氦质谱检漏仪的检漏方法
常用的几种氦质谱检漏方法(1)
书山有路勤为径，学海无涯苦作舟
常用的几种氦质谱检漏方法(1)
氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用最合理的方法, 要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各种检漏方法。
1、测定漏点型氦质谱检漏方法确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中较为常见,如卫星、导弹弹体、弹头、输气管道、气罐、油罐、锅炉等。
1.1、喷氦法氦质谱检漏方法这是最常用的一种方法,通常用于检测体积相对较小的部件,将被检器件和仪器连通,在抽好真空后,在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头,焊缝等) 用喷枪喷氦,如图4 所示,假如被检器件某处有漏孔,当氦喷到漏孔上时,氦气立即会被吸入到真空系统,从而扩散到质谱室中,氦质谱检漏仪的输出就会立即有响应,使用这种方法应注意:氦气是较轻的惰性气体,在喷出后会自动上升,为了准确的在漏孔位置喷氦,喷氦时应自上而下,由近至远(相对检漏仪位置) ,这是因为在喷下方时氦气有可能被上方漏孔吸入,就很难确定漏孔的位置; 再者漏孔离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同,因此喷氦应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远来进行。
图4 喷氦法检漏示意图
在检测较大部件时要借助机械泵进行真空预抽,就可以提高检漏效率和时间,如图5 所示,喷氦法在检查那些结构比较复杂的,密封口和焊缝又比较多而且挤在一起的小容器时,由于氦喷出后会很快扩散开来,往往不容易准确地确定漏隙所在的部位,要采取从不同角度喷氦,仔细观察反应时间上的差别和将已发现的漏孔用真空封泥暂时封起来等办法,就可以把漏孔逐个检出。
氦检漏步骤
氦检漏步骤
1、抽真空至5Pa以下就可以开始检测。
2、插上检漏仪电源，关闭上部手动挡板阀，开启检漏仪总电源，此时，“放气”
灯亮起，等待系统运行
3、当“系统正常”及旁边的两个灯都显示为绿色时，观察预置参数，应为10-15，
一般取15，观察数值，应为10的-8至-9次方时，可以开始检漏（等待
几分钟）
4、按“检漏”键，缓慢开启顶部手动挡板阀，注意：检漏口的压强不得超过
10MPa,否则机器易损坏，
5、数值稳定后，先记录下来，这就是“本底”
6、逐个将氦气充入焊缝，并封堵插入口，将数值变动记录下来。
全部完成充氦
后再观察20分钟，看数值有无大的变动。
7、关机时，应先关闭上部手动挡板阀，然后开启放气键，最后关电源。
氦质谱仪背压检漏方法_概述及解释说明
氦质谱仪背压检漏方法概述及解释说明1. 引言1.1 概述氦质谱仪背压检漏方法是一种常用的无损检测方法，用于检测工业设备及管道系统中可能存在的泄露点。
该方法通过利用氦气的特殊物理性质和气体流动原理，实现对泄漏点进行准确、快速的定位和评估。
背压检漏方法具有非侵入性、高灵敏度和自动化程度高等优势，在工业领域得到了广泛应用。
1.2 文章结构本文将围绕氦质谱仪背压检漏方法展开详细论述，文章结构包括引言、背压检漏方法的原理、背压检漏方法的步骤与实施、背压检漏结果分析与评估以及结论与展望等部分。
首先介绍了本文的概述和目的，然后详细解释了背压检漏方法相关的原理，并探讨其在不同领域中的应用优势。
接下来，阐述了使用该方法进行检测时所需进行的准备工作和步骤，并提供了数据分析与处理方法。
最后，对测试结果进行评估和解读，并分析存在的误差，并提出改进措施。
文章最后总结了本次研究的主要成果，并提出了未来进一步研究的方向。
1.3 目的本文旨在全面概述氦质谱仪背压检漏方法，介绍其原理、优势和应用领域，详细阐述该方法的步骤与实施过程，并提供相关数据分析与处理方法。
同时，通过对实验结果的评估与解读，发现存在的误差并提出改进措施。
通过对氦质谱仪背压检漏方法进行深入研究和分析，期望为工程技术领域中泄漏点检测及预防提供参考和指导，并为后续研究提供基础依据。
2. 背压检漏方法的原理:2.1 氦质谱仪背压检漏原理:氦质谱仪背压检漏是一种常用的方法，该方法基于气体分子的运动特性和质谱检测技术，通过检测目标物体表面的潜在泄漏点来实现泄漏检测。
其原理可以简要概括为以下几个步骤。
首先，将高纯度的氦气作为探测介质注入已密封的被测试系统或设备内部。
由于氦气分子具有很小的尺寸和较高的扩散性能，在目标物体出现泄露时，氦气会从泄漏点逸出到周围环境中。
