扫描电镜Zeiss Supra55简明操作指南

合集下载

Zeiss 激光扫描共聚焦显微镜操作手册

Zeiss 激光扫描共聚焦显微镜操作手册目录:1 系统得组成系统组成及光路示意图实物照片说明2 系统得使用2、1 开机顺序2、2 软件得快速使用说明2、3 显微镜得触摸屏控制2、4 关机顺序3 系统得维护1 系统得组成激光扫描共聚焦显微镜系统主要由:电动荧光显微镜、扫描检测单元、激光器、电脑工作站及各相关附件组成。

系统组成及光路示意图:电脑工作站激光器电动荧光显微镜扫描检测单元实物照片说明:电动荧光显微镜扫描检测单元CO2 培养系统控制器激光器电脑工作站2 系统得使用2、1 开机顺序(1)打开稳压电源(绿色按钮)等待2 分钟(电压稳定)后,再开其它开关(2)主开关[ MAIN SWITCH ]“ON”电脑系统[ SYSTEMS/PC ]“ON”扫描硬件系统[ PONENTS ]“ON”(3)打开[ 电动显微镜开关]打开[ 荧光灯开关](注:具有5 档光强调节旋钮)(4)Ar 离子激光器主开关“ON”顺时针旋转钥匙至“—”预热等待约15分钟,将激光器[ 扳钮] 由“Standby”扳至“Laser run”状态,即可正常使用(5)打开[ 电脑开关],进入操作系统注:键盘上也具有[ 电脑开关]2、2 软件得快速使用说明(1)电脑开机进入操作系统界面后,双击桌面共聚焦软件ZEN 图标(2)进入ZEN 界面,弹出对话框:“Start System”——初始化整个系统,用于激光扫描取图、分析等。

“Image Processing”——不启动共聚焦扫描硬件,用于已存图像数据得处理、分析。

(3)软件界面:1 功能界面切换:扫描取图(Acquisition)、图像处理(Processing)、维护(Maintain) (注:Maintain仅供Zeiss专业工程师使用)2 动作按钮;3 工具组(多维扫描控制);4 工具详细界面;5 状态栏;6 视窗切换按钮;7 图像切换按钮;8 图像浏览/预扫描窗口;9 文档浏览/处理区域;10 视窗中图像处理模块动作按钮:Single ——扫描单张图片、并在图像预览窗口显示。

Zeiss 激光扫描共聚焦显微镜操作手册

Zeiss 激光扫描共聚焦显微镜操作手册目录：1 系统的组成系统组成及光路示意图实物照片说明2 系统的使用2.1 开机顺序2.2 软件的快速使用说明2.3 显微镜的触摸屏控制2.4 关机顺序3 系统的维护1 系统的组成激光扫描共聚焦显微镜系统主要由：电动荧光显微镜、扫描检测单元、激光器、电脑工作站及各相关附件组成。

系统组成及光路示意图：电脑工作站激光器电动荧光显微镜扫描检测单元实物照片说明：电动荧光显微镜扫描检测单元CO2 培养系统控制器激光器电脑工作站2 系统的使用2.1 开机顺序（1）打开稳压电源（绿色按钮）等待2 分钟（电压稳定）后，再开其它开关（2）主开关[ MAIN SWITCH ]“ON”电脑系统[ SYSTEMS/PC ]“ON”扫描硬件系统[ COMPONENTS ]“ON”（3）打开[ 电动显微镜开关]打开[ 荧光灯开关]（注：具有5 档光强调节旋钮）（4）Ar 离子激光器主开关“ON”顺时针旋转钥匙至“—”预热等待约15分钟，将激光器[ 扳钮] 由“Standby”扳至“Laser run”状态，即可正常使用（5）打开[ 电脑开关]，进入操作系统注：键盘上也具有[ 电脑开关]2.2 软件的快速使用说明（1）电脑开机进入操作系统界面后，双击桌面共聚焦软件ZEN 图标（2）进入ZEN 界面，弹出对话框：“Start System”——初始化整个系统，用于激光扫描取图、分析等。

“Image Processing”——不启动共聚焦扫描硬件，用于已存图像数据的处理、分析。

（3）软件界面：1 功能界面切换：扫描取图（Acquisition）、图像处理（Processing）、维护（Maintain）（注：Maintain仅供Zeiss专业工程师使用）2 动作按钮；3 工具组（多维扫描控制）；4 工具详细界面；5 状态栏；6 视窗切换按钮；7 图像切换按钮；8 图像浏览/预扫描窗口；9 文档浏览/处理区域；10 视窗中图像处理模块动作按钮：Single ——扫描单张图片、并在图像预览窗口显示。

