纳米加工技术实验室简报2014
纳米加工技术
纳米加工技术及其应用江苏科技大学机械学院学号：1姓名：原旭全纳米尺度的研究作为一门技术,是80年代刚刚兴起的.它所研究的对象是一般研究机构很难涉猎的即非宏观又非微观的中间领域,有人称之为介观领域.所谓纳米技术通常指纳米级~l00nm)的材料、设计、制造、测量、控制和产品的技术.纳米技术主要包括纳米级精度和表面形貌的测量;纳米级表层物理、化学、机械性能的检测;纳米级精度的加工和纳米级表层的加工一一原子和分子的去除、搬迁和重组;纳米材料;纳米级微传感器和控制技术;微型和超微型机械;微型和超微型机电系统;纳米生物学等;纳米加工技术是纳米技术的一个组成部分.纳米加工的含义是达到纳米级精度(包括纳米级尺寸精度,纳米级形位精度和纳米级表面质量)的加工技术.其原理使用极尖的探针对被测表面扫描(探针和被侧表面不接触),借助纳米级的三维位移控制系统测量该表面的三维微观立体形貌.材料制造技术.著名的诺贝尔奖获得者Feyneman在20世纪60年代曾预言:如果我们对物体微小规模上的排列加以某种控制的话,我们就能使物体得到大量的异乎寻常的特性,就会看到材料的性能产生丰富的变化.他说的材料即现在的纳米材料.纳米材料是由纳米级的超微粒子经压实和烧结而成的.它的微粒尺寸大于原子簇,小于通常的微粒,一般为l一100nm.它包括体积份数近似相等的两部分:一是直径为几个或几十个纳米的粒子;二是粒子间的界面.纳米材料的两个重要特征是纳米晶粒和由此产生的高浓度晶界.这导致材料的力学性能、磁性、介电性、超导性、光学乃至热力学性能的改变.如:纳米陶瓷由脆性变为100%的延展性,甚至出现超塑性.纳米金属居然有导体变成绝缘体.金属纳米粒子掺杂到化纤制品或纸张中,可大大降低静电作用.纳米Tiq按一定比例加入到化妆品中,可有效遮蔽紫外线.当前纳米材料制造方法主要有:气相法、液相法、放电爆炸法、机械法等.l)气相法:¹热分解法:金属拨基化合物在惰性介质(N2或洁净油)中热分解,或在H冲激光分解.此方法粒度易控制,适于大规模生产.现在用于Ni、Fe、W、M。
纳米制备实验报告(3篇)
第1篇一、实验名称纳米材料的制备二、实验目的1. 了解纳米材料的制备原理和方法。
2. 掌握纳米材料的制备过程及注意事项。
3. 通过实验验证制备方法的有效性，并对制备的纳米材料进行表征。
三、实验原理纳米材料是指尺寸在1-100纳米之间的材料，具有特殊的物理、化学和生物学性质。
纳米材料的制备方法主要包括化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、溶液法、溶胶-凝胶法等。
本实验采用溶胶-凝胶法制备纳米材料。
溶胶-凝胶法是一种通过溶胶、凝胶和干燥三个阶段制备纳米材料的方法。
其原理是将金属盐或金属氧化物溶解于溶剂中，形成溶胶，然后在一定的条件下，溶胶逐渐转化为凝胶，最终干燥得到纳米材料。
四、实验材料与仪器1. 实验材料：金属盐、金属氧化物、溶剂、催化剂等。
2. 实验仪器：磁力搅拌器、恒温水浴锅、干燥箱、电子天平、超声波清洗器、扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射仪（XRD）等。
五、实验步骤1. 配制溶胶：将金属盐或金属氧化物溶解于溶剂中，加入适量的催化剂，搅拌均匀，形成溶胶。
2. 形成凝胶：将溶胶在恒温水浴锅中加热，使其逐渐转化为凝胶。
3. 干燥：将凝胶放入干燥箱中，在一定的温度下干燥，得到纳米材料。
六、实验结果与分析1. 实验结果本实验制备的纳米材料为球形，粒径约为30纳米，具有较好的分散性。
2. 分析通过SEM观察，发现制备的纳米材料为球形，粒径分布均匀。
通过XRD分析，证实了纳米材料的晶体结构。
七、实验讨论1. 溶剂的选择对纳米材料的制备影响较大，本实验中采用水作为溶剂，具有良好的效果。
2. 催化剂的选择对纳米材料的制备也有一定影响，本实验中采用碱性催化剂，有利于纳米材料的形成。
3. 干燥过程中，温度和时间的控制对纳米材料的质量有较大影响，本实验中通过实验确定最佳干燥条件。
八、实验结论本实验采用溶胶-凝胶法制备纳米材料，成功制备了球形纳米材料，粒径约为30纳米，具有较好的分散性。
实验结果表明，该方法制备纳米材料具有操作简单、成本低、易于控制等优点，适用于实验室制备纳米材料。
纳米加工技术的用途是什么
纳米加工技术的用途是什么纳米加工技术是一种利用纳米尺度的精密加工方法，在材料科学、化学、物理、生物、医学等领域具有广泛应用。
下面将从材料科学、电子信息领域、生物医学领域、环境保护与能源领域、纳米加工技术的挑战与前景等方面介绍纳米加工技术的应用。
一、材料科学领域纳米加工技术可以用于构建高性能功能材料，例如纳米线材料、纳米片材料、纳米多孔材料等。
这些材料具有特殊的物理、化学性质，可以应用于电子器件、光学器件、催化剂、传感器等领域。
纳米加工技术可以精确地控制材料的尺寸、形状、结构和成分，从而优化材料的性能和功能。
二、电子信息领域纳米加工技术可以制备微纳电子器件，例如纳米晶体管、纳米电阻器、纳米电容器等。
由于尺寸缩小到纳米级别，这些器件具有更高的速度、更低的功耗和更高的集成度。
纳米加工技术还可以制备纳米电子材料，如纳米颗粒、纳米导线、纳米薄膜等，这些材料可以应用于电子器件的底层结构、导电材料和光电材料。
三、生物医学领域纳米加工技术可以制备用于生物医学应用的纳米材料和纳米器件。
纳米金粒子、纳米磁性材料、纳米荧光探针等可以应用于分子诊断、药物传递、癌症治疗等。
纳米加工技术还可以制备纳米生物材料，如纳米薄膜、纳米纤维、纳米孔膜等，用于组织工程、细胞培养和人工器官。
四、环境保护与能源领域纳米加工技术可以制备用于环境保护和能源领域的纳米材料和纳米器件。
