MEMS激光陀螺仪综述
MEMS陀螺仪精讲
MEMS陀螺仪的分类
1.振动式微机械陀螺仪 振动式微机械陀螺仪利用单晶硅或多晶硅制成的振动质 量，在被基带动旋转时的哥氏效应感测角速度。
2.转子式微机械陀螺仪 转子式微机械陀螺仪的转子由多晶硅制成，采用静电悬 浮，并通过力短再平衡回路测出角速度。从功能看，转 子式微机械陀螺仪属于双轴速率陀螺仪或双轴角速率传 感器。 3.微机械加速度计陀螺仪 微机械加速度计陀螺仪是由参数匹配的两个微机械加速 度计做反向高频抖动 而构成的多功能惯性传感器，兼 有测量加速度和角速度的双重功能。
2、日前,意法半导体(ST)新推出13款单轴和双轴陀螺 仪。这种陀螺仪有以下值得关注的地方： ①这种全新高性能角运动传感器 可运用于手势控制的游戏机和遥 控指向产品、数字摄像机或数码 相机的图像稳定功能，以及GPS 导航辅助系统。 ②意法半导体的陀螺仪包括关断模式 (当整个器件完全关断时)和睡眠模式， 部分电路在睡眠模式下被关断,不但 大幅降低功耗，并可快速唤醒,使电 源开关更加智能化。 ③意法半导体的高性能MEMS陀螺仪 拥有抗机械应力，并改进了内部自 检功能，使客户在组装后可以验证 传感器功能，无需在测试过程中移 动电路板。
MEMS陀螺仪的应用发展史
1.MEMS陀螺仪的第一波应用是1990年代的汽车安 全系统
2.MEMS陀螺仪第二波应用是始于2000年的消费电 子产品 3.MEMS陀螺仪的第三波应用将开始出现在医疗、工 业器械等领域
MEMS陀螺仪的军事应用优势
在现今的世界格局中，战争以 信息化战争的对抗为主,重点 是发展精确制导武器，MEMS陀 螺仪在其中发挥了重要作用。
整合MEMS加速计和陀螺仪地磁的模块 正在进入廉价的电子玩具市场，传感 器模块提供的动作感应功能可实现互 动的游戏体验，还能让更小的儿童上 网分享快乐：孩子们很快就能够用自 然的动作玩这些玩具，不再使用按钮 或键盘一类的东西。
MEMS陀螺仪发展综述及技术研究ppt课件
应用范围
惯性级 <0.01 <0.001 <0.001 >400 ~100 飞机、船舶、航 天器等
战术级 0.01~10 0.001~0.5 0.001~0.1
>500 ~100 航向参考系统、制 导导弹等
速率级 10~1000
>0.5 0.1~1 30~1000 >70 移动终端、汽车、 照相机等
按照制作原理及结构可将其 大致分为转子陀螺仪、光学陀 螺仪、振动陀螺仪三类。
振动式陀螺是基于柯氏效应 工作的机械陀螺，可动部件为 谐振子，谐振子的加工工艺主 要有传统工艺和微机械加工工 艺两种方式。
各种原理的陀螺仪
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基于微机械加工工艺制造 的陀螺仪称为MEMS陀螺仪。 MEMS陀螺仪主要有转子式、 振动式和介质类三种。目前， MEMS陀螺仪的主流是振动式 的，转子式和介质类的MEMS 陀螺较为少见。
（a）振动轮式结构
（b）双质量块陀螺结构
北京大学研制的微机械陀螺仪
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（a）振动轮式结构
（b）双解耦Z 轴体硅陀振动轮式结构
（b）线振动解耦陀螺结构
清华大学研制的微机械陀螺仪 12
2、 MEMS陀螺仪基本知识
MEMS陀螺仪基本原理 MEMS陀螺仪分类及基本结构 MEMS陀螺仪设计流程及工具 MEMS陀螺仪工艺方法 MEMS陀螺仪制造技术难点
左图为清华大学2004 年提出的数字化测控 电路原理图
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微机构陀螺可以从以下几个方面进行划分：振动结构，材料，加工方式，驱 动方式，检测方式和工作模式。
旋转振动结构
振动盘结构陀螺 旋转盘结构陀螺
振动平板结构 振动梁结构
按振动结构
线性振动结构
MEMS陀螺仪发展综述及技术研究概述
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基于微机械加工工艺制造 的陀螺仪称为 MEMS陀螺仪。 MEMS陀螺仪主要有转子式、 振动式和介质类三种。目前， MEMS陀螺仪的主流是振动式 的，转子式和介质类的 MEMS 陀螺较为少见。
体积微小的微机械陀螺
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陀螺仪的核心技术指标是零偏稳定性和角度随机游走。按照零偏稳定性的大小 以及其它主要性能指标的不同，可将陀螺仪分为三个级别：惯性级、战术级和速率 级。 不同级别陀螺仪的性能指标要求
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(a) 框架式
(b) 音叉式 Draper 实验室的微机电陀螺结构
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Bosch 公司研制的轮式微陀螺结构
Michigan大学研制的环式微陀螺结构
（a）双质量音叉式 （b）四质量摆式结构 （c）盘式谐振结构 加州大学Irvine 分校研制的微机电陀螺结构
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我国的MEMS 技术研究工作起步较晚，但正积极开展研究，国家已经投入巨资用 于MEMS陀螺技术的研究。目前主要的科研单位有清华、北大、中科院上海微系统所、 东南大学、国防科大、哈工大等多家单位，经过十多年的努力，在基础理论、加工技 术和工程应用等方面的研究已取得了明显的进步。但不可否认，与国外差距仍然较大， 高性能微机械陀螺少有商业化产品。
MEMS陀螺仪发展综述和技术研究
