四探针一体机使用说明书
KEITHLEY四探针操作手册
南开大学 硅光电子学与储能实验室Four-Point Probe Operation | 2011四探针操作手册四探针操作说明书Four-Point Probe Operation 第1章引言 (1)1. 目的 (1)2. 应用范围 (1)3. 测试设备 (1)四探针 (1)数字电压源表 (2)第2章原理简述 (3)1. 薄膜(厚度≤4mm)电阻率： (3)2. 薄膜方块电阻 (3)第3章操作方法 (5)1. 引言 (5)2. 测试线连接方式 (5)3. KEITHLEY 2400高压源表设置指南 (6)4. 探针接触方式 (8)5. 数据测试指南 (8)第4章注意事项 (10)附表 (I)第1章引言1.目的本说明书主要介绍用四探针法测试薄膜方块电阻及电阻率的原理及具体操作方法。
2.应用范围测量参数：方块电阻，电阻率测量样品：均匀薄膜，均匀薄片方块电阻测试范围：0.01Ω～500MΩ电阻率测试范围：10-5Ω∙cm～103Ω∙cm样品大小：直径>1cm精度：<±5%3.测试设备四探针生产厂商：广州四探针有限公司RTS-2型基本指标：间距：1±0.01mm；针间绝缘电阻: ≥1000MΩ；机械游移率: ≤0.3％；探针：碳化钨或高速钢材质，探针直径Ф0.5mm；探针压力：5～16 牛顿(总力)；使用环境：温度:：23±2℃；相对湿度：≤65％；无高频干扰；无强光直射；基本参数：Fsp=0.1探针间距：1.0mm数字电压源表生产厂商：KEITHLEY 2400高压源表技术参数：准确度：0.012％功率：20w型号：2400品牌：吉时利测量范围：可选高电压（1100V）或大电流（3A）源/测量（A）KEITHLEY2400通用型源表,最大可测量200V的电流和1A的电流，输出功率20W.主要特点及优点:设计用于高速直流参数测度2400系列提供宽动态范围：10pA to 10A, 1μV to1100V, 20W to 1000W四象限工作0.012%的精确度，5 1/2 的分辨率可程控电流驱动和电压测量钳位的6位线电阻测量在4 1/2 数位时通过GPIB达1700读数/秒内置快速失败/通过测试比较器可选接触式检查功能数字I/O提供快速分选与机械手连接GPIB, RS-232, 和触发式连接面板TestPoint and LabVIEW驱动第2章原理简述将四根排成一条直线的探针以一定的压力垂直地压在被测样品表面上，在1、4 探针间通以电流I(mA)，2、3 探针间就产生一定的电压V(mV)(如图1)。
四探针电阻率测量仪FPP150使用手册说明书
FPP150四探针电阻率测量仪使用手册丘山仪器张海涛2022-5-1地址：天津市西青区赛达九纬路7号电子城大数据产业园10栋主页：电话：189****8296Email:**************************目录1简介31.1仪器特性 (3)1.2应用领域 (3)1.3探针头参数 (4)1.4外观尺寸 (4)2安装说明52.1硬件安装 (5)2.2软件安装 (6)3使用说明93.1放置样品 (9)3.2软件使用 (10)3.3维护与保养 (11)3.4常见问题、原因及解决办法 (11)4四探针法测量原理134.1两探针与四探针方法比较 (13)4.2理想样品（半无界样品）电阻率计算 (14)4.3薄层样品电阻率计算 (17)4.4薄层材料的方块电阻 (17)4.5非半无界样品的修正 (18)A附录191简介FPP150是专为科学研究设计的四探针电阻率测量仪，可以对最大6英寸晶圆的方阻、电阻率、电导率参数进行测量。
探针头借鉴了机械钟表机芯的制造工艺，使用红宝石轴承引导碳化钨探针，确保高机械精度和长使用寿命。
0.1µΩ∼100MΩ的超宽测量范围可涵盖绝大部分应用场景。
配套Smart FPP软件可以根据样品几何参数自动修正测量结果，轻松获得方阻、电阻率、电导率信息。
FPP150可广泛适用于光伏、半导体、合金、导电膜等诸多领域。
1.1仪器特性•精密探针头：镶嵌红宝石轴套的探针头，保证测量的机械精度、稳定性和寿命•超宽测量范围：0.1µΩ∼100MΩ(FPP150A)1µΩ∼2MΩ(FPP150B)•最大样品尺寸：150mm∗70mm（直径∗厚度）•测量精度：±1%•重复性(1σ)：±0.2%（动态测试）0.02%（静态测试）•数据可视化：配套Smart FPP软件，对测量结果自动进行几何参数修正和统计分析1.2应用领域•半导体及太阳能电池（单晶硅、多晶硅、非晶硅、钙钛矿）•液晶面板（ITO/AZO）•功能材料（热电材料、碳纳米管、石墨烯、纳米线、导电纤维、复合材料）•半导体工艺检测（金属化/离子注入/扩散层）•非晶合金等、形状记忆合金1.3探针头参数•探针间距：1.00mm•探针材料：碳化钨•探针压力(可选)：5∼7N•机械游移：<0.3%•宝石轴承内孔与探针间距：<6µm1.4外观尺寸•主机：240mm∗160mm∗235mm•欧姆表：295mm∗215mm∗80mm2安装说明2.1硬件安装FPP150四探针电阻率测量仪由探针台、探针头、欧姆表以及计算机组成，图1为FPP150实物照片1。
四探针操作手册
南开大学 硅光电子学与储能实验室Four-Point Probe Operation | 2011四探针操作手册四探针操作说明书Four-Point Probe Operation 第1章引言 (1)1. 目的 (1)2. 应用范围 (1)3. 测试设备 (1)四探针 (1)数字电压源表 (2)第2章原理简述 (3)1. 薄膜(厚度≤4mm)电阻率： (3)2. 薄膜方块电阻 (3)第3章操作方法 (5)1. 引言 (5)2. 测试线连接方式 (5)3. KEITHLEY 2400高压源表设置指南 (6)4. 探针接触方式 (8)5. 数据测试指南 (8)第4章注意事项 (10)附表 (I)第1章引言1.目的本说明书主要介绍用四探针法测试薄膜方块电阻及电阻率的原理及具体操作方法。
2.应用范围测量参数：方块电阻，电阻率测量样品：均匀薄膜，均匀薄片方块电阻测试范围：0.01Ω～500MΩ电阻率测试范围：10-5Ω∙cm～103Ω∙cm样品大小：直径>1cm精度：<±5%3.测试设备四探针生产厂商：广州四探针有限公司RTS-2型基本指标：间距：1±0.01mm；针间绝缘电阻: ≥1000MΩ；机械游移率: ≤0.3％；探针：碳化钨或高速钢材质，探针直径Ф0.5mm；探针压力：5～16 牛顿(总力)；使用环境：温度:：23±2℃；相对湿度：≤65％；无高频干扰；无强光直射；基本参数：Fsp=0.1探针间距：1.0mm数字电压源表生产厂商：KEITHLEY 2400高压源表技术参数：准确度：0.012％功率：20w型号：2400品牌：吉时利测量范围：可选高电压（1100V）或大电流（3A）源/测量（A）KEITHLEY2400通用型源表,最大可测量200V的电流和1A的电流，输出功率20W.主要特点及优点:设计用于高速直流参数测度2400系列提供宽动态范围：10pA to 10A, 1μV to1100V, 20W to 1000W四象限工作0.012%的精确度，51/2 的分辨率可程控电流驱动和电压测量钳位的6位线电阻测量在4 1/2 数位时通过GPIB达1700读数/秒内置快速失败/通过测试比较器可选接触式检查功能数字I/O提供快速分选与机械手连接GPIB, RS-232, 和触发式连接面板TestPoint and LabVIEW驱动第2章原理简述将四根排成一条直线的探针以一定的压力垂直地压在被测样品表面上，在1、4 探针间通以电流I(mA)，2、3 探针间就产生一定的电压V(mV)(如图1)。
SZT-2A四探针测试仪使用说明书
SZT-2A四探针测试仪使用说明书一概述SZT-2A型数字式四探针测试仪是运用四线法测量原理的多用途综合测量装置，配上专用的四探针测试架，即可以测量片状，块状或柱状半导体材料的径向和轴向电阻率，测量扩散层的薄层电阻（亦称方块电阻）。
四探针测试架有电动，手动，手持三种可以选配，另外还配有四个夹子的四线输入插头用来作为测量线状或片状电阻的中，低阻阻值。
仪器由主机，测试架等部份组成，测试结果由液晶显示器显示，同时，液晶显示器还显示测量类型（电阻率，方块电阻和电阻）以及探头修正系数，主机由开关电源，DC/DC变换器，高灵敏度电压测量部份，高稳定度恒流源，和微电脑控制系统组成。
由於采用大规模集成电路，所以仪器可靠性高，测量稳定性好。
测试探头采用宝石导向轴套和高硬度钢针，定位准确，游移率小，使用寿命长。
仪器适用於半导体材料厂，半导体器件厂，科研单位，高等院校对半导体材料电阻性能的测试。
本仪器工作条件为：温度：23℃±3℃相对湿度：50%~70%工作室内应无强磁场干扰，不与高频设备共用电源。
