
模拟方法可以减少试验时间和成本,并能提供更全面的材料性能信息。
例如,有限元分析是一种常用的数值计算方法,可以模拟材料在不同外部加载条件下的应力分布情况,从而评估材料的可靠性。
此外,还可以通过建立可靠性评估模型,将试验数据与模拟结果进行综合分析,提高可靠性评估的准确性。
另外,材料表征技术也是封装材料可靠性评估的重要组成部分。
通过对材料的物理性质、微观结构等进行表征,可以获得关于材料的详细信息。
例如,扫描电子显微镜、透射电子显微镜等技术可以观察材料的表面形貌和内部结构,从而了解材料的微观缺陷情况。
热分析技术可以测量材料的热性能,包括热导率、热膨胀系数等。
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氧化层击穿 % 器件失效 & 因此 % 随着栅氧化层厚度降 低 % 软击穿也将会作为一种新的氧化层失效机制而 逐渐引起人们的注意 % 并且可能是标志未来的 .LB 器件栅氧化层可靠性的关键因素)(* &
图 5 超薄栅中的应力不同导致的漏电流不一样
3
图 4 电场加速因子与温度的关系
小结
关于氧化层可靠性的评价 % 除了使用恒定电压 以外 % 还可以使用斜坡电压的测量方法 & 根据击穿电 场的分布 % 可以将氧化层缺陷分成三种类型 %+ 模 式 ’% 模式和 , 模式 & + 模式的击穿电场小于 -./0
图2
M O S 器件中热载流子注入示意图
在做热载流子寿命预计时 ’ 需要考虑如下的几 个因素 ! 决定最坏状况的偏压条件及器件特性退化 机制 ’选择器件退化参数来测量器件的退化程度 ’ 选
!" # 总第 ! 8 期 $
2005 " 1"
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!"!
寿命 %
中国集成电路
4#7 以 下 的 !$%& 器 件 中 热 载 流 子 效 应 必 然
存在 & 工艺上虽然采用了 SQQ 结构等方法提高了器 件抗热载流子退化的能力 & 但热载流子效应仍然是 影响亚微米和深亚微米集成电路可靠性的重要因 素 &热载流子效应的影响不是一开始就很严重 & 而是 随时间逐渐引起器件参数的退化 & 主要退化参数有 阈值电压 FTU )跨导 37 ) 线性漏电流 "VWX1 和饱和漏
#$%& 微米工艺的栅介质层厚度为 ’ 至 (#)* %#$+& 微
米工艺的栅介质层厚度为 , 至 &)* % 发展到 #$(% 微 米工艺时 % 栅介质层的厚度将仅为 + 至 %)* ’ 这些 情况会导致器件失效的可能性增加 ’ 因此 % 当集成电 路的性能不断提升时 %其可靠性水平必须得到保证 ’ 电迁移现象是运动中的电子与金属原子相互交 换动量的结果 ’ 因此铝原子在与电子流运动相同的 方向迁移时 % 会在原有位置产生空洞 ’ 当空洞逐渐扩 大到与金属导线相同的宽度时 %就会使金属线断开 % 产生器件失效’ 这种现象被称为电迁移 #-./0123*4526143)%-7 $失效 ’ 栅氧化层质量直接关系到器件的电性能和可靠 性 % 当有电荷注入时 % 会造成共价键断裂 % 产生缺陷 % 这些缺陷通过陷阱 8包括界面态 9体现出来 ’ 介质击 穿分为本征击穿和与缺陷相关的击穿 % 本征击穿的 机理和材料性质有关 % 与缺陷相关的击穿与 :3.;<=4<
", 产品的发展除了高性能以外 % 还要有高质量
与高可靠性 & 当器件的尺寸持续缩小时 % 器件的可靠 性显得越来越重要 % 因此对于引起器件失效的机制 需要进行深入的研究 % 并发展出正确且适当的加速 测试方法去预测寿命值 & 可靠性评价试验可以采用 圆片级与封装级两种形式 % 是现代 /GB" 工艺线可靠 性保证的重要环节 %主要的应用在以下三个方面 !
