无尘室培训教材
无尘室工程师培训教材
净室工程师培训教材张利群的洁净室工程师培训教材，写的不错，大家参考:洁净技术基础培训教材张利群二OO六年十月目录一. 空气调节和空气净化的基础知识（一）空气调节的基本概念1. 空气调节及其分类2. 湿空气的焓湿图及其应用⑴ 湿空气的焓湿图⑵ 焓湿图中的名词定义⑶ 焓湿图的应用⑷ 焓湿图应用的举例3. 空调送回风的气流组织（二）空气净化的基础知识1. 洁净室及其四大要素2. 洁净室的应用及其分类3. 洁净室与一般空调的差别4. 工业洁净室与生物洁净室的差别5. 洁净室洁净度的等级标准二．洁净室的建造特点（一）建造的洁净室必须保证生产工艺所要求的各项参数（二）建造的洁净室要具有一定的灵活性（三）建造洁净室需要较大的投资（四）洁净室运行耗电量大运行费用高三．洁净室的竣工验收调试，性能测试和洁净室的综合评价（一）调试前的准备工作（二）单机试车（三）联动调试（四）洁净室的性能测试和综合评价四．洁净室的性能测试（一）洁净室性能测试的目的（二）洁净室性能测试的内容（三）洁净室性能测试的主要仪器和仪表（四）洁净室性能测试的方法五．洁净室维护管理的一问题（一）过滤器的基本知识及其维护管理（二）洁净室的发尘源和洁净室的清埽（三）洁净室的空气品质（四）洁净工作服及其清洗（五）洁净区厕所的设置（六）值班风机的设置（七）吹淋室的设置及吹淋效果（八）洁净室的正压维持（九）洁净室的消毒和灭菌（十）洁净室的颜色处理（十一）洁净室的静电和静电的消除（十二）洁净室的防火和防爆（十三）洁净室的能耗和节能（十四）洁净室的竣工验收调试和在线测试（十五）净化空调系统的家湿问题（十六）净化空调系统的管道保温和防结露问题（十七）净化空调系统的加热问题洁净室工程师培训教材一. 空气调节和空气净化的基础知识（一）空气调节的基本概念1、空气调节及其分类空气调节就是使房间或封闭空间的温度，相对湿度，洁净度，和气流速度等参数均达到给定要求的技术。
也就是说，在人们的生活和工作以及生产和科研的某一个特定的空间内其环境空气的温度，湿度，洁净度，和气流速度等构成了该空间的空气环境。
无尘室培训资料
洁净室简介提纲一、洁净室之定义二、洁净室的等级三、洁净室所要控制的内容四、洁净室之分类五、洁净室气流之流动六、洁净室之构成一、洁净室之定义洁净室(Clean Room)，也叫无尘室。
「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。
亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度及温、湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。
污染源知识1、发尘量洁净室内的发尘量，来自设备的可考虑通过局部排风排除，不流入室内；产品，材料等在运送过程中的发尘与人体发尘量相比，一般极小，可忽略；由于金属半壁（彩钢夹心板）的应用来自建筑表面的发尘也很少，一般占10%以下，发尘主要来自人，占90%左右。
在人的发尘量上，由于服装材料和样式的改进，发尘绝对量也不断减少。
A、材质：棉质发尘量最大，以下依次为棉、的确良、去静电纯涤纶、尼龙。
B、样式：大挂式发尘量最大，上下分装型次之，全罩型最少；C、活动：动作时的发尘量一般达到静止时间3-7倍；D、清洗：用溶剂洗涤的发尘量降至用一般水清洗的五分之一。
室内维护结构表面发尘量，以地面为准，大约相应8平方米地面时的表面发尘量与一个静止的人的发尘量相当。
2、发菌量分析国外试验资料可以认为：（１）洁净室内当工作人员穿无菌服时：静止时的发菌量一般为10-300个/min.人躯体一般活动时的发菌量为150-1000个/min.人快步行走时的发菌量为900-2500个/min.人（２）咳嗽一次一般为70~700个/ min.人喷嚏一次一般为4000~62000个/ min.人（３）穿平常衣服时发菌量3300~62000个/ min.人（４）无口罩发菌量:有口罩发菌量1:7~1:14（５）发菌量：发尘量1:500~1:1000 据国内事例：（６）手术中人员发菌量878个/ min.人所以，可知洁净室内无菌衣人员的静态发菌量一般不超过300个/ min.人，动态发菌量一般不超过1000个/ min/人，以此作为计算依据是可行的。
无尘室工程师培训教材样本
