中科大九系研究方向资料
中科大天文学史讲义09万有引力定律的发现和证实
第九讲万有引力定律的发现和证实一、万有引力定律的发现1.牛顿生平简介牛顿(ISaaCNewton,1642-1727)1642年12月25日(新历1643年1月4日)出生于英国林肯郡沃尔斯索普村。
12岁进格兰瑟姆文科中学。
18岁进剑桥大学三一(Trinity)学院学数学。
24岁进入该校教师团。
25岁获硕士学位。
26岁任数学教授职位。
60岁(1703年)起任英国皇家学会会长。
1727年3月20日(新历3月31日)逝世。
牛顿在科学史上是一位划时代的人物,树立了一个里程碑。
2.发现万有引力定律的背景16世纪前亚里士多德的见解。
1586年比利时力学家斯台文(S.Stevin,1548-1620)的发现。
伽利略的斜面实验和抛射体运动的研究。
区分速度和加速度的概念。
开普勒探讨太阳驱动行星。
1659年惠更斯由单摆摆动得圆周运动规律:向心加速度与速度平方成正比与距离成反比。
(于1673年发表)。
j=V1/R(1) 1673年后英国科学家胡克(R.Hooke,1635—1702),哈雷(E.Ha1.1.ey,1656-1742)和雷恩(C.Wren,1632—1723)讨论太阳引力与行星距离关系。
行星1和行星2据开普勒第三定律满足:乃2/力2=&3//?]3 (2) 用行星的轨道速度为Vi=2乃Ri/Ti,V2=2JiR2/7⅛,上式代入(1)得7i∕72=Λι∕½∙7⅛2∕Tι2(2)式代入上式得:Ji∕√2=ΛI2∕Λ22(3)(3)式表明:太阳引力与距离平方成反比。
(1679)。
3.牛顿的研究(1)抛射体绕地球的运动(2)月球绕地球的运动V=2πR∕TR=384400km,T=T1..32天√=V2//?=4π2R∕T1(4) √=0.27cm∕s2月球处地球重力加速度历地面重力加速度为g:g∕a=ι2/R2(5)g=981cm/s2, r=6371kmQ=0.27cm/s2o(3)行星绕日运动的推广牛顿用流量和流数理论(即微积分)作计算,推导出太阳对行星的引力与行星离太阳的距离平方成反比。
中国科学技术大学招收硕士学位研究生
01太阳大气动力学
02行星际动力学
03磁层动力学
04空间等离子体理论及应用
10
(DDioi政治理论
②©201英语
③③312高等数学A
④®447电动力学B或450空间物理基础
070820空间环境科学
01空间天气预报模式的研究及应用
5
①①101政治理论
②©201英语
-\
④④447电动力学B或450空间物理
07高分子成型物理与化学
08高分子溶液
09纳米咼分子材料
10髙分子纳米改性
11高分子辐射化学
12涂料辐射化学
13基础辐射化?