二，技术参数1，测量范围电阻率： 10⁻⁴-105Ω-cm方块电阻 10⁻⁴- 105Ω/□电阻 10-⁴- 105Ω2，可测半导体材尺寸直径：Ф15-100mm长（或高）度：≤400mm3，测量方位轴向，径向均可4，数字电压表：（1）量程：20mV,200mV,2V（2）误差：±0.5%读数±2字（3）输入阻抗:>10⁸Ω（4）最大分辨率:10μV（5）点阵液晶显示，过载显示。
5，恒流源：（1）电流输出：共分10μA,100uA,1mA,10mA,100mA五挡可通过按键选择，各挡均为定值不可调节，电阻率探头修正系和扩散层方块电阻修正系数均由机内CPU运算后，直接显示修正后的结果。
（2）误差：±0.5%±2字。
6,四探针测试头;(1) 探针间距: 1mm(2) 探针机械游移率: ±1.0%(3) 探针材料: 碳化钨,Ф0.5mm(4) 0-2Kg可调,最大压力约2Kg7, 电源:交流 220V±10%功耗<35W本仪器可以选配电动测试架，手动测试架，手持探险头或四夹子电阻测量输入线。
KEITHLEY四探针操作手册
南开大学硅光电子学与储能实验室四探针操作手册Four-Point Probe Operation | 2011四探针操作说明书Four-Point Probe Operation 第1章引言 (1)1. 目的 (1)2. 应用范围 (1)3. 测试设备 (1)➢四探针 (1)➢数字电压源表 (2)第2章原理简述 (3)1. 薄膜(厚度≤4mm)电阻率： (3)2. 薄膜方块电阻 (3)第3章操作方法 (5)1. 引言 (5)2. 测试线连接方式 (5)3. KEITHLEY 2400高压源表设置指南 (6)4. 探针接触方式 (8)5. 数据测试指南 (8)第4章注意事项........................................................................................错误!未定义书签。
附表 ...................................................................................................................错误!未定义书签。
第1章引言1.目的本说明书主要介绍用四探针法测试薄膜方块电阻及电阻率的原理及具体操作方法。
2.应用范围测量参数：方块电阻，电阻率测量样品：均匀薄膜，均匀薄片方块电阻测试范围：0.01Ω～500MΩ电阻率测试范围：10-5Ω∙cm～103Ω∙cm样品大小：直径>1cm精度：<±5%3.测试设备➢四探针生产厂商：广州四探针有限公司RTS-2型基本指标：间距：1±0.01mm；针间绝缘电阻: ≥1000MΩ；机械游移率: ≤0.3％；探针：碳化钨或高速钢材质，探针直径Ф0.5mm；探针压力：5～16 牛顿(总力)；使用环境：温度:：23±2℃；相对湿度：≤65％；无高频干扰；无强光直射；基本参数：Fsp=0.1探针间距：1.0mm➢数字电压源表生产厂商：KEITHLEY 2400高压源表技术参数：准确度：0.012％功率：20w型号：2400品牌：吉时利测量范围：可选高电压（1100V）或大电流（3A）源/测量（A）KEITHLEY2400通用型源表,最大可测量200V的电流和1A的电流，输出功率20W.主要特点及优点:设计用于高速直流参数测度2400系列提供宽动态范围：10pA to 10A, 1μV to1100V, 20W to 1000W四象限工作0.012%的精确度，5 1/2 的分辨率可程控电流驱动和电压测量钳位的6位线电阻测量在4 1/2 数位时通过GPIB达1700读数/秒内置快速失败/通过测试比较器可选接触式检查功能数字I/O提供快速分选与机械手连接GPIB, RS-232, 和触发式连接面板TestPoint and LabVIEW驱动第2章 原理简述将四根排成一条直线的探针以一定的压力垂直地压在被测样品表面上，在 1、4 探针间通以电流 I(mA)，2、3 探针间就产生一定的电压 V(mV)(如图1)。
四探针说明书
SZT-2C 四探针测试仪使用说明书一概述SZT-2C 型数字式四探针测试仪是运用四线法测量原理的多用途综合测量装置，配上专用的四探针测试架，即可以测量片状，块状或柱状半导体材料的径向和轴向电阻率，测量扩散层的薄层电阻（亦称方块电阻）。
四探针测试架有电动，手动，手持三种可以选配，另外还配有四个夹子的四线输入插头用来作为测量线状或片状电阻的中，低阻阻值。
仪器由主机，测试架等部份组成，测试结果由液晶显示器显示，同时，液晶显示器还显示测量类型（电阻率，方块电阻和电阻）; 探头修正系数和温度值，用来监测仪器使用时的环境温度。
主机由开关电源，DC/DC变换器，高灵敏度电压测量部份，高稳定度恒流源，和微电脑控制系统组成。
由於采用大规模集成电路，所以仪器可靠性高，测量稳定性好。
测试探头采用宝石导向轴套和高硬度钢针，定位准确，游移率小，使用寿命长。
仪器适用於半导体材料厂，半导体器件厂，科研单位，高等院校对半导体材料电阻性能的测试。
本仪器工作条件为：使用温度：23C 士3C相对湿度：50%~70%工作室内应无强磁场干扰，不与高频设备共用电源，二，技术参数1，测量范围6电阻率：10 ??-10 6? -cm 方块电阻10 ??- 10 6?/ □ 电阻10 -? -10 6 ?2 ，可测半导体材尺寸直径：①5-250mm长（或高）度：< 400mm如配探笔可以测量任意长度）3，测量方位轴向，径向均可4，数字电压表：（1）量程：20mV,200mV,2V（2）误差：±0.1%读数±2字（3）输入阻抗:>10 ??（4）最大分辨率:10卩V（5）点阵液晶显示，过载显示。
5，恒流源：（1）电流输出：共分10卩A,100uA,1mA,10mA,100m>六挡可通过按键选择，各挡均为定值不可调节，电阻率探头修正系和扩散层方块电阻修正系数均由机内CPU运算后，直接显示修正后的结果。
(2)误差：士0.5%士2字，在使用1卩A恒流电流输出时为± 0.5%± 5字6, 四探针测试头;(1) 探针间距: 1mm(2)士1.0%探针机械游移率:(3) 探针材料: 碳化钨,①0.5mm(4) 0-2Kg 可调, 最大压力约2Kg7 ，温度传感器；本仪器增加了高精度的温度传感器，以监测仪器使用时的环境温度。
四探针作业指导书
6.6把样品放在测试仪平台上，压下探针，使样品接通电源。主机此刻显示电流值，调节电位器W1和W2，即可得到所需的测试电流值。
6.7测试硅片，根据硅片的厚薄来计算电流。
6.8根据计算出来的电流来调ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ主机的测试电流档位。
6.9在主机上选择R□/e键按下和e键，把硅片放在测试平台上并且放下四探针，这时主机显示屏显示的数据为本次测试的电阻率或方块电阻值。
6.1首先将主机的电源和外部的交流电源连接起来。
6.2将四探针测试仪平台上的同轴电缆线与主机连接起来。
6.3将四探针测试仪平台的电源与外部的交流电源连接起来。
6.4打开主机电源开关，此时R□和I指示灯亮。预热5分钟，方可进行测量。
6.5估计所测样品方块电阻或电阻率范围，按下面6.5.1和6.5.2表选择电流量程，按下K1、K2、K3、K4、中相应的键；（如无法估计样品方块电阻或电阻率的范围，可以选择0.1mA量程进行测试，再以该测试值作为估计值按6.5.1和6.5.2选择电流量程。）
6.5.1方块电阻测量时电流量程选择表
方块电阻（Ω/□）
电流量程（mA）
<2.5
100
2.0~25
10
20~250
1
>200
0.1
题目：四探针测试仪作业指导书
发布日期：
6.5.2电阻率测量时电流量程选择表
电阻率（∩.cm）
电流量程（mA）
<0.06
100
0.03~0.6
10
0.3~60
1
>30
0.1
题目：四探针测试仪作业指导书
发布日期：
编制:
SZT-2A四探针测试仪使用说明书
180
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210
220
230
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.007
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.022
.029
.036
.043
.051
.058
.065
.072
.079
.087
.094
.101
.108
.115
.123
.130
.137
.144
.151
.159
.166
.001
.008
.015
.022
.030
.037
.044
.051
.058
2，手动测试架