例如，纳米颗粒可以作为高效催化剂用于废气处理、有害物质吸附和水污染治理。
纳米材料还可以用于制备高效能源材料，例如纳米光催化材料、纳米电池材料和纳米光伏材料。
纳米加工技术的挑战：纳米加工技术还面临一些挑战。
首先，纳米加工技术需要具备高精密度、高分辨率和高通量，同时还需要具备高稳定性和低成本。
其次，纳米加工技术需要具备高度的可控性和可重复性，以满足不同领域的应用需求。
此外，纳米加工技术还需要解决材料成本、生产规模和环境影响等方面的问题。
纳米加工技术的前景：纳米加工技术具有广阔的应用前景。
新型纳米加工技术的研究
新型纳米加工技术的研究作者：朱团王英刑艳刘立红郭双林来源：《科技资讯》 2014年第31期朱团1 王英2 刑艳3 刘立红1 郭双林1(1.黑河学院物理化学系黑龙江黑河 164300;2.上海交通大学微纳科学技术研究院上海 200000;3.东北师范大学化学学院胶体与界面研究所吉林长春 130000)摘要:新型纳米加工技术是近几年迅速发展并取得突破性进展的一种纳米制造技术，利用无机纳米材料及无机—有机纳米复合图形材料制备纳米图形化掩模，结合纳米刻蚀技术实现小于30 nm的图形结构制备。
克服了传统光刻技术对尺寸的限制和电子束光刻等在设备和生产速度上的限制，为从宏观到微观纳米图形制作开辟了新途径。
通过新型纳米加工技术的研究，克服了传统光刻技术对尺寸的限制和电子束光刻等在设备和生产速度上的限制，为从宏观到微观纳米图形制作开辟了新途径。
关键词:纳米材料自组装纳米加工技术研究中图分类号:TB383 文献标识码:A 文章编号:1672-3791(2014)11(a)-0007-01纳米加工技术作为引起一场新的产业革命的科学技术，备受世人瞩目。
随着科技的发展，对电子器件小型化的要求越来越强烈，各种器件逐渐由微米向纳米尺度发展。
特别是对纳米器件、光学器件、高灵敏度传感器、高密度存储器件以及生物芯片制造等方面的纳米化要求越来越强烈，如何缩小图形尺寸、提高器件的纳米化程度已经成为各国科学家们越来越关心的问题。
然而由于传统刻蚀技术的限制使得器件纳米化的发展成为当今电子器件小型化发展的重要制约因素之一。
通过新型纳米加工技术的研究，克服了传统光刻技术对尺寸的限制和电子束光刻等在设备和生产速度上的限制，为从宏观到微观纳米图形制作开辟了新途径。
1 新型纳米加工技术的基本原理纳米加工技术是为了适应微电子及纳米电子技术、微机械电子系统的发展而迅速发展起来的一门加工技术。
目前，探索新的纳米加工方法和手段已成为纳米技术领域中的热点。
随着纳米加工技术的发展，现已出现了多种纳米加工技术，新型纳米加工技术利用无机纳米材料及无机—有机纳米复合图形材料制备纳米图形化掩模，结合纳米刻蚀技术实现小于30 nm的图形结构制备。
纳米加工技术
发展纳米加工技术的途径
发展前景的展望
航空航天
纳
米 卫 星
1.增加有效载荷，成指数倍地降低耗能。 2.低能耗、抗辐照的高性能计算机及其它
测控电子设备
3.抗热障、耐磨损的纳米涂层材料
4.微型航天器、“纳米卫星”等
高效助燃剂：
纳米粉末具有极强的储能特性，将其作为添加
航 剂加入燃料中可大大提高燃烧率。将一些纳米粉末
纳米加工技术
纳米技术定义
目前人类研究的物质世界的 最大尺度：1025 米（～10亿光年） 最小尺度：10－19 米
纳米(nm)：10－9 米 纳米技术：研究结构尺寸在0.1～100 nm
范围的物质的特性和相互作用，以及利 用这些特性的多学科交叉的科学与技术。 当物质小到10－9～10－7 米时，由于量子 效应和巨大的表面和界面效应，性能发 生质变，呈现出许多既不同于宏观物体、 也不同于单个孤立原子的新颖的物理、 化学和生物学等特性。
利用LIGA技术制作的铜电极阵列和加工出的70µm厚WC-Co齿轮
纳米加工的方法及设备
基于扫描显微原理的纳米加工
扫 扫描隧道显微镜（STM）工作原理：
描 隧
把极小的针尖和被研究的物质表面作为两个电极，
道 当样品表面与针尖的距离非常小(<1nm)时，在外电
显 场作用下电子即会穿过两极间的绝缘层流向另一极，
纳米技术的意义
纳米技术将引发一场新的工业 革命
• 2010年现在的微电子器件芯 片的线宽将达到0.1～ 0.07nm，小于此尺寸，器件 应按新原理设计。其性能将大 大提高，这将是对信息产业和 其它相关产业的一场深刻的革 命。
纳米技术是21世纪经济增长的一个主要的发动机，它将使 微电子学在20世纪后半叶对世界的影响相形见绌。
材料科学中的纳米技术和微纳加工技术
材料科学中的纳米技术和微纳加工技术纳米技术和微纳加工技术是材料科学领域的两项重要技术。
纳米技术涉及到微观尺度的制造和研究，其研究范围包括从材料、物理学，到分子、生物学的不同领域。
微纳加工技术则是一种用于制造小型器件和系统的制造技术，其尺度通常在微米至纳米级别之间。
这两项技术的发展已经产生了广泛的应用，包括计算机芯片、医疗设备和生物传感器等。
一、纳米技术纳米技术是用于研究和制造物质的基本单元之一。
通过利用高级材料的制造技术和微型和纳米级别的精度和控制技术，纳米技术已经成为生物医药、能源、环境科学、纳米机械和信息技术等领域的基本研究手段之一。
扫描电子显微镜（SEM）是利用电子束扫描样品表面而产生图像的仪器。
基于SEM原理，多种纳米制造技术已被实现，包括电子束光刻、电子束物理气相沉积和电子束聚焦等技术。
通过这些技术，人们已经制造出了纳米级别的材料和器件，如纳米管和纳米线。
纳米技术在生物医学领域广泛应用。
通过利用纳米颗粒和生物分子的特性，人们可以制造出各种纳米材料和生物传感器，用于药物储存和释放、细胞成像、基因诊断和治疗等领域。
例如，金属纳米粒子可以以完美的均匀性和稳定性装载各种药物，同时避免了药物的副作用。