A厶rh、"・E仃4/[■宀
25
①①101政治理论
2®201英语
3@324物理化学
4®444高分子化学或445高分子物
理
070320可再生洁净能源
01生物质的结构和降解机理
02生物质能源化
5
axDioi政治理论
2®201英语
3@324物理化学
4®442有机化孑
070401天体物理
01活动星系核
02宇宙大尺度结构
03相对论天体物理
04吸积盘物理
10
JXDioi政治理论
2®201英语
3®313普通物理A
④④434量子力学或436电动力了A
070602大气物理学与大气环境
01大气物理和大气遥感
4®42 7线性代数与解析几何
070105运筹学与控制论
01数理规划的算法讨论
02评估理论
5
JXDioi政治理论
②②201英语
③③321数学分析
④@427线性代数与解析几何
中科大九系介绍综述
年级
13
精密机械与精密仪器系
本科生毕业去向统计
人数
100 80 60 40 20 0 96级 97级 98级 99级 00级 01级 02级 03级 04级 总人数 推荐、考研 出国 工作
年级
精密机械与精密仪器系
14
硕士研究生就业统计
人数
20 15 10 5 0 Ë Ê ¶ ¿ ±© Ö ² ¡ ¢ × ª ² © ö ¹ ³ ú ¤÷ ¹ ×
99Ñ Ð
00Ñ Ð
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精密机械与精密仪器系
15
机械设计制造及其自动化专业培养方案
培养目标 适应21世纪科学技术和社会经济发展需要, 本专业培养数理基 础好,有较强机械设计能力,扎实的工艺知识,有光、机、 电综合素质的富有创新精神的高级专门人才。
学 制 、 授 予 学 位 及 学制为四年制,在规定的期限内修满160学分(包括完成通实 毕业基本要求 课程、学科群基础课、专业课程及集中实践),成绩合格, 准予毕业,授予工学学士学位。
精密机械与精密仪器系
28
4.动态测试与故障诊断
振动和动态测试的研究主要在过程监测与设备故障诊断,动态
信号处理与仪器,光电精密测量及其仪器,计算机辅助分析与 测试等领域开展。近几年承担了国家自然科学基金,安徽省科 技攻关,大中型企业委托,国际合作及校重点科研等多项课题。 主要研究成果有: VDM1000W变速箱故障监测诊断系统,机械工业部科技进步三 等奖; 多输入多输出时域模态参数识别及其应用; 1997 年为上海宝钢研制了“穿孔机组在线监测与故障诊断系 统”,获得1999年上海市优秀产学研项目一等奖; 2000年为上海宝钢研制了“连轧机组在线监测网络系统”。 2001年渤海石油潜油泵一变多控系统; 目前在研究的项目有:南海石油潜油泵一变多控系统等 精密机械与精密仪器系
中科大量子信息科学专业
中科大量子信息科学专业中科大量子信息科学专业是中国科学技术大学开设的一门前沿学科,涉及了量子物理、量子计算、量子通信等领域。
本文将从量子信息科学的基本概念、发展历程、学科特点以及未来发展方向等方面进行探讨。
量子信息科学是一门交叉学科,融合了量子物理、信息科学、计算机科学等多个学科的理论和方法。
它的研究对象是利用量子力学规律来描述和处理信息的基本单元——量子比特。
相比传统计算机使用的经典比特,量子比特充分利用了量子叠加态和纠缠态的特性,具有更强大的计算和通信能力。
量子信息科学的发展源于上世纪80年代末的量子计算机理论提出。
当时,物理学家们开始探索利用量子力学的性质来构建更强大的计算机。
1994年,彼得·舒尔推导出了著名的舒尔算法,证明了量子计算机在某些情况下可以实现指数级加速。
这一突破引发了全球范围内对量子计算的研究热潮,也奠定了量子信息科学的基础。
中科大量子信息科学专业作为国内较早开设的这门专业之一,培养了许多优秀的学子和科研人才。
该专业注重培养学生的量子物理基础和信息科学技能,课程设置涵盖了量子力学、量子计算、量子通信等课程。
学生在学习中,通过理论和实验的结合,深入了解量子信息科学的基本原理和应用技术。
中科大量子信息科学专业的学科特点主要体现在以下几个方面。
首先,该专业注重培养学生的研究能力和创新精神,鼓励学生进行科研项目和实践活动。
其次,该专业的课程设置紧密结合了前沿科研领域的需求,使学生能够了解最新的研究进展。
此外,中科大量子信息科学专业还注重培养学生的团队合作能力和交流能力,鼓励学生参与科研团队和学术交流活动。
未来,中科大量子信息科学专业面临着巨大的发展机遇和挑战。
随着量子计算和量子通信技术的不断进步,量子信息科学将会引领信息技术的发展方向。
中科大量子信息科学专业需要不断更新课程内容,紧跟学科前沿,培养学生对新兴技术的理解和应用能力。
同时,还需要加强与国内外高水平研究机构的合作,促进学科交流和合作,推动量子信息科学的发展。
中国科学院大学(国科大)硕士学科、专业索引
合肥物质科学研究院
国家纳米科学中心
070206 声学
声学研究所
声学研究所东海研究站
070207 光学
物理研究所
高能物理研究所
上海应用物理研究所
武汉物理与数学研究所
理化技术研究所
大连化学物理研究所
上海硅酸盐研究所
长春光学精密机械与物理研究所
上海光学精密机械研究所
西安光学精密机械研究所
020209 数量经济学
数学与系统科学研究院
0252 应用统计
025200 应用统计
数学与系统科学研究院
数学科学学院
0301 法学
030105 民商法学
人文学院
030107 经济法学
人文学院
0402 心理学
040201 基础心理学
心理研究所
040202 发展与教育心理学
心理研究所
040203 应用心理学
上海技术物理研究所
光电技术研究所
合肥物质科学研究院
070208 无线电物理
武汉物理与数学研究所
0702J1 纳米科学与技术
中丹学院
国家纳米科学中心
0703 化学
070301 无机化学
高能物理研究所
上海应用物理研究所
新疆理化技术研究所
理化技术研究所
长春应用化学研究所
上海硅酸盐研究所
山西煤炭化学研究所
福建物质结构研究所
上海硅酸盐研究所
山西煤炭化学研究所
福建物质结构研究所
化学与化工学院
材料科学与光电技术学院
国家纳米科学中心
深圳先进技术研究院
苏州纳米技术与纳米仿生研究所
070305 高分子化学与物理
中科大九系介绍.