MEMS陀螺仪发展综述和技术研究随着科技的进步和应用领域的拓展，MEMS陀螺仪（Micro-Electro-Mechanical Systems Gyroscope）作为一种集成化、微型化的惯性传感器，在导航、飞行控制、智能手机等众多领域得到广泛应用。
本文将对MEMS陀螺仪的发展历程进行综述，并介绍当前的技术研究方向。
MEMS陀螺仪是一种基于微机电系统技术制作的陀螺仪。
它采用了微纳加工技术，将传统陀螺仪的结构缩小到微米尺寸，并采用微电子技术将其与电子设备集成在一起。
早期的MEMS陀螺仪主要用于惯性导航系统中的姿态测量，但由于其体积小、成本低和低功耗等优势，被广泛用于智能手机、游戏手柄和运动追踪等消费类电子产品中。
MEMS陀螺仪的研究始于20世纪80年代，在此之后经历了几个重要的发展阶段。
最初的MEMS陀螺仪采用了压电效应来测量转动速度，并通过微机电系统制作的微结构来实现传感器结构。
这种陀螺仪具有简单结构和较高的灵敏度，但在测量范围、动态响应和耐久性方面存在一定的局限性。
进入21世纪后，MEMS陀螺仪开始采用新的结构和材料来提高性能。
例如，光纤陀螺仪（FOG）和激光陀螺仪（LIG）等技术被引入到MEMS陀螺仪中，提高了其测量精度和稳定性。
此外，利用新的材料和制造工艺，如纳米材料、纳米加工技术和三维打印技术等，也为MEMS陀螺仪的发展提供了新的可能性。
当前，MEMS陀螺仪的技术研究主要集中在以下几个方向：1.提高精度和稳定性：通过改进传感器的结构和材料，以及优化电路设计和信号处理算法，提高MEMS陀螺仪的精度和稳定性。
例如，引入微纳米加工技术制作更精细的结构，采用优化的校准方法和自适应滤波算法等。
2.扩大测量范围和动态响应：目前的MEMS陀螺仪通常具有较小的测量范围和有限的动态响应能力。
因此，研究人员正在努力开发新的结构和方法来扩大其测量范围和提高动态响应能力。
其中一种可行的方法是将多个陀螺仪互补使用，以提高测量范围和精度。
激光陀螺仪综述
激光陀螺仪综述姓名：学号：20101、激光陀螺仪概述现代陀螺仪是一种能够精确的定位运动物体的方位的仪器，它是现代航空，航海，航天和国防工业中广泛使用的一种惯性导航仪器，它的发展对一个国家的工业，国防和其它高科技的发展具有十分重要的战略意义。
传统的惯性陀螺仪主要是指机械式的陀螺仪，机械式的陀螺仪对工艺结构的要求很高，结构复杂，它的精度受到了许多方面的制约。
2、激光陀螺仪的原理及分类2.1激光陀螺仪的原理激光陀螺仪的原理是利用光程差来测量旋转角速度（ Sagnac 效应）。
在闭合光路中，由同一光源发出的沿顺时针方向和反时针方向传输的两束光和光干涉，利用检测相位差或干涉条纹的变化，就可以测出闭合光路旋转角速度。
激光陀螺仪的基本元件是环形激光器，环形激光器由三角形或正方形的石英制成的闭合光路组成，内有一个或几个装有混合气体（氦氖气体）的管子，两个不透明的反射和一个半透明镜。
用高频电源或直流电源激发混合气体，产生单色激光。
为维持路谐振，回路的周长应为光波波长的整数倍。
用半透明镜将激光导出回路，经反射镜使两束相反传输的激光干涉，通过光电探测器和电路输入与输出角度成比例的数字信号。
2.2激光陀螺仪的分类激光陀螺原理上根本不同于普通的机电式陀螺。
常规机电转子陀螺依据普通的刚体力学原理按照机械储能方式工作，而激光陀螺是以双向行波的环形激光器为核心的量子光学仪表，其依据基于广义相对论的Sagnac效应。
所谓的Sagnac 效应是指在任意几何形状的闭合光路中，从某一观察点出发的一对光波沿相反方向运行一周后又回到该观察点时，这对光波的相位将由于该闭合环形光路相对于惯性空间的旋转而不同。
其相位差（或光程差）的大小与闭合光路的转动速率成正比。
激光谐振腔内的相位差又可以成为放大数百万倍的频率差，这样就可以通过测量光电信号的频率来测量物体的角速度、角度等。
图1：激光陀螺仪的结构示意图与传统的机电式陀螺仪相比，激光陀螺仪构成简单，其主体为微晶玻璃腔体以及反射镜构成一个光学环形谐振腔，另外还有偏频系统、稳频控制系统、信号读出系统、信号处理系统、高压电源、磁屏蔽单元等部分。
陀螺仪简介及MEMS陀螺仪的误差分析
陀螺仪简介及MEMS陀螺仪的误差分析什么是陀螺仪早在17世纪，在牛顿生活的年代，对于高速旋转刚体的力学问题已经有了比较深入的研究，奠定了机械框架式陀螺仪的理论基础。
1852年，法国物理学家傅科为了验证地球的自转，制造了最早的傅科陀螺仪，并正式提出了“陀螺”这个术语。
但是，由于当时制造工艺水平低，陀螺仪的误差很大，无法观察、验证地球的自转。
到了19世纪末20世纪初，电动机和滚珠轴承的发明，为制造高性能的陀螺仪提供了有力的物质条件。
同时，航海事业的发展推动陀螺仪进入了实用阶段。
在航海事业蓬勃发展的20世纪初期，德国探险家安休茨想乘潜艇到北极去探险，他于1904年制造出世界上第一个航海陀螺罗经，开辟了陀螺仪表在运动物体上指示方位的道路。
与此同时，德国科学家舒勒创造了“舒勒调谐理论”，这成为陀螺罗经和导航仪器的理论基础。
中国是世界文明发达最早的国家之一，在陀螺技术方面，我国也有很多发明创造。
比如在传统杂技艺术中表演的快速旋转的转碟节目，就是利用了高速旋转的刚体具有稳定性的特性。
在将高速旋转的刚体支承起来的万向架的应用方面，西汉末年，就有人创造了与现在万向支架原理完全相同的“卧褥香炉”。
这种香炉能“环转四周而炉体常平，可置被褥中”。
实际上是把这种香炉放在一个镂空的球内，用两个圆环架起来，利用互相垂直的转轴和香炉本身的质量，在球体做任意滚动时，香炉始终保持平稳，而不会倾洒。
随着航空事业的发展，到了20世纪30年代，航空气动陀螺地平仪、方向仪和转弯仪等已经被制造出来了。
在第二次世界大战末期，陀螺仪作为敏感元件被用于导弹的制导系统中。