二、微纳加工技术微纳加工技术涉及到开发制造的一系列技术，其尺度范围在微米至纳米级别之间，包括从制造单个纳米元件到集成微型化、集成化系统的制造技术。
微纳加工技术不仅应用于电子器件，也应用于更广泛的微型加工领域，如生物工程学、医疗器械和燃料电池技术。
微纳加工技术的一种重要方法是光刻技术，其原理是利用光敏性树脂来制造微型和纳米级别的结构。
光刻技术在制造微电子元件、LED和平面显示器等电子器件上极为重要。
另一项重要的微纳加工技术是激光加工技术，其原理是利用激光束对非金属物质制造微型和纳米级别的结构。
激光加工技术可用于生物医学、纳米材料制造和光学交叉学等多种领域。
例如，人们已经利用激光加工技术制造出微型芯片，为基于纳米颗粒的生物传感器提供了支持。
高级实验师的实验报告
一、实验名称纳米材料制备及表征二、实验目的1. 学习纳米材料的制备方法；2. 掌握纳米材料的表征技术；3. 研究纳米材料的性能与应用。
三、实验原理纳米材料是指至少有一维在纳米尺度（1-100nm）的金属材料、陶瓷材料、高分子材料等。
纳米材料具有独特的物理、化学和力学性能，广泛应用于电子、能源、医药、环保等领域。
本实验采用化学气相沉积法（CVD）制备纳米材料，利用扫描电子显微镜（SEM）、透射电子显微镜（TEM）、X射线衍射（XRD）等手段对纳米材料进行表征。
四、实验材料与仪器1. 实验材料：金属催化剂、气体（如氢气、氩气、氮气等）、反应气体（如甲烷、乙炔等）；2. 实验仪器：化学气相沉积反应器、真空泵、气体发生器、扫描电子显微镜、透射电子显微镜、X射线衍射仪。
五、实验步骤1. 准备实验材料：将金属催化剂放入化学气相沉积反应器中，通入氢气、氩气和反应气体，进行预热；2. 化学气相沉积：在反应器中通入甲烷和乙炔，进行化学气相沉积反应，制备纳米材料；3. 收集产物：将反应后的产物收集于特制的收集器中，进行冷却；4. 样品制备：将收集到的纳米材料进行研磨、过筛，制备成粉末状样品；5. 表征：将样品进行扫描电子显微镜、透射电子显微镜和X射线衍射分析。
六、实验结果与分析1. 扫描电子显微镜（SEM）分析：从SEM照片可以看出，制备的纳米材料呈球形，粒径分布均匀，平均粒径约为50nm。
2. 透射电子显微镜（TEM）分析：TEM照片显示，纳米材料为多晶结构，晶粒尺寸在10-20nm之间。
3. X射线衍射（XRD）分析：XRD图谱显示，纳米材料具有明显的晶体结构，与理论值吻合良好。
七、实验结论1. 本实验采用化学气相沉积法成功制备了纳米材料；2. 制备的纳米材料呈球形，粒径分布均匀，平均粒径约为50nm；3. 纳米材料具有明显的晶体结构，与理论值吻合良好。
八、实验讨论1. 实验过程中，控制反应条件对纳米材料的性能具有重要影响；2. 纳米材料的制备方法多样，可根据实际需求选择合适的制备方法；3. 纳米材料的表征技术有助于深入了解其性能，为应用提供依据。
刘前：纳米科研结硕果
刘前：纳米科研结硕果作者：黄健来源：《科学中国人》2014年第02期在“纳米”这个词语上确实笼罩着一层瑰丽的光圈，从纳米科技的基础和应用研究到纳米产业的未来发展，乃至纳米技术与人们生活的密切联系等各种问题，都令科学家们神迷醉往。
国家纳米科学中心科技管理部主任、研究员刘前就是该领域众多追梦者中的一员。
自开始纳米科技攀登之旅起，刘教授已在这一领域留下了一长串闪光的足迹：作为首席科学家和课题负责人，他已完成科研项目十余个，在专业科学杂志上发表论文100多篇，撰写英文专著一部和英文章节多篇，译著一部，获得国家一级标准物质5个，美国授权专利一项，中国授权发明专利10项。
刘教授曾在日本著名大学和研究机构留学工作多年，曾因其优秀的科学素养和杰出的科研成绩获得了日本罗大利米山奖励金、日本电气通信普及财团海外短期研究资助奖励等。
2005年归国后任国家纳米科学中心研究员、博士生导师，在纳米事业上开始了新的征程。
刘教授现任中文国际杂志《现代物理》主编和一些中英文杂志的编委，并被聘为澳大利亚科学研究委员会（ARC）国家基金项目的海外评审专家、科技部、基金委和中组部青年千人评审专家等。
刘前教授的主要研究领域为新型微纳加工方法、新概念的薄膜纳米器件、功能化薄膜纳米材料、纳米标准物质以及纳米光存储等。
经过多年的不懈努力，获得了一系列具有创见性的成果，逐渐形成了自己的学术和研究特色。
微纳加工技术是材料功能化和器件构建的主要手段，分为“自上而下”和“自下而上”两种。
目前常用的“自上而下”手段有电子束、离子束等。
众所周知，激光作为另一种“自上而下”的加工手段具有生产效率高、加工精度高和经济实用的特点，一直受到人们的广泛青睐。
实际上，激光早在上世纪70年代就已被应用于精密加工，然而由于激光系统的衍射极限限制，获得的激光系统的加工分辨率通常在微米量级，制约了其在纳米尺度上的加工能力。
如何用激光获得纳米分辨的加工能力一直以来都是一个挑战性的课题。
化学工程与工艺专业纳米材料与纳米技术实习报告
化学工程与工艺专业纳米材料与纳米技术实习报告摘要本报告是对化学工程与工艺专业纳米材料与纳米技术实习的总结与反思。
通过实习，我对纳米材料与纳米技术的基本概念和应用有了更加深入的理解。
本文将介绍实习的目的、实习过程、实习结果以及个人收获，并对未来纳米材料与纳米技术领域的发展进行展望。
1. 引言纳米材料与纳米技术是目前化学工程与工艺领域的热门研究方向之一。
在本次实习中，我有幸进入了实验室，亲手参与了纳米材料的制备与表征，以及纳米技术的应用研究。
通过实践操作，我对纳米材料与纳米技术的原理和方法有了更深入的了解，也加深了对该领域的兴趣。
2. 实习目的本次实习的目的是让学生通过实践感受纳米材料与纳米技术的研究与应用过程，掌握基本的实验操作技能，提高科研素养。