Zeiss激光扫描共聚焦显微镜操作手册

Zeiss 激光扫描共聚焦显微镜操作手册目录：1 系统的组成系统组成及光路示意图实物照片说明2 系统的使用开机顺序软件的快速使用说明显微镜的触摸屏控制关机顺序3 系统的维护1 系统的组成激光扫描共聚焦显微镜系统主要由：电动荧光显微镜、扫描检测单元、激光器、电脑工作站及各相关附件组成;系统组成及光路示意图：电脑工作站激光器电动荧光显微镜扫描检测单元实物照片说明：电动荧光显微镜扫描检测单元CO2 培养系统控制器激光器电脑工作站2 系统的使用开机顺序1打开稳压电源绿色按钮等待2 分钟电压稳定后,再开其它开关2主开关MAIN SWITCH “ON”电脑系统SYSTEMS/PC “ON”扫描硬件系统COMPONENTS “ON”3打开电动显微镜开关打开荧光灯开关注：具有5 档光强调节旋钮4Ar 离子激光器主开关“ON”顺时针旋转钥匙至“—”预热等待约15分钟,将激光器扳钮由“Standby”扳至“Laser run”状态,即可正常使用5打开电脑开关,进入操作系统注：键盘上也具有电脑开关软件的快速使用说明1电脑开机进入操作系统界面后,双击桌面共聚焦软件ZEN 图标2进入ZEN 界面,弹出对话框：“Start System”——初始化整个系统,用于激光扫描取图、分析等;“Image Processing”——不启动共聚焦扫描硬件,用于已存图像数据的处理、分析;3软件界面：1 功能界面切换：扫描取图Acquisition、图像处理Processing、维护Maintain注：Maintain仅供Zeiss专业工程师使用2 动作按钮；3 工具组多维扫描控制；4 工具详细界面；5 状态栏；6 视窗切换按钮；7 图像切换按钮；8 图像浏览/预扫描窗口；9 文档浏览/处理区域；10 视窗中图像处理模块动作按钮：Single ——扫描单张图片、并在图像预览窗口显示;Start ——开始扫描单张图片或一个实验流程1组图片,如XYZ、XYT 等;Stop ——暂停/结束扫描;New ——建立一个新图像扫描窗口/文档;激光连接状况检查眼睛观察/相机/共聚焦LSM 光路切换ZEN软件界面右上角：Ocular ——通过观察筒用眼睛观察;激光安全保护装置自动阻断激光、保护眼睛; Camera ——光路切换至相机;LSM ——共聚焦扫描成像光路;显微镜设置：“Ocular”——>“Light Path”——>点击物镜图标,选择物镜——>样品聚焦;透射光控制Transmitted Light Control反射光光闸控制Reflected Light Shutter荧光激发块选择Reflector共聚焦LSM 扫描设置点击“LSM”ZEN软件界面右上角,系统切换至共聚焦扫描光路：光路设置：Smart Setup ——自动预设光路选取“荧光探针”、“颜色”、扫描方法,应用“Apply”;注：Fastest 为最快速扫描,多条激光谱线同时扫描;Best signal 为最佳信号扫描,多条激光谱线顺序扫描;Best compromise 为兼顾速度与信号的折中式扫描;扫描图像参数设置：每个通道的精细调节：包括：1Pinhole的调节一般设为1AU;该值越大,则信号越强,但共聚焦图像效果会降低;原则上, 在保证图像质量的前提下,该值越接近于1AU 越好；2Master Gain的调节增大则信号和噪音都增强,减小则信号和噪音均减小;原则上,在保证图像质量的前提下,Gain值越小越好；3Digital Offset的调节可扣除背景噪音,但标本信号也有一定程度的扣除;原则上,在保证图像质量的前提下,Digital Offset值越接近于0越好；4Digital Gain的调节增大则信号和噪音都增强,减小则信号和噪音均减小;原则上,在保证图像质量的前提下,Gain值越接近于~越好；5另外,对于每个通道,需要灵活调节激光的强度激光强度越高,则信号越强,但噪音也相应增强,同时标本更容易被漂白或淬灭;原则上,在保证图像质量的前提下,激光强度越低越好; 选择可连续扫描、一边预览图像效果、一边精细调节各个通道的扫描参数;如果预览图像的效果可以,则先“Stop” ,再点击“Single” 或“Start”即可完成图像的扫描;图像的保存：三种方法：1“File”菜单下,“Save”或者“Save AS”;2点击右下角按钮;3点击工具栏按钮;如图所示另外,通过“File”菜单下的“Export”,也可将图像以其它格式输出;显微镜的触摸屏控制显微镜可由TFT 液晶触摸屏进行控制：由触摸屏“Home/主页”进入“Control/显微镜控制”界面,触摸屏常用控制界面：TFT触摸屏控制直观、便捷;Objectives物镜控制TL透射光光闸RL反射光光闸Reflector荧光激发块控制荧光观察时,需要选择相应的荧光激发块或者激发波长、发射波长相近的荧光激发块Light path光路设置触摸控制,可将光路切换至“Eyepiece”目镜观察筒,或者将光路切换至左侧共聚焦光路“Sideport L”,或者将光路切换至前侧“Frontport”相机;关机顺序：1关闭软件：主菜单“File”——>“Exit”,退出共聚焦软件ZEN;2关闭主电脑操作系统、显示器电源;3关闭荧光灯电源;4关闭电动显微镜电源;5关闭Ar 激光器：先将扳钮从“Laser run” 扳到“Standby” 状态；再将钥匙逆时针从“—”旋转到“O”状态；等待约8-10分钟、激光器风扇停止转动后切记,将主开关按钮按到“OFF”;6扫描硬件系统COMPONENTS “OFF”电脑系统SYSTEMS/PC “OFF”主开关MAIN SWITCH “OFF”7等灯箱充分冷却后,再放防尘罩;8如果系统长时间超过5个小时不使用,则关闭稳压电源;3 系统的维护主要注意事项如下：1打开稳压电源时,应等待2 分钟电压稳定后,再开其它开关;2严格遵守激光器的开、关流程详见“、开/关机顺序”;3如果使用过油镜,或者物镜表面较脏,则需用擦镜纸擦干净物镜的前表面清洁液使用无水乙醇和无水乙醚的混合液,混合比例：无水乙醇30%、无水乙醚70%;4不使用荧光时,不打开荧光灯;避免频繁开/关荧光灯;5必须等灯箱充分冷却后,再小心地盖上防尘罩;6显微镜可由TFT触摸屏控制,使用触摸屏时注意：①手指保持清洁、干燥状态,并且为了保证他人使用安全,触摸时严禁配戴有可能接触污染物或危险样品的手套；②触摸屏已足够灵敏,不要大力按压触摸屏；③不要旋转、插拔触摸屏;7刻录图像数据资料：应使用刻录光驱刻录,实验前应准备好刻录光盘; 切记：为了防止计算机病毒,严禁在共聚焦电脑上使用U盘、硬动硬盘或者上网8未经授权,严禁自行安装任何软件9实验室温度应保持在22℃±2℃,湿度40%-60%;10避免空调直接对着显微镜吹风;11整个实验过程应注意保持显微镜周围环境清洁;。