接下来，使用一个质谱仪进行监测和分析。
质谱仪内部设置了一个称为“零背景样品”的容器，其中充满了监测过程中未受外部干扰影响而得到平衡状态的环境空气样品。
氦质谱检漏方法
[1]氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干
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扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中最常用的两种方法。
华尔升氦质谱检漏仪常见的三种检漏法
华尔升氦质谱检漏仪常见的三种检漏法华尔升氦质谱检漏仪应用广泛，在检漏作业中，根据不同产品对密封的要求多采用负压法，正压法和压氦法三种检漏方法。
1、负压法检漏负压法检漏是将被检件接到检漏仪的检测口，用喷枪连续向可疑的漏孔喷射示踪气体，示踪气体通过漏孔进入检漏仪并被检测。
一般电子器件的外壳、高压开关管、氧化锌、避雷器等都应采用这种方法检漏。
根据产品的不同，需要选择不同尺寸的夹具或辅助工具。
举个例子，比如管壳的检漏。
检漏仪正常工作后，用标准漏孔进行漏率校准，就可以对管壳作喷吹检漏，先将夹具固定在检漏口，待测管壳放在夹具上面的橡皮板上，辅助抽气系统将其抽至预定真空后自动接至仪器的测量系统。
然后用喷枪连续向管壳喷氦气，时间一般1～3秒，当管壳存在漏孔时，氦气将通过漏孔进入仪器的质谱分析部分，漏量大小在漏率表上直接显示出来，这种方法既能判断漏孔的位置也可测量漏孔的大小。
整个检测周期只需一分钟。
2、正压法检漏正压法检漏与负压法检漏相反，吸枪接在检漏仪的检测口，而被检件充入规定压力的示踪气体，漏孔泄漏出来氦气被吸枪吸入检漏仪被检测。
大型容器或内部放气管量很大的容器做负压检漏很不经济，而且检漏速度慢，一般采取正压检漏。
这种正压检漏法应注意事项：首先必须校准仪器的吸枪灵敏度，再向容器内充入比一个大气压高的氦气；其次有些容器是薄板结构，建议在容器外面做夹具防止高压时变形损坏器件；最后吸枪沿焊缝移动时速度不要太快，离开表面1mm左右，以保证吸入灵敏度，将探头做成喇叭口形效果更好。
3、压氦法检漏压氦法检漏是将压有一定压力的示踪气体的被检件放入检漏夹具中，然后连至检漏仪将其抽空，示踪气体通过漏孔泄漏出来，经检漏仪检测总泄漏量。
一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。
首先将仪器调整好，再将器件放入加压罐内压入氦气，氦气进入有漏孔的器件内部，无漏孔的器件只是表面吸咐氦气。
器件加压压力和时间根据GB2423，2328文件而定，器件从加压罐中取出后将表面吸咐的氦气吹掉再放入检漏夹具中抽空，待真空抽至设定值后自动将夹具连至仪器的测量系统。
正压法氦质谱检漏
正压法氦质谱检漏
正压法氦质谱检漏是一种常用的气体检漏方法，它利用氦气的小分子直径和低扩散系数特性，通过正压法将氦气注入被检测物体的内部，然后使用氦质谱仪检测被检测物体表面或密封边界是否存在漏气点。
正压法氦质谱检漏主要包括以下几个步骤：
1. 准备工作：将氦气充入质谱仪并建立质谱仪与被检测物体之间的连接。
2. 真空处理：在被检测物体内部建立一定的真空，以确保检测结果的准确性。
3. 注氦：将一定压力的氦气注入被检测物体的内部。
通常可以使用氦气罐或氦气压缩机进行注氦。
4. 检测：打开质谱仪，并进行氦气泄漏检测。
质谱仪将通过检测氦气的质谱信号，确定是否存在氦气泄漏点。
如果存在泄漏点，质谱仪将显示泄漏量的大小。
正压法氦质谱检漏的优点是灵敏度高、精确度高，能够检测到微小的气体泄漏点。
同时，由于氦气是稀有气体，对环境的影响较小。
然而，正压法氦质谱检漏也存在一些局限性，如设备价格较高，操作复杂，需要专业的操作人员等。
因此，该检漏方法主要适用于对泄漏点精确度要求高的场合。
氦质谱背压检漏
氦质谱背压检漏
氦质谱背压检漏是一种常用的检漏方法，主要用于检测气体系统中的微小泄漏。
其基本原理是利用氦气在质谱仪中的高灵敏度检测能力，通过测量系统中的氦气浓度差异来确定泄漏点。
具体操作步骤如下：
1. 确保系统处于关闭状态，并将质谱仪连接到气体系统的出口。
2. 在质谱仪的控制面板上设置合适的检测参数，如扫描速度、灵敏度等。
3. 打开质谱仪的抽气泵，将氦气抽入系统中。
4. 在气体系统中设置适当背压，通常在10-1000 Pa之间。
5. 开始检测，观察质谱仪的显示屏上的氦气峰值图谱。
6. 如果氦气峰值图谱中存在异常的峰值或与背景不一致的波动，表示存在泄漏点。
7. 根据泄漏点的大小和位置，采取相应的修复措施进行处理。
