传感器技术电容式传感器中英对照

(4-6)
和
ห้องสมุดไป่ตู้
S
C
/
0
C0
/0
0 r
A
/
2 0
(4-7)
如果考虑式(4-5)中的线性项(linear term)及二次项 (quadratic term)，则
C
/
C0
0 0
1
0 0
(4-8)
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4.1 工作原理、结构及特性
式(4-6)的特性如图4.3中的直线1，而式(4-8)的特性如 曲线2。因此，以式4-6作为传感器的特性使用时，其相 对非线性误差(error of nonlinearity) ef为
第4章 电容式传感器
Capacitance Type Sensors
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第4章 电容式传感器
4.1 工作原理、结构和特性
Principle, structure and characteristics
41.2 应用中存在的问题及其改进措施
Existing problems and improvements
一种很有发展前途的传感器。
4.1 工作原理、结构及特性
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第一节 工作原理、结构和特性
➢ 由绝缘介质(insulation medium)分开的两个平行金属板组成的 平板电容器(plate capacitor)，当忽略边缘效应(edge effect)影 响时，其电容量(capacitance)与真空介电常数(permittivity of vacuum)ε0 (8.854×10－12F/m)、极板间介质的相对介电常 数(relative permittivity)εr、极板的有效面积A以及两极板间的
如果满足条件(Δδ0/δ0)<<1，式(4-4)可按级数展开(series expansion)成
C
/
C0
0 0
1
0 0
0 0
2
0 0
3
(4-5)
4.1 工作原理、结构及特性
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略去高次(非线性)项，可得近似的线性关系和灵敏度S
分别为
C
/ C0
0 0
距离δ有关：C=ε0εrA/δ (4-1)
➢ 若被测量的变化使式中δ、A、εr三个参量中任意一个发生变 化时，都会引起电容量的变化，再通过测量电路就可转换为 电量输出。因此，电容式传感器可分为变极距型(variable electrode distance)、变面积型(variable area)和变介质型 (variable medium)三种类型 。
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4.1 工作原理、结构及特性
2
ef
0 0
/ 0 100% 0 100%
0
0
(4-9)
由上讨论可知：
(1)变极距型电容传感器只有在|Δδ0/δ0| 很小(小测量范围) 时，才有近似的线性输出；
(2)灵敏度S与初始极距δ0的平方成反比，故可用减少δ0的办 法来提高灵敏度。例如在电容式压力传感器中，常取δ0＝ 0.1～0.2mm，C0在20～100pF之间。由于变极距型的分辨力 极高，可测小至0.01μm的线位移，故在微位移(micro displacement)检测中应用最广。
4.1 工作原理、结构及特性
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C
0 A
1 2 / r 2
(4-10)
图4.5所示为差动结构(differential structure)，动极板置于两定 极板(fixed electrode plate)之间。初始位置(initial position)时， δ1＝δ2＝δ0，两边初始电容(initial capacitance)相等。当动 极板(movable plate)向上有位移Δδ时，两边极距为δ1＝δ0Δδ，δ2 ＝δ0+Δδ； 两组电容一增一减。同差动式自感传 感器的同样分析方法，由式(4-4)和式(4-5)可得电容总的相对
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4.1 工作原理、结构及特性
由式(4-9)可见, δ0的减小会导致非线性误差增大；δ0过小 还可能引起电容器击穿(break down)或短路(short circuit)。 为此，极板间可采用高介电常数(permittivity)的材料(云母 (Mica)、塑料膜(plastic film)等)作介质，如图4.4所示。设 两种介质的相对介电质常数为εr1 (空气：εr1＝1)、εr2， 相应的介质厚度为δ1、δ2，则有
4.1 工作原理、结构及特性
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4.1.1 变极距型电容传感器
图4-1为这种传感器的原理图。当传感器的εr和A为常数，初 始极距为δ0 ，由式(4-1)可知其初始电容量C0为
C0 0r A / 0 (4-2)
图4.1 变极距型电容传感器原理图
4.1 工作原理、结构及特性
变化量为
C
/ C0
C1 C2 C0
2
0
1
0
2
0
4
(4-11)
4.1 工作原理、结构及特性
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略去高次项(higher order terms)，可得近似的线性关系
4.3 测量电路
Measurement circuits
4.4 电容式传感器及其应用
Capacitance sensors and applications
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第4章 电容式传感器
➢ 电容式传感器(capacitance type sensors)是将 被测非电量的变化转换为电容量变化的一种传 感器。结构简单、分辨力高(high resolution)、 可非接触测量(contactless measurement)，并 能在高温、辐射(radiation)和强烈振动(strong vibration)等恶劣条件下工作，这是它的独特优 点。随着集成电路(IC-Integrated Circuit)技术 和计算机技术的发展，促使它扬长避短，成为
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当动极端板因被测量变化而向上移动使δ0减小Δδ0时，电容量 增大ΔC则有
C0 C 0r A/ 0 0 C0 / 1 0 /0 (4-3)
可见，传感器输出特性C＝f(δ)是非线性的，如图4-2所示。电
容相对变化量为
1
C / C0
0 0
1
0 0
(4-4)