zeiss supra55简介

SUPRA ™55主要技术指标：分辨率：1.0nm @ 15kV1.7nm @ 1kV 4.0nm @ 0.1kV放大倍数：12 ~ 900,000x 加速电压：0.1 ~ 30kVField Emission Scanning Electron MicroscopeSUPRA TM 55采用了专利的GEMINI 镜筒设计和环形IN-LENS SE 探测器，具有束流稳定、分辨率高的特点，能同时进行导电样品和非导电样品的高分辨成像及元素成分分析，其主要特点有：1．肖特基(Schottky)场发射电子源，具有较大的发射电流和极高的稳定性 2．采用专利技术 GEMINI 镜筒，克服传统单极物镜光阑设计缺点，消除磁性影响，同时采用无交叉光路设计，提高了仪器的主要性能3．采用 Beam booster（电子束加速器），以得到极好的低加速电压性能 4．环形高效 In-lens SE 探测器，具有良好的分辨率和对称性 5．电磁/静电式复合物镜，可对磁性物质进行高分辨成像Enabling the Nano-Age WorldEBSD 是当今材料特征分析的重要工具，它可以用晶体取向图的形式显示多晶材料的晶体取向和织构。

一、主要指标：EBSD 探测器空间分辨率：Al 0.1　m @20kV ；平均角偏差<0.5 二、EBSD 工作原理和工作模式工作原理工作模式三、EBSD 在研究中的应用举例EBSD 在高碳钢球化超细化研究中的应用（孙祖庆教授课题组）信息采集菊池线标点扫描线扫描面扫SUPRA55扫描电镜应用举例SUPRA55热场发射扫描电子显微镜广泛用于冶金、生物、建筑、机械等行业的材料形貌观察和分析，如金属、半导体、陶瓷、高分子材料、有机聚合物等。

本电镜配备有X 射线能谱分析仪和EBSD 背散射电子取向成像系统。

Mg基块体金属玻璃断口形貌 50KX (惠希东教授课题组) 聚苯乙烯微球 100KX (高建勋教授课题组)高温合金析出相分析 100KX (董建新教授课题组) 纳米Z nO材料分析 300KX (张跃教授课题组)高碳钢超细化复相组织 100KX (孙祖庆教授课题组) 建筑材料 10KX (源自土木学院老师结果)。

扫描电镜操作规程

ZEISS/ SUPRA 55场发射扫描电镜操作规程
一、开机
1、烘烤：超过一个星期完全关机，再开机时要进行烘烤；
2、开总电源；
3、开UPS电源，按UPS机箱后开关至ON，等3秒后至绿灯亮；
4、开冷却水箱，按ON/OFF开关至ON；
5、开空压机，将空压机开关顺时针搬至“1”；
6、按扫描电镜主机箱面板黄灯按钮至“STANDBY”，等2分钟后，
按绿灯“ON”；
7、输入开机密码；
8、启动软件“SmartSEM”；
9、输入用户名；
11、输入用户口令；
12、等系统真空优于5×10-5mbar，枪真空优于5×10-9mbar；
13、加电子枪高压；
14、加灯丝高压；
15、调节亮度、对比度、像散、合轴，使图像最佳。

二、关机
（一）日常关机
1、放气，取样品；
2、关灯丝高压；
3、退出软件“SmartSEM”；
4、退出软件“EMServer”；
5、关电脑；
6、按黄灯，使扫描电镜进入待机状态；
（二）完全关机
1、按红灯；
2、关空压机，搬空压机开关至“0”；
3、关冷却水箱，按开关至OFF，红灯亮后等15分钟；
4、关UPS电源，按ON/OFF开关至OFF，等3秒，关机箱后开关至OFF；
5、关总电源。