需要注意的是，在进行氦质谱背压检漏时，要确保气体系统的密封性良好，确保检漏结果的准确性。
此外，背压的设置应适当，过高的背压可能影响检测的灵敏度，而过低的背压可能导致系统内氦气稀释不足，也会影响检测的准确性。
氦质谱检漏试验方法
氦质谱检漏试验是一种常用的无损检测方法，主要用于检测设备或容器的密封性能。
其基本原理是通过氦气的渗透或压力差，检测设备或容器的漏气情况，从而判断其密封性能的好坏。
氦质谱检漏试验方法一般包括以下几个步骤：
1.准备测试设备：将待检设备或容器进行清洗和干燥处理，确保表面干净无油污和杂质。
2.安装氦质谱检漏仪：将氦质谱检漏仪安装到测试设备上，并连接好气源和检漏探头。
3.进行氦质谱检漏测试：在测试设备的接口处注入氦气，并通过检漏探头监测氦气泄漏的情况。
氦气泄漏的情况可以通过氦质谱检漏仪的显示屏或声音提示来判断。
4.分析测试结果：根据测试结果，判断设备或容器的密封性能是否符合要求，并确定是否存在漏气问题。
需要注意的是，氦质谱检漏试验需要在无风的环境下进行，以避免氦气的外泄。
同时，氦质谱检漏试验也不能完全替代其他检漏方法，应根据实际情况选择合适的检测方法。
氦质谱捡漏方法
氦质谱捡漏方法
氦质谱捡漏方法是一种通过使用氦质谱仪来检测气体泄漏的方法。
以下是氦质谱捡漏方法的基本步骤：
1. 准备工作：确保氦质谱仪和检测系统处于正常工作状态。
检查所有连接和密封处的泄漏，确保仪器不会在检测过程中泄漏氦气。
2. 准备氦气：使用标准的氦气瓶或氦气发生器准备氦气。
确保氦气纯度高，不含其他杂质。
3. 连接样品：将需要检测泄漏的样品与氦质谱仪连接。
确保连接处密封良好，以防氦气泄漏。
4. 启动质谱仪：打开氦质谱仪的电源并启动。
等待仪器预热稳定。
5. 设置仪器参数：根据需要设置质谱仪的参数，例如扫描范围、扫描速度等。
6. 设定氦气流量：根据样品的大小和需求，调整氦气注入样品的流量。
过高或过低的气流可能影响检测效果。
7. 开始检测：将氦气注入样品并观察质谱仪的读数。
如果样品存在泄漏，泄漏的氦气将进入质谱仪，产生特定的质谱图谱。
8. 分析结果：根据质谱图谱分析泄漏的位置和大小。
根据需要，
可以采取修复措施或对泄漏源进行进一步的检查和处理。
请注意，氦质谱捡漏方法需要专业的操作和分析技能。
操作人员应遵循仪器的操作手册，并在安全的实验室环境中进行操作。
氦质谱检漏仪检测泄漏的6种方法
氦质谱检漏仪检测泄漏的6种⽅法原⽂出⾃：/index.aspx?lanmuid=101&sublanmuid=711&id=1866氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）是真空检漏领域⾥不可缺少的⼀种技术，设备具有检漏效率⾼、简便易操作、仪器反应灵敏、精度⾼、不易受其他⽓体的⼲扰等特点，该仪器在电阻炉检漏中得到了⼴泛应⽤。
氦质谱检漏仪检漏中最常⽤的两种⽅法是喷枪测试法及吸枪测试法，其实除了这两种⽅法之外，氦质谱检漏仪的检漏⽅法多达6种，且每种测试也各有⾃⼰的优点，今天⼩编就跟⼤家普及⼀下。
氦质谱检漏仪检测泄漏⽅法⼀：喷枪测试法喷枪测试法主要⽤在真空环境下定位泄漏点。
⾸先，检漏仪将检测部件内部的⽓体抽到⼀定的真空度。
然后，探测⽓体通过喷枪喷扫在部件的外表⾯。
通过泄露点进⼊的探测⽓体流量定位泄漏点。
喷枪测试法具有定位泄漏、⾼灵敏度、操作简便、局部或整体测试等特点。
氦质谱检漏仪检测泄漏⽅法⼆：吸枪测试法吸枪测试法是通过正压的⽅法定位泄漏点。
⾸先，向测试部件内充⼊⼀定压⼒的探测⽓体。
然后，吸枪探头对被测部件四周进⾏检测。
如果存在泄漏，检漏仪会探测出外泄的探测⽓体从⽽定位泄漏点。
吸枪测试法具有定位泄漏、⽆需在真空环境下进⾏测试、操作简便等特点。
氦质谱检漏仪检测泄漏⽅法三：真空箱测试法真空箱测试法主要应⽤于⽣产线环境。
测试部件被放置在充满探测⽓体的真空腔体内。
如果发现有泄漏，探测⽓体会从测试部件内逃到真空腔体内，从⽽检测出泄漏点。
真空箱测试法具有⾼灵敏度、⾼产量、便于集成到产线上、易于校准、⾼重复性等特点。
氦质谱检漏仪检测泄漏⽅法四：背压法背压法要求测试部件是已经密封好的，没有⽓体外泄也不能加压。
将测试部件置于真空腔体内，灌⼊探测⽓体并加压。
如果发现有泄漏，由于⽓压关系探测⽓体会进⼊到测试部件内部。
随后将被测部件脱离真空环境。
由于压差关系，原先进⼊到测试部件内的探测⽓体会脱附出来，同时被检漏仪检测出。
氦质谱检漏仪的使用是怎样的呢
氦质谱检漏仪的使用是怎样的呢
氦质谱检漏仪是一种专业用于检测真空系统漏气的仪器。
它使用氦气作为测试
气体，利用氦气极小的分子大小和无色无味的特性，在真空系统中通过泄漏孔进入真空室进行检测。