特别是20世纪60年代以来，随着科学技术的发展，为了满足现代航空、航海特别是宇宙航行的新要求，相继出现了各种新型陀螺仪。
目前，陀螺仪正朝着超高精度、长寿命、小体积和低成本等方向发展。
那么，究竟什么是陀螺仪呢？传统的陀螺仪定义是：对称平衡的高速旋转刚体（指外力作用下没有形变的物体），用专门的悬挂装置支承起来，使旋转的刚体能绕着与自转轴不相重合（或不相平行）的另一条（或两条）轴转动的专门装置。
陀螺仪的发展历程以及现状的文献综述
陀螺仪的发展历程以及现状的文献综述摘要概述了陀螺的发展情况，论述了光纤、静电陀螺等几种现代陀螺的基本原理、分类以及其中一些国内外的研究现状。
关键词光纤陀螺静电陀螺激光陀螺振动陀螺作者简介：男，北京航空航天大学，本科生1.陀螺的发展简史陀螺仪器最早是用于航海导航，但随着科学技术的发展，它在航空和航天事业中也得到广泛的应用。
自1910年首次用于船载指北陀螺罗经以来，陀螺已有近100年的发展史，发展过程大致分为4个阶段:第一阶段是滚珠轴承支承陀螺马达和框架的陀螺；第二阶段是20世纪40年代末到50年代初发展起来的液浮和气浮陀螺；第三阶段是20世纪60年代以后发展起来的干式动力挠性支承的转子陀螺；目前陀螺的发展已进入第四个阶段，即静电陀螺、激光陀螺、光纤陀螺和振动陀螺。
[1]2.光纤陀螺光纤陀螺(FOG)是一种利用萨格奈克(Sagnac)效应测量旋转角速率的新型全固态惯性仪表。
自从1976年Vali和Shoahil首次提出光纤陀螺的概念以来，引起了国内外人们极大的重视和强烈的兴趣，由于光纤陀螺与机电陀螺或激光陀螺相比有一系列优点，诸如体积小，质量轻，成本低等，特别引起海、陆、空三军的高度重视。
在这短短的20多年里，光纤陀螺得到了很大的发展。
国外中、低精度光纤陀螺已经产业化，高精度的光纤陀螺的开发和研制也正逐步走向成熟。
美国Honeywell公司的保偏型光纤陀螺的零偏稳定性已经达到0．00038°／h，是目前报道的最高精度的光纤陀螺，拟用于潜艇导航或深层空间飞行器。
光纤陀螺现已在航空航天、武器导航、机器人控制、石油钻井及雷达等领域获得了较为广泛的应用。
国内光纤陀螺仪研制水平已接近惯性导航系统的中、低精度要求，但大多数未到工程实用阶段，也没有可靠性数据。
光纤陀螺仪属于所谓“敏感技术”，在目前复杂的技术环境中，很难从他人那里得到更多的借鉴和参考，只有靠我们自力更生走符合。
[2]光纤陀螺采用的是Sagnac干涉原理，用光纤绕成环形光路并检测出随转动而产生的反向旋转的两路激光束之间的相位差，由此计算出旋转的角速度。
激光陀螺仪 惯性器件
激光陀螺仪
一、激光陀螺仪的结构和工作原理
激光陀螺仪的原理是利用光程差来 测量旋转角速度（ Sagnac 效应）。 在闭合光路中，由同一光源发出的 沿顺时针方向和反时针方向传输的 两束光和光干涉，利用检测相位差 或干涉条纹的变化，就可以测出闭 合光路旋转角速度。激光陀螺仪的 基本元件是环形激光器，环形激光 器由三角形或正方形的石英制成的 闭合光路组成，内有一个或几个装 有混合气体（氦氖气体）的管子， 两个不透明的反射镜和一个半透明 镜。用高频电源或直流电源激发混 合气体，产生单色激光。
激光陀螺仪
五、激光陀螺仪的影响
作为飞行器惯导系统核心的惯性器件，在国防 科学技术和国民经济的许多领域中占有十分重要的 地位。激光陀螺仪花费了很长时间和大量投资解决 了闭锁问题，直到80 年代初才研制出飞机导航级仪 表，此后就迅速应用于飞机和直升机，取代了动力 调谐陀螺和积分机械陀螺仪。已广泛用于导航、雷 达和制导等领域。
谢谢观看！
激光陀螺仪
一、激光陀螺仪的结构和工作原理
萨格纳克效应概述
1913年萨格纳克发明了一 种可以旋转的环形干涉仪。将同 一光源发出的一束光分解为两束， 让它们在同一个环路内沿相反方 向循行一周后会合，然后在屏幕 上产生干涉，当在环路平面内有 旋转角速度时，屏幕上的干涉条 纹将会发生移动，这就是萨格纳 克效应。
激光陀螺仪
三、激光陀螺仪需要突破的主要技术原理
3、自锁效应
解决方法：
机械抖动偏频技术
通过抖动激光使得激光陀螺仪绕 输入轴处于较高频率 （10~50Hz）的角振动状态，则能有效克服自锁效应。
激光陀螺仪
四、激光陀螺仪的用途
陀螺仪通常装置在除了要定出东西南北方向，还要 能判断上方跟下方的交通工具或载具上，像是飞机、飞 船、飞弹、人造卫星、潜艇等等。它是航空、航海及太 空导航系统中判断方位的主要依据。这是因为在高速旋 转下，陀螺仪的转轴稳定的指向固定方向，将此方向与 飞行器的轴心比对后，就可以精确得到飞机的正确方向。 罗盘不能取代陀螺仪，因为罗盘只能确定平面的方向。 另一方面，陀螺仪也比传统罗盘方便，因为传统罗盘是 利用地球磁场定向，所以会受到矿物分布干扰，例如受 到飞机的机身或船身含铁物质的影响；另一方面，在两 极也会因为地理北极跟地磁北极的不同而出现很大偏差， 所以航空、航海都已经以陀螺仪以及卫星导航系统作为 定向的主要仪器。
MEMS陀螺仪发展综述及技术研究
MEMS陀螺仪发展综述及技术研究MEMS陀螺仪是一个基于微机电系统（MEMS）技术的传感器，用于测量和检测物体的转动或转动速度。
它具有体积小、重量轻、功耗低、精度高等优点，广泛应用于惯性导航、姿态控制、无人机、智能手机以及虚拟现实等领域。
MEMS陀螺仪的发展可以追溯到20世纪60年代，当时最早的陀螺仪是由机械零件构成的大型设备，体积庞大、制造成本高。
随着MEMS技术的发展，研究者开始尝试将陀螺仪制造成微型化的晶片，以满足更小型化、更便携的应用需求。
在20世纪90年代，研究者们成功地将MEMS陀螺仪制造成了微小的晶片，采用了表面微加工技术以及集成电路制造工艺。
这样的设计使得陀螺仪能够迅速地发展，并广泛应用于各个领域。
目前市场上的MEMS陀螺仪大多是基于表面微加工技术和压电效应制作的。