净室工程师培训教材张利群的洁净室工程师培训教材, 写的不错, 大家参考洁净技术基础培训教材张利群二0C六年十月目录空气调节和空气净化的基础知识（一）空气调节的基本概念1. 空气调节及其分类2. 湿空气的焓湿图及其应用⑴ 湿空气的焓湿图⑵ 焓湿图中的名词定义⑶ 焓湿图的应用⑷ 焓湿图应用的举例3. 空调送回风的气流组织（二）空气净化的基础知识1. 洁净室及其四大要素2. 洁净室的应用及其分类3. 洁净室与一般空调的差别4. 工业洁净室与生物洁净室的差别5. 洁净室洁净度的等级标准二．洁净室的建造特点（一）建造的洁净室必须保证生产工艺所要求的各项参数（二）建造的洁净室要具有一定的灵活性（三）建造洁净室需要较大的投资（四）洁净室运行耗电量大运行费用高三．洁净室的竣工验收调试, 性能测试和洁净室的综合评价（一）调试前的准备工作（二）单机试车（三）联动调试（四）洁净室的性能测试和综合评价四．洁净室的性能测试（一）洁净室性能测试的目的（二）洁净室性能测试的内容（三）洁净室性能测试的主要仪器和仪表（四）洁净室性能测试的方法五．洁净室维护管理的一问题（一）过滤器的基本知识及其维护管理（二）洁净室的发尘源和洁净室的清埽（三）洁净室的空气品质（四）洁净工作服及其清洗（五）洁净区厕所的设置（六）值班风机的设置（七）吹淋室的设置及吹淋效果（八）洁净室的正压维持（九）洁净室的消毒和灭菌（十）洁净室的颜色处理（十一）洁净室的静电和静电的消除（十二）洁净室的防火和防爆（十三）洁净室的能耗和节能（十四）洁净室的竣工验收调试和在线测试（十五）净化空调系统的家湿问题（十六）净化空调系统的管道保温和防结露问题（十七）净化空调系统的加热问题洁净室工程师培训教材一. 空气调节和空气净化的基础知识（一）空气调节的基本概念1、空气调节及其分类空气调节就是使房间或封闭空间的温度, 相对湿度, 洁净度, 和气流速度等参数均达到给定要求的技术。
也就是说, 在人们的生活和工作以及生产和科研的某一个特定的空间内其环境空气的温度, 湿度, 洁净度, 和气流速度等构成了该空间的空气环境。
洁净区培训教材
40
13
≥1000 ～〈2000
400
100
32
2000
800
200
63
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洁净人员管理
发尘源及量：
1、产品及设施 无尘室内的发尘量，来自设备的可考虑通过局部排风排除，不流
入室内； 产品，材料等在运送过程中的发尘与人体发尘量相比，一般极小，
可忽略； 由于金属墙壁（彩钢夹心板）的应用来自建筑表面的发尘也很少，
换气次数
量 (次/h)
不小于0.25
不小于0.5
不小于25
不小于15
不小于1215
气流流型及换气次数
—摘自GB50073-2001
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洁净室设计基础
过滤网设计
95%@1~5um
90~95%
Pre-filter
Bag-filter
99.99%@0.3um 99.99%@0.3um 99.999%@0.1~0.3um
CR
HEPA filter
FAN Filter HEPA/ ULPA
工作区域
1μm
0.5μm
比色法效率测试: 比色法效率也称ASHRAE（美国采暖、制
冷与空调工程师协会标准）效率，试验尘源为 高浓度标准人工尘，测量尘源为大气尘。“量 “为测量阶段采样滤纸的通光量。每经过一段 发尘试验，测量不发尘时过滤器前后采样滤纸 通光量的差别，用特定计算方法得出所谓”过 滤效率“。比色法效率是试验全过程各测量阶 段效率依发尘阶段发尘量的加权平均值。
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人的污染—发菌量：
1、人员产生的污染：
（1）皮肤：人类通常每四天完成一次皮肤的完全脱换，人类每分钟脱落约1000片
皮肤（平均大小为30*60*3微米）
无尘车间培训教材
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美国联邦标准（USA Federal Standard）209E（1992年）
1m3=35.3ft3。 对照我国标准及美国标准可以看出，我国的3级标准与美国的1级标 准相当。从而可以看出随着半导体行业从um量级向nm量级发展的过程 中，洁净室等级要求也越来越高。 但目前半导体行业中普遍采用的均为千级（6级）或万级（7级）， 只有局部区域的高自动化作业才要求百级（5级）甚至更高。
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非单方向流方式
适用洁净等级 1,000-100,000级
乱流式典型结构形式
10
2.层流式