近代力学系基础教研室
1978创建精密机械与精密仪器系
精密机械与精密仪器系
3
学科建设
77年,考察了浙江大学、北京理工学院、 哈尔滨工业大学办学方向;确立理工结合,以 工为主;设计和工艺结合,以设计为主的学科 建设思路。 78年建立了精密机械与精密仪器系。 81年批准硕士点
– – –
机床和振动 精密仪器专业 精密机械
日本
交流 合作 英国
澳大 利亚 香港 地区 西班牙
韩国
德国
精密机械与精密仪器系
10
现有教师情况
有2人进入“百人计划”,博士导师10名
教授 10 黄文浩、杨杰、 沈连婠、孔凡让、 竺长安、王克逸、 郑津津、禇家如、 冯志华、相里斌 副高 15 胡红专 李永新 邬玉亭 干方建 任传胜 王建平 杨 圣 邵鹏飞 王 翔 李为民 王硕桂 张世武 李 静 郑庆和 邓伟平李木军 中级 14 许旻 刘维来 刘志刚 李晓峰 文莉 张平 周增祥 龙 潜 赵 钢 安毅亭 陈宇航 李保庆 李家文(在职博) 刘永斌(在职博) 其它 9 骆念武 劳创海 陈苏锡 李 翔 博士后 4 吴青林 吕盼郞 魏珅
姓名研究方向电子邮件电话李永新光电计量技术自动控制技术和语音识别应用技术liyxustceducn3601479张世武智能材料仿生机器人多智能体系统复杂系统swzhangustceducn3601482翟超lamost光纤定位装置zhaichaoustceducn3600550杨圣纳米测控技术生物医学工程电力电子技术yangsustceducn3607317邵鹏飞计算机模拟仿真技术cadcamspfustceducn3601075胡红专基础课教学lamost项目研究huhzustceducn3600551王建平光机电一体化装置设计三维数字加工方面wjpustceducn3600551王硕桂材料表面处理及相变过程的研究wsgustceducn3600550李静光电测试技术和仪器激光和材料相互作用激光诱导等离子体光谱技术lijingustceducn3601471王翔微型机械及微细制造技术光快速成型技术机电一体化系统技术wxyfustceducn3601484李为民光电检测机器视觉机电控制技术liwmustceducn3996890任传胜计算机集成控制制造系统逆向工程技术rencsustceducn干方建机械系统动力学fjganustceducn3600551宋澜中高压开关动触点行程制导技术精密机械与精密仪器系中国科学技术大学精密机械与精密仪器系概况介绍郑津津200908热烈欢迎九系2012级新同学及家长们
中国科学技术大学招收工程硕士研究方向
工程领域
代码、名称
支撑学科
名称、代码
研究、应用方向
专业必修课程
专业考试科目
参考书目
联系方式
430102
机械工程
力学(0801)
机械电子工程
(080202)
1.机械电子工程
2.机电一体化
3.现代控制工程
4.精密机械与智能仪器
5.智能机械
6.机械信号分析与处理
高级计算机网络
高级数据库系统
高级人工智能级计算机图形学
程序设计
《数据结构(C语言版)》(严蔚敏编,清华大学)
计算机科学技术系
:3601552
Email: .