2014-1-10。

扫描电镜操作手册

扫描电镜操作手册扫描电镜操作手册一、目的本操作手册旨在为使用扫描电镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）的用户提供操作步骤和指南，以确保仪器的正确使用和延长其使用寿命。

二、操作步骤1、准备样品：根据SEM的要求，准备需要观察的样品。

确保样品具有足够的稳定性和导电性。

2、打开仪器：按顺序打开SEM的电源开关，并确保仪器稳定运行。

3、选择工作模式：根据样品的特性选择适当的工作模式（如高分辨率、低分辨率等）。

4、调整工作参数：根据需要，手动设置电子束加速电压、扫描速率、扫描分辨率等参数。

5、安装样品：将样品固定在样品台上，确保其稳定不动。

6、聚焦和校准：通过操作台面上的按钮或软件界面，调整电子束的聚焦位置和校准参数，确保图像的清晰度和准确性。

7、观察和记录：启动扫描过程，观察样品的微观结构，并使用计算机软件记录观察到的图像。

8、调整和优化：根据需要，对扫描参数进行调整和优化，以获得更好的图像质量。

9、关闭仪器：在完成观察后，按顺序关闭SEM的电源开关，并确保仪器完全停止运行。

三、注意事项1、在操作SEM之前，请务必阅读并了解仪器的操作手册和安全规范。

2、确保SEM的工作环境干燥、清洁，并避免强磁场、振动的干扰。

3、在安装和移动样品时，请避免与仪器碰撞，以免损坏设备。

4、在操作过程中，请勿将身体任何部位置于仪器内部，以防意外伤害。

5、若遇到任何操作问题，请及时联系专业人员进行处理。

四、维护与保养为了保持SEM的性能和延长其使用寿命，建议定期进行以下维护与保养工作：1、清洁真空系统：定期清洗或更换真空系统的组件，以确保仪器在高真空状态下运行。

2、检查电子枪：定期检查电子枪及其组件，确保其正常工作。

如需要，请更换老化的组件。

3、校准和调整：定期进行仪器的校准和调整，以保证图像的准确性和清晰度。

4、更换消耗品：根据需要，更换老化的真空泵油、过滤器等消耗品。

5、软件更新：定期更新SEM的软件系统，以确保其兼容性和稳定性。

扫描电镜操作手册

SEM操作手册一、开机在电镜基座的前面板上有绿（ON）、黄（STANDBY）、红（OFF）三个按钮，见图一图一a 接通电源后，按红色按钮，电镜通电。

b 按黄钮，真空系统开始工作，整机处于待机状态。

c 约1分钟后按绿钮，所有系统开始工作，同时电脑自动启动(或人工手动启动)，进入系统。

d 双击SmartSEM并登陆。

二、放置样品（1）从样品室放入样品a 键盘点击Ctrl+G，打开扫描电镜控制窗口（SEM Control）。

该窗口包括六个控制版面（如图二）：电子枪（Gun）、探测器（Detector）、光阑（Aperture）、真空（Vacuum）、样品台（Stage）。

b选中Vacuum版面，点击Vent对样品室通入氮气（Vent前确保EHT已经关掉）。

图二c等待几分钟后，样品室可以打开，放入样品（如图三），样品台卡在燕尾槽中，确认样品台卡紧了即可。

图三（2）用Airlock放置样品图四a 确认Stage已经处于Exchange位置：在Smart SEM的菜单栏依次选择Stage→Store/Recal →$exchange。

b 点击Airlock面板上的Vent按钮，卸掉交换室中的真空，将样品台卡在交换室的燕尾槽中，用样品传输杆拧紧样品台。

c 点击Transfer按钮（抽真空时手推紧一下舱门），抽真空后隔离舱门打开，样品传输杆伸入样品仓内，将样品台卡在样品基座上的燕尾槽中，旋松螺丝后将样品传输杆拉出来。

d 点击Airlock面板上的Store按钮，关闭舱门。

（注意：舱门关闭后Store灯才停止跳动，这段时间内舱门在向内平移，仍处于未闭合状态，不能泄真空）三、观察样品（1）移动样品台，调节样品和物镜之间的工作距离a如果已经勾选了Joystick disable，在stage中取消Joystick disable选项。