具体目标包括：(1) 学习并掌握纳米材料的制备方法；(2) 熟悉纳米材料的表征技术；(3) 了解纳米材料在工业和生活中的应用。
3. 实习过程在实习开始之前，我系统学习了有关纳米材料与纳米技术的基本知识，包括纳米尺度的概念、纳米材料的特殊性质以及纳米技术的应用方向等。
之后，我进入了实验室，开始了真正的实践探究。
3.1 纳米材料制备在实习中，我们采用溶剂热法制备了一种金属氧化物纳米材料。
具体步骤包括：配制前驱物溶液、控制反应温度和时间、沉淀分离与洗涤。
通过调整反应条件，我们成功制备得到了具有良好形貌和结晶性的纳米材料。
3.2 纳米材料表征为了验证合成的纳米材料的结构和性质，我们进行了一系列的表征实验。
包括X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)等。
这些实验方法帮助我们确定了纳米材料的晶体结构、粒径尺寸和形貌等特征。
3.3 纳米技术应用在实习的最后阶段，我还有机会参与了一个纳米技术应用项目。
我们团队以纳米材料为基础，研究开发了一种新型的光催化材料，用于环境污染治理。
通过调整材料的组成和结构，我们获得了较高的光催化性能，并进行了系统的性能测试与评估。
纳米技术实习总结
纳米技术实习总结在此次的纳米技术实习中，我有幸参与了一系列与纳米技术相关的实验和研究项目。
通过实习期间的亲身经历和学习，我对纳米技术有了更深入的认识和了解。
本文将对我的实习总结进行介绍，分析所参与的项目，并对实习中的心得和体会进行总结。
实习项目一：纳米材料制备与表征在第一个实习项目中，我主要负责纳米材料的制备和表征工作。
我们使用溶胶凝胶法、热蒸发法等方法制备了不同种类的纳米材料，如氧化物、金属纳米颗粒等。
接着，使用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)等表征技术对所得的纳米材料进行了形貌和结构的分析。
通过实验，我了解了纳米材料在形貌和结构上的特殊性，并深入了解了不同制备方法对纳米材料性质的影响。
实习项目二：纳米技术在生物医学中的应用在第二个实习项目中，我参与了一项应用纳米技术在生物医学中的研究。
我们设计并制备了具有纳米尺寸的载体，用于传输药物或靶向治疗。
通过对纳米载体的表面修饰和功能化处理，我们能够实现药物的准确运输和针对性释放，提高治疗效果并减少副作用。
通过实验，我了解了纳米技术在生物医学中的广泛应用，对于癌症治疗和药物递送等具有重要的意义。
实习项目三：纳米材料在能源领域的应用在第三个实习项目中，我参与了一项关于纳米材料在能源领域应用的研究。
我们通过制备纳米材料和构建纳米结构，实现了提高太阳能电池效率的目标。
通过调控纳米材料的形貌和结构，优化了能量转换和传输的效率，为太阳能电池的发展做出了一定贡献。
通过实验，我深刻认识到纳米技术在能源领域中的重要作用，对于可再生能源的发展有着重要的推动作用。
心得与体会通过这次纳米技术的实习，我对纳米材料的制备、表征和应用有了更深入的认识。
纳米技术在各个领域都有着广泛的应用前景，为解决许多重大问题提供了新的思路和方法。
同时，在实习过程中，我也收获了许多宝贵的经验和技能。
我学会了如何进行科学实验的规划和操作，提高了自己的实验技术水平。
与研究团队的合作也让我深刻体会到团队合作的重要性，只有共同努力，才能取得更好的成果。
纳米产品实验报告总结
一、实验背景随着纳米技术的不断发展，纳米材料在各个领域的应用日益广泛。
纳米材料具有独特的物理、化学性质，如高比表面积、优异的催化性能、特殊的电磁性能等。
本实验旨在制备一种具有特定性质的纳米产品，并对其结构和性能进行表征。
二、实验目的1. 学习纳米材料的制备方法；2. 掌握纳米材料的表征技术；3. 分析纳米材料的结构、性能及其应用前景。
三、实验原理本实验采用溶胶-凝胶法、化学沉淀法等制备纳米材料。
通过调节反应条件，如温度、pH值、反应时间等，控制纳米材料的尺寸、形貌和性能。
实验中采用X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、透射电子显微镜（TEM）等手段对纳米材料进行表征。
四、实验过程1. 实验材料与仪器材料：铌酸锂、五氧化二铌、LiH、LiNO3、NH4NbO(C2O4)2、孔状二氧化硅基质等。
仪器：反应釜、磁力搅拌器、红外灯、高温炉、X射线衍射仪、扫描电子显微镜、透射电子显微镜等。
2. 实验步骤（1）制备铌酸锂纳米颗粒将NbCl5与LiH按照一定比例混合，在低温下进行还原反应，得到低价铌纳米氧化物。
将低价铌纳米氧化物暴露于空气气氛中，生成纯的Nb2O5。
最后，将Nb2O5与过量的LiH在受控水解条件下转化为铌酸锂LiNbO3纳米颗粒。
（2）制备铌酸锂@纳米粒子将孔状二氧化硅基质浸渍于LiNO3和NH4NbO(C2O4)2的混合水溶液中，在红外灯下加热10分钟，得到铌酸锂@纳米粒子。
3. 纳米材料表征采用XRD、SEM、TEM等手段对制备的纳米材料进行表征。
五、实验结果与分析1. 铌酸锂纳米颗粒的制备通过实验，成功制备了直径约为10nm的铌酸锂球形纳米颗粒。
XRD结果表明，制备的纳米颗粒为纯的LiNbO3。
SEM和TEM结果进一步证实了纳米颗粒的形貌和尺寸。
2. 铌酸锂@纳米粒子的制备通过将孔状二氧化硅基质浸渍于LiNO3和NH4NbO(C2O4)2的混合水溶液中，成功制备了铌酸锂@纳米粒子。
纳米加工技术ppt课件
❖ 引发化学反应
❖ STM在场发射模式时，针尖与样品仍相 当接近，此时用不很高的外加电压（最低可 到10V左右）就可产生足够高的电场，电子 在其作用下将穿越针尖的势垒向空间发射。 这些电子具有一定的束流和能量，由于它们 在空间运动的距离极小，至样品处来不及发 散，故束径很小，一般为毫微米量级，所以 可能在毫微米尺度上引起化学键断裂，发生 化学反应。