以其结构简单不用电源见长，只要操作熟练，测量精度和稳定性也很好。
3，手持式四探针测试头，使用灵活可以对任意形状的半导体材料进行测试，而且脱离了测试架尺寸的限止，可以对大尺寸单晶硅柱的任意部位进行单点或多点测试，但由於探针对被测材料的压力是由手感控制的，因此，测量时必须将探头持稳压紧，保证探针和被测工件接触良好。
4带夹四线测试头，是必配件，可以用四线法测量低阻值电阻。
三，工作原理；
1，测试原理；直流四探针法测试原理简介如下；
（1）电阻率测量；
当1，2，3，4四根金属针排成一直线时体材料上时，在1，4两根探针间通过电流I，则在2，3探针间产生电位差V，
材料电阻率ρ=C (Ω-cm) (3-1)
式中C为探针修正系数，由探针的间距决定。
接通主机和测试架的220V交流电源，测试架的探头就会复位，上升到规定位置。
主机在接通电源后，首先运行自检程序，液晶显示器显示公司名称，网址，联系电话，同时指示灯循环点亮一次，最后电流指灯停在1mA位置上，电指示灯停在2V位置，测量模式指示灯停在电阻率测量模式，测量/保持键则选在测量位置，液晶显示器显示单位为KΩ-cm，（电阻率测量）液晶显示器的最下面一行显示的0.628是探头的修正系数。这是仪器在开机后的优先先选择。此时液晶显示器的第一行还没有显示任何数值，因为现在测量还没有开始，接下来可以将被测半导体材料放在测试架的园形绝缘板的园心上，把探针保护套取下并保存好，按一下测试架上的启动按键（小红键），随即测试头下降探针和被测工件接触
四探针使用手册
1.仪器结构与原理1.1结构仪器适用于测量片状半导体材料电阻率以及硅扩散层、离子注入层、异型外延层等半导体器件和液晶玻璃镀膜层、电热膜……等导电膜的方块电阻(或称簿层电阻和面电阻)。
仪器由四探针测试仪主机、探针测试台、四探针探头、计算机等部分组成，通过RTS-9双电测四探针软件测试系统对四探针测试仪主机发出控制指令来获得用户需要的测量数据，主机在接收到指令后按照测量程序进行测量(如四探针头探头电流探针和电压探针的组合变换测量、电流量程切换、采集测量数据回主机等），并把采集到的数据反馈回计算机中加以运算、分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。
1.2原理双电测组合四探针法采用了以下二种组合的测量模式（见图1）。
图1将直线四探针垂直压在被测样品表面上分别进行I 14V 23和I 13V 24组合测量，测量过程如下： 1. 进行I 14V 23组合测量：电流Ｉ从１针→４针，从２、３针测得电压V23+；电流换向，Ｉ从４针→１针，从２、３针测得电压V23-；计算正反向测量平均值：V23＝(V23+ ＋V23- )／2；2. 进行I 13V 24组合测量：电流Ｉ从１针→３针，从２、４针测得电压 V24+；电流换向，Ｉ从３针→１针，从２、４针测得电压 V24-； 计算正反向测量平均值：V24＝(V24+ ＋V24- )／2；3. 计算（V23／V24）值；（以上V23、V24均以 mV 为单位）；4. 按以下两公式计算几何修正因子Ｋ：若 1.18＜（V23 ／V24）≤1.38 时；K ＝－14.696＋25.173(V23／V24)－7.872(V23／V24)2 ； (1)若 1.10≤（V23／V24）≤1.18 时；I 14V 23组合↓V1 2 3 4 ↑I 13V 24组合↓V1 2 3 4↑K＝－15.85＋26.15(V23／V24)－7.872(V23／V24)2； (2)5.计算方块电阻R□：Ｒ□＝Ｋ.(V23／Ｉ) (单位：Ω／□) ； (3)其中：Ｉ为测试电流，单位：mA；V23为从２、３针测得电压V23+和V23-的平均值，单位：mV；6.若已知样品厚度W，可按下式计算样品体电阻率ρ：ρ＝R□.W.F(W/S)／10 (单位：Ω.cm)； (4)其中：Ｒ□为方块电阻值，单位：Ω／□；W为样片厚度，单位：mm（W ≤3mm）；S为探针平均间距，单位：mm；F(W/S) 为厚度修正系数；7.计算百分变化率（以测试样品电阻率ρ为例）：ρM －ρm最大百分变化（％）＝─────×100％ (5)ρm│ρa －ρc │平均百分变化（％）＝─────────×100％ (6)ρc２（ρM －ρm ）径向不均匀度Ｅ（％）＝──────────×100％ (7)ρM ＋ρm以上式中：ρM 、ρm 分别为测量的电阻率最大值与最小值，单位：Ω.cm；ρc 为第1、2 点（即圆片中心测量点）测量平均值，单位：Ω.cm；ρa 为除第1、2 点外其余各点的测量平均值，单位：Ω.cm；（若测量样品的方块电阻值,则将(5)、(6)、(7)式中的ρM 、ρm 、ρa 、ρc 分别改成ＲM 、Ｒm 、Ｒa 、和Ｒc 。
四探针操作规范
编号：XN/WI021-ZG-2009第 1 页共 3 页生效日期：2009.08版本/修改:A/0四探针操作规程1．目的测试薄膜电阻率及方块电阻。
2．范围：新能研发中心实验室3．责任实验室设备负责人，负责设备的使用及日常维护与点检并填写设备使用记录。
4．操作流程4.1 测试前的准备：4.1.1将电源插头插入仪器背面的电源插座,电源开关置于断开位置；4.1.2将手动测试架的插头与电气箱的输入插座连接好；4.1.3将电源开关至开启位置，数字显示，仪器通电预热10分钟；4.1.4对测试样品进行一定的处理；4.1.5 测试样品置于样品架上，放下测试架使探针能与样品表面良好接触，并保持一定压力；4.1.6调节室内温度及湿度使之达到测试要求。
4.2 测试:4.2.1打开四探针仪，电脑开机，打开四探针操作软件RTS-9操作系统；4.2.2放置样品在测试台，操作探针太下压探针和待测表面接触良好，使用过程中注意保护探头，样品接通后通电流；4.2.3选择测试方阻还是电阻率，若是对样品电阻率以及方阻没有大致的估计，则进入自动测量；4.2.4自动测量，按照提示调节界面上的电流量程为10μA，调节测试仪主机右上角旋钮，显示电流为10.000μA；4.2.5点击【自动测量】进入测量，【统计测试数据】窗口显示样品测试点的测量数据；编号：XN/WI021-ZG-2009第 2 页共 3 页四探针操作规程4.2.6手动测量，若是知道大致的数据或者已经进行了自动测量以后进行精确验证，可以进行手动测量，根据量程决定电流大小；4.2.7点击【测量】开始输出结果，【统计测试数据】窗口显示样品测试点的测试数据；4.2.8调整测试点的位置，重复测试步骤；4.2.9然后对测量的数据进行打印，保存，生成EXCEL文件；4.2.10测量完毕，升起测试架，套上探针保护套，关断电源，清洁整理。
5．注意事项:5.1 电阻率、方块电阻测量时选择合适的电流量程。
四探针说明书要点
SZT-2C四探针测试仪使用说明书一概述SZT-2C型数字式四探针测试仪是运用四线法测量原理的多用途综合测量装置，配上专用的四探针测试架，即可以测量片状，块状或柱状半导体材料的径向和轴向电阻率，测量扩散层的薄层电阻（亦称方块电阻）。
四探针测试架有电动，手动，手持三种可以选配，另外还配有四个夹子的四线输入插头用来作为测量线状或片状电阻的中，低阻阻值。
仪器由主机，测试架等部份组成，测试结果由液晶显示器显示，同时，液晶显示器还显示测量类型（电阻率，方块电阻和电阻）;探头修正系数和温度值，用来监测仪器使用时的环境温度。
主机由开关电源，DC/DC变换器，高灵敏度电压测量部份，高稳定度恒流源，和微电脑控制系统组成。
由於采用大规模集成电路，所以仪器可靠性高，测量稳定性好。
测试探头采用宝石导向轴套和高硬度钢针，定位准确，游移率小，使用寿命长。
仪器适用於半导体材料厂，半导体器件厂，科研单位，高等院校对半导体材料电阻性能的测试。
本仪器工作条件为：使用温度：23℃±3℃相对湿度：50%~70%工作室内应无强磁场干扰，不与高频设备共用电源，二，技术参数1，测量范围电阻率： 10⁻⁴-106Ω-cm方块电阻 10⁻⁴- 106Ω/□电阻 10-⁴- 106Ω2，可测半导体材尺寸直径：Ф5-250mm长（或高）度：≤400mm（如配探笔可以测量任意长度）3，测量方位轴向，径向均可4，数字电压表：（1）量程：20mV,200mV,2V（2）误差：±0.1%读数±2字（3）输入阻抗:>10⁸Ω（4）最大分辨率:10μV（5）点阵液晶显示，过载显示。
5，恒流源：（1）电流输出：共分10μA,100uA,1mA,10mA,100mA六挡可通过按键选择，各挡均为定值不可调节，电阻率探头修正系和扩散层方块电阻修正系数均由机内CPU运算后，直接显示修正后的结果。
（2）误差：±0.5%±2字，在使用1μA恒流电流输出时为±0.5%±5字6,四探针测试头;(1) 探针间距: 1mm(2) 探针机械游移率: ±1.0%(3) 探针材料: 碳化钨,Ф0.5mm(4) 0-2Kg可调,最大压力约2Kg7，温度传感器；本仪器增加了高精度的温度传感器，以监测仪器使用时的环境温度。
