蔡司场发射扫描电镜操作培训.

• 综合分析能力强。可安装多种附件，分别 检测不同的信号，可以分析成分、含量及 分布，如能谱仪（EDS）。 • 操作方便、快捷。
安全规则
• 设备的电源一定要确保持续和稳定。
• 当设备出现短路，起火等重大紧急故障时， 切断设备电源和UPS电源。电源开关见下图 红圈
安全规则
• 当样品台移动的时候，一定要在TV模式下， 确保其不会碰撞到探头。（尤其是在样品 台上升的过程中）要求WD>8mm
安全规则
• 不允许放入：液体、有机、生物、不耐热 、熔融蒸发、松动粉末或碎屑等有挥发物 样品！（电镜镜筒最怕污染，无VP模式） • 凡是不导电样品必须镀导电膜。
安全规则
• 样品台一定要卡紧在样品室基座上，左右 不得晃动！
样品台背面：卡槽 样品台的安装：请注意图片上箭头方向
安全规则
• 样品观测结束后，一律将高压关掉（EHT OFF），否则会影响灯丝寿命。
激活此处：样品台泄真空 时，Z方向自动下降到最低 点 激活此处：样品的上升 时，SEM的工作距离自 动进行更改。 激活此处：样品台控制 器失效
操作软件简介
• SEM Control：Vacuum界面
点击Pump，样 品室开始抽真空。 激活此处：当机 器在Standby状态 时，真空泵停止 工作。
点击Vent，泄掉wenku.baidu.com 品室内的真空。
操作软件简介说明
• Smart软件的启动 • 双击桌面上的快捷键 或者在开始菜单中 选择START PROGRAMS������ SMARTSEM ������ SMARTSEM USER INTERFACE
操作软件简介
• 软件启动后，自动对设备的硬件进行检测。 当设备出现硬件问题时，软件将自动出现 提示。
注意事项
• 制样过程中，手不能直接接触小样品架及 样品台，防止手上的油脂等杂质污染真空 系统，要戴手套。 • 需要倾斜样品时，需经电镜管理老师同意 ，不得自行倾斜样品！
• 放置电镜的台子不能放置其它物体，不能 将身体靠在台子上！ • 电镜室温度范围：214C；湿度65％。
• 使用者不得更改计算机内之任何设定或私 自加载任何软件，不得将样品台、小样品 架等电镜室内的物品携出SEM实验室。 • 样品台须放在干净的培养皿中操作，不能 直接放在桌子上或其它不洁净物体上面。 用完后，样品台放入培养皿中盖好。
操作软件简介
• 自检完毕后，在EM server log on 对话框中 输入用户名和密码，进入SmartSem软件。
操作软件简介
• 软件简介：SEM Control 面板（启动快捷键 Ctrl＋g)
操作软件简介
SEM Control: Gun 界面
点击此处，可以 选择灯丝的开关 和高压的开关
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快捷键： 详细说明 见下。
操作软件简介
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操作软件简介
操作软件简介
数据区：显 示电镜当前 的一些参数
控制真空，灯 丝开关，EHT 的开关。当 Gun或者EHT 出现绿勾时， 代表正在工作。 Vac出现绿勾时， 代表真空已经 达到工作要求
双击或者拉动滑块 可以改变不同的 EHT
严禁擅自更改 Fil I和Extractor V处的数值。如 需更改，请先 取得服务工程 师的同意。
操作软件简介
• SEM control: Detector 面板
选择SE2 探头收集极电压 值 选择不同的探头 选择两种不同探头的信号 进行混合 混合信号时，两个 探头的信号比例 调节图像的亮度 调节图像对比度
图像的冻结是以手动 形式还是扫完整幅图 片后
积分次数或者是 平均次数
操作软件简介
• SEM Control：Stage界面
样品台目前所在的位 置 双击数据区，输入你 想要去的位置。输入 后，样品台移动到你 输入的位置。 点击功能块，输入 你要移动的距离。 例如：现在样品台 X，Y的位置在 64.125，64.485 你想让X和Y方向 各移动2mm，你可 在XY 激活后输入 2，2后点击OK即 可。
操作软件简介
• SEM Control: Aperture 面板
选择不同的尺寸的光阑 激活此处，可进行 光阑对中 观察六孔光阑 的位置和形状 光阑对中 灯丝对中 像散校准
电子束移动
高电流模式
操作软件简介
• SEM Control: Scan 面板
选择图像存储的 分辨率 扫描速度 图像噪音去除的六种方 式选择：帧平均，帧积 分，线平均，线积分， 像素平均，连续平均。
安全规则
• 平时观测时，注意不要碰到左边的操纵杆， 以免样品高度和倾斜度发生变化，损坏镜头 和探测器！
安全规则
• 开关仓门时必须轻拉轻推，避免撞击，震 动极易损坏探测器。
安全规则
• 样品一定要粘牢在样品台上，样品高度应 基本一致，样品表面平整，样品大小不得 超出大样品台边缘（3英寸硅片一次只能放 入一片），高度不得超过30mm,重量不得 超过500g。
蔡司场发射扫描电镜 操作培训
微纳科学技术研究院
Zeiss Ultra 55场发射扫描电镜（SEM）
SEM的特点
• 表（界）面形貌分析； • 分辨率高，可达纳米级；
• 放大倍数连续调节范围大：十几倍－几十 万倍，连续可调，使用非常方便; • 三维立体效果好，扫描电镜图像景深大；
• 样品制备简单。导电样品只要尺寸大小适 于样品台安装，可以直接观察，非导电样 品通过表面镀导电膜层处理即可。
• 如需要回收样品，则取出样品后必须抽真 空，否则会增加抽真空的时间和难度。 • 关上氮气瓶阀门。 • 把重新设定的参数改回。
安全规则
• 数据刻录一定要用实验室提供的光盘专门 在此机器上刻录，禁止使用在其它机器上 刻录过的光盘，禁止使用U盘和移动硬盘。
安全规则
• 设备的电源一定要保持持续和稳定，无 需开关硬件电源，每次实验后只需关闭 电脑显示器电源。
• 测试时须换鞋，不得携带任何食物入内， 测试完后打扫卫生，保持扫描电镜室干净 整洁。 • 测试完后必须进行登记！
电镜室隔间
隔间放有高纯氮气钢 瓶、水循环机、UPS 电源、干泵、空气压 缩机。 由于隔间内无空调， 水循环机给机器降温 散热量很大，所以隔 间门要打开，不得关 闭，尤其在夏天，否 则水循环机负荷太大 会损坏。