通过对泄漏氦气进行检测，可以确定系统中的漏率并定位漏点。
氦质谱检漏仪广泛应用于各种机械、电子、航空航天等各个领域，因其检测精
度高、可靠性强而备受青睐。
在此介绍氦质谱检漏仪的使用方法及注意事项。
1. 准备工作
在使用氦质谱检漏仪进行检测之前，需要做好各种准备工作：
•确定检测目标
•安装适当的接口及氦气瓶
•检查真空系统密封性
2. 检测前操作
使用氦质谱检漏仪进行检测前，需要进行一些操作：
•安装检测器
•启动氦气供应
•实施排气处理
•进行预漏测试
3. 进行检测
进行氦质谱检漏仪检测的步骤如下：
1.将氦气从氦气瓶中引入到真空系统中。
2.在检测器控制面板上设置好检测参数，如检测压力、场强、灵敏度等。
3.开始检测，并对检测结果进行分析定位漏点。
4. 注意事项
在使用氦质谱检漏仪进行检测时，需要注意以下事项：
1.氦气具有燃爆性，检测过程中禁止吸烟、使用明火等行为。
2.氦气具有极小的分子大小，在真空系统中容易扩散，因此检测时需要
尽可能避免漏气。
3.在检测前需仔细检查检测设备和真空系统密封性，以免测结果不准确
或漏点不能定位。
4.在检测过程中需要根据实际情况进行调整，调整参数，增强检测灵敏
度，以更好地检测漏点。
以上是氦质谱检漏仪使用方法及注意事项，正确使用氦质谱检漏仪可以确保系统的安全性，保障产品质量。
氦质谱检漏方法
氦质谱检漏方法
氦质谱检漏方法是一种常用的检测气体泄漏的方法，使用氦气作为探测气体。
具体步骤如下：
1. 将被检测的系统或设备充满氦气，通常使用氦气罐或氦气瓶进行充气。
2. 在系统或设备的周围布置氦气检测仪器，包括质谱仪、探测器和监测器等设备。
3. 打开质谱仪和探测器等设备，使其开始工作。
4. 然后，在被检测的系统或设备上寻找潜在的泄漏点，可以使用氦气探测仪进行寻找。
5. 当氦气从泄漏点泄漏出来时，探测器会将泄漏气体中的氦气探测到，并转变成质谱信号。
6. 质谱仪会将探测到的质谱信号转化为相应的电信号，并通过监测器进行显示和记录。
7. 根据监测器上显示的信号强度，可以判断泄漏的位置和程度。
8. 检测完毕后，关闭质谱仪和探测器等设备，并及时排放残余的氦气。
氦质谱检漏方法的优点是敏感度高，能够检测到非常微小的气体泄漏。
而且氦气为无毒、无害的气体，对环境和人体无害。
因此，氦质谱检漏方法被广泛应用于空调、制冷、真空、压缩空气、液化气体等行业中的泄漏检测。
氦质谱检漏仪的检漏方法
氦质谱检漏仪的检漏方法氦质谱检漏仪的检漏方法氦质谱检漏仪是一种高精度的检漏设备，可以检测出微小的漏孔和缺陷。
下面是氦质谱检漏仪的几种常见检漏方法：1.吸枪法吸枪法是一种常用的检漏方法，它通过将吸枪放置在待检测部位，利用氦气在漏孔处产生的气流吸引，将漏气吸入质谱室进行分析。
吸枪法的优点是操作简单、灵敏度高，适用于检测表面上的小漏孔。
但是，对于一些深孔或内部缺陷，吸枪法可能无法检测到。
2.喷吹法喷吹法是通过将氦气或氮气等气体以一定的压力和流量喷向待检测部位，从而发现漏孔的方法。
喷吹法的优点是可以检测到深孔或内部缺陷，并且对于一些小漏孔也有较好的检测效果。
但是，喷吹法的灵敏度相对较低，需要较高的气体压力和流量，可能会对被检测部件造成一定损伤。
3.真空法真空法是通过将被检测部件放置在真空环境中，然后向其内部充入一定量的氦气或氮气等气体，再通过检测部件内部气体压力的变化来判断是否存在漏孔的方法。
真空法的优点是可以检测到微小的漏孔，并且不会对被检测部件造成损伤。
但是，真空法的操作比较复杂，需要较高的技术水平和设备投入。
4.压力法压力法是通过将被检测部件放置在一定压力的氦气或氮气等气体环境中，然后通过观察部件表面是否有气体泄漏来判断是否存在漏孔的方法。
压力法的优点是可以检测到较大的漏孔，并且操作简单、灵敏度高。
但是，压力法可能会对被检测部件造成一定损伤，需要小心操作。
5.粘滞液体法粘滞液体法是通过将粘滞液体（如硅油）涂抹在被检测部件表面，然后在一定压力的氦气或氮气等气体环境中观察是否有气泡产生来判断是否存在漏孔的方法。
粘滞液体法的优点是可以检测到微小的漏孔，并且不会对被检测部件造成损伤。
但是，粘滞液体法的操作比较复杂，需要小心操作避免产生假阳性结果。
压力容器氦质谱检漏法介绍
被检件漏孔检漏方法介绍压力容器氦质谱检漏法介绍一、概述检漏的目的是确定被检件漏孔的位置和漏率，这些目的是通过采用一些标准的检漏方法实现的。
采用什么方法要视被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质来决定。