430113
软件工程
计算机科学与技术(0812)
(一级学科博士学位授权点)
《数据结构(C语言版)》(严蔚敏编,清华大学)
软件学院
:3492015
Email: .
430117
化学工程
应用化学
(081704)
应用化学:
(丙烯酸酯聚合物的合成;新型光敏低聚物;功能性超支化聚合物;有机/无机杂化材料;紫外光固化涂料;乳液聚合;磷氮体系阻燃低聚物和粘合剂)
燃烧学
热工基础
《工程热力学》(曾丹岑著,高等教育)
《传热学》(杨世铭、陶文全编,高等教育)
热科学和能源工程系
:3601474
Email: .
430109
电子与通信工程
信号与通信工程(0810)
电子科学与技术(0809)
(一级学科博士学位授权点)
1.无线通信
2.移动通信网络
3.新型互联网理论与技术
中科大研究生219电路与系统080900专业课
中科大研究生219电路与系统080900专业课中科大研究生219电路与系统080900专业课一、前言作为电子信息工程的重要课程,电路与系统一直是中科大研究生080900专业课的核心内容之一。
学习电路与系统不仅可以加深对电子信息领域的理解,还可以培养解决实际问题的能力。
本文将从基础知识到深入理论、实际应用进行全面评估,并结合个人观点,探讨这门专业课程的重要性和意义。
二、基础知识1. 电路基本概念在学习电路与系统的课程中,我们首先需要了解电路的基本概念,包括电流、电压、电阻等。
这些基础知识对于理解电路的原理和运行机制至关重要。
2. 信号与系统信号与系统的理论是电路与系统课程的重要内容之一。
了解信号的特性和系统的运作原理,对于设计和分析电路具有重要意义。
三、深入理论1. 放大电路放大电路是电路与系统课程中的重点内容之一。
通过学习放大电路的原理和设计方法,可以深入理解信号的放大过程,为实际应用奠定基础。
2. 模拟集成电路模拟集成电路在现代电子领域中具有重要地位。
学习模拟集成电路的理论与设计,可以帮助我们理解集成电路的工作原理,从而为电子产品的设计和开发提供支持。
四、实际应用1. 电路设计与分析掌握电路设计与分析的方法,是电路与系统课程的实际应用之一。
通过实际操作和案例分析,我们可以将理论知识应用到实际电路设计中,培养实际解决问题的能力。
2. 信号处理与控制信号处理与控制是电路与系统课程的另一重要内容。
学习信号处理和控制理论,可以帮助我们理解和应用电子信息技术在实际生活中的应用,如音频处理、图像处理等。
五、总结与展望通过学习中科大研究生080900专业课中的电路与系统,我们可以深入了解电子信息领域的基本理论和实际应用。
掌握电路与系统的知识可以帮助我们在电子领域中扎实基础,培养创新精神和解决问题的能力。
未来,随着科技的不断发展,电路与系统的知识将更加广泛地应用到各行各业中,为社会发展和进步做出更大的贡献。
个人观点:作为电子信息领域的一员,在学习电路与系统的过程中,我深切感受到这门课程的重要性。
中国科学技术大学2024年招收攻读硕士学位研究生参考书目
《无机化学例题、要点、习题》张祖德等编中国科技高校出版社第三版
?
