开题报告 (6)

序号： 12430225

常州大学

毕业设计（论文）开题报告

（2012届）

学生赵鑫学号 12430225

学院材料科学与工程学院专业班级金材122班

题目介孔氧化硅磨料对铜层的抛光特性

类别

校内指导教师陈杨专业技术职务副教授

校外指导老师（宋体四号粗体）专业技术职务（宋体四号粗体）

材料目录

二○一六年三月

学号： 12430225

三研究内容，研究目标，拟解决的关键问题以及方法

一、多孔及复合微球的制备

1、采用软模板法制备具有不同孔结构的单分散性多孔SiO2微球，并达到粒径可控(100-600nm)。

以CTAB为模板剂，TESOS为硅源，在碱性介质下分散在醇水溶液中，搅拌反应2小时，离心干燥，将粉体在马弗炉中550℃焙烧，制成介孔SiO2微球。粒径在150nm左右，可以看到明显的径向分布的孔道结构。

多孔微球的SEM图和TEM图

2、运用StÖber法制备具有不同粒径内核的单分散实心SiO2微球，并通过静电吸附和软模板法制备以实心SiO2为核，以多孔SiO2为壳的复合微球。并探究不同微观结构的多孔复合微球的可控合成方法。

复合微球的SEM图和TEM图

二、多孔复合微球的力学性能研究

1、借助AFM测量纳米介孔微球及复合磨料的力-位移曲线，计算其弹性模量。在接触模式下，利用AFM测量颗粒-基底力曲线以获取表面粘附力大小。探究多孔复合微球的实心内核粒径/特殊形貌和/或多孔壳厚度/结构和材料力学性能之间的内在关系，建立物理模型，为深化和完善现有的CMP机理和模型打下基础。