PS: 在SmartSEM 5.06中，增加了Stage Disabe选项，此选项也需要取消勾选。

扫描电镜操作说明书

扫描电镜操作说明书一、准备工作1.1 准备扫描电镜操作所需的材料和设备，包括扫描电镜主机、计算机、样品支架、镊子、电镜屏幕清洁布等。

1.2 确保扫描电镜主机已接通电源，并处于待机状态。

1.3 打开计算机，并确保与扫描电镜主机连接正常。

二、样品处理2.1 确保样品已按照预定的方法进行制备，并处理掉可能对扫描电镜操作产生干扰的杂质。

2.2 将样品放置在样品支架上，并通过镊子轻轻固定。

三、开始扫描3.1 打开扫描电镜软件，并在计算机上进行相应的设置。

3.2 将样品支架插入扫描电镜主机，确保插入深度适当。

3.3 根据样品特性和所需观察的区域，选择适当的扫描电镜模式和参数。

3.4 等待扫描电镜主机进行自检，确保操作正常。

四、调整参数4.1 通过软件界面调整所需观察的放大倍数。

4.2 调整电子束的加速电压和亮度，以获得清晰的图像。

4.3 根据样品的导电性和形态，选择合适的工作模式和探针电流。

五、观察与记录5.1 在电镜屏幕上观察样品表面的图像。

5.2 根据需要，可以通过扫描电镜软件对图像进行操作，如调整对比度、亮度、灰度等。

5.3 如需记录图像，可以使用截屏工具保存图像到计算机中。

同时，应对图像进行必要的标注和注释。

六、操作注意事项6.1 在进行扫描电镜操作时，要小心谨慎，避免对设备和样品造成损坏。

6.2 避免触摸或碰撞扫描电镜主机，以免影响其正常工作。

6.3 在更换样品或进行其他操作前，应先关闭扫描电镜软件和电镜主机，并断开与计算机的连接。

七、操作结束7.1 在使用完扫描电镜后，将样品从样品支架上取下，并妥善保存。

7.2 关闭扫描电镜软件和电镜主机，并断开与计算机的连接。

7.3 清洁电镜屏幕和设备表面，确保无灰尘、指纹等污染。

7.4 检查设备和周围环境，确保没留下个人物品和其他杂物。

以上为扫描电镜操作说明书的内容，仅供参考。

实际操作时，请遵循设备和软件的使用说明，并严格遵守相关安全规定。

蔡司场发射扫描电镜操作培训

连续中心点: 激活此功能
后，屏幕上出现一个十字
座标。拖动十字座标到感
兴趣点，点击鼠标左键。
感兴趣点将自动移到屏幕
中心。
操作软件简介
样品台导航器: 显
示样品座的位置和
一些参数。请注意:
这只代表样品座的
位置。不是样品的
位置。
操作电镜的基本流程
• 将样品放入样品室, 抽真空（抽真空时手推紧一下仓门）
。真空度达到5.00e-005mbar以下时, 可打开设定的高压, 取
操作电镜的基本流程
样品台控制器:
当1号操纵杆上下移动，控制样品台上下移动。
当1号操纵杆左右移动，控制样品台左右倾斜。
当2号操纵杆上下左右移动，控制样品台前后左
右移动。
当旋拧2号操纵杆，控制样品台顺时或逆时旋转
。
操作电镜的基本流程
图片保存: 当图片冻结后，鼠标移动到图片上，点击鼠标右键后，选择Send
• SEM Control: Scan 面板
选择图像存储的
分辨率
扫描速度
图像的冻结是以手动
形式还是扫完整幅图
片后
积分次数或者是
平均次数
图像噪音去除的六种方
式选择: 帧平均，帧积
分，线平均，线积分，
像素平均，连续平均。
操作软件简介
• SEM Control: Stage界面
样品台目前所在的位
置
激活此处: 样品台泄真空时
循环机给机器降温散
热量很大, 所以隔间门
要打开, 不得关闭, 尤
其在夏天, 否则水循环
机负荷太大会损坏。
操作软件简介说明
• Smart软件的启动
• 双击桌面上的快捷键或者在开始菜单中

扫描电镜Zeiss Supra55简明操作指南

Zeiss-Supra55扫描电子显微镜简明操作指南一、开机启动1、按下绿键。

按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码：zeiss2、启动SmartSEM软件。

用户名：system 密码：无3、检查真空值。

二、换样品(换样或加高压观察样品)1、装试样。

在备用样品座上装好样品，并记录样品形状、编号和位置。

注意：各样品观察点高度基本一致。

确认样品不会脱落，并用洗耳球吹一下。

2、关高压。

3、检查插入式探测器状态打开TV，将EBSD等插入式探测器拉出。

4、放气。

点Vent等待3-5 分钟。

注意：确认Z move on vent选上，这样，放气时样品台会自动下降。

5、拉开舱门。

注意：拉开舱门前，确认样品台已经降下来，周围探测器处于安全位置。

6、更换样品座注意：抓样品座时戴手套，避免碰触样品。

7、关上舱门。

注意：舱门上O圈有时会脱落，关门时勿夹到异物。

8、抽真空。

点击Pump，等待真空就绪(留意Vacuum面板上真空状态)，等待3-5分钟。

注意：当System Vacuum<2×10-5mBar时，会自动打开CIV阀门(column isolation valve)，并启动离子泵。

当Gun Vacuum=<5×10-9mBar时，可启动灯丝（Gun On），左下角Ready。

等待过程中，可先移动样品台初步定位样品。

9、换样完成。

加高压，观察样品台TV三、成像过程1、定位样品。

打开TV，移动样品台。

升至工作距离约在8~10mm处，平移对准样品。

可打开stage navigation帮助定位。

2、开高压。

根据检测要求和样品特性，设定加速电压；3、观察样品，定位观察区。

全屏快速扫描（点击工具栏上）；选择Inlens或SE2探头；缩小放大倍数至最小；聚焦并调整亮度和对比度（Tab键可设置粗调Coarse或细调Fine）；读取WD数值；必要时升降样品台，WD常用8-10mm；移动样品台X、Y，或使用Centre Point(Ctrl+Tab键)定位；聚焦、放大至～5kX、再聚焦、定位；4、##必要时，调光阑对中。