在技术方面，MEMS陀螺仪主要有两种原理，分别是压电陀螺仪和振动陀螺仪。
压电陀螺仪是利用压电效应来测量转动速度的，当陀螺仪旋转时，产生的角速度会导致陀螺片产生弯曲，进而改变电极之间的电容值，从而测量出角速度。
振动陀螺仪则是通过测量旋转物体在转动时产生的惯性力来获得转动信息的。
同时，MEMS陀螺仪的精度也得到了大幅提高。
随着微加工工艺的进步和传感器设计的改良，MEMS陀螺仪的噪声水平得到了显著降低，从而提高了测量精度。
此外，MEMS陀螺仪的应用领域不断拓展。
除了传统的航天、导航等领域外，MEMS陀螺仪还被广泛应用于智能手机、游戏手柄、运动追踪设备等消费电子产品中。
MEMS陀螺仪在这些领域中发挥着关键的作用，如智能手机中的姿态控制、游戏手柄中的运动感应等。
尽管MEMS陀螺仪已经取得了重大的进展，但仍面临一些挑战。
其中之一是温度漂移的问题，即在不同温度下，陀螺仪的测量结果可能会有所偏差。
另外，MEMS陀螺仪在高加速度、高震动环境下的稳定性也需要进一步提高。
综上所述，MEMS陀螺仪在技术发展和应用拓展方面取得了显著的进展。
随着对陀螺仪应用场景要求的不断提升，人们对MEMS陀螺仪的研究和改进将继续进行，以满足更广泛的应用需求。
mems陀螺仪方案
MEMS陀螺仪方案概述MEMS陀螺仪是一种基于微机电系统（MEMS）技术的传感器，用于测量物体的角速度。
这种陀螺仪具有小巧、低功耗、高精度等优势，因此在航空航天、汽车电子、智能手机等领域得到了广泛应用。
本文将介绍MEMS陀螺仪的工作原理、应用领域和一种常见的方案。
工作原理MEMS陀螺仪基于Coriolis效应来测量物体的角速度。
当物体发生旋转时，由于惯性的作用，物体上沿着旋转轴方向会产生纵向的加速度。
而当物体同时发生线性加速度时，也会产生横向的加速度。
MEMS陀螺仪利用这种物体的相对加速度差异来测量角速度。
MEMS陀螺仪通常由一个微小的感应器和一些支持电子组件组成。
感应器由一个或多个微小的震荡结构组成，当物体发生旋转时，震荡结构在旋转轴方向发生微小位移。
这种位移被转化为电信号，并通过支持电子组件进行放大和处理，得到物体的角速度信息。
应用领域MEMS陀螺仪在多个领域中发挥着重要作用，下面列举了其中的一些应用领域：1.航空航天：MEMS陀螺仪用于航空航天器的导航、姿态控制和稳定系统中。
由于其小巧轻便的特点，可以在空间有限的环境中灵活安装和集成。
2.汽车电子：MEMS陀螺仪可用于汽车的电子稳定控制系统（ESC）和车载惯性导航系统。
它可以帮助车辆保持稳定并提供精确的导航信息。
3.智能手机：智能手机中的陀螺仪可以检测设备的旋转和倾斜，从而实现屏幕的自动旋转和游戏控制等功能。
4.工业机器人：MEMS陀螺仪可以用于工业机器人的运动控制和姿态监测，帮助机器人实现精确的位置和姿态调整。
常见方案以下是一种常见的MEMS陀螺仪方案的示意图：______| |---| |---| | | |---|______|---|旋转轴方向在这种方案中，MEMS陀螺仪通常由三个陀螺仪组件构成，分别置于X、Y、Z 三个轴上。
每个陀螺仪组件中的震荡结构负责测量相应轴向的角速度。
通过并联或串联连接这三个组件，可以同时测量物体在三个轴上的角速度。
2024年激光陀螺仪市场发展现状
2024年激光陀螺仪市场发展现状激光陀螺仪是一种基于激光技术的高精度惯性传感器，广泛应用于航天、航海、导航、工业自动化等领域。
本文将详细介绍激光陀螺仪市场的发展现状。
1. 激光陀螺仪市场概述随着科技的进步和工业化的发展，激光陀螺仪市场正迅速增长。
激光陀螺仪具有高精度、长寿命、无衰减等优点，逐渐替代了传统的机械陀螺仪和电子陀螺仪。
激光陀螺仪的应用领域多样，包括导航仪器、航天卫星、惯性导航系统等。
2. 激光陀螺仪市场需求激光陀螺仪在现代工业和军事装备中的需求不断增长。
其高精度、稳定性和可靠性使其成为许多应用领域的首选。
特别是在航天、航海和导航领域，激光陀螺仪已经取代了传统的陀螺仪技术。
此外，工业自动化和无人驾驶技术的发展也进一步推动了激光陀螺仪市场的需求。
3. 激光陀螺仪技术进展随着科技的不断创新，激光陀螺仪的技术也在不断进步。
目前，激光陀螺仪已经实现了更高的测量精度和更小的体积。
微纳光学技术的发展使得激光陀螺仪可以实现更高的灵敏度和更快的响应速度。
同时，激光陀螺仪的自动化生产技术也在不断提高，降低了生产成本，进一步推动了市场的发展。
4. 激光陀螺仪市场竞争态势当前，激光陀螺仪市场竞争激烈。
众多厂商涌入市场，推出各种各样的产品。
其中，国际知名企业和一些创新型企业在市场上占据重要地位。
这些企业通过不断研发新技术和产品来提高竞争力。
此外，一些新兴国家的企业也逐渐崛起，对市场格局产生了一定的冲击。
随着市场的不断扩大，竞争将更加激烈。
5. 激光陀螺仪市场前景激光陀螺仪市场的前景广阔。
随着科技的进步，对高精度、高稳定性的惯性传感器的需求将越来越大。
激光陀螺仪作为其中的一种重要技术手段，将在航天、航海、导航、工业自动化等领域得到广泛应用。
同时，激光陀螺仪在无人驾驶车辆、虚拟现实、增强现实等新兴领域的发展也将带来新的机遇。
结论总之，激光陀螺仪市场正处于快速发展阶段。
高精度、高稳定性的激光陀螺仪在航天、航海、导航、工业自动化等领域的应用前景广阔。
MEMS陀螺仪发展综述及技术研究PPT
精度的应用需求。
应用拓展
要点一
总结词
应用拓展是mems陀螺仪发展的必然趋势，未来的研究将 更加注重开拓新的应用领域和市场。
要点二
详细描述
随着mems陀螺仪技术的不断成熟，其应用领域也在不断 拓展。未来的研究将探索新的应用领域，如航空航天、无 人驾驶、智能机器人等，以满足更多领域对高精度导航和 姿态测量的需求。同时，研究还将关注市场需求和产业发 展的趋势，推动mems陀螺仪技术的商业化进程。
测试技术