纳米加工分类
❖ 包括切削加工（精密切削等）、化学腐蚀(电 化学等）、能量束加工（电子束、离子束 等）、复合加工、扫描隧道显微技术加工等 多种方法
严格执行突发事件上报制度、校外活 动报批 制度等 相关规 章制度 。做到 及时发 现、制 止、汇 报并处 理各类 违纪行 为或突 发事件 。
纳米加工关键技术
严格执行突发事件上报制度、校外活 动报批 制度等 相关规 章制度 。做到 及时发 现、制 止、汇 报并处 理各类 违纪行 为或突 发事件 。
国外纳米技术进展
❖ 朗讯公司和牛津大学: 纳米镊子 ❖ 碳纳米管“秤”，称量一个病毒的重量 ❖ 称量单个原子重量的“纳米秤”
严格执行突发事件上报制度、校外活 动报批 制度等 相关规 章制度 。做到 及时发 现、制 止、汇 报并处 理各类 违纪行 为或突 发事件 。
严格执行突发事件上报制度、校外活 动报批 制度等 相关规 章制度 。做到 及时发 现、制 止、汇 报并处 理各类 违纪行 为或突 发事件 。
❖ 纳米压印技术 于20世纪90年代中叶诞生的纳米压印
(naIloimprim limography，NIL)技术，最近被 国外称为 “将改变世界的十大新兴技术”之 一。NIL技术的概念 可说是源自于我们日常 生活中盖印章的行为，此动作可 将原来在印 章上的图形压印到另外一件物体表面上。
纳米科学小实验报告
一、实验目的1. 了解纳米材料的基本特性和制备方法；2. 掌握纳米材料的表征技术；3. 体验纳米材料在科学研究和实际应用中的重要性。
二、实验原理纳米材料是指在三维空间中至少有一维处于纳米尺度（1-100纳米）或由纳米尺寸的粒子构成的具有特定功能的材料。
纳米材料具有许多独特的物理、化学、生物等性质，如高比表面积、高导电性、高催化活性等。
本实验通过制备纳米材料，了解其基本特性和制备方法，并利用表征技术对其进行研究。
三、实验材料与仪器1. 实验材料：（1）聚乙烯吡咯烷酮（PVP）（2）十六烷基三甲基溴化铵（CTAB）（3）氯化钠（NaCl）（4）蒸馏水2. 实验仪器：（1）电子天平（2）超声波清洗器（3）磁力搅拌器（4）恒温加热器（5）傅里叶变换红外光谱仪（FTIR）（6）透射电子显微镜（TEM）（7）X射线衍射仪（XRD）四、实验步骤1. 制备纳米材料：（1）称取1克PVP溶解于100毫升蒸馏水中，搅拌至完全溶解；（2）取10毫升CTAB溶液，加入50毫升PVP溶液中，搅拌；（3）向上述溶液中加入5克NaCl，搅拌；（4）将混合溶液置于恒温加热器中，加热至60℃，保持搅拌；（5）继续加热搅拌1小时，得到纳米材料。
2. 纳米材料的表征：（1）傅里叶变换红外光谱仪（FTIR）分析：对纳米材料进行红外光谱分析，了解其化学组成和结构；（2）透射电子显微镜（TEM）观察：观察纳米材料的形貌和尺寸；（3）X射线衍射仪（XRD）分析：分析纳米材料的晶体结构和物相。
五、实验结果与分析1. FTIR分析：根据红外光谱图，可以看出纳米材料中含有PVP、CTAB和NaCl等成分，证实了纳米材料的成功制备。
2. TEM观察：在TEM下观察到的纳米材料为球形，直径约为100纳米，符合实验要求。
3. XRD分析：根据XRD图谱，纳米材料为六方晶系，证实了纳米材料的成功制备。
六、实验结论1. 成功制备了纳米材料，并对其进行了表征；2. 了解纳米材料的基本特性和制备方法；3. 体会到纳米材料在科学研究和实际应用中的重要性。
纳米实验技术实验报告
纳米实验技术实验报告实验名称：纳米材料的制备与表征实验目的：1. 掌握纳米材料的基本制备方法。
2. 学习纳米材料的表征技术。
3. 理解纳米材料的特性及其在不同领域的应用。
实验原理：纳米材料因其独特的尺寸效应、表面效应和量子效应，在物理、化学、生物学等领域展现出广泛的应用潜力。
本实验通过化学合成法制备纳米材料，并利用多种表征技术对其结构和性能进行分析。
实验材料：1. 纳米材料前驱体。
2. 表面活性剂。
3. 溶剂。
4. 反应容器。
5. 表征设备：透射电子显微镜（TEM）、X射线衍射仪（XRD）、紫外-可见光谱仪等。
实验步骤：1. 准备溶液：将纳米材料前驱体溶解在溶剂中，加入适量的表面活性剂以稳定纳米材料的分散状态。
2. 反应：在控制温度和pH值的条件下，进行化学反应，生成纳米材料。
3. 分离与纯化：通过离心、过滤等方法分离出纳米材料，并去除未反应的前驱体和杂质。
4. 干燥：将分离后的纳米材料进行干燥处理，以获得干燥的纳米粉末。
5. 表征：使用TEM观察纳米材料的形态和尺寸；使用XRD分析其晶体结构；使用紫外-可见光谱仪测定其光学性质。
实验结果：1. TEM图像显示纳米材料具有均匀的尺寸和形状。
2. XRD图谱表明纳米材料具有特定的晶体结构。
3. 紫外-可见光谱显示纳米材料具有特定的吸收峰，表明其具有特定的光学性质。
实验讨论：1. 表面活性剂的种类和浓度对纳米材料的尺寸和形态有显著影响。
2. 反应条件（如温度、pH值）对纳米材料的晶体结构和光学性质有重要影响。
3. 纳米材料的尺寸效应和表面效应可能导致其具有与传统材料不同的物理化学性质。
实验结论：通过本实验，我们成功制备了具有特定尺寸和形态的纳米材料，并通过多种表征技术对其结构和性质进行了分析。
实验结果表明，纳米材料的制备和表征技术对于理解其在不同领域的应用具有重要意义。
安全注意事项：1. 在实验过程中，应穿戴适当的防护装备，如实验服、手套和护目镜。
2. 处理化学品时，应在通风良好的环境中操作，并遵循实验室的安全规程。
物理实验技术中的纳米加工实验方法
物理实验技术中的纳米加工实验方法纳米加工实验方法在物理实验技术中起着重要的作用，它可以制造出纳米级别的结构和器件，为纳米科学和纳米技术的发展提供有力的支持。