根据不同的检漏目的，基本上有吸入法、喷吹法、背压法、真空箱法等几种常用检漏方法：1、吸入法——确定漏孔位置又称吸枪检漏，如图1-5，将专用吸枪联接在仪器检漏口上，被检件则充入规定压力的氦气（纯氦气或一定比例含氦的混合气）。
检漏时，让吸枪沿可疑漏孔处慢慢移动，若被检件有漏孔，氦气自漏孔漏出，被吸枪吸入送至仪器的质谱管而被检测。
吸入法检漏灵敏度相对喷吹法要低，但是其检漏口真空主要是由吸枪流量决定的，所以不受被检件容积的限制，适合检测大的容器。
2、喷吹法——确定漏孔位置该方法是将被检件接在检漏仪的检漏口，用仪器的真空系统对其抽真空并达到真空衔接与质谱管沟通，然后用喷枪向可疑漏孔喷吹氦气。
当有漏孔存在时，氦气就通过漏孔进入质谱管被检测。
下图是喷吹法原理示意图。
喷吹法检漏的灵敏度高，质谱管不吸枪检漏仪装有氦气的压力容器装有氦气的压力容器喷枪被检件漏孔检漏仪易受污染，但是检大容器时可能有真空抽不下来的情况，可能要加辅助真空设备。
3、 背压法——测总漏率电子元器件进行气密性检测时常用背压法。
检漏前用专用加压容器向被检件压入氦气（由压力和时间控制压入的量），然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入专用检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。
若器件有漏，则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐，最终到达质谱管。
用这种方法测得的漏率也是总漏率。
图1－7为背压法检漏示意图。
4、 真空箱法真空箱法是一种比较复杂的方法。
检漏时先将工件如上图放入真空箱中，关闭V1、V2，打开V3使用真空箱预抽系统对真空箱抽真空，如果可以在规定时间内抽到规定的真空度，说明被检工件没有大漏，反之有大漏则需要将工件拿下来检大漏。
氦质谱检漏仪原理及使用方法及相关介绍精编版
氦质谱检漏仪原理及使用方法及相关介绍精编版一、氦质谱检漏仪的原理1.首先，将待检测的物体使用泵抽真空，将环境中的空气抽去，使之达到一个低压下。
2.然后，将氦气注入被检测物体的周围环境中，此时被检测物体内部存在可能的泄漏点。
3.接下来，利用泵将周围的氦气抽入质谱仪进行分析。
在质谱仪中，氦气会分子破裂形成氦原子以及其他质子和电子组成的离子。
4.最后，利用质谱仪的探测器检测这些离子，并根据离子的种类和数量来确定氦气泄漏的位置和程度。
二、氦质谱检漏仪的使用方法使用氦质谱检漏仪来检测气体泄漏需要以下步骤。
1.连接仪器：首先，将氦质谱检漏仪的各个部分按照说明书连接好，确保仪器正常工作。
2.准备工作：确保被检测物体周围环境处于一定的真空状态，注入氦气之前，将其它气体从被检测物体周围排除出去。
3.注入氦气：将氦气注入被检测物体周围环境中，确保氦气在泄漏点出漏时能进入到被检测物体内部。
4.开始检测：通过操作仪器，将泵启动，将周围环境中的氦气抽入质谱仪中进行分析。
5.分析结果：根据质谱仪输出的数据和显示的曲线，来确定氦气泄漏的位置和程度。
6.维护和记录：检测完成后，对仪器进行维护和清洁，同时将检测过程和结果进行记录。
三、氦质谱检漏仪的应用1.工业领域：氦质谱检漏仪可以用于汽车、空调、制冷设备、容器、管道等工业设备的泄漏检测。
它可以检测到微小的泄漏，避免了潜在的安全隐患。
2.实验室应用：氦质谱检漏仪可以用于实验室的真空系统、气体贮存、气体分析等设备的泄漏检测。
它可以保证实验室设备和实验工作的准确性和安全性。
3.能源设备：氦质谱检漏仪可用于能源设备的泄漏检测，如太阳能光伏系统、风力发电机、核电站等。
它可以提高设备的使用寿命和能源利用效率。
综上所述，氦质谱检漏仪是一种非常有效的气体泄漏检测仪器，具有高灵敏度和准确性。
它的工作原理简单明了，使用方法也相对简单。
在工业和实验室中的广泛应用，保证了设备的安全和工作的正常进行。
氦质谱检漏仪的检漏方法
所以，吸氧量（流量）
自然就大不相同了
在每一个 截面上， 气体的流 量都是相
同的
Pa F=Pa x Sa
Pb F=Pb x Sb
F=Pc x Sc Pc
流量的定义 流量
c0 1
21
漏率的计算
虽然确切的计算泄漏量很难，但 是可以用以下公式进行初步的估 算（层流，20摄氏度空气）：
Qpv = 135 x d4/L x(Po2-Pi2)/2
漏率的定义和单位
真空系统中漏气/虚漏与抽气之间的平衡
真空系统中漏气流量的平衡表示式如下:
P =(Qo +∑Qi)/S +Po
P-----系统达到的压力 Po—真空泵的极限压力 S-----真空系统的有效抽速 Qo---由系统外部流向系统内部的总漏率 ∑Qi—虚漏所形成的总漏率(如材料表面出气等)
看! 一个气泡!