层流式空气气流运动成一均匀直线形，空气过 滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回 风，此型式适用于洁净室等级需求较高之环境 使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。其 型式可分为二种： (1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹 出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向 排出室外，一般在下流侧污染较严重。 优点：构造简单，运转后短时间内即可达到要 求，稳定运转。 缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩 充。 (2)垂直层流式：空气由上往下吹，可得较高之 洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可 快速排出室外而不会影响其它工作区域。 优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳 定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。 缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天 花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻 烦。
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人的污染—发菌量：
1、人员产生的污染： （1）皮肤：人类通常每四天完成一次皮肤的完全脱换，人类每分钟脱落约1000片 皮肤（平均大小为30*60*3微米） （2）头发：人类的头发（直径约为50~100微米）一直在脱落。 （3）口水：包括钠、酶、盐、钾、氯化物及食品微粒。 （4）日常衣物：微粒、纤维、硅土、纤维素、各种化学品和细菌。 （5）人类静止和坐立每分钟将产生10000个大于0.3微米的微粒。 （6）人类在头部和躯干做动作时每分钟将产生1000000个大于0.3微米的微粒。 （7）人类以0.9m/s的速度行走时每分钟将产生5000000个大于0.3微米的微粒。 2、分析国外试验资料显示： （1） 无尘室内当工作人员穿无菌服时： 静止时的发菌量一般为10~300个/min.人 躯体一般活动时的发菌量为 150~1000个/min.人 快步行走时的发菌量为 900~2500个/min.人 （2） 咳嗽一次一般为 70~700个/ min.人 （3） 喷嚏一次一般为 4000~62000个/ min.人 （4） 穿平常衣服时发菌量 3300~62000个/ min.人 （5） 无口罩发菌量:有口罩发菌量 1:7~1:14 所以，洁净间的管理，关键是人员的管理，只有每位员工严格遵守洁净间管理规 定，才能真正发挥洁净间的作用，从而有效保证产线的正常运行，减少产品的人为不 良率，降低成本，提高企业产品的竞争能力。 25
培训-清洁培训(无尘室保洁)
2、 在清洁净化室内时，必须遵守的要求： 1. 保持清洁工具的干净，使用前、中、后都一样，避免交叉污染。在进入净 化室之前，必须先把机器、设备、和其它所有工具清洁。这能减少外来污 染物。 2. 专属的服饰： 根据客户的要求，穿戴专门的净化服、净化鞋、防护镜等等。 3. 不随便触摸 在净化室内，不要随便触摸任何东西。包括所有电器开关或移动/触摸任 何与清洁无关的东西。当遇到疑问时，请立即向你的主管汇报。 4. 电力供应 在使用所有清洁机器时，确保使用专用插座。 5. 只清洁规定区域，非清洁区域除特殊情况外禁止入内，发现不明液体、异 味不可轻易处理，当遇到疑问时，请立即向你的主管汇报。 6. 清除垃圾： 清除垃圾时注意酸、碱物质的分类、标识，口袋打结，运输过程中不可在 地面拖拉。放到指定地点。 7. 清洁工具和专用产品 A. 只使用客户允许使用的清洁产品和清洁机器/用具。例如；吸尘器、无 尘布、海绵； B. 清洁机器最理想的表面是不锈钢制成； C. 只使用客户提供的去离子水或酒精作为清洁溶剂。任何时候不应该使 用自来水； D. 不要好象混淆净化室内和其他区域内的清洁工具； E. 当遇到疑问时，请立即向你的主管汇报。千万不要自作主张。 3、 在净化室内的行为举止： 不应做的事： 1．不要接触清洁表面和其他设施造成不必要的交叉污染 2．不要在净化室内脱掉/更换净化服、鞋、手套 3．不要化装和戴首饰。 4．不要用手撸头发和身体的任何部位。 5．不要打喷嚏、咳嗽 6．不要在净化室内吃东西、喝东西、吸烟和看报纸 7．不要使用错误类的小型工具和化学品