1 引言
当今的微电子工艺技术发展迅速 % 在短短几年 时间里特征线宽越来越小 % 金属化布线的宽度越来 越细 & 与此同时 "! 的栅介质层厚度也是越来越薄 %
漏端形成强电场区 % 强电场使一部分沟道电子具有 了一定的能量 % 当能量大于电子跃迁到氧化层的势 垒高度时 % 发生电子到氧化层的跃迁 % 这部分电子称 为热电子 % 跃迁到氧化层中的电子被氧化层陷阱俘 获 %会产生氧化层电荷和界面态 %引起器件参数的退 化 %这种现象称为热载流子注入效应 ’ 集成电路工艺的可靠性评价 % 就是利用微电子 测试结构 % 通过加速试验获取基本的可靠性参数和 可靠性信息 %确认工艺线的可靠性水平 ’ 通过对测试 结构进行封装级或圆片级的可靠性测试 % 找出存在 可靠性缺陷的项目 % 确定技术磨损的机理 % 确保器件 在整个产品寿命期间有良好的可靠性?(@ ’
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基极电流模型 "
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漏极电压加速模型 "
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图 3 7. 5V 应力时的漏极饱和电流失效概率分布
对 K$%&LH) 器件而言 & 推算寿命的加速模型 有二种 " 第一种漏极电压加速模型 & 第二种是栅极电 流模型 % 二种加速寿命试验的模型方程如下所示 " 栅极电流模型 "
当器件尺寸进一步缩微时 ’ 导线延迟会上升 % 虽 然缩短导线长度会降低延迟 ’ 但会使导线层增加 ’ 制 造困难且成品率降低 ’ 必须更换电阻率更小的导线 ’ 这意味着更换金属材料的成份 ’ 目前在 &’-2 微米工 艺中使用的就是铜导线 % 铜的电阻率约为 -’*!"345’ 而铝的电阻率约 为 .’*!"345 ’ 故铜线的电阻率较铝的下降了 6&! % 另外 ’ 铜 的 熔 点 约 是 -&*&" ’ 高 于 铝 的 ((&" ’ 故 铜 可以承受较高的温度 % 因铜原子较铝原子不易移动 ’ 抗电迁移性能较好 ’ 且导电性能和散热也较铝好 % 虽然铜线有很好的优点 ’ 但也有一些缺陷 ’ 这是 由于铜在硅基板中扩散得非常快 ’ 故一定要有很好 的阻挡层 ’ 以防止铜原子扩散出来 % 铜很容易在空气 中氧化 ’ 且铜线不能采用一般的干法刻蚀 ’ 而需要使 用所谓的大马士革方法 #78$9 7$5$:4+%+ $去刻蚀 % 铜互连线 #包括通孔互连线和沟槽互连线 $ 的电
H8 ! !+; 2A ! B9C M \)
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2005 ! 1! # 总第 ! 8 期 $
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可靠性
中国集成电路
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在 #$$% 加速模型中 % 有两个重要的加速因子 需要事先被提取出来 % 即激活能 &’ 和模型参数 !& 一般 &’ 可在一个固定的电场下 % 测量两个以上的 温度来得到 & 同理模型参数 " 可在一个固定的温度 下 %测量两个以上的电场值来得到 & 图 ( 是 #$$% 试 验过程中电场加速因子与温度的关系 )(* &
迁移和应力迁移特性 ’ 是现今互连线可靠性研究的 热点 % 铜比铝的电迁移寿命至少提高了一个数量级 ’ 通孔和沟槽引线中的空洞形成是造成电迁移失效和 应力迁移失效的重要因素 ’ 通孔中空洞的形成与其 底部的 ;$< 势垒层与铜界面的缺陷有关 % 在无空洞 的情形下 ’ 电迁移失效的位置主要发生在通孔的底 部 ’ 通孔抗电迁移的能力受铜互连后步工艺影响很 大 ’ 通过优化通孔结构和后步工艺可以大大改善电 迁移特性 % 研究表明 ’ 在淀积铜的过程中避免空洞的 形成是避免电迁移失效的重要因素=.> % 一些可靠性 试验结果列举于表 - 中=2> !
表 1 铜互连线的可靠性评价
&’() &’*+,( 当 失 效 是 由 晶 格 扩 散 引 起 的 ’ 激 活 能 的
值大约是 -’&) -’.+, 之间 % 图 - 是电迁移失效后的
/01 图形 %
当器件的沟道长度逐渐变小时 ’ 由于电压不能
图1 电迁移失效的 SEM相
够随比例下降 ’ 沟道中的电场强度会上升 % 以 <1?/ 管为例 ’漏极是电场最强的地方 % 当沟道中的载流子 进入漏极时 ’ 会获得高能量 ’ 通过碰撞离化作用产生 电子空穴对 % 当载流子的能量超过 /@A/@?. 势垒高度 时 ’ 会注入氧化层中形成陷阱电荷 ’ 或界面态 ’ 使器 件的特性退化 ’ 如图 . 所示 %
2
可靠性模型
电迁移试验寿命采用 ABC!D 方程来描述 "
"ECF /HI
G)
-6 ! JK "
#( $
式 中 -6 为 激 活 能 %) 为 电 流 密 度 因 子 %D 是 波 尔滋曼常数 ’ 失效判据的选择是以金属条上的电阻值超过初 始值的 &! 至 +#L 时的时间为失效时间 % 将电迁移 失效数据在威布尔坐标上描出累积失效分布 % 就可
HY9& 模型参数 $ 是由氧化层结构所决定的固有参
数 * 对于恒定电压栅氧化层 )--< &退化参数是氧化 层漏电流 " * 到目前为止 & 哪一种模型较正确还未有定论 & 不 过 H 模型推算出的寿命比 2EH 模型推算出的要小 & 故工业界一般采用 H 模型 * 整合温度与电场的加速 模型可得到下列 )--< 加速模型 "
M<
漏极电压加速模型 "
模型参数 & 单位是 [7E$F &HY9 是氧化层电场 * (6 $
!+!AB9C (<EF-O>&( $
2EH 模型描述如下 " 3 !+!AB9C H Y9
式中 ! 是热载流子退化寿命 &! &!P &, 是比例常 数 &1 &< 是模型参数 &"Q 是 漏 极 电 流 &"./0 是 衬 底 电 流 &"3 指的是参数退化量 &: 是沟道宽度 %