441分析化学
误差与数据处理;酸碱滴定,配位滴定,氧化-还原滴定,重量分析;沉淀滴定,常用的分别方法与困难物质分析
《分析化学》武汉高校主编高等教化出版社
《定量化学分析》李龙泉等编著中国科学技术高校出版社
442有机化学
《有机化学》伍越环编著的全部内容
《有机化学》伍越环编中国科学技术高校出版社
《有机化学试验》兰州高校、复旦高校编高等教化出版社
443结构化学
量子力学基础、原子分子电子结构、分子光谱、晶体结构
《物质结构》潘道皑人民教化出版社
444高分子化学
聚合反应基本原理及高分子化学反应
《高分子化学》潘才元中国科大出版社
《近代物理学》徐克尊高等教化出版社;
《原子物理学》杨福家第三版,高等教化出版社;
《原子物理学》褚圣麟高等教化出版社
《量子力学导论》曾谨言高等教化出版社
436电动力学A
电磁现象的普遍规律;静电场和静磁场;电磁波的传播,电磁波的辐射(包括低速和高速运动带电粒子的辐射);狭义相对论
《电动力学》郭硕鸿其次版高等教化出版社
《数学分析教程》常庚哲中国科大出版社
322分析和代数
数学分析:一元和多元微积分,无穷级数,广义积分。线性代数:行列式,矩阵,线性方程组和线性变换,欧氏空间,矩阵标准形
《数学分析》(一、二、三册)何琛高等教化出版社
《线性代数》李炯生中国科大出版社
323科技考古学
现代科学技术在考古学各领域的应用。
科技考古论丛(其次辑),中国科学技术高校出版社,2024年版,王昌燧主编,左健副主编;
中国科技大学考研专业目录
中国科技大学考研专业目录数学科学学院硕士研究方向硕士考试科目 101 思想政治理论 201 英语一 620 数学分析 842 线性代数与解析几何覆盖范围1) 数学分析:极限、连续、微分、积分的概念及性质;(拟)微分中值定理、Taylor 定理及其应用;凸函数的概念及性质、极值问题、隐函数定理; Newton-Leibniz 、 Green 、 Gauss 和 Stokes 公式及其在物理学中的应用;一致收敛函数项级数的判别和性质; G 函数和 B 函数; Fourier 级数的常见性质2) 线性代数:行列式、矩阵、线性空间线性映射与线性变换、二次型与内积 3) 解析几何:向量代数、平面与直线、常见曲面参考书目1) 动力系统2) 几何与拓扑 3) 数学物理 4) 代数与数论 5) 微分方程 6) 现代分析 7) 科学计算 8) 几何设计 9) 生物数学 10) 组合网络 11) 计算机图形学 12) 图像处理1) 《数学分析教程》,常庚哲、史高等教育出版社,20212) 《线性代数》,李尚志,高等教社3) 《解析几何简明教程》,吴光磊高等教育出版社,2021信息科学技术学院电子科学与技术硕士考硕士研究方向试科目电路与系统 101 思电路与电子线路的考试范围包括电路基本1) 《电路》第5理论、线性电子线路、数字逻辑电路等三门版, 邱关源原著、课程内容。
罗先觉修订, 高覆盖范围参考书目 1) 集成电路与系想政治统设计理论 2) 智能信息处理 201 英1) 基尔霍夫定律及电路元件,电路等效变等教育出版社, 3) 嵌入式系统 4) 计算机应用语一换,线性直流电路分析,电路定理,正弦稳2021年 301 数态分析,耦合电感与理想变压器,频率特性2) 《线性电子线与谐振,三相电路,非正弦周期电流电路,路》第2版,戴5) 复杂系统与复学一杂性研究 808 电线性动态电路时域分析,线性动态电路复频蓓�`编著,清华大路与电域分析,二端口网络,电路网络分析基础,学出版社,2021年电磁场与微波技术子线路非线性直流电路等。
中科大研究生课程
中科大研究生课程中科大研究生课程1. 概况中国科学技术大学(USTC)作为一所综合性的全国重点大学,肩负着教育青年才俊、推动国际学术交流、培养创新思维能力以及把握国家主战场建设的重要使命。