3. 了解擅自使用工具、化学品、插座的危害性，杜绝危害事故的发生；
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SODEXHO 培训资料-----FAB 清洁及相关培训
二、净化室内的清洁
高等级无尘室培训教材
1.1乱流式 非单方向流方式
空气由空调箱经风管与无尘室内之空气 过滤器进入无尘室，并由无尘室两侧隔 间墙板或高架地板回风。气流非直线型 运动而呈不规则之乱流或涡流状态。 优点：构造简单、系统建造成本低，洁 净室扩充比较容易 缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间 飘浮不易排出，易污染制程产品。另外 若系统停止运转再激活，欲需达到设定 要求之洁净度，往往须耗时相当长一段 时间。
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一、无尘室基础知识
3.洁净度等级标准
国际标准ISO 14644-1 和 国家标准GB50073-2001 洁净度等级
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一、无尘室基础知识
美国联邦标准（USA Federal Standard）209E（1992年）
注:1m3=35.2 ft3。 对照国标及美标可以看出，ISO6级与美国的1000级标准相当。随着半导体
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二、无尘室设计
2.过滤网设计
95%@ ≥ 5 μm 90~95%@ ≥ 1 μm 99.99%@ ≥ 0.5 μm 99.999%@ 0.1~0.3 μm
无尘室洁净度之维持和控制，除了前期硬件设备投资外也需要良好的软件——管 理制度来搭配，方能维持良好的洁净度。由上图测试结果来看，作业人员对无尘 室内洁净度影响最大，作业人员进度无尘室时尘埃有显著增加，有人员来回走动 等动作时洁净度马上劣化，可见洁净度劣化的主要原因为人为因素
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二、无尘室设计
1.无尘室之分类(按形式)
行业从µm量级向nm量级发展的过程中，洁净室等级要求也会越来越高。但目前 半导体行业中普遍采用的均为千级（6级）或万级（7级），只有局部区域的高 自动化作业才要求百级（5级）甚至更高。
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一、无尘室基础知识
4.微粒粒径的感性认知 一般微粒粒径对比 0.3μm 微尘粒径
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2.1 能除去空气中飘游之微尘粒子 2.2 能防止微尘粒子之产生 2.3 温度和湿度之控制 2.4 压力之调节 2.5 有害气体之排除
2.6 结构物与隔间之气密性 2.7 静电之防制 2.8 电磁干扰之预防 2.9 安全因素之考虑 2.10 节能之考量
洁净室管理教育训练
3.洁净室进退流程
洁净室管理教育训练
1.洁净室定义
1.1 『 Clean Room 』 洁净室又称无尘室，目前是 半导体工业生物化学医药食品业 等不可或缺的重要设施。
1.2其最主要作用是在控制产品所接触之大气的洁净度、温湿度，使产品能在一个 良好的环境中生产、制造，此空间我们称之为『 洁净室』 。
1.3换言之，将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等污染物排 除， 并将室内的温湿度、 洁净度、 室内压力、气流速度、与气流分布、 噪音震 动及照明静电控制在某一需求 范围内，所给予特别设计的房间 。
（4）无尘室用真空吸尘器 （5）洁净室专用拖把 （6）洁净室专用垃圾桶和水桶 （7）一次性乳胶手套
(8) 带有不锈钢手柄或表面经过防锈处理的铁质清洁工具 （9）洁净室用垃圾袋 （10）不锈钢刮刀（刀片） （11）经过允许的机器专用清洁剂 （12）在清洁过程中，本身不太容易产生灰尘或碎屑，导致二次污染的清
1.4洁净度定义依洁净度等级不同而定义。 洁净度1级(Class 1)表示每立方英呎室内 之空气所含有大于或等于0.5 m(10-6m )之灰尘粒子不超过1颗；洁净度10级(Class 10)则不超过10颗…依此类推 。 简式表示则为 Class 1 1 pcft3 (@)0.5m)