四探针说明书(材料相关)
SZT-2C四探针测试仪使用说明书一概述SZT-2C型数字式四探针测试仪是运用四线法测量原理的多用途综合测量装置，配上专用的四探针测试架，即可以测量片状，块状或柱状半导体材料的径向和轴向电阻率，测量扩散层的薄层电阻（亦称方块电阻）。
四探针测试架有电动，手动，手持三种可以选配，另外还配有四个夹子的四线输入插头用来作为测量线状或片状电阻的中，低阻阻值。
仪器由主机，测试架等部份组成，测试结果由液晶显示器显示，同时，液晶显示器还显示测量类型（电阻率，方块电阻和电阻）;探头修正系数和温度值，用来监测仪器使用时的环境温度。
主机由开关电源，DC/DC变换器，高灵敏度电压测量部份，高稳定度恒流源，和微电脑控制系统组成。
由於采用大规模集成电路，所以仪器可靠性高，测量稳定性好。
测试探头采用宝石导向轴套和高硬度钢针，定位准确，游移率小，使用寿命长。
仪器适用於半导体材料厂，半导体器件厂，科研单位，高等院校对半导体材料电阻性能的测试。
本仪器工作条件为：使用温度：23℃±3℃相对湿度：50%~70%工作室内应无强磁场干扰，不与高频设备共用电源，二，技术参数1，测量范围电阻率： 10⁻⁴-106Ω-cm方块电阻 10⁻⁴- 106Ω/□电阻 10-⁴- 106Ω2，可测半导体材尺寸直径：Ф5-250mm长（或高）度：≤400mm（如配探笔可以测量任意长度）3，测量方位轴向，径向均可4，数字电压表：（1）量程：20mV,200mV,2V（2）误差：±0.1%读数±2字（3）输入阻抗:>10⁸Ω（4）最大分辨率:10μV（5）点阵液晶显示，过载显示。
5，恒流源：（1）电流输出：共分10μA,100uA,1mA,10mA,100mA六挡可通过按键选择，各挡均为定值不可调节，电阻率探头修正系和扩散层方块电阻修正系数均由机内CPU运算后，直接显示修正后的结果。
（2）误差：±0.5%±2字，在使用1μA恒流电流输出时为±0.5%±5字6,四探针测试头;(1) 探针间距: 1mm(2) 探针机械游移率: ±1.0%(3) 探针材料: 碳化钨,Ф0.5mm(4) 0-2Kg可调,最大压力约2Kg7，温度传感器；本仪器增加了高精度的温度传感器，以监测仪器使用时的环境温度。
m3型手持式四探针测试仪说明书
m3型手持式四探针测试仪说明书M3型手持式四探针测试仪说明书一、产品概述M3型手持式四探针测试仪是一种用于电子元器件测试和分析的便携式仪器。
它采用四探针测量技术，能够精确测量电阻、电容和电感等参数，并可以通过连接到计算机或移动设备进行数据传输和分析。
该测试仪具有体积小、操作简便、测量准确度高等特点，适用于各种实验室、工厂和维修现场的电子测试需求。
二、产品特点1. 精确测量：M3型测试仪采用四探针测量技术，能够准确测量电阻、电容和电感等参数，保证测试结果的准确性和可靠性。
2. 便携式设计：该测试仪采用手持式设计，体积小巧，重量轻，便于携带和操作。
用户可以随时随地进行测试，无需依赖复杂的测试设备。
3. 易于操作：M3型测试仪配备了直观的操作界面和简单的按键布局，使用户能够快速上手并进行各种测试操作。
同时，仪器还提供了详细的使用说明，帮助用户更好地了解和使用该仪器。
4. 数据传输和分析：该测试仪可以通过USB接口或蓝牙连接到计算机或移动设备，实现数据的传输和分析。
用户可以利用专业软件对测试结果进行进一步处理，以满足不同的测试需求。
5. 多种测试模式：M3型测试仪支持多种测试模式，包括直流测试、交流测试、频率扫描测试等。
用户可以根据具体需求选择合适的测试模式，以获取更准确的测试结果。
6. 安全可靠：该测试仪具有过载保护和短路保护等安全功能，能够有效保护测试仪和被测电子元器件的安全。
同时，仪器还具备自动关机和低电压提示等智能功能，延长仪器的使用寿命。
三、使用方法1. 准备工作：打开测试仪电源，确认电量充足；连接测试夹具和被测电子元器件。
2. 设置测试参数：根据被测元器件的特性，设置合适的测试模式、频率和量程。
在操作界面上进行参数设置，并通过仪器的显示屏确认设置结果。
3. 进行测试：将四个探针分别接触被测元器件的四个引脚，确保探针与引脚之间无杂散接触。
点击仪器上的测试按钮，开始进行测试。
测试过程中，仪器会实时显示测试结果。
四探针一体机使用说明书
相对湿度:50%~70%SZT-2A四探针测试仪使用说明书一概述SZT-2A型数字式四探针测试仪是运用四线法测量原理的多用途综合测量装置，配上专用的四探针测试架，即可以测量片状，块状或柱状半导体材料的径向和轴向电阻率，测量扩散层的薄层电阻（亦称方块电阻）。
四探针测试架有电动，手动，手持三种可以选配，另外还配有四个夹子的四线输入插头用来作为测量线状或片状电阻的中，低阻阻值。
仪器由主机，测试架等部份组成，测试结果由液晶显示器显示，同时，液晶显示器还显示测量类型（电阻率，方块电阻和电阻）以及探头修正系数，主机由开关电源，DC/DC^换器，高灵敏度电压测量部份，高稳定度恒流源，和微电脑控制系统组成。
由於采用大规模集成电路，所以仪器可靠性高，测量稳定性好。
测试探头采用宝石导向轴套和高硬度钢针，定位准确，游移率小, 使用寿命长。
仪器适用於半导体材料厂，半导体器件厂，科研单位，高等院校对半导体材料电阻性能的测试。
本仪器工作条件为：温度：23C 士3C工作室内应无强磁场干扰，不与高频设备共用电源。
二，技术参数1, 测量范围电阻率：10 ??105? -cm方块电阻10 ?- 10 5?/口电阻10 -? - 10 5 ?2 ,可测半导体材尺寸直径：①15-100mm长(或高)度：< 400mm3, 测量方位轴向，径向均可4, 数字电压表：(1) 量程：20mV,200mV,2V(2) 误差：± 0.5%读数±2字(3) 输入阻抗:>10??(4) 最大分辨率:10 K V(5) 点阵液晶显示，过载显示。
5, 恒流源：(1) 电流输出:共分10 v A,100uA,1mA,10mA,100m/E挡可通过按键选择，各挡均为定值不可调节，电阻率探头修正系和扩散层方块电阻修正系数均由机内CPU运算后，直接显示修正后的结果。
(2) 误差：士0.5%士2 字。
6, 四探针测试头；(1) 探针间距：1mm(2) 探针机械游移率：士1.0%(3) 探针材料：碳化鸨，①0.5mm⑷0-2Kg 可调，最大压力约2Kg7, 电源：交流220V 士10%功耗<35W本仪器可以选配电动测试架，手动测试架，手持探险头或四夹子电阻测量输入线。
四探针说明书样本
SZT-2C四探针测试仪使用说明书一概述SZT-2C型数字式四探针测试仪是运用四线法测量原理的多用途综合测量装置, 配上专用的四探针测试架, 即能够测量片状, 块状或柱状半导体材料的径向和轴向电阻率, 测量扩散层的薄层电阻( 亦称方块电阻) 。
四探针测试架有电动, 手动, 手持三种能够选配, 另外还配有四个夹子的四线输入插头用来作为测量线状或片状电阻的中, 低阻阻值。
仪器由主机, 测试架等部份组成, 测试结果由液晶显示器显示, 同时, 液晶显示器还显示测量类型( 电阻率, 方块电阻和电阻) ;探头修正系数和温度值, 用来监测仪器使用时的环境温度。
主机由开关电源, DC/DC变换器, 高灵敏度电压测量部份, 高稳定度恒流源, 和微电脑控制系统组成。
由於采用大规模集成电路, 因此仪器可靠性高, 测量稳定性好。
测试探头采用宝石导向轴套和高硬度钢针, 定位准确, 游移率小, 使用寿命长。
仪器适用於半导体材料厂, 半导体器件厂, 科研单位, 高等院校对半导体材料电阻性能的测试。
本仪器工作条件为:使用温度: 23℃±3℃相对湿度: 50%~70%工作室内应无强磁场干扰, 不与高频设备共用电源,二, 技术参数1，测量范围电阻率: 10⁻⁴-106Ω-cm方块电阻 10⁻⁴- 106Ω/□电阻 10-⁴- 106Ω2, 可测半导体材尺寸直径: Ф5-250mm长( 或高) 度: ≤400mm( 如配探笔能够测量任意长度)3，测量方位轴向, 径向均可4，数字电压表:（1）量程: 20mV,200mV,2V（2）误差: ±0.1%读数±2字（3）输入阻抗:>10⁸Ω（4）最大分辨率:10μV（5）点阵液晶显示, 过载显示。
5，恒流源:（1）电流输出: 共分10μA,100uA,1mA,10mA,100mA六挡可经过按键选择, 各挡均为定值不可调节, 电阻率探头修正系和扩散层方块电阻修正系数均由机内CPU运算后, 直接显示修正后的结果。
四探针测试仪
四探针测试仪
1、首先将主机的电源连 接线和外部的电源连 接。 2、将电动测试平台与主 机用专用的连接线连 接起来。 3、把电动测试平台的电 源线与外部的电源连 接起来。
四探针测试仪
电动平机的电源开 关，此时主机上的 “R ”和“Ⅰ”指示灯 点亮，并且预热5分钟。
四探针测试仪