研究生课程为科大学子们提供了一个求知探索的认知之地,其课程包括了传统学术学科和应用性研究专业。
2. 学科分布(1)人文社科:教育学、经济学、哲学、社会学、法学、文化学及其他相关学科;(2)理学:数学、物理学、化学及生命科学、地球科学、信息科学等;(3)工学:化工与制药、机械工程、车辆工程、核工程及其他工程学科;(4)农业科学:农业生物科学及农业工程、林业工程及其他农业科学研究;(5)医学:基础医学、临床医学、预防医学、中医学、药学、老年学及其他相关学科;(6)管理学:管理科学、工商管理、信息管理及其他管理学科;(7)艺术学:音乐学、美术学及其他艺术学科。
3. 招生方式(1)非博士招生:非博士招生主要以本科学历为准,依据申请者报考研究所考试成绩,择优录取。
(2)博士招生:此类研究生招生面向本科毕业生,也接受艺术硕士的报考。
博士研究生须参加统考、语言测试,通过成绩以及正式面试之后才能正式录取。
4. 教学特色(1)全面深化教育和研究:研究生课程为学生提供了完善多样的课程体系、学科结构和可持续发展的学习氛围;(2)贴近社会:科大重视学研究的切实应用、社会影响力和经济效益,鼓励学生要有创新思维,以高水平的创新、内容深厚的应用为实践发展的后勤支撑。
(3)加强实践培养:通过实践实习,加深学生对学术理论及科研技能的认识和掌握;(4)突出综合实践能力:通过开展科学研究、户外考察、实验教学、培训班等各种多样的实践实习活动,加强学生在社会责任感、综合能力、就业观念等方面的培养。
中科大通信 专业目录
信息科学技术学院2012年拟招生总人数290人,包含以下专业:学科专业代码081000学科专业名称信息与通信工程报考条件与本学科相关专业的推免生、应届本科生和具有学士学位的往届本科生专业介绍主要内容包括:信息与通信工程一级学科涵盖:通信与信息系统(081001)、信号与信息处理(081002)和信息安全(081020)3个二级学科专业。
信息与通信工程一级学科毕业生主要去向:1)中科院及国家各部委所属研究所、2)高校及国家重点科研机构;3)国内外IT行业的知名企业;4)出国继续深造和工作。
各二级学科专业简介如下:通信与信息系统通信与信息系统学科是国家重点学科。
主要研究方向有:宽带无线通信、移动通信网、新型互联网技术、雷达系统、通信信号处理、光通信技术等。
本学科在无线通信和移动通信领域具有突出优势和地位,是中国3G、4G和超宽带通信的主要推动者之一。
长期承担有国家863计划、国家973重大基础课题、国家自然科学基金等重要科研项目,与国内相关著名企业有着良好的科技合作。
信号与信息处理信号与信息处理学科是安徽省重点学科。
主要研究方向有:语音信号与信息处理、图像和视频处理、遥感信息处理、多媒体技术、统计与阵列信号处理、视觉计算、信息检索、医学信息处理、信息与网络安全等。
承担了国家自然科学基金、973计划、863计划等一大批项目,取得了一系列具有自主知识产权的创新研究成果,获得了包括国家科学技术进步二等奖在内的多项重大奖励。
依托语音及语言信息处理国家工程实验室、多媒体计算与通信教育部-微软重点实验室等科研实验室开展教学科研工作。
信息安全信息安全是密码学、通信、计算机与网络等多个学科的交叉学科,本学科依托于信息与通信工程一级学科,培养德、智、体全面发展,掌握信息安全领域坚实的理论基础与系统的专业知识的专门人才,以适应我国经济、科技、教育发展需要。
主要研究方向有:网络与系统安全、入侵检测与病毒防范技术、密码学理论与应用、数字媒体内容安全、安全管理与风险评估和量子通信与信息安全等。
中国科学院研究生院硕士学位授权点
071004水生生物学
50
071005微生物学
51
071006神经生物学
52
071007遗传学
Байду номын сангаас53
071008发育生物学
54
071009细胞生物学
55
071010生物化学与分子生物学
56
071011生物物理学