测试技术是确保MEMS陀螺仪性能和质量的 关键环节，主要包括静态测试和动态测试两 个方面。
静态测试：检测陀螺仪在静止状态下的性能 指标，如零点输出、线性度、重复性等。动 态测试：检测陀螺仪在动态状态下的性能指 标，如带宽、灵敏度、抗干扰能力等。测试 技术的进步有助于提高MEMS陀螺仪的性能
mems陀螺仪的原理
Mems陀螺仪的原理基于角动量守恒定律，即一个旋转物体在不受外力矩作用时，其角动量保持不变。当mems陀螺仪的敏 感结构受到旋转角速度的作用时，会产生一个与旋转角速度成正比的力矩，从而引起微机械结构的振动或位移，通过检测这 个振动或位移量，可以推算出旋转角速度的大小。
Mems陀螺仪的敏感结构通常采用微机械加工技术制造，具有极高的灵敏度和精度。
和可靠性。
集成技术
集成技术是将多个MEMS器件集成在一个芯片上，实 现更复杂的功能和更高的性能。集成技术是MEMS陀 螺仪发展的趋势之一。
单片集成：将多个MEMS器件制作在同一硅片上，实 现单片集成。多片集成：将多个硅片集成在一起，形 成一个复杂的系统。混合集成：将不同类型的器件集 成在一起，实现优势互补。集成技术的进步有助于提 高MEMS陀螺仪的可靠性和降低成本。
激光陀螺仪的研究报告
激光陀螺仪的研究报告
研究报告激光陀螺仪
1. 引言
激光陀螺仪是一种使用激光装置来测量旋转角速度的仪器。
它利用了激光光束在旋转物体表面上的干涉效应来测量物体的旋转速度。
本报告旨在对激光陀螺仪的原理、应用和研究进展进行探讨和总结。
2. 激光陀螺仪的原理
激光陀螺仪基于激光干涉技术，通过激光束在旋转物体表面上发生干涉，测量干涉光的相位差来推断物体的旋转角速度。
它通常由激光器、光纤、分束器、光学器件和光电探测器等部分组成。
3. 激光陀螺仪的应用
激光陀螺仪在航空航天、惯性导航、地震监测和姿态控制等领域有广泛的应用。
它可以用于飞机、导弹和卫星等飞行器的姿态控制和导航定位，提供精确的姿态测量和导航数据。
4. 激光陀螺仪的研究进展
随着光学技术的发展，激光陀螺仪的性能和精度不断提高。
目前，有许多研究正在进行，以改善激光陀螺仪的稳定性、精度
和抗干扰能力。
例如，采用了新颖的激光器设计、优化的光路结构和新型的光学器件等。
5. 结论
激光陀螺仪作为一种高精度、高稳定性的旋转角速度测量仪器，在航空航天和导航定位等领域有着重要的应用。
随着相关技术的不断发展，激光陀螺仪的性能将进一步提升，并拓宽其应用领域。
MEMS激光陀螺仪综述
MEMS激光陀螺仪综述MEMS激光陀螺仪综述姓名：赵琬婷学号：220133051.陀螺仪的发展简史陀螺仪器最早是用于航海导航，但随着科学技术的发展，它在航空和航天事业中也得到广泛的应用。
自1910年首次用于船载指北陀螺罗经以来，陀螺已有近100年的发展史，发展过程大致分为4个阶段:第一阶段是滚珠轴承支承陀螺马达和框架的陀螺；第二阶段是20世纪40年代末到50年代初发展起来的液浮和气浮陀螺；第三阶段是20世纪60年代以后发展起来的干式动力挠性支承的转子陀螺；目前陀螺的发展已进入第四个阶段，即静电陀螺、激光陀螺、光纤陀螺和振动陀螺。
2、激光陀螺仪概述现代陀螺仪是一种能够精确的定位运动物体的方位的仪器，它是现代航空，航海，航天和国防工业中广泛使用的一种惯性导航仪器，它的发展对一个国家的工业，国防和其它高科技的发展具有十分重要的战略意义。
传统的惯性陀螺仪主要是指机械式的陀螺仪，机械式的陀螺仪对工艺结构的要求很高，结构复杂，它的精度受到了许多方面的制约。
3、激光陀螺仪的原理及分类3.1激光陀螺仪的原理激光陀螺仪的原理是利用光程差来测量旋转角速度（ Sagnac 效应）。
在闭合光路中，由同一光源发出的沿顺时针方向和反时针方向传输的两束光和光干涉，利用检测相位差或干涉条纹的变化，就可以测出闭合光路旋转角速度。
激光陀螺仪的基本元件是环形激光器，环形激光器由三角形或正方形的石英制成的闭合光路组成，内有一个或几个装有混合气体（氦氖气体）的管子，两个不透明的反射和一个半透明镜。
用高频电源或直流电源激发混合气体，产生单色激光。
为维持路谐振，回路的周长应为光波波长的整数倍。
用半透明镜将激光导出回路，经反射镜使两束相反传输的激光干涉，通过光电探测器和电路输入与输出角度成比例的数字信号。
3.2激光陀螺仪的分类激光陀螺原理上根本不同于普通的机电式陀螺。
常规机电转子陀螺依据普通的刚体力学原理按照机械储能方式工作，而激光陀螺是以双向行波的环形激光器为核心的量子光学仪表，其依据基于广义相对论的Sagnac效应。
MEMS激光陀螺仪综述详解
MEMS激光陀螺仪综述姓名：赵琬婷学号：220133051.陀螺仪的发展简史陀螺仪器最早是用于航海导航，但随着科学技术的发展，它在航空和航天事业中也得到广泛的应用。
自1910年首次用于船载指北陀螺罗经以来，陀螺已有近100年的发展史，发展过程大致分为4个阶段:第一阶段是滚珠轴承支承陀螺马达和框架的陀螺；第二阶段是20世纪40年代末到50年代初发展起来的液浮和气浮陀螺；第三阶段是20世纪60年代以后发展起来的干式动力挠性支承的转子陀螺；目前陀螺的发展已进入第四个阶段，即静电陀螺、激光陀螺、光纤陀螺和振动陀螺。
2、激光陀螺仪概述现代陀螺仪是一种能够精确的定位运动物体的方位的仪器，它是现代航空，航海，航天和国防工业中广泛使用的一种惯性导航仪器，它的发展对一个国家的工业，国防和其它高科技的发展具有十分重要的战略意义。
传统的惯性陀螺仪主要是指机械式的陀螺仪，机械式的陀螺仪对工艺结构的要求很高，结构复杂，它的精度受到了许多方面的制约。
3、激光陀螺仪的原理及分类3.1激光陀螺仪的原理激光陀螺仪的原理是利用光程差来测量旋转角速度（ Sagnac 效应）。
在闭合光路中，由同一光源发出的沿顺时针方向和反时针方向传输的两束光和光干涉，利用检测相位差或干涉条纹的变化，就可以测出闭合光路旋转角速度。