在测试电阻率时电流 量程的选 择可以根据以下参数来选择， 电阻率在〈0.06欧姆.cm时可选 择电流量程为 100mA的档位， 在0.03~0.6欧姆.cm时可选择 10mA的档位，在0.3~60欧 姆.cm时可选择1mA的档位，〉 30欧姆.cm时可选择0.1mA的档 位。
四探针测试仪
选择好电流量程后，在电 动平台上放置被测物品， 用手在工作台面上的下降 按钮按下，使被测物品接 通电流。主机此时显示电 流数值，这时调整调节电 位器W1和W2进行粗调和 细调。调到所需要测试电 流值后就可以进行测试了。
四探针测试仪
在主机操作面板上按下 e和R /e键，把所需 要测试的物品放在电 动测试平台上，按下 下降按钮后，主机显 示屏上显示此次测试 的数据，按上升按钮 后取走被测物品进行 下一循环。
四探针说明书
0.21 210 .151 .152 .153 .154 .154 .155 .156 .157
0.22 220 .159 .159 .160 .161 .162 .162 .163 .164
0.23 230 .166 .167 .167 .168 .169 .170 .170 .171
0.24 240 .173 .174 .175 .175 176 177 .177 .178
0.35 350 .252 .253 .254 .255 .255 .256 .257 .257 .258 .259
- 5.-
(2)薄片电阻率测量: 当薄片厚度>0.5mm 时，按公式（3-3）计算ρ。 当薄片厚度<0.5mm 时，按公式（3-4）计算ρ。
(3)方块电阻测量:将修正系数调至 0.453，此时从数字表上读出的数值再乘上 10 即为 实际的方块电阻值。
(4)电阻测量，用四端子测量线作输入线，按图 5 所示夹持好样品，将修正系数调到 1.000，压下探针此时数字表上读出的数值为样品的电阻值。
仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、测量简便、结构紧凑、 使用方便等特点。
仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电 阻性能的测试。特别适用于要求快速测量中低电阻率的场合。
本仪器工作条件为： 温 度： 23℃±2℃ 相对湿度： 60%～70% 工作室内应无强电磁场干扰，不与高频设备共用电源。
0.01 10 .007 .008 .009 .009 .010 .011 .012 .012
0.02 20 .014 .015 .016 .017 .017 .018 .019 .019
0.03 30 .022 .022 .023 .024 .025 .025 .026 .027
四探针操作规程
宜昌南玻硅材料有限公司 编 号 QEO/NBYC/ZY-WPK-038-2011(A/0) 发布日期 四探针操作规程版 本 号 页 码第1页，共1页拟制： 审核： 批准： 实施日期： 1、 准备工作将测试的样片在喷砂室进行喷砂处理．接好仪器电源。
开启电源盘开关，打开设备电源，预热5分钟。
2、 操作步骤如果测量低电阻率的硅片（电阻率<1Ω.cm ），打开低阻测量开关按钮。
如果测量高阻硅片（电阻率>1Ω.cm ）,关闭低阻测量开关。
用测厚仪测量硅片的厚度。
硅片的放置。
测量中心电阻时，根据硅片的尺寸选择中心的位置，将硅片放置在测试台上使探针接触的位置在大致硅片的正中心。
如果测量边缘点，放置的硅片的位置能够使探针的接触点与要测量点的位置大致重合。
选择合适的电流的量程。
75Ω.cm ≥电阻率≥1Ω.cm ，选择的量程是1mA;电阻率<1Ω.cm,选择的量程是100 mA ；电阻率>75Ω.cm,选择的量程是0.1 mA;如果不知道硅片大致的电阻率，可从0.1mA 开始试。
此时相应的指示灯都是上面的亮。
将探针与硅片良好的接触，根据厚度与电流的对应表，调节测试电流的大小，右上角的ROUGH 调节旋钮是粗调，右上角的FINE 调节旋钮是微调。
按下测试电阻率的按键，相应的指示灯亮。
此时显示的电阻率值得到测量值1，注意测试值的单位。
按下“+I/-I ”键即改变电流方向，显示的值得到测量值2，将两次测量值取平均值即为样片的电阻率值。
测试完一片后，将测试探针升起，取走硅片。
重复上面的操作测量下一片。
如果用测试软件进行测试，可按照软件的操作说明进行操作。
（见附页）测试完毕，关闭主机电源．。
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SZT-2A四探针测试仪使用说明书一概述SZT-2A型数字式四探针测试仪是运用四线法测量原理的多用途综合测量装置，配上专用的四探针测试架，即可以测量片状，块状或柱状半导体材料的径向和轴向电阻率，测量扩散层的薄层电阻（亦称方块电阻）。
四探针测试架有电动，手动，手持三种可以选配，另外还配有四个夹子的四线输入插头用来作为测量线状或片状电阻的中，低阻阻值。
仪器由主机，测试架等部份组成，测试结果由液晶显示器显示，同时，液晶显示器还显示测量类型（电阻率，方块电阻和电阻）以及探头修正系数，主机由开关电源，DC/DC变换器，高灵敏度电压测量部份，高稳定度恒流源，和微电脑控制系统组成。
由於采用大规模集成电路，所以仪器可靠性高，测量稳定性好。
测试探头采用宝石导向轴套和高硬度钢针，定位准确，游移率小，使用寿命长。
仪器适用於半导体材料厂，半导体器件厂，科研单位，高等院校对半导体材料电阻性能的测试。
本仪器工作条件为：温度：23℃±3℃相对湿度：50%~70%工作室内应无强磁场干扰，不与高频设备共用电源。
二，技术参数1，测量范围电阻率： 10⁻⁴-105Ω-cm方块电阻 10⁻⁴- 105Ω/□电阻 10-⁴- 105Ω2，可测半导体材尺寸直径：Ф15-100mm长（或高）度：≤400mm3，测量方位轴向，径向均可4，数字电压表：（1）量程：20mV,200mV,2V（2）误差：±0.5%读数±2字（3）输入阻抗:>10⁸Ω（4）最大分辨率:10μV（5）点阵液晶显示，过载显示。
5，恒流源：（1）电流输出：共分10μA,100uA,1mA,10mA,100mA五挡可通过按键选择，各挡均为定值不可调节，电阻率探头修正系和扩散层方块电阻修正系数均由机内CPU运算后，直接显示修正后的结果。
（2）误差：±0.5%±2字。
6,四探针测试头;(1) 探针间距: 1mm(2) 探针机械游移率: ±1.0%(3) 探针材料: 碳化钨,Ф0.5mm(4) 0-2Kg可调,最大压力约2Kg7, 电源:交流 220V±10%功耗<35W本仪器可以选配电动测试架，手动测试架，手持探险头或四夹子电阻测量输入线。
1，电动测试架；电动测试架是用步进电机驱动测试头升降，只要将被测工件放在测试平台中心位置，按一次启动按钮，测试头自动下降，直到针头和被测工件接触，探头将自动以慢速下降一段距离压紧探针使针与工件接触良好并等待测量，稍候测量结束，探头上行并恢复到原来位置。
所以电动测试架的操作简便，探针对被测工件所施压力恒定，测量结果稳定，建议优先选配。
2，手动测试架以其结构简单不用电源见长，只要操作熟练，测量精度和稳定性也很好。
3，手持式四探针测试头，使用灵活可以对任意形状的半导体材料进行测试，而且脱离了测试架尺寸的限止，可以对大尺寸单晶硅柱的任意部位进行单点或多点测试，但由於探针对被测材料的压力是由手感控制的，因此，测量时必须将探头持稳压紧，保证探针和被测工件接触良好。
4带夹四线测试头，是必配件，可以用四线法测量低阻值电阻。
三，工作原理； 1，测试原理；直流四探针法测试原理简介如下；（1） 电阻率测量；当1，2，3，4四根金属针排成一直线时体材料上时，在1，4两根探针间通过电流I ，则在2，3探针间产生电位差V ， 材料电阻率ρ=C IV(Ω-cm) (3-1) 式中C 为探针修正系数，由探针的间距决定。
当试样电阻率分布均匀，试样尺寸满足半无穷大条件时C=32212111112S S S S S S +-+-+π(cm) （3-2）式中：S 1，， S 2 S 3 分别为探针对1与2，2与3，3与4之间的距离，探头系数由制造厂对探针间距进行测定后确定，并提供给用户。
每个探头都有自已的系数。
C ≈6.28±0.05,单位为cm 。
（a ）块状或棒状样品体电阻率测量：由於块状或棒状样品外形尺寸远大於探针间距，符合半无穷大的边界条件，电阻率值可直接由（3-1）式求出。
（b ）薄片电阻率测量：薄片样品因为其厚度与探针间距相近，不符合半远穷大边界条件，测量时要附加样品的厚度，形状和测量位置的修正系数。
其电阻率值可由下面公式得出 ρ=C I VG （S W ）D （Sd）=ρ0G （SW ）D （Sd） （3-3）式中ρ0——为块状体电阻率测量值G （SW ）———为样品厚度修正系数，可由附录1A 或附录1B 查得。
