单晶炉常见应急事故处理方法及注意事项

单晶炉常见应急事故处理方法及注意事项

常见事故：

(一)停水

1)发生停水或水压报警时，先确认水压表是否偏低，水管和炉筒温度是否明

显升高。

1.快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm。

2.关闭加热功率。

3.复位控制柜面板上单晶生长控制器，使其处于手动状态。

4.降低埚位到熔料埚位。

5.关闭埚转。

2)停水后水压恢复。

1.冷却水恢复供应时，监控水压，有异常立即报告管理人员。

2.水压恢复时，炉内无严重氧化现象，熔体未结晶或已结晶但液面结晶小

于10分钟且石英坩埚未破裂，按加热功率开，调节功率到熔料功率。

3.启动埚转，设定为2转/分。

4.熔化结晶面，在此期间应密切炉内有无严重氧化现象，注意硅料液面熔

化情况，一旦发生严重氧化现象、硅液面下降，立即停炉并上报管理人

员。

5.待结晶全熔后，手动调节功率为引晶功率，温度稳定后，开始引晶。

3)停水后水压无法恢复，或恢复时熔体已结晶大于10分钟。

1.在熔体结晶15分钟时，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒100mm。

2.停炉，充分冷却后拆炉

(二)停电

1)若炉子工作时，加热部分停电。

1.复位控制柜面板上单晶生长控制器，使其处于手动状态。

2.降低埚位到熔料埚位。

3.关闭埚转。

4.加热部分恢复时，若时间较短（液面未结晶或液面已结晶但小于10分钟

且石英坩埚未破），按加热功率开，将功率升至熔料功率。

5.启动埚转，设定为2转/分。

6.熔化结晶面，在此期间应密切注意硅料液面熔化情况，一旦发生硅液面

下降，立即停炉并上报管理人员。

7.待结晶全熔后，手动调节功率为引晶功率，温度稳定后，开始引晶。

8.加热部分恢复时，若停电时间较长（液面结晶已经大于10分钟或石英坩

埚破裂），快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm。

9.在熔体结晶15分钟时，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒100mm。

10.停炉，充分冷却后拆炉。

2)若炉子工作时，加热电源、控制电源同时断电。

1.立即关闭抽空阀门。

2.手动摇手柄降低埚位使晶棒与硅液脱离。

3.同时将氩气流量调为最大，充氩气至-0.05MPa左右，关闭氩气。

4.电源恢复时，立即开真空泵，待半分钟后开抽空阀门，将氩气流量恢复

正常。

5.若时间较短（液面未结晶或液面已结晶但小于10分钟且石英坩埚未破），

按加热功率开，将功率升至熔料功率。

6.启动埚转，设定为2转/分。若晶体或籽晶与液面结晶在一起，则要等晶

体或籽晶与液面结晶面熔化并脱离后方可启动。

7.熔化结晶面，在此期间应密切注意硅料液面熔化情况，一旦发生硅液面

下降，立即停炉并上报管理人员。

8.待结晶全熔后，手动调节功率为引晶功率，温度稳定后，开始引晶。

9.若停电时间较长（液面结晶已经大于10分钟或石英坩埚破裂），快速提

升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm。

10.在熔体结晶15分钟时，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒100mm。

11.停炉，充分冷却后拆炉。

(三)石英坩埚裂开或漏硅

1.观察炉内硅液面有明显下降，炉压有明显回升现象，即可能漏硅。

2.立即关闭加热功率。

3.关闭抽空球阀，充氩气至-0.05pa左右，关闭氩气。

4.复位控制柜面板上单晶生长控制器，使其处于手动状态。

5.关闭埚转。

6.快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm。

7.在熔体结晶15分钟时，如有可能，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒

100mm。

8.停炉，充分冷却后拆炉。

(四)石墨坩埚裂开

1.埚转打开后，液面晃动异常严重，观察电流表指针有摆动现象，即可能

石墨埚破裂。

2.立即关闭加热功率。

3.复位控制柜面板上单晶生长控制器，使其处于手动状态。

4.关闭埚转。

5.快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm。

6.在熔体结晶15分钟时，如有可能，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒

100mm。

7.停炉，充分冷却后拆炉。

注意事项：

1、在装完料抽空检漏时，真空泵开启，应先开真空泵电源，再开球阀；关闭

时，应先关球阀，再关真空泵电源。切记不要将顺序记反，避免回气污染

原料。

2、不进行快速操作时（晶快升，快降，埚快升，快降），将手操器按件推到

“禁止”状态。需要打快速时，打到“允许”状态。进行快速操作时应当

时刻注意炉内情况，避免出现溅硅、漏硅、硅跳、籽晶卡头断裂、重锤熔化等事故。

3、加热时必须打开水温报警，加热电流过低报警，加热器异常报警等。避免

因人为疏忽发生异常情况，电脑无法报警造成事故的发生。部分炉台出现水温报警，可能是因为线路松脱等原因造成，及时检查原因，若出现假报警时，可将水温报警开关退出，切记不要将控制柜上方的红色总报警器关闭。

4、升降液压时将计算机画面按到（F5继电控制）上。不使用时(如出炉后)

及时关掉液压泵，防止时间过长，泵过热。

5、加热前将画面按到（F4温度系统），加热水压触点1灯亮，水压触点2灯

不亮，加热故障灯不亮方可加热。

6、加热时若出现打火现象（电流突然变大，电压减小）计算机会加热器异常

报警，此时请将欧陆加热降到最小，后关闭加热。然后重新加热并注意观察。若出现两次以上打火，请停止加热。拆炉检查。

7、大清炉台时应当检查石墨件是否有破损或裂纹现象，若有应当及时更换。

8、下降或上升埚位时应当注意该炉台的报警限位，不要超出报警限位，以防

出现石墨件的断裂或波纹管的损伤。

9、装好石墨坩埚后，开起埚转，看有无转动偏心、碰其它石墨器件等情况，

若有应及时调整以防对拉晶造成影响。

10、在取晶棒时，细籽晶处应当用钳子剪断，严禁敲打籽晶，避免因籽晶受

力产生微裂痕导致断裂的事故发生。

11、取棒时晶棒升到副室后，将翻板阀关闭、副室下边的防护钢板移到晶棒

正下方，轻轻移动副室以防晶棒在副室内碰撞籽晶断裂。待晶棒稳定后再取出，晶棒下方严禁站人，避免人员伤亡等。

12、在化料过程中应注意观察炉内情况，若料有所下降，应及早打开埚转，

并根据炉内的料位及时调整埚位，以防止石英坩埚长时间高温导致变形

情况发生。

13、在收尾过程当中应当密切关注炉内情况，防止因料少温度低造成结晶粘

住晶棒，钢丝绳断裂的事故发生。