激光陀螺仪的基本元件是环形激光器，环形激光器由三角形或正方形的石英制成的闭合光路组成，内有一个或几个装有混合气体（氦氖气体）的管子，两个不透明的反射和一个半透明镜。
用高频电源或直流电源激发混合气体，产生单色激光。
为维持路谐振，回路的周长应为光波波长的整数倍。
用半透明镜将激光导出回路，经反射镜使两束相反传输的激光干涉，通过光电探测器和电路输入与输出角度成比例的数字信号。
3.2激光陀螺仪的分类激光陀螺原理上根本不同于普通的机电式陀螺。
常规机电转子陀螺依据普通的刚体力学原理按照机械储能方式工作，而激光陀螺是以双向行波的环形激光器为核心的量子光学仪表，其依据基于广义相对论的Sagnac效应。
激光陀螺仪的原理和工作特性分析
激光陀螺仪的原理和工作特性分析激光陀螺仪是一种基于光学原理工作的惯性导航仪器，用于测量和监测物体的角速度和方向。
它利用激光束在光纤内传输的方式来感知物体的旋转运动，具有较高的精度和稳定性。
本文将对激光陀螺仪的原理、工作特性以及应用领域进行分析。
激光陀螺仪的原理主要基于两种光学现象：Sagnac效应和干涉测量。
首先是Sagnac效应。
当激光束沿一个封闭的环路进行传播时，如果该环路发生旋转，激光束在顺时针和逆时针方向上会遇到不同的光程差，这会导致干涉现象的产生。
根据Sagnac效应，光程差与旋转速度之间存在线性关系。
因此，通过测量干涉现象可以求得物体的旋转速度。
其次是干涉测量。
激光陀螺仪将激光束分为两束，一束顺时针传播，一束逆时针传播。
两束激光束再次汇聚时，会发生干涉。
这种干涉现象会造成光功率的变化，通过测量光功率的变化可以推导出物体的旋转速度。
激光陀螺仪的工作特性主要体现在以下几个方面。
首先是高精度和稳定性。
激光陀螺仪利用光学原理进行测量，相比传统的机械陀螺仪具有更高的测量精度和长期稳定性。
它可以提供高达0.01°/h的测量精度，适用于对角速度变化需求较高的应用场景。
其次是宽动态范围。
激光陀螺仪可以在较大的转速范围内工作，通常可以覆盖从几度每小时到数十万度每小时的运动速度。
这使得激光陀螺仪在高速旋转的应用中具有优势，例如飞行器导航、导弹制导等。
第三是快速响应和低延时。
激光陀螺仪可以实时获取角速度信息，并以快速响应的方式进行输出。
与传统陀螺仪相比，激光陀螺仪的响应时间更短，延时更小，这使得它在需要实时控制的应用中表现出色。
第四是无需标定和校准。
传统的机械陀螺仪需要进行定标和校准，以消除误差和漂移。
而激光陀螺仪不需要进行这些操作，能够在长期使用过程中保持较高的准确性和一致性。
最后是抗振动和抗冲击。
激光陀螺仪的光学系统和光纤耐受较强的振动和冲击，能够在恶劣环境下稳定工作。
这使得激光陀螺仪适用于需要抗干扰能力较高的应用，例如军事领域和航天领域。
MEMS 陀螺仪简介及其应用
命题教师：1.出题用小四号、宋体输入打印， 纸张大小为8K.考 生：1.不得用红色笔，铅笔答题，不得在试题纸外的其他纸张上答题，否则试卷无效。
2.参加同卷考试的学生必须在“备注”栏中填写“同卷”字样。
3.考试作弊者，给予留校察看处分；叫他人代考或代他人考试者，双方均给予开除学籍处理。
并取消授予学士学位资格，该科成绩以零分记。
MEMS 陀螺仪简介及其应用杨永 110204116摘要：自陀螺仪问世，因其独特的性能，广泛地应用于航海、航空、航天以及国民经济等领域。
陀螺及其相关技术一直是各国重点发展的技术之一，发展十分迅速。
迄今为止，陀螺仪从传统的刚体转子陀螺仪到新型的固态陀螺仪，种类十分繁多。
液浮陀螺、静电陀螺和动力调谐陀螺是技术成熟的三种刚体转子陀螺仪，达到了精密仪器领域内的高技术水平。
随着光电技术、微米/纳米技术的发展，新型陀螺仪如激光陀螺、光纤陀螺和微机械陀螺应运而生。
它们都是广义上的陀螺仪，是根据近代物理学原理制成的具有陀螺效应的传感器。
因其无活动部件，称为固态陀螺仪。
这种新型全固态的陀螺仪将成为未来的主导产品，具有广泛的发展前途和应用前景。
关键词： MEMS ；陀螺仪；光学陀螺；微机械陀螺1.MEMS 概述MEMS 是英文Micro Electro Mechanical systems 的缩写，即微电子机械系统。
微电子机械系统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术（micro/nanotechnology ）基础上的 21世纪前沿技术，是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。
它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。
这种微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。
它用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA 和晶片键合等技术)相结合的制造工艺，制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。
MEMS陀螺仪
低成本批量生产
• 将MEMS陀螺仪与其辅助电路整合在同一个封装内， 运用创新的MEMS制程技术，简化传感器与线路之 间的焊接过程，并缩小它们的封装尺寸（多轴陀 螺仪的系统封装面积仅为3×5平方毫米），用一 块硅片可一次性快速生产大量产品，实现低成本 量产。
ห้องสมุดไป่ตู้
MEMS陀螺仪的特点
缺点： • 陀螺仪根据精度划分，有超高精度、中高精度陀
科里奥效应
• MEMS陀螺仪利用科里奥效应测量运动物体的角速 率，根据科里奥效应,当一个物体(m)沿方向运动 且施加角旋转速率时，该物体将受到一个科里奥 利力。法国物理学家科里奥利于1835年第一次详 细地研究 了这种现象，因此这种现象称为“科里 奥利效应”。有时把它称为“科里奥利力”，但 它并不真是一种力；它只不过是惯性的结果。