W ：样品厚度（μm ）;S 探针间距（mm ）D ：（Sd）——为样品形状与测量位置的修正函数可由附录2查得。
当园形硅片的厚度满足 SW<0.5条件时，电阻率为 ρ=ρD Ln S W 221 )(Sd(3-4) 式中Ｌn2为２的自然对数。
当忽略探针几何修正系数时，即认为Ｃ＝２πＳ时， )(53.4)(2SdD I VW S d D ILn VW==πρ (3-5) (©)扩散层的方块电阻测量当半导体薄层尺寸满足于半无穷大平面条件时:IVI V Ln R 53.4)(20==π(3-6)SZT-2A 型四探针测试仪电气部分原理框图:仪器主体部分由单片计算机, 液晶显示器、键盘、高灵敏度，高输入阻抗的方大器、双积分式A/D 变换器、恒流源、，开关电源，DC-DC 变换隔离电源。
电动，手动或手持式四探针测试架（头）等组成。
四．使用方法本仪器适配三种测试架（电动，手动，手持测试头），还可使用带有四个夹子的，四线法电阻测试输入插头，这四种输入插头虽然外形相同，使用同一个输入插座，但使用方法略有不同，以下将分别于以说明。
1， 主机；面板：面板左侧为液晶显示器，显示器的第一行显示测量结果，阻单位（K Ω，Ω，m Ω）和测量方式的符号（“-cm ” 电阻率,“ -口” 方块电阻，“—”电阻）- 在正常测量时第二行将以较小的字号显示和第一行相同的数值，只有在超程时第一行显示四个横杠（- - - -），第二行则显示一个正在使用的测量方式可以显示的最大数值，例如电阻率测量可以显示的最大值为1256，方块电阻可以显示的最大值为9060，而电阻测量则可以显示的最大显示值为1999，（以上所示的值中小数点和单位均视测量当时所设量程而定，这里不作详述）。
面板右侧为指示灯和键盘，第一行5个指示灯分别指示当前恒流源的工作状态，这5个指示灯在任何情况下只有灯亮，如左起第一个灯亮则代表目前恒流源正在可以输出100mA恒定电流的工作状态。
从左到右的5个指示灯分别指示了恒流源的“100mA”“10mA”，“1mA”,“100μA”,“10μA”5个工作状态。
第二行三个指示灯，自左至右指示了三个电压量程（2V，200mV,20mV）。
第三行三个指示灯，自左至右为测量方式指示（电阻率，方块电阻，电阻）。
指示灯下面为二行三列功能设置键，上面一行为左移键，第二行为右移键，左起第一列为恒流源设置键，第二列为测量方式设置键，第三列为电压量程设置键，最下面一个键为往复键，重复按键可以选择测量或保持二个状态，（必须注意！当使用电动测试架时，只能设定在测量状态）。
B，后侧板：后侧板的左侧装有带保险丝的电源插座和电源开关，右侧为七芯信号输入插座和RS232的九针插头座。
2，电动测试架；电动测试架是一个完整的组件，本身带有开关电源`，和步进电机驱动电路，交流电源插头，九芯插头座和七芯输入插头，开关电源的+5V电源电压和七芯插头均通过一个九针插头和测试架连接，所以在使用前首先将它插入测试架上的九针座上，七芯输入插头插入主机后侧板上的输入插座中。
接通主机和测试架的220V交流电源，测试架的探头就会复位，上升到规定位置。
主机在接通电源后，首先运行自检程序，液晶显示器显示公司名称，网址，联系电话，同时指示灯循环点亮一次，最后电流指灯停在1mA位置上，电指示灯停在2V位置，测量模式指示灯停在电阻率测量模式，测量/保持键则选在测量位置，液晶显示器显示单位为KΩ-cm，（电阻率测量）液晶显示器的最下面一行显示的0.628是探头的修正系数。
这是仪器在开机后的优先先选择。
此时液晶显示器的第一行还没有显示任何数值，因为现在测量还没有开始，接下来可以将被测半导体材料放在测试架的园形绝缘板的园心上，把探针保护套取下并保存好，按一下测试架上的启动按键（小红键），随即测试头下降探针和被测工件接触稍后显示测量结果，测试头上升。
如果测量结果显示“- - - -”则为超量程，可以减小恒流源的设置值或升高电压量程，如果电压量程置于最高，恒流电流置于最小，仍显示超量程则可能是被测工件电阻太大，已超出了本仪器的测量范围，当测量的结果为0则可以增大恒流电流或减小电压量程，调整电流或电压量程，直至测量结果可以显示三位以上的读数为最好的量程组合。
在选择量程时必须注意的是，如已知被测工件是半导体并且阻值大于10Ω时，不要使用10mA以上的恒流源，原因是10mA以上的恒流源使用较低的工作电压，而半导体材料表面的接触电阻又较大，会使恒流源工作不正常。
3，手动测试架，手持测试头，四端子电阻测试夹使用比较简单，只要将七芯输入插头插入输入端，仪器就会连续测量，将探针和工件良好接触，就可在显示器上读出测量结果。
附录：测量时，预估的样品阻值范围应该选择相对应的电流范围，关系如下表：附录1A 样品厚度修正系数G （WS）样品厚度较薄：WS =0.001~1 见表5W ：样品厚度（μm ）：S ：探针间距（mm ）W/S W 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 0.00 0.01 0.02 0.03 0.04 0.05 0.06 0.07 0.08 0.09 0.10 0.11 0.12 0.13 0.14 0.15 0.16 0.17 0.18 0.19 0.20 0.21 0.22 0.230 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 110 120 130 140 150 160 170 180 190 200 210 220 230.000 .007 .014 .022 .029 .036 .043 .051 .058 .065 .072 .079 .087 .094 .101 .108 .115 .123 .130 .137 .144 .151 .159 .166.001 .008 .015 .022 .030 .037 .044 .051 .058 .066 .073 .080 .087 .095 .102 .109 .116 .123 .131 .138 .145 .152 .159 .167.001 .009 .016 .023 .030 .038 .045 .052 .059 .066 .074 .081 .088 .095 .102 .110 .117 .124 .131 .139 .145 .153 .160 .167.002 .009 .017 .024 .031 .038 .045 .053 .060 .067 .074 .082 .089 .096 .103 .110 .118 .125 .132 .139 .146 .154 .161 .168.003 .010 .017 .025 .032 .039 .046 .053 .061 .068 .075 .082 .089 .097 .104 .111 .118 .126 .133 .140 .147 .154 .162 .169.004 .011 .018 .025 .032 .040 .047 .054 .061 .069 .076 .083 .090 .097 .105 .112 .119 .126 .133 .141 .148 .155 .162 .170.004 .012 .019 .026 .033 .040 .048 .055 .062 .069 .077 .084 .091 .098 .105 .113 .120 .127 .134 .141 .149 .156 .163 .170.005 .012 .019 .027 .034 .041 .048 .056 .063 .070 .077 .084 .092 .099 .106 .113 .120 .128 .135 .142 .149 .157 .164 .171.006 .013 .020 .027 .035 .042 .049 .056 .063 .071 .078 .085 .092 .100 .107 .114 .121 .128 .136 .143 .150 .157 .164 .172.006 .014 .021 .028 .035 .043 .050 .057 .064 .071 .079 .086 .093 .100 .107 .115 .122 .129 .136 .144 .151 .158 .165 .1720.24 0.25 0.26 0.27 0.28 0.29 0.30 0.31 0.32 0.33 0.34 0.35 0.36 0.37 0.38 0.39 0.40 0.41 0.42 0.43 0.44 0.45 0.46 0.47 0.48 0.49 0.50 