Zeiss激光扫描共聚焦显微镜操作手册

Zeiss激光扌：］描共幣茂显微锻操作于•冊目录：1系统的组成系统组成及光路示意图实物照片说明2系统的使用2.4开机顺序-22软件的快速使用说明2.3显微镜的触摸屏控制2.4矢机顺序3系统的维护「系统的组成激光扫描共惡焦显微镜系统主要由：电动荧光显微镜、扫描检测单元、激光器・电脑工作站及各相矢附件组成。

系统组成及光路示意图：电脑工作站激光器电动荧光显微視扫描检测单元实物照片说明：电动荧光显微視扫描检测单元CO2培养系统控制器激光器电脑工作站2系统的使用2.1开机顺序(1) 翻开稳压电源(绿色按钮)等待2分钟(电压稳定)后，再开其它开矢(2) 主开矢［MAIN SWITCH〕"ON 电脑系统［SYSTEMS/PC ］9N扫描硬件系统［COMPONENTS “ON(3) 翻开［电动显微鏡开矢］翻开「灾光灯开矢］(注：具有5档光强调节旋钮)(4) Ar离子激光器主开矢“ON顺时针旋转钥匙至“一’预热等待约15分钟，|将激光器［扳钮］由Standby扳至〕“ Laser run状态;即可正常使用(5) 翻开［电脑开矢］，逬入操作系统注：键盘上也具有［电脑开矢〕2.2软件的快速使用说明(4 )电脑开机进入操作系统界面后，双击桌面共聚焦软件ZEN图标(2) 逬入ZEN界面，弹出对话框：“ Start System 初始化整个系统，用于激光扫描取图“Image Process ing 不启动共惡焦扫描硬件，用于已存图像数据的处理、分析。

(3) 软件界面：1功能界面切换：扫描取图(Acquisition)、图像处理(Processing)・维护(Maintain)(注：Maintain仅供Zeiss专业工程师使用)2动作按钮；3工具组(多维扫描控制)；4工具详细界面；5状态栏；6视窗切换按钮；7图像切换按钮；8图像浏览/预扫描窗口；9文档浏览/处理区域；10视窗中图像达理模块动作按钮：Sin g I e ------------------------- 扫描单张图片♦并在图像预览窗口显示。

SEM-操作使用手册

Zeiss Supra55(VP)扫描电子显微镜简明操作指南一、开机说明冷启动步骤1、启动UPS打开墙上空气开关，确认UPS后面电池开关打开，按前面面板上On键至两个绿灯亮。

2、启动循环水冷机。

按On键，确认水泵1和制冷指示灯亮。

检查出水口压力在2～3bar。

出水口压力可由压力表下方阀门调节。

若有报警，检查水位，按Res键。

3、启动空气压缩机。

确认空气压缩机上启动阀门上开关为“I”状态。

检查输出气压为5～6bar。

4、确认主机后两个电源开关状态为On。

此时，主机前面板上红灯亮。

5、按下黄键。

说明：前级真空泵进入工作状态，分子泵、潘宁计和离子泵自动顺序启动。

6、按下绿键。

按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码：7、启动SmartSEM软件。

用户名：system 密码：8、检查真空值，等待真空就绪。

注意：当System Vacuum<2×10-5mBar时，会自动打开CIV阀门(column isolation valve)，并启动离子泵。

当Gun Vacuum=<5×10-9mBar时，可启动灯丝。

若长期停机，需做烘烤。

9、开启灯丝。

10、开TV，检查样品台。

11、装样品(见第二部分)。

12、加高压(EHT)。

13、观察样品。

待机状态1、关闭高压(EHT)。

2、关闭SmartSEM软件。

注意：分两步，先关用户界面User Interface，后关后台程序EM Server。

3、关Windows。

4、必要时，关能谱、EBSD。

5、按下黄键此时，电子光学系统、样品台及检测系统电源关闭。

电镜真空系统和灯丝继续工作。

待机状态启动1、按下绿键。

按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码：2、启动SmartSEM软件。

用户名：system 密码：3、检查真空值。

4、换样或加高压观察样品。

关机步骤1、关高压(EHT)和灯丝。

2、关SmartSEM软件。

注意：分两步，先关用户界面User Interface，后关后台程序EM Server。

Zeiss 激光扫描共聚焦显微镜操作手册

“Image Processing”——不启动共聚焦扫描硬件，用于已存图像数据的处理、分析。

简述扫描电镜操作流程

简述扫描电镜操作流程下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。

文档下载后可定制随意修改，请根据实际需要进行相应的调整和使用，谢谢!并且，本店铺为大家提供各种各样类型的实用资料，如教育随笔、日记赏析、句子摘抄、古诗大全、经典美文、话题作文、工作总结、词语解析、文案摘录、其他资料等等，如想了解不同资料格式和写法，敬请关注!Download tips: This document is carefully compiled by theeditor. I hope that after you download them,they can help yousolve practical problems. The document can be customized andmodified after downloading,please adjust and use it according toactual needs, thank you!In addition, our shop provides you with various types ofpractical materials,such as educational essays, diaryappreciation,sentence excerpts,ancient poems,classic articles,topic composition,work summary,word parsing,copy excerpts,other materials and so on,want to know different data formats andwriting methods,please pay attention!扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种用于观察和分析材料表面形貌和微观结构的重要工具。