其中，d-漏点的直径，L-漏点的长度，Po-高压端压 力，Pi-低压端压力
漏率的定义和单位
针对于一个体积(V)不变的容器,单位 时间(Δt)内压力的变化量(ΔP)与该容 器体积(V)的乘积就是泄漏量：
Q leak = V x ΔP / Δt
因此，泄漏量的单位通常用mbar l/s（也可用 Pa m3/s , atm cc/s 或 Torr l/s）
/s ? mbar.l/s ?
Pa.m3/s ? Torr.l/s ?
10-9 mbar.l/s = 10-9 /s = 10-8 Pa.m3/s = 7,5.10-8 torr.l/s
不同应用对漏率的要求
电子行业
薄膜技术 集成电路
研究所
粒子加速器 核聚变
医药行业
起搏器
常见的四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测标准
常见的四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测标准氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。
当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。
在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对氦泄漏量。
根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同，可以将氦质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法，下面分别总结了这四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。
真空法氦质谱检漏采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。
按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。
其中真空喷吹法采用喷枪的方式向被检产品外表面喷吹氦气，可以实现漏孔的精确定位; 真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的氦气，可以实现被检产品总漏率的测量。
真空法的优点是检测灵敏度高，可以精确定位，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。
真空法的缺点是只能实现一个大气压差的漏率检测，不能准确反映带压被检产品的真实泄漏状态。
真空法的检测标准主要有QJ3123-2000《氦质谱真空检漏方法》、GB /T15823-2009《氦泄漏检验》，主要应用于真空密封性能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。
正压法氦质谱检漏采用正压法检漏时，需对被检产品内部密封室充入高于一个大气压力的氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通孔漏孔进入被检外表面的周围大气环境中，再采用吸枪的方式检测被检产品周围大气环境中的氦气浓度增量，从而实现被检产品泄漏测量。
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本文部分内容来自网络整理，本司不为其真实性负责，如有异议或侵权请及时联系，本司将立即删除！== 本文为word格式，下载后可方便编辑和修改！ ==氦检漏作业指导书篇一：氦气检漏作业指导书B版本篇二：氦检漏步骤氦检漏步骤1、抽真空至5Pa以下就可以开始检测。
2、插上检漏仪电源，关闭上部手动挡板阀，开启检漏仪总电源，此时，“放气”灯亮起，等待系统运行3、当“系统正常”及旁边的两个灯都显示为绿色时，观察预置参数，应为10-15，一般取15，观察数值，应为10的-8至-9次方时，可以开始检漏（等待几分钟）4、按“检漏”键，缓慢开启顶部手动挡板阀，注意：检漏口的压强不得超过10MPa,否则机器易损坏，5、数值稳定后，先记录下来，这就是“本底”6、逐个将氦气充入焊缝，并封堵插入口，将数值变动记录下来。
全部完成充氦后再观察20分钟，看数值有无大的变动。
7、关机时，应先关闭上部手动挡板阀，然后开启放气键，最后关电源。
篇三：氦质谱检漏仪使用说明 (1)氦质谱检漏仪使用说明一、检漏仪及其真空系统的组成VARIAN959-50检漏仪检漏漏率范围从1X10-3（毫升/秒）到2X10-10（毫升/秒）（相当于30年漏1毫升），它主要由质谱管、高真空泵、热偶规管、一系列按钮控制的阀、测试接口、真空和漏率指示，以及电路板等部分组成，其真空系统结构为（分子泵型），如图1：图1 检漏仪真空系统结构图（分子泵型）检漏仪开启后，V1、V2、V6阀打开，测试口与质谱管保持真空连接。
如果按下“VENT”键，放气阀V3打开，V1关闭，测试口处于大气状态，同时V2打开，使分子泵、质谱管和机械泵连通。
分子泵运行时，质谱管真空度要达到2X10-4TORR以上，才能给离子源灯丝加热。
二、检漏仪工作原理图2 检漏仪工作原理图如果被检系统有微小漏孔，在小孔周围喷氦气时，总有部分氦原子会通过漏孔进入检漏仪接口，通过其真空系统扩散到质谱管。
质谱管是检漏仪核心组成部分，参见上图2，在电场和磁场作用下，灯丝发射电子使气体电离，电离后带正电的离子通过聚焦和孔集中后，进入分析磁场（磁场强度为2340高斯），由于受洛仑磁力作用，离子会发生偏转，其它外界条件相同的情况下，偏转半径由带电粒子电量与质量之比即荷质比决定，荷质比小的离子偏转半径小，荷质比大的粒子偏转半径大，只有氦离子才能通过抑制小孔到达收集极，信号经放大后，检漏仪报警。
