QCM石英晶体微天平的基本原理解析

合集下载
  1. 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
  2. 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
  3. 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。

测量原理: 通过测量芯片的频率变化测量镀上材料的质量。

石英晶体的频率飘移与附加上的质量的关系:附加上的质量增加,振荡频率降低。

晶体振荡频率受下列条件影响:

沉积在芯片上的质量

芯片的温度变化

材料的应力

材料的附着性

质量可通过频率精确测量

质量= 密度X 面积X 厚度

密度的准确性是影响厚度计算误差的原因之一

密度条件:

镀膜速度

材料结构

合金比例

成膜温度

应力影响

温度影响:

晶片的最佳工作温度:25-60度

最重要的是保证镀膜过程中的温度稳定

目前世界主流的QCM仪器厂家:Q-SENSE(Omega auto, E1, E4, 最贵,用户也最多), SRS (QCM200, 第二受欢迎,仪器价格低很多),SII(QCM934, 日本人的,国内用的少,品质不会差),另外国产的是CHI(价格便宜,用户反馈一般).

做QCM仪器的最关键部件QCM芯片,因为各个仪器配套芯片不能通用,目前主要还是由各仪器厂家配套,国外专业的芯片厂家很少,国内的大概10年前起步,因为市场小,参与的企业不多,代工起家的深圳仁路晶体算是开始较早较专业的厂家。

主要应用:

Applications

Immunosensors

Sorption sensors

Moisture analyzers

Particulate monitors

Contamination monitors

Electrovalency measurements

Hydrogen absorption on metal films

Bubble formation

Redox and conductive polymer research

Double-layer characterization

Corrosion studies

Surface oxidation

DNA and RNA hybridization studies

Antigen-antibody reactions

Protein adsorption

Detection of virus capsids, bacteria, mammalian cells Biofouling and antifouling

Biomembranes and biomaterials

Protein-protein interactions

Self-assembled monolayers (SAMs)

Molecularly imprinted polymers (MIPs)

Langmuir/Langmuir-Blodgett films

Laser ablation, desorption and breakdown studies MEMS nanomaterials

Intelligent biomaterials.

相关文档
最新文档