扫描电镜操作指南及注意事项

扫描电镜操作指南及注意事项
扫描电镜操作指南及注意事项
1、开机：打开循环水泵，开启主机DISPLAY。

刷卡上机，
进入系统后，打开电镜软件。

2、上样：按AIR，拔开进样仓，将样品台插在样品杆上，
旋转锁定。

再关闭进样仓，按EVAC抽真空，等到“嘀”
声响后，按OPEN，等到“嘀”声响后，将样品杆推到底，旋转放开，拔出样品杆，然后按CLOSE，关闭舱门。

3、观察：首先每天第一次使用需要进行FLASH操作，然后
调整电压，再低倍下找到样品，转换到高倍进行观察，选取好放大倍数和位置后，进行合轴校准。

调整焦距，再调整像散。

最后切换到慢扫模式进行拍照。

4、下样：归中样品，改为低倍，关闭电压。

然后按照上样
的反向进行下样。

5、关机：刷卡下机，将样品仓抽真空。

然后按顺序关闭软
件、关闭电脑，关闭DISPLAY，关闭循环水泵。

负责人：许碧超。

扫描电镜操作手册

扫描电镜操作手册一、前言扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种采用电子束来形成高分辨率图像的仪器。

它可以通过扫描样品表面并检测反射电子的方式，将样品的微观形貌和表面结构进行观察和分析。

本操作手册将向您介绍扫描电镜的基本原理和操作步骤，以及一些常见的技巧和注意事项。

二、扫描电镜的基本原理扫描电镜的基本原理是利用高能电子束与样品相互作用产生的各种信号来获取样品表面形貌的信息。

当电子束扫描到样品表面时，会产生次级电子、反射电子、散射电子等不同的信号。

这些信号被探测器接收并转换成电压信号，再通过信号处理系统转换成图像。

三、扫描电镜的操作步骤1. 准备工作在操作扫描电镜之前，需要进行一些准备工作。

首先，打开电镜主机，并确保它与电源连接。

其次，检查样品架是否干净，并将待观察的样品放置在样品架上。

注意，样品表面应干净且不含有尘埃和油污等杂质。

2. 开机和预热按下电源按钮，等待电镜主机启动。

在启动过程中，电子枪和样品室会开始预热。

预热时间一般为15-20分钟，以确保电子枪和样品室达到稳定的工作温度。

3. 样品安装当电镜主机预热完成后，打开样品室的门，并将准备好的样品放置在样品架上。

然后，仔细关闭样品室门，并确保它完全密封。

4. 参数调整根据样品的性质和需求，进行相应的参数调整。

主要包括加速电压、放大倍数、扫描速度等参数的选择和调整。

调整参数时，应根据所需的观察效果进行实时调整和反馈。

5. 图像观察和采集在参数调整完成后，可以开始观察和采集图像。

选择观察区域并调整对焦，然后点击图像采集按钮进行图像保存。

在观察和采集图像时，注意保持样品和电子束之间的距离适当，以避免样品受到过度辐照。

6. 关机和清理在使用完毕后，进行关机和清理工作。

首先，将加速电压调至最低，然后按下关机按钮。

等待电镜主机完全关闭后，进行样品架的清理和样品的取出。

清理时，使用压缩空气吹扫样品架和电子束光路，以去除附着在上面的灰尘和杂质。

简述扫描电镜操作流程

简述扫描电镜操作流程下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。

文档下载后可定制随意修改，请根据实际需要进行相应的调整和使用，谢谢!并且，本店铺为大家提供各种各样类型的实用资料，如教育随笔、日记赏析、句子摘抄、古诗大全、经典美文、话题作文、工作总结、词语解析、文案摘录、其他资料等等，如想了解不同资料格式和写法，敬请关注!Download tips: This document is carefully compiled by theeditor. I hope that after you download them,they can help yousolve practical problems. The document can be customized andmodified after downloading,please adjust and use it according toactual needs, thank you!In addition, our shop provides you with various types ofpractical materials,such as educational essays, diaryappreciation,sentence excerpts,ancient poems,classic articles,topic composition,work summary,word parsing,copy excerpts,other materials and so on,want to know different data formats andwriting methods,please pay attention!扫描电镜是一种用于观察和分析材料表面形貌和结构的高分辨率显微镜。

扫描电子显微镜的操作步骤和注意事项

扫描电子显微镜的操作步骤和注意事项扫描电子显微镜的操作步骤与注意事项一、样品制备将分散好的样品滴于铜片上，干燥后将载有样品的铜片粘在样品座上的导电胶带上（对于大颗粒样品可直接将样品粘在导电胶带上）。

对于导电性不好的样品必须蒸镀导电层，通常为蒸金：将样品座置于蒸金室中，合上盖子，打开通气阀门，对蒸金室进行抽真空。

选择好适当的蒸金时间，达到真空度定好时间后加电压并开始计时，保持电流值，时间到后关闭电压，关闭仪器。

取出样品。

（注意：打开蒸金室前必须先关闭通气阀门，以防液体倒流。

）二、扫描电镜的操作1.安装样品1) 按“Vent”直至灯闪，对样品交换室放氮气，直至灯亮；2) 松开样品交换室锁扣，打开样品交换室，取下原有的样品台，将已固定好样品的样品台，放到送样杆末端的卡抓内（注意：样品高度不能超过样品台高度，并且样品台下面的螺丝不能超过样品台下部凹槽的平面）；3) 关闭样品交换室门，扣好锁扣；4) 按“EVAC”按钮，开始抽真空，“EVAC”闪烁，待真空达到一定程度，“EVAC”点亮；5) 将送样杆放下至水平，向前轻推至送样杆完全进入样品室，无法再推动为止，确认“Hold”灯点亮，将送样杆向后轻轻拉回直至末端台阶露出导板外将送样杆竖起卡好。