240250260270280290300310320330340350360370380390400410420430440450460470480490500.173.180.188.1953202.209.216.224.231.238.245.252.260.267.274.281.288.296.303.310.317.324.331.338.346.353.360.174.181.188.195.203.210.217.224.232.239.246.253.260.268.275.282.289.296.303.311.318.325.332.339.346.353.360.175.182.189.19.203.211.218.225.232.239.247.254.261.268.275.283.290.297.304.311.319.326.333.340.347.354.361.175.183.190.197.204.211.219.226.233.240.247.255.262.269.276.283.291.298.305.312.319.326.333.341.348.355.362.176.183.190.198.205.212.219.227.234.241.248.255.263.270.277.284.291.298.306.313.320.327.334.341.348.355.363.177.184.191.199.205.213.220.227.234.242.249.256.263.270.278.285.292.299.306.314.321.328.335.342.349.356.363.177.185.192.199.206.214.221.228.235.242.250.257.264.271.278.286.293.300.307.314.321.329.336.343.350.357.364.178.185.193.200.207.214.221.229.236.243.250.257.265.272.279.286.293.301.308.315.323.329.336.343.351.358.365.197.186.193.201.208.215.222.229.237.244.251.258.265.273.280.287.294.301.308.316.323.330.337.344.351.358.365.180.187.194.201.208.216.223.230.237.245.252.259.266.273.281.289.295.302.309.316.324.331.338.345.352.3593.680.51 0.52 0.53 0.54 0.55 056 0.57 0.58 0.59 0.60 0.61 0.62 0.63 0.64 0.65 0.66 0.67 0.68 0.69 0.70 0.71 0.72 0.73 0.74 0.75 0.76 0.77 510520530540550560570580590600610620630640650660670680690700710720730740750760770.367.374.381.388.395.402.409.416.422.429.436.443.450.456.463.470.476.483.489.496.502.508.515.521.527.533.540.368.375.382.389.396.402.409.416.423.430.437.444.450.457.464.470.477.483.490.496.503.509.516.522.528.534.540.368.375.382.389.396.403.410.417.424.431.437.444.451.458.464.471.477.484.491.497.503.510.516.522.529.535.541.369.376.383.390.397.404.411.418.425.431.438.445.452.458.465.472.478.485.491.498.504.510.517.523.529.535.541.370.377.384.391.398.405.411.418.425.432.439.446.452.459.466.472.479.485.492.498.505.511.517.524.530.536.542.370.377.384.391.398.405.412.419.426.433.439.446.453.460.466.473.479.486.492.499.505.512.518524.530.537.543.371.378.385.392.399.406.413.420.427.433.440.447.454.460.467.474.480.487.493.500.506.512.519.525.531.537.543372.379.386.393.400.407.414.420.427.434.441448454461.468.474.481.488.494.500.507.513.519.525.532.538.544372.379.386.393.400.407.414.421.428.435.442.448.455.462.468.475.481.488.494.501.507.514.520.526.532.538.544.373.380.387.394.401.408.415.422.429.435.442.449.456.462.469.476.482.489.495.501.508.514.520.527.533.539.5450.78 0.79 0.80 0.81 0.82 0.83 0.84 0.85 0.86 0.87 0.88 0.89 0.90 0.91 0.92 0.93 0.94 0.95 0.96 0.97 0.980.991.00 7807908008108208308408508608708808909009109209309409509609709809901000.546.552.558.564.569.575.581.587.592.598.603.609.614.619.625.630.635.640.645.650.655.660.665.546.552.558.564.570.576.581.587.593.598.604.609.615.620.625.630.636..641.646.651.656.660.547.553.559.565.571.576.582.588.593.599.604.610.615.621.626631.636.641.646.651.656.661.547.553.559.565.571.577.583.588.594.599.605.610.616.621.626.631.637.642.647.652.657.661.548.554.560.565.572.577.583.589.594.600.605.611.616.622.627.632.637.642.647.652.657.662..549.555.561.567.573.579.584590.596.601.607.612.617.623.628.633.638.643.648.653.658.663.549.555.561.567.573.579.584.590.596.601.607.612.617.623.628.633.638.643.648.653.658.663.550.556.562.568.573.579.585.591.596.602.607.613.618.623.628.634.639.644.649.654.658.663.550.556.562.568.574.580.585.591.597.602.608.613.618.624.629.634.639.644.649.654.658.664.551.557.563.569.575.580.586.592.597.603.608.614.619.624.629.635.640.645.650.655.659.664附录1B 样品厚度修正系数G （WS）样品厚度较厚：WS =0.01~3.49 见表 W ：样品厚度（μm ）：S ：探针间距（mm ） W/S 0.00 0.01 0.02 0.03 0.04 0.05 0.06 0.07 0.08 0.090.00 0.10 0.20 0.30 0.400.50 0.60 0.70 0.80 0.901.00 1.10 1.20 1.30 1.401.50 1.60 1.70 1.80 1.900.0000 0.0721 0.1443 0.2164 0.28840.3597 0.4293 0.4957 0.5576 0.61410.6647 0.7093 0.7482 0.7817 0.81060.8352 