洁净室管理教育训练
清洁 。 6.4 不可携带私人物品，如香烟、打火机、食物饮料、化妆品、手镯、耳环、戒指 。 6.5 除无尘室专用文具外，严禁携入铅笔、自来水笔、橡皮擦、蜡笔与一般纸张等 。 6.6 棉质、纸盒、木材等易产生粉尘材料的物品禁止携入无尘室 。 6.7 吸烟30分钟后方可进入无尘室 。 6.8 施工厂商需有专人陪同方可进入无尘室 。
5.外部人员进入无尘室之申请
5.1 外部人员进入无尘室，由相关单位代为提出「无尘室申请单」 。 5.2 施工厂商可由前台申请「临时工作证」或由相关单位代为申请「长期工 作证」 。
潔淨室管理教育訓練
6.进入更衣室与洗尘之管制
6.1 管制室应做到监控人、事、物之进出需合乎规定 。 6.2 不可化妆，包含口红、粉底、指甲油、眼影、香水 。 6.3 个人应保持良好卫生习惯，每日洗澡、刮胡子和定期洗头，经常洗手保持手部甲
洁净室管理教育训练
10.物品、器具、化学品之管制
10.1 应避免乱流产生禁止在机台区气流之上方等处放置物品或执行其它作业 。 10.2 化学药品应置于化学柜内 。 10.3 化学药品应有明确之中英文标示 。 10.4 使用过无尘布、无尘纸一律置于垃圾桶内 。
10.5下列清洁工具和物品允许带入 (1) 洁净室用无尘布 (2) 33.3%浓度5S清洁酒精 (311.无尘室门之管制
11.1 随手关门，无尘室之信道门应随时保持紧闭 。 11.2 禁止用推车顶门 。 11.3 门有损坏时应立刻通知处理 。
12.电线、插座、蛇管之管制
12.1 机台之管线应用束线带束紧，固定于墙角或不妨碍通 行之角落 。 12.2 不使用胶带固定电线于地上或墙上 。 12.3 使用插座时应确定所使用工具之电压与插座电压是否 相同 。 12.4 无论任何电线均不可用脚踩踏 。
8.3 严禁室内安装等工程，如有必要需先做防尘措施与施工区域隔离措施 。 8.4 如遇紧急状况，依工安单位规定之逃生路线，以最快速度离开无尘室 。 8.5 紧急逃生时可不脱去无尘衣物 。 8.6 紧急状况消除后，静候通知进入无尘室，并更换干净之无尘衣物
洁净室管理教育训练
9.纪律管理
9.1 进入洁净室时，要保证衣帽穿戴整齐。 9.2 不得坐于地板上，并严禁仅贴机台、墙壁、工作桌 。 9.3 面对周转箱或机台时禁止讲话、较大之肢体动作，并严禁快速走动或追逐
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7.更衣步骤
进入更衣室 穿戴网帽
穿戴口罩
穿戴无尘衣
穿戴无尘鞋
穿戴手套
进入无尘室
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8.安全卫生之管制
8.1 无尘室内发现生产环境异状(不明之声音、烟蒂、溶剂及味道)应迅速反应 至组长或相关人员、 主管 。
8.2 火警报声响时，应迅速呼叫同仁由安全门撤离，并应迅速反应至组长或相 关人员、主管 。
外鞋鞋柜 外衣衣柜 内衣柜 无尘鞋鞋柜 无尘衣衣架
脚踏黏垫 更鞋
一次更衣
屋外 管理区域
脱衣 着衣 一般服更衣室
鞋 着衣 脱衣
脚踏黏垫
无尘衣更衣室 准洁净区域
Air Shower
洁净室
洁净区域
洁净室管理教育训练
4.人员训练与资格考核
4.1 凡需进入无尘室工作人员，无论本公司或公司外部人士，除外宾外(客户、 VIP等) 任何人员皆需经洁净室训练或资格考核及格，方可进出无尘室 。 4.2 人员需经资格考核及格后，无尘室管制室方可发放无尘衣 。
洁净室管理教育训练
1.洁净室定义 2.洁净室具备因素 3.洁净室进退流程图 4.人员训练与资格考核 5.外部人员进入无尘室之申请 6.进入更衣室与洗尘室之管制 7.更衣步骤 8.安全卫生之管制 9.纪律管理 10.物品、器具、化学品等之管制
洁净室管理教育训练
11.无尘室门之管制 12.电线插座之管制 13.文件资料之管制 14.标示标语之管制 15.消防箱灭火器之管制 16.离开无尘室之管制 17.设备保养之管制 18.无尘衣物清洗与更新之管制 19.稽核改善与奖惩
(警急警报响时除外)，保持慢速走动 。 9.4 除新人训练、公事交接外，应避免两人以上交谈 。 9.5周转箱或 Tray 不可置于地面，除周转箱待清洗区外 。 9.6 禁止勾肩搭背、触摸其它人员或两人同坐一张无尘椅 。 9.7 无尘室内绝对禁止拍照录像，如有必要需经厂长同意 。 9.8 除非具合格之人员，否则严禁操作任何机台 。