57
071012生态学
071020生物技术与医药★
071021生物信息学★
071022基因组学★
080903微电子学与固体电子学
87
080904电磁场与微波技术
080920生物电子学★
88
0810信息与通信工程
081001通信与信息系统
89
081002信号与信息处理
90
0811控制科学与工程
081101控制理论与控制工程
91
081102检测技术与自动化装置
92
081104模式识别与智能系统
93
080501材料物理与化学
71
080502材料学
72
080503材料加工工程
080520腐蚀科学与防护★
73
0807动力工程及工程热物理
080701工程热物理
74
080702热能工程
75
080703动力机械及工程
76
080704流体机械及工程
77
080705制冷与低温工程
78
080706化工过程机械
20
070206声学
21
070207光学
22
070208无线电物理
23
0703化学
070301无机化学
仪器科学与技术
学科评估高校排名:0804 仪器科学与技术(2007年)我国仪器科学与技术学科的总体目标是:从目前至2020年,必须充分利用我国经济高速发展和巨大的市场优势,结合测控技术的深化研究,大力推进新技术、新工艺在仪器仪表中的应用研究,掌握各类仪器仪表的设计、生产工艺等关键技术,满足国民经济、人民健康和国防安全在生产、科研、应用各个方面对测量控制与仪器仪表的需求,减少进口,扩大出口,使我国仪器科学与技术学科领域科技和产业总体水平与国际水平差距普遍缩短到3~5年;工业自动化仪表和控制系统、科学仪器、医疗仪器、电测和计量仪器、各类专用仪器仪表、相关传感器和元器件及材料等领域约30%的产品达到国际同期先进水平,国内生产的仪器仪表在大工程的配套能力达到80%以上。
我国仪器科学与技术学科领域科技研究方向建议从仪器科学与技术学科领域个组成部分相互关系、共性问题以及我国国民经济、科学研究、国防建设、社会发展全局进行战略研究,建议学科领域科技研究方向为:新型传感器及信息获取技术;与国家重点工程相配套的过程控制系统和测控装备及其系统集成技术;精确制造中的测量控制技术及仪器仪表;微分析仪器及其关键技术;数字化医疗仪器及其关键技术;基于量子物理的计量标准系统。
1.新型传感器及信息获取、传感技术传感技术不仅是检测的基础,它也是控制的基础。
这不仅是因为控制必须以检测输入的信息为基础;并且是犹豫控制达到的精度和状态,必需感知,否则不明确控制效果的控制仍然是盲目的。
信息获取、传感技术是仪器科学与技术学科的基础技术;新型传感器是发展高水平测量控制仪器仪表的基础。
传感技术已成为制约测量控制仪器仪表发展的瓶颈。
新型传感器及信息获取、传感技术主要是对客观世界有用信息的检测,它包括有用呗测量敏感技术、涉及各学科工作原理、遥感遥控、新材料等技术、信息融合技术;传感器制造技术等。
信息融合技术设计传感器分布、微弱信号提取(增强)、传感信息融合、成像等技术、传感器制造技术涉及微加工、生物芯片、新2009年10月16日星期五工艺等技术。
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N
I Q
1 N
Ik
Q
k 1
假设在掩模面的光强分布是均匀为1,每束光的相对光 强为1/N
➢ 各种模型接近式紫外光刻模拟结果
5μm*5μm方孔
半径2μm,45o角的扇形在不同间隙下的模拟结果
2 μm线宽的十字形的模拟结果
齿轮模型,参数:齿数8,分度圆直径16μm, 齿顶圆直径20μm
MEMS微结构紫外光刻仿真
Spline surface
Two adjacent patches joined with C1 continuity.
They share common boundary points (◦).