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漏率的定义和单位
真空系统中漏气/虚漏与抽气之间的平衡 真空系统中漏气流量的平衡表示式如下: P =(Qo +∑Qi)/S +Po
P-----系统达到的压力 Po—真空泵的极限压力 S-----真空系统的有效抽速 Qo---由系统外部流向系统内部的总漏率 ∑Qi—虚漏所形成的总漏率(如材料表面出气等)
灯泡 断路器
汽车行业 航天 医药行业
起搏器 泵 回旋装置 气囊 减震器 过滤器 压缩机
工业应用
制冷
冰箱 空调
钟表行业
研究所
粒子加速器 核聚变
航空
Airplane tanks
飞机制造业
导弹
食品包装 10-7 10-6 10-5 10-4 10-3
10-12
10-11
10-10
10-9
10-8
检漏的目的
被测 件
ASM 142
逐步区域检漏：吸枪式检漏
对被测件内部进行充氦 用吸枪在被测件表面缓慢移动，采样逃逸的氦气 主要的优点 可以很好的检到漏点位置， 且易于操作 不需要将被测件抽真空
He
被测 件
He
总漏率检测：真空法检漏
将被测件充氦，然后放置于 一个与检漏仪相连的真空腔内 主要的优点 非常高的灵敏度 可以连接辅助泵，从而提高 生产量
压降法检漏
压缩空气或 抽真空
被测 件
将被测件加正压或抽真空到一定的压力，然后关闭 阀门，通过真空计观察单位时间内的压力变化
打正压的 压降法可 以检测到 1mbar l/s以 上的漏率
而采用抽真空的压降法可以作为对漏率大小的评估，但是，该 方法评估的不仅是泄漏，也包括释气。而且，如果漏率较小时 （< 10-4mbar l/s），在粗真空下观察压降会消耗很长时间，但 在中真空下观察又会受释气的影响！
Test part vacuum inside
Air
气泡法检漏
被测 件
水泡法，最多可 测到10-4mbar.l/s; 检漏完毕需要干 燥;且被测件很大 的话就更困难！
将打压后的被测件浸在水槽里，气泡 可以反映漏率的大小
也可以采取肥皂泡法，通常在5分钟内出现1mm半 径的肥皂泡，其漏率约为10-5mbar l/s
He
被测件
He
ASM 142
总漏率检测：吸枪式累积检漏
将被测件充氦，然后放置 于一个与吸枪探头相连的累积 腔内
He
主要的优点 总漏率检测，可靠 相对而言成本较低
被测 件
He
ASM 142
总漏率检测：背压式检漏
第一步 : 将被测件放置于一个充氦 的腔内 第二步 : 将被测件放于通风处（去 除表面累积的氦，以防影响之后的检 测精度 第三步 : 将被测件放置于一个与吸 枪探头相连的腔内 主要的优点 总漏率检测 相对而言，成本较低
因此，检漏的目的在于
将泄漏降低到一个可以接受的，不 影响系统正常运行的程度！
检漏的方法
不同的检漏方法
被测件内部压力 > 1000 mbar 被测件内部压力 < 1000 mbar
检漏的方式
对被测件内部打压
FLOW
正压 :
真空 :
对被测件抽真空
Air/test gas
FLOW
Test part pressurized with test gas
时间
He
F2
检漏仪
t t:秒 V : 升 （被测件体积） SHe : 检漏仪的氦抽速 F1 : 初始氦显示 F2 : 最终氦显示 (背景)
当不再有氦气进入被测件，氦信 号也并不是立即就会消失的
缩短响应时间的方法
通常，缩短响应时间的方法就是增大 抽速:
被测件
1/ 增加一台辅助泵 2/ 选择更大氦抽速的检漏仪 增加辅助泵会造成氦气的分流
*
氦检漏仪的灵敏度
低灵敏度
一个容积为 1 升的自行车轮胎如果在24小时内气就漏光的话 漏率为 3,5.10-2 mbar.l/s = 每秒有3 个 半径 2 mm 的气泡
*
氦检漏仪的灵敏度 高灵敏度
一个含 30 g 气体的打火机, 全部的气体漏光则需要 5 百万年, 漏率为 1.10-11 mbar.l/s
He
t (90%) = 2.3 V/(SHLD+Saux) 检漏仪 辅助泵 QHLD = Qleak x SHLD/(SHLD+Saux) 其中，SHLD-检漏仪抽速，S aux-辅助泵抽速， QHLD-检漏仪显示漏率，Q leak-实际漏率
氦质谱检漏仪的内部构造
氦质谱检漏仪的工作原理
氦质谱检漏仪的核心部件: 是一个检测氦气分压力的真空计 : 该真空计也称为质谱仪或分析仪. P He : 真空计测得的氦气 分压力
•
流量 = 泵的抽速 x 压力
流量 =
体积 x压力 时间
流量的定义
•
所以，在10bar下一升气体与在1bar下10升气体所含的气体 分子数是相同的
1升
=
10 升
AIR
10 bar 1 bar
流量的定义
当我们在海平面高度下跑步 : 丝毫没有任何问题
我们的肺就象一台泵 : S = 4 l/s 泵的抽速是 4 l/s
1
He
2
3
不同检漏法的灵敏度比较
He
He
He
ASM 142
被测 件 被测 件
ASM 142
He
与吸枪法相比，喷枪式或真空法检漏的灵敏度更 高，因为在大气中还含有5ppm的氦气
氦检漏仪灵敏度的概念
氦检漏仪灵敏度在我国用最小可检漏率来表示: 最小可检漏率的定义是指在满足如下条件下----(1)仪器处于最佳工作条件下 (指:被检件出气很小;无较大漏孔;仪器参数调至最佳状态) (2)以1atm的纯氦作为示漏气体 (3)动态检漏时所能检出的最小漏孔的漏率 (指:检漏时不用累积法;仪器本身的真空系统仍在抽气;仪 器反应时间小于1秒).