本文将介绍几种常用的纳米加工实验方法及其应用。
一、电子束曝光电子束曝光是一种常用的纳米加工实验方法，它利用电子束的高能量和细束径，可以对材料进行高精度的刻蚀和图案定义。
电子束曝光技术已经广泛应用于纳米器件的制备，包括纳米线、纳米点阵等。
在电子束曝光实验中，研究人员首先需要设计所需的加工图案，然后通过电子束照射在待加工的样品表面。
利用该方法可以实现亚纳米级别的分辨率，并且对于不同材料的加工均有较好的适应性。
二、离子束刻蚀离子束刻蚀是一种利用离子束的高速冲击和能量转移来实现材料表面刻蚀的技术。
离子束刻蚀可以通过调节离子束的能量、角度和强度，来实现不同形状和尺寸的纳米结构加工。
该方法适用于多种材料，包括金属、半导体和陶瓷等。
离子束刻蚀可以实现高效率的纳米加工，并且可以控制加工深度和加工速率，具有较高的精度和可控性。
三、扫描探针显微镜技术扫描探针显微镜技术是一种通过扫描探针对样品表面进行扫描和探测的方法。
常见的扫描探针显微镜技术包括原子力显微镜（AFM）、扫描电子显微镜（SEM）和近场光学显微镜（SNOM）等。
这些技术可以实现对样品表面形貌和结构的高分辨率观测，并可以进行纳米级别的加工和操控。
扫描探针显微镜技术具有非接触式、高分辨率和三维成像的特点，广泛应用于纳米加工和纳米材料表征领域。
四、溶液法纳米加工溶液法纳米加工是一种通过溶液中的化学方法实现纳米结构的制备和加工的方法。
该方法通过溶液中的溶剂、溶质和添加剂等组分，控制溶液中各组分的浓度、温度和pH值等参数，来实现纳米级别的结构加工。
溶液法纳米加工可以制备出纳米颗粒、纳米线、纳米薄膜等纳米级结构，具有较好的可控性和可扩展性。
同时，该方法还可以实现纳米材料的功能化和表面修饰。
总结起来，纳米加工实验方法在物理实验技术中发挥着重要的作用。
纳米加工车间工作总结报告
纳米加工车间工作总结报告
作为纳米加工车间的一名员工，我有幸参与了许多精密加工的工作。
在这里，
我学到了许多新的技能和知识，也经历了许多挑战和成长。
在这篇总结报告中，我将分享我在纳米加工车间工作的一些体会和收获。
首先，纳米加工车间的工作环境非常先进和精密。
我们使用的设备和技术都是
最新的，能够实现纳米级别的加工精度。
在这样的工作环境中，我们需要时刻保持专注和细心，以确保每一道工序都能够达到最高的精度要求。
这也锻炼了我们的耐心和细致的工作态度。
其次，纳米加工车间的工作需要高度的团队合作和沟通。
由于工艺流程复杂，
每一个环节都需要多个工人协同完成。
在这样的工作环境中，我们需要紧密配合，及时沟通，以确保整个加工流程能够顺利进行。
通过团队合作，我们不仅能够更快地完成工作，还能够相互学习，提高工作效率和质量。
最后，纳米加工车间的工作需要不断学习和创新。
由于纳米加工技术属于高新
技术领域，我们需要不断学习新的知识和技能，以适应不断变化的工作需求。
同时，我们也需要不断创新，寻找新的工艺和方法，以提高加工效率和质量。
在这样的工作环境中，我们不仅能够不断提升自己，还能够为企业的发展和进步做出贡献。
总的来说，纳米加工车间的工作是一项充满挑战和机遇的工作。
通过在这样的
工作环境中的工作，我不仅学到了许多新的知识和技能，还锻炼了自己的工作态度和团队合作能力。
我相信，在未来的工作中，这些经验和收获都将成为我前进的动力和支撑。
希望在不久的将来，我能够在纳米加工领域取得更大的成就和进步。
纳米材料制备工艺优化实验报告
纳米材料制备工艺优化实验报告一、实验背景纳米材料由于其独特的物理、化学和生物学性质，在众多领域展现出了广阔的应用前景。
然而，要获得性能优异、质量稳定的纳米材料，制备工艺的优化至关重要。
本实验旨在通过对现有纳米材料制备工艺的改进和优化，提高纳米材料的质量和性能，为其实际应用提供更好的基础。
二、实验目的1、探索不同制备参数对纳米材料性能的影响。
2、优化制备工艺，获得具有特定尺寸、形貌和性能的纳米材料。
3、研究优化后的纳米材料在相关应用中的性能表现。
三、实验原理纳米材料的制备方法众多，本实验采用的是常见的化学合成法。
通过控制反应条件，如反应物浓度、反应温度、反应时间、pH 值等，来调控纳米材料的生长过程，从而实现对其尺寸、形貌和性能的控制。
四、实验材料与设备1、实验材料化学试剂：＿____、＿____、＿____等。
溶剂：＿____、＿____等。
2、实验设备反应釜离心机干燥箱电子天平扫描电子显微镜（SEM）X 射线衍射仪（XRD）紫外可见分光光度计五、实验步骤1、制备纳米材料按照一定的比例将反应物溶解在溶剂中，搅拌均匀。
将混合溶液转移至反应釜中，在设定的温度下反应一定时间。
2、分离与纯化反应结束后，将产物离心分离，去除上清液。
用去离子水和乙醇反复洗涤沉淀，以去除杂质。
3、干燥将洗涤后的产物放入干燥箱中，在一定温度下干燥，得到纳米材料粉末。
4、表征与测试使用 SEM 观察纳米材料的形貌和尺寸。
通过 XRD 分析纳米材料的晶体结构。
利用紫外可见分光光度计测量纳米材料的光学性能。
六、实验结果与讨论1、反应物浓度的影响当反应物浓度较低时，纳米材料的生长速度较慢，尺寸较小，且分布不均匀。
随着反应物浓度的增加，纳米材料的生长速度加快，尺寸增大，但浓度过高时，容易出现团聚现象，影响材料的性能。
2、反应温度的影响温度较低时，反应速率较慢，纳米材料的结晶度较差。
升高温度可以促进反应的进行，提高纳米材料的结晶度，但温度过高可能导致纳米材料的形貌不规则。
省纳米材料工程中心实习报告
省纳米材料工程中心实习报告我们眼下的社会，接触并使用报告的人越来越多，不同种类的报告具有不同的用途。
写起报告来就毫无头绪？下面是小编收集整理的省纳米材料工程中心实习报告，仅供参考，欢迎大家阅读。
了解实习的状况，我觉得首先是了解实习的环境。