3.微机械加速度计陀螺仪 微机械加速度计陀螺仪是由参数匹配的两个微机械加速 度计做反向高频抖动 而构成的多功能惯性传感器，兼 有测量加速度和角速度的双重功能。
MEMS陀螺仪的特点
优点： • 陀螺仪能够测量沿一个轴或几个轴动作的角速
度，是补充加速度计功能的理想技术。结合加 速度计和陀螺仪这两种感测器，可以跟踪并捕 捉3D空间的完整动作，提供更真实的用户体验、 精确的导航系统及其他功能。 • 与传统陀螺仪相比，MEMS陀螺仪具有体积小、 重量轻、成本低、功耗低、可靠性好、测量范 围大、易于数字化和智能化等突出的优点。
MEMS陀螺仪的分类
1.振动式微机械陀螺仪 振动式微机械陀螺仪利用单晶硅或多晶硅制成的振动质 量，在被基带动旋转时的哥氏效应感测角速度。
2.转子式微机械陀螺仪 转子式微机械陀螺仪的转子由多晶硅制成，采用静电悬 浮，并通过力短再平衡回路测出角速度。从功能看，转 子式微机械陀螺仪属于双轴速率陀螺仪或双轴角速率传 感器。
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MEMS激光陀螺仪综述姓名：赵琬婷学号：220133051.陀螺仪的发展简史陀螺仪器最早是用于航海导航，但随着科学技术的发展，它在航空和航天事业中也得到广泛的应用。
自1910年首次用于船载指北陀螺罗经以来，陀螺已有近100年的发展史，发展过程大致分为4个阶段:第一阶段是滚珠轴承支承陀螺马达和框架的陀螺；第二阶段是20世纪40年代末到50年代初发展起来的液浮和气浮陀螺；第三阶段是20世纪60年代以后发展起来的干式动力挠性支承的转子陀螺；目前陀螺的发展已进入第四个阶段，即静电陀螺、激光陀螺、光纤陀螺和振动陀螺。
2、激光陀螺仪概述现代陀螺仪是一种能够精确的定位运动物体的方位的仪器，它是现代航空，航海，航天和国防工业中广泛使用的一种惯性导航仪器，它的发展对一个国家的工业，国防和其它高科技的发展具有十分重要的战略意义。
传统的惯性陀螺仪主要是指机械式的陀螺仪，机械式的陀螺仪对工艺结构的要求很高，结构复杂，它的精度受到了许多方面的制约。
3、激光陀螺仪的原理及分类3.1激光陀螺仪的原理激光陀螺仪的原理是利用光程差来测量旋转角速度（ Sagnac 效应）。
在闭合光路中，由同一光源发出的沿顺时针方向和反时针方向传输的两束光和光干涉，利用检测相位差或干涉条纹的变化，就可以测出闭合光路旋转角速度。
激光陀螺仪的基本元件是环形激光器，环形激光器由三角形或正方形的石英制成的闭合光路组成，内有一个或几个装有混合气体（氦氖气体）的管子，两个不透明的反射和一个半透明镜。
用高频电源或直流电源激发混合气体，产生单色激光。
为维持路谐振，回路的周长应为光波波长的整数倍。
用半透明镜将激光导出回路，经反射镜使两束相反传输的激光干涉，通过光电探测器和电路输入与输出角度成比例的数字信号。
3.2激光陀螺仪的分类激光陀螺原理上根本不同于普通的机电式陀螺。
常规机电转子陀螺依据普通的刚体力学原理按照机械储能方式工作，而激光陀螺是以双向行波的环形激光器为核心的量子光学仪表，其依据基于广义相对论的Sagnac效应。
所谓的Sagnac效应是指在任意几何形状的闭合光路中，从某一观察点出发的一对光波沿相反方向运行一周后又回到该观察点时，这对光波的相位将由于该闭合环形光路相对于惯性空间的旋转而不同。
其相位差（或光程差）的大小与闭合光路的转动速率成正比。
激光谐振腔内的相位差又可以成为放大数百万倍的频率差，这样就可以通过测量光电信号的频率来测量物体的角速度、角度等。
图1：激光陀螺仪的结构示意图与传统的机电式陀螺仪相比，激光陀螺仪构成简单，其主体为微晶玻璃腔体以及反射镜构成一个光学环形谐振腔，另外还有偏频系统、稳频控制系统、信号读出系统、信号处理系统、高压电源、磁屏蔽单元等部分。
激光陀螺的类型分类有多种：根据有无增益介质，激光陀螺分为、无源腔激光陀螺和有源腔激光陀螺。
目前几乎所有激光陀螺都是有源型的。
根据陀螺的处理闭锁效应的方式不同(偏频方式不同)，有源腔激光陀螺分为二频型和四频型两种。
其中二频陀螺根据偏频特点又分为机械抖动偏频、恒转偏频、磁镜交变偏频。
四频陀螺根据偏频特点又分为法拉第效应偏频、塞曼效应偏频。
陀螺按腔形又可分为平面型、非平面型。
其中平面型包括大多数单轴二频激光陀螺和腔内含有光学法拉第和水晶四频激光陀螺。
空间型包括集成在一块玻璃上的空间三轴激光陀螺，自偏频和塞曼两种四频激光陀螺。
按反射镜种类又可分为介质膜片激光陀螺和棱镜激光陀螺。
目前所有实用的激光陀螺均使用0.6328 um 的 He-Ne气体激光陀螺。
近年来，还出现了一些新型半导体、光纤谐振式激光陀螺。
图2：单片半导体环形激光陀螺仪结构原理图这些陀螺已经脱离了传统的 He-Ne气体激光陀螺的框架，在某些方面可能具有更大的发展潜力。
美日法德和国内一些单位正在努力开展研究，取得了一些较好的实验结果。
日本学者试验的环形半导体激光器构成的角度测量元件能够正常工作，并且成功进行了微机械转动半导体激光器件中两组相向传播振动光波的频差自检测。
用于试验的半导体环形激光器包括了长尾激光二极管放大模块。
该半导体激光陀螺拍频的信息是在半导体环形激光器终端进行电压测试获得，从而不会损失光学环路中的能量。
拍频作为检测旋转速度的一个功能测量，同时，还通过改变旋转半径来研究检测精度对于旋转半径的依赖程度。
试验证明:该半导体激光系统标准检测灵敏度特性和Sagnac效应的理论预测吻合很好，这表明半导体环形激光器可以用来作为光学陀螺使用。
此外，试验还证明:闭锁效应是半导体激光陀螺(semiconductor ring laser gyroscope)的主要噪声源之一。
