硅片检验标准

菱形片0.6-1.0㎜线痕片20-50um弯曲片0.5-0.8㎜（任意一条边以测量最大值计算）（凹进或凸出20-50um）（包括应力片）

外形片0.6-1.0mm倒角偏差0.6-1.5mm超厚片220-250um (任意一角以测量最大值计算)（以任意两角最大值相加计算）

超薄片150-160um

硅晶脱落≤0.3mm 毛边≤0.3mm

（双面缺损不在同一位置）

尺寸不良124.50-126.00mm 尺寸不良148.00-149.50mm 尺寸不良150.50-151.50mm

（两边相差不超过1.0mm ）

B 等品

电阻率6-10Ω.cm

台阶片≤20um

厚薄不均最薄不低于150um 最厚不超过280um TTV50-70um

边道翘曲0-80um 边道翘曲边缘测量值280um

C等品

倒角偏差1.5-2.0mm外形片1.0-2.0mm菱形片1.0-1.5mm

（以任意两角最大值相加计算）(任意一角以测量最大值计算)（任意一条边以测量最大值计算）

线痕片50-80um超厚片250-280um硅晶脱落≤0.5mm

（凹进或凸出）（双面缺损不在同一位置）

C 等品

毛边≤0.5mm

尺寸不良124.00-124.50mm

尺寸不良126.00-127.00mm

尺寸不良151.50-153.00mm 尺寸不良146.50-148.00mm 电阻率退火后6-10Ω.cm

C等品

边道翘曲80-150um边道翘曲边缘测量值350um厚薄不均150-280um TTV70-100um

不合格品

倒角偏差＞2.0mm外形＞2.0mm硅晶脱落＞0.5mm

毛边＞0.5mm超薄片＜150um弯曲＞0.8mm

电阻率＞10Ω.cm电阻率＜0.5Ω.cm超厚片＞280um

边道翘曲＞150um孪晶片台阶片＞20um

线痕＞80um缺角孔洞

外形〉2.0mm隐裂纹