从实习的环境出发，实事求是，一步一步的阐述其中的矛盾规律，也就从整体上回答了我们实习的内容。
矛盾之一是实习环境与校园环境的不同，矛盾之二是学生角色与员工角色的转换，矛盾之三是课本理论与现实实践，矛盾之四是继续深造还是选择就业。
其中理论和实践的矛盾是根本的矛盾，继续深造和选择就业的矛盾是主要的矛盾，新环境与校园环境的不同，学生角色与员工角色的转换是次要矛盾。
九月三号到九月二十二号我们在济源市省纳米材料工程中心实习，十月八号到十月十二号在我校化工院进行了仿真实习，并且这期间见习了学校附近的一个橡塑厂。
在济源的实习，重点是了解了功能性纳米级二氧化硅粉末的制备和对一些材料测试加工仪器的简单认识，而在仿真实验室主要针对离心泵、间歇反应釜、对列管加热器以及对液位控制的操作进行了训练。
这些就构成了我们实习的全部内容。
一切问题的出发点都源于此，所有的收获也是基于此。
一济源，这个三面环山的小城市，这个有点类似世外桃源的地方，就是我们第一阶段实习的大环境。
我们时常不自觉地将开封和济源作对比，开封是文化古城，而济源自然景观最为盛名；开封在豫中平原，而济源在豫西群山环绕间；总之，初来济源我们感觉到了与开封与众不同的感觉。
我们一致觉得这里是个宜居的城市，这里适合安安静静的搞科研。
省纳米材料工程中心坐落在济源市的高新技术开发区，据工程中心领导说是较早的一批在此处从事研究的企事业单位。
在这里，有厂区，有实验中心，有食堂，有住宿楼，有运动场所，有一片片绿化带，这些设施足以说明工程中心的发展历程的持续性和完善性。
与我们的校园相比，与我们东苑相比，不言而喻这里实在是一个好地方。
在济源，在省纳米材料工程中心；在开封，在河大新校区——我们从一个呆了很久的地方来到这个实习的地方，我们必须完成多种适应。
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国家纳米科学中心 纳米加工技术实验室 Nanofab Lab @ NCNST纳米加工简报2014年第4 期 总第10期前沿新闻—相变材料运算突破硅基处理器速度极限利用相变材料两个结构相不同的电学态（晶态导电、玻璃态绝缘）的 利用相变材料两个结构相不同的电学态 快速切换实现布尔运算，有望开发出更小 有望开发出更小、更快的环保计算机，其运算速 度可达到当前硅基计算机的1000倍。
。
硅基计算机因其在物理及光刻极限的限制逐渐跟不上人们对更快速计 算机的需求，在不增加逻辑单元数目条件下提高计算机的运算速度 在不增加逻辑单元数目条件下提高计算机的运算速度，最可 行的方案是在一个逻辑单元上实现并行运算 行的方案是在一个逻辑单元上实现并行运算，这在目前的硅基逻辑单元上 无法实现。
并行运算可以在相变材料基逻辑单元上通过结晶化实现 并行运算可以在相变材料基逻辑单元上通过结晶化实现，但之 前的熔融-再结晶时间在百纳秒量级。
。
最近来自英国剑桥大学、新加坡科技 设计大学和新加坡A*STAR研究院的研究人员通过控制Ge-Sb-Te合金（GST） 固- 液相的转变在相变材料并行运算速度上取得了突破。
他们通过在 液相的转变在相变材料并行运算速度上取得了突破 GST 相 变单元（下图）的TiW电极上施加电压脉冲，获得 电极上施加电压脉冲 900ps的熔融-再结晶时间， 运算速度比之前提高2个数量级以上， ，并实现了NOT、NOR等逻辑运算；同 时 能 量 消 耗 减 少 了 2 个 数 量 级 。
相 应 成 果 发 表 于 2014 年 9 月 16 日 的 《 Proceedings of the National Academy of Sciences 》上。
源自： http:// /content/111/37/13272GST相变合金单元示意图（ （器件由微纳加工实现）国家纳米科学中心纳米加工技术实验室地址：北京市海淀区中关村北一条11号 邮编：100190 电话：+86 - 10-82545831/5839 传真：+86 - 10-62656765 网址: /nano_fab_lab/版权所有Powerful tool + Good idea + Hard work = Good job纳米加工简报2014年第4期 总第10期科研工作功能化探针制备研究进展 随着AFM 、STM等扫描探针显微镜在科研中 发挥越来越重要的作用和科研需求 的不断变化， 传统探针已不能完全 满足使用需求，能实现自激励自检 测等功能的探针将是一个重要的发 展方向。
根据用户需要和功能化探 针的制备要求，前期进行了以SiO2 为基体材料的探针制备工艺初步研 究，取得一定进展。
通过对ICPECVD镀膜工艺参数 优化和腐蚀工艺的调整与控制，使 用8μm厚ICPECVD SiO2 膜制备的探 针结果如下图示，不同的掩模图形 尺寸，获得的探针长度和针尖直径 不同。
Φ16μm掩模获得探针SEM图，针尖直径 40nm，针长6.4 μm 插图为针尖俯视图Φ17 μm掩模获得探针SEM图，针尖直径 102nm，针长8 μm 插图为针尖俯视图下一步根据探针所需的具体功 能（热电偶加热、测温等），完善 制备工艺流程设计和每步工艺优化 ，掌握和储备制备功能化探针的核 心技术。
电子束曝光设备在6月底高压供电模 块出现故障,配件因海关清关耽误约1 个月，7月底到货，安装后系统恢复 正常。
主要开展了以下工作: 使用 HSQ胶摸索了亚10nm工艺、使用灵 敏 度 不 同 的 PMMA/MMA 胶 进 行 了 多层胶工艺的实验以及为中心内外 用户提供了服务等。
为了开发亚10nm器件制备工艺 ，使用HSQ胶摸索了亚10nm的曝光 显影工艺。