被测件
He
检漏仪 辅助泵
氦质谱检漏仪的检漏方法 检漏时常遇到的问题
被测件
检漏仪
高真空泵 罗茨泵
究竟应该把检漏仪安装 在哪个位置？？？
He
前级泵
漏率的计算，定义和单位
流量的定义
› ›
流量体现的是在单位时间下 流体分子数的多少 对于液体而言：
•
流量 = 液体泵的抽速
流量 =
体积 时间
›
而对于气体而言：
« small » lea
« Industrial » le
ks
10-7
aks
10-3
« big » leaks
气泡法检漏 压降法检漏
氦质谱检漏仪检漏
逐步区域检漏：喷氦式检漏
将被测件抽真空 用喷枪对被测件表面喷氦 检测进入被测件的氦流量
He
He
主要的优点 非常高的灵敏度 比较便宜
漏率的定义和单位
看! 一个气泡!
例如: 假设对于一个体积 为10升的容器，压力在80 秒内的变化为2mbar，那 么漏率
Q = 2 mbar x 1 liters = 0.25 mbar . l/s. 80 seconds
漏率的定义和单位
mbar. liter/second
›
漏率其实反映的是在一定时间内从泄漏的气体分子的数量.
例如: 假设漏率为 1mbar.l/sec (20°C的空气) 每秒将会有2.5*1019 个空气分子逃逸 !!!
时间
压力 = 1000 mbar 压力 = 1 mbar
25.000.000.000.000.000.000 个空气分子/秒
*
漏率的定义和单位
漏率的不同单位
漏率反映的是气体的流量, 例如 在某一个特定压力下(Pa, atm, mbar, torr)的体积流量(m3/s, cc/s, l/s)
0 1
F=Pc x Sc
21
漏率的计算
虽然确切的计算泄漏量很难，但 是可以用以下公式进行初步的估 算（层流，20摄氏度空气）：
Qpv = 135 x d4/L x(Po2-Pi2)/2
其中，d-漏点的直径，L-漏点的长度，Po-高压端压 力，Pi-低压端压力
漏率的定义和单位
针对于一个体积(V)不变的容器,单位 时间(Δt)内压力的变化量(ΔP)与该容 器体积(V)的乘积就是泄漏量： Q leak = V x ΔP / Δt 因此，泄漏量的单位通常用mbar l/s（也可用 Pa m3/s , atm cc/s 或 Torr l/s）
起搏器 导管 输血管 药物包装
安全气袋 罐和管道 空调 减震器 前灯 散热器 车轮 传感器
食品包装行业
其它容器
飞机制造行业 航天
发动机 天线 腔
液压元件 回旋装置 机翼 导弹
核技术
元器件
钟表行业 物理研究所
粒子加速器
通常在检漏时容易遇到的问题
氦质谱检漏仪的检漏方法 检漏仪中的高真空泵
检漏仪进气口 泄露造成的氦气流量
虽然泵的抽速并没有发生变化 : 4l/s, 但是在山上的压力要比海平面的压力 要低很多 但是当我们在海拔很高的山上跑步时 : 我们就觉得呼吸不过来了 所以，吸氧量（流量） 自然就大不相同了
流量的定义 流量
Pa F=Pa x Sa
在每一个 截面上， 气体的流 量都是相 同的
Pb F=Pb x Sb Pc c
当氦气进入被测件后，检漏仪并 不是立即就能够捕捉到信号的！
t = V/SHe t = 3V/SHe
63%的氦信号
V t = 2.3 SHe
t:秒 V : 被测件（包括管道 ）的体积 SHe : 检漏仪的氦抽速ຫໍສະໝຸດ 95%的氦信号90%的氦信号