可以预测随着半导体和光学技术的发展，这些结构更简单、功耗更小、使用更方便的新式激光陀螺仪有可能在未来的市场上出现。
4、激光陀螺仪的关键技术指标4.1 激光陀螺仪的飘移激光陀螺仪的飘移表现为零点偏置的不稳定度，主要误差来源有：谐振光路的折射系数具有各向异性，氦氖等离子在激光管中的流动、介质扩散的各向异性等。
4.2 激光陀螺仪的噪声激光陀螺仪的噪声表现在角速度测量上。
噪声主要来自两个方面：一是激光介质的自发发射，这是激光陀螺仪噪声的量子极限。
二是机械抖动为目前多数激光陀螺仪采用的偏频技术，在抖动运动变换方向时，抖动角速率较低，在短时间内，低于闭锁阈值，将造成输入信号的漏失，并导致输出信号相位角的随机变化。
4.3 激光陀螺仪的闭锁阈值闭锁阈值将影响到激光陀螺仪标度因数的线性度和稳定度。
闭锁阈值取决于谐振光路中的损耗，主要是反射镜的损耗激光陀螺是在光学干涉原理基础上发展起来的新型导航仪器，成为新一代捷联式惯性导航系统理想的主要部件，用于对所设想的物体精确定位。
石英挠性摆式加速度计是由熔融石英制成的敏感元件，挠性摆式结构装有一个反馈放大器和一个温度传感器，用于测量沿载体一个轴的线加速度。
光纤陀螺三轴惯测组合由三个光纤陀螺仪和三个石英挠性摆式加速度计组成，可以实时地输出载体的角速度、线加速度、线速度等数据，具有对准、导航和航向姿态参考基准等多种工作方式，用于移动载体的组合导航和定位，同时为随动天线的机械操控装置提供准确的数据。
主要性能：加表精度1×10-4g；光纤陀螺精度(漂移稳定性)≤1°/h；标度固形线性度≤5×10-4。
5、激光陀螺的发展历程和水平5.1激光陀螺发展历程1913年法国物理学家G. Sagnac提出环形光干涉与输入角速度成正比的sagnac效应。
1960年7月7日第一台红宝石固体激光器诞生。
美国人C. V. Heer (1961年)和A. H. Rosenthal（1962年）提出将激光器用于Sagnac干涉仪构成激光陀螺。
1962年0.6328μm波长He-Ne气体激光器实现运转。
此时美、英、法、前苏联开始研制用激光来作为方位测向器，称之为激光陀螺仪，其原理是利用光程差来测量旋转角速度（Sagnac效应）。
1963年2月美国斯佩里公司的Macek和Davis宣布他们用环形行波激光器感测转速率获得成功，研制出世界上第一台环形激光陀螺实验装置，该装置的光程长达4米，精度约50 /h。
激光陀螺固有的闭锁效应以及零漂误差等给激光陀螺的研制带来许多困难，直到70年代，美国和法国的一些公司才陆续有激光陀螺产品问世。
1972年，霍尼韦尔公司研制出GG-1300型激光陀螺仪，经随后的改进后其零漂值达0.004º/h，尺寸大小为18cm×20cm×5cm，重量为3公斤。
1975年，霍尼韦尔公司又研制出机械抖动偏频的单轴激光陀螺，并首次成功地应用于战术飞机。
激光陀螺从此进入实用阶段。
并且成功地应用到战术导弹、直升机、潜艇、运载火箭等项目上。
80年代初期，激光陀螺进入批量生产阶段。
1982年，霍尼韦尔公司研制的ARINC 704激光陀螺惯性基准系统正式投入民用航线使用，该系统使用的是GG1342激光陀螺。
现在，世界上的大中型民航客机（如波音系列和空中客车系列）基本上都安装了激光陀螺惯性基准系统，用于导航与稳定。
80年代后期，霍尼韦尔公司和Litton公司研制成功的激光陀螺产品零漂值优于0.01º/h，在航空领域获得广泛的应用。
90年代，又解决了激光陀螺的光学集成和数字化技术，使其更加易于工程实现。
1994年2月，日本H-2运载火箭呼啸升空，激光陀螺首次在航天运载器中取代挠性陀螺。
此外，法国Sextant公司研制的二频抖动激光陀螺，零漂值达0.005º/h，也用于阿里亚娜4火箭、阿里亚娜5火箭、军用机和远程导弹上。
90年代末期，美国Litton公司研制了四频差动激光陀螺，采用光学方法消除陀螺“闭锁”现象，所以又称为第二代激光陀螺，其零漂值已达0.001º/h，使激光陀螺精度又达到一个新的水平，其最佳时的零漂值已优于0.0003º/h，显然会成为纯惯性远程军用武器系统的优选对象。
5.2激光陀螺当前发展水平当目、前世界上研制和生产激光陀螺及其系统的主要国家有美、英、德、法、日本、俄罗斯和中国，其中美国和法国研制的水平最高，激光陀螺技术发展很成熟，并形成了二频机抖、四频差动、空间三轴、塞曼陀螺等不同类型的系列产品。
总的来说激光陀螺将向高精度高可靠和小型化、低成本两大方向发展。
目前最高水平的激光陀螺为霍尼韦尔公司生产的GG-1389型陀螺仪，其零漂值为0.00015º/h，输入速率动态范围1500º/s，使用寿命20万小时以上，平均无故障时间大于1万小时，输入轴对准稳定度达到微弧量级。
低成本、小体积的激光陀螺以霍尼韦尔的GG1308为代表，其采用BK-7级（类似我国K9）玻璃，通过镜片、电极整体烧结工艺一次成形，总体积小于2立方英寸，其精度可达1º/h，重量为60克，能承受20g的振动，每个仅为1000美元。
由于这种激光陀螺体积小，重量轻，成本低，所以在武器装备上得到广泛应用。
图3：GG1308陀螺由GG1308陀螺组成的一种INS型号主要有两种：一是HG1500-IMU，其中的QA-700加速度计的偏置稳定性为0.5mg，标度因数稳定性为500ppm，量测轴失准度为103"，体积为17.3cm×15.2cm×7.4cm，重量为3公斤，主要用于炸弹制导等。
二是HG1700-IMU，它也包含了3个GG1308激光陀螺和3个Bendix公司的RBA-500石英振梁加速度计，其主要用于联合直接攻击弹和制导多管火箭发射系统等武器系统。
截至到2003年9月，HG1700已交付65000套。
霍尼韦尔的另一种低成本陀螺为GG1320，其精度为0.1 º/h，重量为100克，输入速率可达+800度。