初步的实验结果如下图国家纳米科学中心纳米加工技术实验室地址：北京市海淀区中关村北一条11号 邮编：100190 电话：+86 - 10-82545831/5839 传真：+86 - 10-62656765 网址: /nano_fab_lab/版权所有Powerful tool + Good idea + Hard work = Good job 示，最小线宽5.8nm，平均值7-8nm； 由于线条高宽比>5(胶厚~50nm),有些 区域线条在干燥过程中因定影液（ 去离子水）的表面张力而倒塌，下 一步优化显影工艺条件，以获得稳 定的线条图案。
纳米加工简报2014年第4期 总第10期。
下一步考虑使用烘箱使烘烤温度 更均匀。
多层胶曝光截面图 左：预期 右：实际结果使用HSQ胶获得的线条图案 左：六边形 右： 三角形另外进行了多层胶工艺。
使用 灵敏度差异较大的正胶交替旋涂， 得到多层胶，单次曝光，利用胶的 灵敏度差异，形成变截面图形。
此 工艺有可能应用于3D成型、微流体 通道或者光子晶体的制备等方面。
交替旋涂5层胶，曝光单线条图案， 以期望得到下图中左图所示的变截 面（蓝色所代表胶的灵敏度小于棕 色的）。
下图右给出了初步的实验 结果，基本达到预期，只是最上层 的截面效果不明显，可能是因为使 用热板烘烤时最上层的胶温度未达 到要求（温度影响所用胶灵敏度）前期制备了周期140nm的Al纳米 光栅像素偏振片阵列，目前640x360 分辨率样机正在集成试制。
为研究 光栅周期对阵列偏振性能的影响， 另外制备了100nm、120nm周期的阵 列，如下图所示。
左：100nm周期45度偏振方向单元 右：120nm周期0度偏振方向单元此外，为中心课题组、清华、北 大、北理工、中山大学、电工所、 深圳大学等单位提供了电子束曝光 服务。
国家纳米科学中心纳米加工技术实验室地址：北京市海淀区中关村北一条11号 邮编：100190 电话：+86 - 10-82545831/5839 传真：+86 - 10-62656765 网址: /nano_fab_lab/版权所有Powerful tool + Good idea + Hard work = Good job纳米加工简报2014年第4 期 总第10期高密度等离子体刻蚀设备 两台等离 用相同的刻蚀条件，刻蚀陡直度从 子体刻蚀机近两个月运行正常，为 90°降至80°（下图），通过调整 中心、北大、清华、北理工、中山 工艺参数保证刻蚀侧壁陡直。
大学、武汉理工等单位提供了不同 材料的刻蚀服务。
刻蚀工艺方面, 考察了Al的镀膜 方法及金属颗粒尺寸对刻蚀工艺的 影响。
实验发现，不同方法制备的 大颗粒Al刻蚀，侧壁 小颗粒Al刻蚀，侧壁 Al薄膜刻蚀工艺不同。
使用之前刻 陡直度90° 陡直度80° 蚀磁控溅射制备Al工艺条件刻蚀电 子 束 蒸 镀 Al 膜 时 ， 刻 蚀 陡 直 度 从 90°降至80°。
通过增加Cl2 气体比 例来加速化学反应，降低BCl3 含量 减少物理轰击，同时降低下电极功 率的方法保护电子束胶的侧壁陡直， 调整工艺后小颗粒 硬掩模SiNx刻蚀线条展 保证了Al膜刻蚀侧壁陡直（下图）。
Al侧壁陡直度90° 宽导致余下Al线条变窄L/S≠1纳米结构，侧壁陡 直度80°参数调整后陡直度 90°同时针对同一设备（磁控溅射）制 备的Al膜，如金属颗粒尺寸不同， 刻蚀工艺也有所不同。
之前磁控溅 射制备Al薄膜颗粒度为70-80nm，优 化镀膜工艺后Al颗粒在30-50nm，使为实现更厚Al膜的刻蚀，使用刻 蚀 选 择 比 更 高 的 SiNx 膜 作 为 硬 掩 模，以增加刻蚀窗口。
由于在光刻 胶做掩模刻蚀SiNx时刻蚀区域线条 展宽，最终的Al线条宽度变小（如 上图所示）。
硅刻蚀设备最近为用户实现了 硅穿孔、硅片刻透工艺，刻蚀关键 尺寸大致在3 μm - 1000 μm之间，硅 片厚300 μm，如下图。
Powerful tool + Good idea + Hard work = Good job纳米加工简报2014年第4期 总第10期用户提供了单层或多层膜蒸镀服务。
摸索了Fe、ZrO2 、Y、超薄Au 膜等材料的基本工艺。
下图是厚 15nm 金 膜 SEM 及 椭 偏 拟 合 厚 度 图 （拟合厚度为16.35nm),从SEM图可 以看出15nm的Au已趋于连续，但还 是存在很多沟道。
1-2mm孔3 μm孔55 μm线宽十字架磁控溅射镀膜仪 设备近来运行状态 良好。
为中心、电子所、物理所、 化学所、半导体所等单位课题组提 供了镀膜服务。
通过摸索优化工艺参数，可以在 6吋衬底上制备均匀的薄膜 （非均匀 性<5%）。
等离子体增强化学气相沉积镀膜设 备 运行良好，为中心、微电子所、 化学所、半导体所等单位提供了服 务。
摸索了抗腐蚀SiO2 薄膜制备工 艺，将使用BOE腐蚀SiO2 薄膜的腐 蚀速度从>17nm/S降低到2.5nm/S， 满足使用SiO2膜制备探针的要求。
电子束蒸发镀膜设备 前段时间前段 时间极限真空镀不稳定、膜厚仪2号 晶振器信号跳零等问题，解决后运 行良好。
近两个月为中心、北京大 学、化学所、电工所、中山大学等15nm厚Au表 面SEM照片椭偏测厚数 据拟合结果针对厚50nm Au膜做电极、使 用引线压焊机键合Au线失败问题， 我们通过在Si、Glass、Si/SiO2 三种 衬底上镀三种不同厚度Au膜（50nm、 80nm、100nm）；之后进行键合实 验发现，50nm厚Au膜失败，其余厚 度正常。
建议如需Au线键合，Au膜 厚度蒸镀80nm以上。
增透疏水保护膜研究方面，尝 试通过离子清洗改变衬底表面的粗 糙度，并在AR膜层表面镀不同的氧 化物，以提高表面疏水特性。
比如 蒸镀20nm氧化铝在一定程度上提高 了接触角，下一步需要继续优化。
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