（注意：推拉送样杆时用力必须沿送样杆轴线方向，以防损坏送样杆）2.试样的观察（注意：软件控制面板上的背散射按钮千万不能点，以防损坏仪器）1) 观察样品室的真空“PVG”值，当真空达到9.0×10-5Pa时，打开“Maintenance”，加高压5kv，软件上扫描的发射电流为10μA，工作距离“WD”为8mm，扫描模式为“Lei”（注意：为减少干扰，有磁性样品时，工作距离一般为15mm左右）；2) 操作键盘上按“Low Mag”、“Quick View”，将放大倍率调至最低，点击“Stage Map”，对样品进行标记，按顺序对样品进行观察；3) 取消“Low Mag”，看图像是否清楚，不清楚则调节聚焦旋钮，直至图像清楚，再旋转放大倍率旋钮，聚焦图像，直至图像清楚，再放大……，直到放大到所需要的图；4) 聚焦到图像的边界一致，如果边界清晰，说明图像已选好，如果边界模糊，调节操作键盘上的“X、Y”两个消像散旋钮，直至图像边界清晰，如果图像太亮或太暗，可以调节对比度和亮度，旋钮分别为“Contrast”和“Brightness”，也可以按“ACB”按钮，自动调整图像的亮度和对比度；5) 按“Fine View”键，进行慢扫描，同时按“Freeze”键，锁定扫描图像；6) 扫描完图像后，打开软件上的“Save”窗口，按“Save”键，填好图像名称，选择图像保存格式，然后确定，保存图像；7) 按“Freeze”解除锁定后，继续进行样品下一个部位或者下一个样品的观察。

ZEISS SUPRA 55场发射扫描电镜的使用与维护

ZEISS SUPRA 55场发射扫描电镜的使用与维护
滕颖丽
【期刊名称】《现代科学仪器》
【年(卷),期】2015(000)005
【摘要】SUPRA 55场发射扫描电镜是由德国蔡司公司制造,它具有分辨率高、束流稳定和良好对称性等特点,能同时进行导电样品和非导电样品的高分辨成像.目前,作为大型精密仪器SUP RA 55场发射扫描电镜,已经在许多大学、科研院所、企业得到广泛使用.从生物学、医学、冶金、材料,到纺织纤维、塑料制品、陶瓷产品的检验等均大量应用扫描电镜作为研究手段.本文介绍ZEISS SUPRA 55场发射扫描电镜使用技巧,然后提出维护方法.除了严格按照ZEISS SUPRA 55场发射扫描电镜操作规程外,正确的日常维护是降低维修成本、延长仪器使用寿命的关键.同时,我们希望能为从事这一领域人员提供帮助.
【总页数】4页(P122-125)
【作者】滕颖丽
【作者单位】大连交通大学大连 116028
【正文语种】中文
【中图分类】TB82
【相关文献】
1.LEO SUPRA系列热场发射扫描电子显微镜 [J], 郑东
2.电视发射机上大功率发射管的使用与维护 [J], 马志皓
3.ZEISS Sigma 500热场发射扫描电镜操作技巧及日常维护 [J], 王志秀; 杨兵超; 易文才
4.ZEISS ULTRA55场发射扫描电镜的使用及常见故障处理 [J], 王丹;孙峰;余红华;江丹;林国辉;曾丽珍;汪一聪
5.Zeiss Gemini 500场发射扫描电镜的日常维护与管理 [J], 王丹;余红华;林国辉;江丹;孙峰;曾丽珍;汪一聪;李玥
因版权原因，仅展示原文概要，查看原文内容请购买。

扫描电镜Zeiss Supra55简明操作指南

Zeiss 激光扫描共聚焦显微镜 操作手册

Zeiss 激光扫描共聚焦显微镜 操作手册

Zeiss激光扫描共聚焦显微镜操作手册

zeiss supra55简介

扫描电镜操作规程

扫描电镜操作手册

扫描电镜操作手册

扫描电镜操作说明书

蔡司场发射扫描电镜操作培训

扫描电镜Zeiss Supra55简明操作指南

Zeiss激光扫描共聚焦显微镜操作手册

SEM-操作使用手册

Zeiss 激光扫描共聚焦显微镜 操作手册

简述扫描电镜操作流程

扫描电镜操作指南及注意事项

扫描电镜操作手册

简述扫描电镜操作流程

扫描电子显微镜的操作步骤和注意事项

ZEISS SUPRA 55场发射扫描电镜的使用与维护

Zeiss 激光扫描共聚焦显微镜操作手册

Zeiss 激光扫描共聚焦显微镜操作手册

Zeiss 激光扫描共聚焦显微镜操作手册