control vectors (−→) and(···→)
Irregular closed mesh
I (z,t) I (z,t)[AM (z,t) B] z
M (z,t) I (z,t)M (z,t)C t
其中z为从胶表面垂直向下的深度;t表示已曝光的时间;I和 M分别表示在该深度该时刻的光照分布和光致化合物的归一 化浓度分布;A、B、C为光刻胶的曝光参数,它们可以通过 对光透过率曲线T(t)的测量后计算得到。
特点
照明光源、掩模与光刻胶之间的间隙、 光刻胶的厚度都得到了较为准确的处理和考虑
(ICIA2007;中国科技大学学报2007 )
接近式光刻计算机模拟
➢ 模拟模型建立
照明系统示意图
蝇眼透镜及点光源阵列
基于标量衍射理论的点光源阵列 衍射光场非相干叠加模型
➢ 对每束光采用基尔霍夫衍射理论
光刻胶表面X0Y0内一点Q(x0,y0)的复振幅分布
Ao内光强值大于 阈值的点数
➢ 校正策略
校正过程中由于光强 值的变化,需要不断 调整修正边的长度
校正过程中由于光强值 的变化,需要不断调整
边分割段的长度
拐角校正示意图
边校正示意图
校正模拟结果
L model THD=0.4
depth=20μm
depth=10μm depth=30μm
Rectangle model 3μm*8μm,THD=0.375,depth=10μm
负胶曝光模型
I (z,t) I (z,t)[A(z,t)g(z,t) B] z
g(z,t) I (z,t)g(z,t)C t
A(z,t) D E exp[m(z,t)]
m( z, t ) t
k1hn
( z, t )[1
m( z, t )]
h( z, t ) t
g ( z, t ) t
k2h( z, t )
建立了误差补偿的算法 (ICIA2008; Optics and Precision Engineering 2007 )
➢ 建立评价区域和评价函数
1.外拐角评价区域
Ai内光强值小于
主评价函数
阈值的点数
Ao
E1 Ns Nm
辅助评价函数
Ai内采样点数
Ai
E2 Nb Nm
Ao内光强值大于 阈值的点数
h(z,t):光致酸的归一化浓度
g(z,t):光引发剂的归一化浓度
m(z,t):单体交联位的浓度,用来表示环氧 树脂单体交联的程度
研究工作介绍
MEMS微结构紫外光刻仿真 曲面造型研究 太阳帆航天器仿真研究
曲面造型研究
实用的n-边形曲面参数化
(The Visual Computer2005,JICS 2006)
MEMS微结构紫外光刻仿真
建立了误差补偿的算法
2.内拐角评价区域
主评价函数
Ao内光强值大于
阈值的点数
E2 Nb Nm
辅助评价函数
Ao
E1 Ns Nm
Ai内采样点数
Ai
Ai内光强值小于 阈值的点数
3.边评价区域 主评价函数 Ai内采样点数
Ao
E1 Ns Nm
Ai内采样点数
E2 Nb Nm
Ai
研究工作介绍
计算机辅助设计、仿真领域
MEMS微结构紫外光刻仿真 曲面造型研究 太阳帆航天器仿真研究
研究工作介绍
计算机辅助设计、仿真领域
MEMS微结构紫外光刻仿真 曲面造型研究 太阳帆航天器仿真研究
MEMS微结构紫外光刻仿真
接近式光刻计算机模拟
提出了几种高效的计算在不同掩模图形下光强在光刻胶表面分 布的算法
Un Q
1
j
Un
P
K
e jkr r
dsLeabharlann k 2 r x x0 2 y y0 2 z2
N
In Q Un Q Un* Q n
Un P ae jkz e 1cos2 jkx' cos
第k个点光源 Q点的衍射光强计算为
I
k
Q
U
k
QU
* k
Q
将这N个衍射光强值直接叠加,得到Q点的光强
Paramertrization of n-sided the surface
Control mesh
Sabin parametrisation for only n<=6
Zheng-Ball surface patch
in which di are auxiliary variables satisfying
研究方向 郑津津教授
中国科学技术大学
答辩内容
个人简介 研究工作介绍 研究论文 研究基金 实验室介绍 人才队伍介绍
个人简介
工作单位: 中国科学技术大学 精密机械与精密仪器系
研究方向: 计算机辅助设计、仿真 现任岗位: 教授、博导 到岗日期: 2004年1月 择优支持日期: 2006年9月 年在岗时间: 12个月
MEMS微结构紫外光刻仿真
把光强分布的Dill模型推广到负胶(su- 8),建立了实用的光强分布负胶模型
(ICIA 2007)
DILL经典曝光模型
DILL模型是1975年由Frederick H. DILL提出的一种经典曝 光模型。DILL认为,曝光过程实际上就是光化学反应与光 照受胶体化学成分变化两个过程互相耦合起来的一种过程。 DILL用两个式子表示了这种过程:
Closed irregular mesh and the resulting geometric model.
研究生课程内容
School of Computer Science, Univ. of Waterloo
http://www.student.cs.uwaterloo.ca/~cs779/Gallery/
浙江大学 /cagd/Seminar/2006_SpringSummer /2006_Spring_Master_CWY.ppt