0.8563 0.8743 0.8897 0.90290.0072 0.0794 0.1515 0.2236 0.29560.3668 0.4361 0.5021 0.5635 0.61940.6694 0.7134 0.7518 0.7848 0.81320.8375 0.8382 0.8760 0.8911 0.90410.0144 0.0866 0.1587 0.2308 0.30270.3738 0.4429 0.5085 0.5694 0.62470.6741 0.7175 0.7553 0.7879 0.81580.8397 0.8601 0.8776 0.8925 0.90530.0216 0.0938 0.1659 0.2380 0.30990.3808 0.4496 0.5148 0.5751 0.62990.6787 0.7215 0.7589 0.7908 0.81840.8419 0.8620 0.8792 0.8939 0.90640.0289 0.1010 0.1731 0.2452 0.31710.3878 0.4563 0.5210 0.5809 0.63510.6833 0.7255 0.7622 0.7938 0.82090.8441 0.8639 0.8808 0.8952 0.90760.0361 0.1082 0.1803 0.2524 0.32420.3948 0.4630 0.5273 0.5866 0.64020.6877 0.7294 0.7666 0.7967 0.82340.8462 0.8657 0.8823 0.8965 0.90870.0433 0.1154 0.1875 0.2596 0.33130.4018 0.4696 0.5334 0.5922 0.64520.6922 0.7333 0.7689 0.7996 0.82580.8483 0.8675 0.8838 0.8978 0.90990.0505 0.1226 0.1948 0.2668 0.33850.4087 0.4762 0.5396 0.5978 0.65010.6965 0.7371 0.7122 0.8024 0.82820.8503 0.8692 0.8853 0.8991 0.91100.0577 0.1298 0.2020 0.2740 0.34560.4156 0.4827 0.5456 0.6033 0.65510.7009 0.7408 0.7754 0.8052 0.83060.8524 0.8709 0.8868 0.9004 0.91210.0649 0.1371 0.2092 0.2812 0.35260.4224 0.4892 0.5516 0.6087 0.65990.7051 0.7445 0.7786 0.8079 0.83290.8544 0.8726 0.8883 0.9016 0.9131W/S 0.00 0.01 0.02 0.03 0.04 0.05 0.06 0.07 0.08 0.092.00 2.10 2.20 2.30 2.402.50 2.60 2.70 2.80 2.903.00 3.10 3.20 3.30 3.40 0.91420.92390.93230.93960.94590.95140.95620.96040.96410.96740.97030.97280.97510.97720.97900.91520.92480.93310.94020.94020.95190.95660.96080.96440.96770.97050.97310.97530.97740.97920.91620.92570.93380.94090.94700.95240.95710.96120.96480.96800.97080.97330.97560.97760.97940.91720.92660.93460.94150.94760.95290.95750.96160.96520.96830.97110.97360.97580.97780.97950.91820.92740.93530.94220.94820.95340.95790.96190.96550.96860.97130.97380.97600.97790.97970.91920.92830.93610.94280.94870.95380.95830.96230.96580.96890.97160.97400.97620.97810.97990.92020.92910.93680.94350.94930.95430.95880.96270.96610.96920.97180.97420.97640.97830.98000.92110.92990.93750.94410.94980.95480.95920.96300.96640.96940.97210.97450.97660.97850.98020.92210.93070.93820.94470.95030.95530.95960.96340.96670.96970.97240.97470.97680.97870.98030.92300.93150.93890.94530.95090.95570.96000.96370.96710.97000.97260.97490.97700.97880.9805如需所测值更精确，请查下表附录2样品形状和测量位置的修正系数D（d s）（1）圆形薄片直径d (mm)探针位置距圆心位置距边缘位置0mm 1/4 d 5 mm 4 mm 3 mm 2 mm20 23 25 27 30 32 35 38 40 42 45 50 55 57 60 63 65 70 75 80 90 0.97880.98390.98630.98820.99040.99160.99290.99400.99460.99510.99570.99650.99710.99730.99760.99780.99790.99820.99850.99860.99890.96330.97190.97610.97940.98320.98520.98760.98940.99040.99130.99240.99380.99190.99520.99570.99610.99630.99680.99720.99760.99810.96330.96620.96770.96880.97020.97090.97180.97250.97290.97330.97380.97440.97490.97510.97520.97550.97570.97600.97620.97640.97680.95080.95380.95530.95650.95800.95880.95980.96060.96100.96140.96200.96270.96330.96350.96380.96400.96410.96450.96480.96500.96540.92630.92950.93120.93250.93420.93510.93620.93710.93770.93820.94880.94970.94030.94060.94090.94120.94140.94180.94210.94240.94290.87020.87390.87580.87730.87930.88040.88170.88290.88350.88410.88490.88590.88680.88710.88750.88790.88810.88860.88910.88950.8901100 0.9991 0.9984 0.9770 0.9657 0.9433 0.8904（2）矩形薄片正方形矩形d/s a/d=1 a/d=2 a/d=3 a/d≥41.0 0.2204 0.22051.25 0.2751 0.27021.5 0.3263 0.3286 0.32861.75 0.3794 0.3803 0.38032.0 0.4301 0.4297 0.42972.5 0.5192 0.5194 0.51943.0 0.5422 0.5957 0.5958 0.59584.0 0.6870 0.7115 0.7115 0.71155.0 0.7744 0.7887 0.7888 0.78887.5 0.8846 0.8905 0.8905 0.890510.0 0.9312 0.9345 0.9345 0.934515.0 0.9682 0.9696 0.9696 0.969620.0 0.9788 0.9830 0.9860 0.983040.0 0.9955 0.9957 0.9957 0.9957100 1.0000 1.0000 1.0000 1.0000d：短边长度a：长边长度s：探针间距提醒：每次开机启动，仪器会有一个自动校正和自动预热过程，初测试偶有5到10次测试数值不精确视为正常情况。