声表面波传感器发展方向及原理

声表面波传感器发展方向及原理

声表面波传感器是一种建立于高频机械振荡器基础上的一种传感器件，它可以提供一种简单、灵敏检测物质的化学、物理性质方法。下面随小编一起去了解声表面波传感器吧。

一、声表面波传感器发展方向

1.压电材料和硅的混合集成将是声表面波传感器推向市场及工业领域的关键。

2.多功能集成声表面波传感器多重信息的分析算法研究，将是提高传感器应用水平的重要途径。

二、声表面波传感器原理

利用被铡量对saw件作用，改变saw的传播速度，于是波长也相应变化，进而改变了通过延迟线的相位变化△=2=l/x（l为延迟线长度），破坏了振荡器的相位平衡条件，由于idt有一定的迎频带，所以改变振荡频率，重新达到相位平衡条件。振荡频率变化和saw传播速度变化应满足下列关系：△f/f=△v/v（4）声表面波传感器由于是利用振茴频率变化测出传播速度的变化，所以它的灵敏度很高（百万分之一）。同时，它同数字数据系统相适应，对放大器的要求也不高。

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