真空系统检漏
真空系统查漏操作及措施
真空系统灌水查漏措施目的：为了更好地实施真空泵及其系统的现场试运，保证真空系统参数正常，达到《火电工程调整试运质量检验及评定标准》所规定的要求，为整套启动顺利进行打下较好基础。
应具备的条件1.真空系统的所有设备均已安装结束，并经验收签证；2.系统内的手动、气控阀门动作试验结束，活动灵活，无卡涩，各限位开关位置正确，指示无误；真空泵的水管及冷却水系统已冲洗合格；3.有关热工、电气回路的调试工作均已结束4.所有仪表安装齐全，并经检验合格；5.设备周围的杂物已清净，沟道加盖板,照明充足；6.阀门用的压缩空气可投入使用；7.灌水时，轴加风机入口门关闭且凝泵不启，将与真空系统有关的门打开，包括疏水至扩容器的疏水门；8.各抽气、高排管道、低压旁路管道等加装临时支吊架，以防进水后超重引起管道变形；9.小机排汽安全膜更换为临时铝板或去除其“刀架”以防进水后引起安全膜破裂；10.小机排汽管加装临时支架，待灌水结束后拆除；11.凝结器水侧放空，将人孔打开（视钢管检漏情况是否执行）；12.凝结器汽侧加装临时水位计至12米。
灌水原则：低于12米的系统及容器均参与真空系统灌水查漏。
加热器汽侧灌水用经常疏水门倒入，各抽汽管的灌水通过各抽汽管道疏水门倒入。
所有疏水一、二次门保持开启。
所有系统及容器充满水后，将凝结器汽侧水位补至低压缸汽封凹窝处后，保持此水位静置24小时进行观察，记录水位下降趋势及系统渗漏点。
应加入的系统：1.#5低加进汽部管道及其疏水管（门）；五抽管道及其疏水管（门）；2.#6低加汽侧及其疏水管（门）；六抽管道及其疏水管（门）；3.#7、8低加汽侧及其疏水管（门）；七、八抽管道及其疏水管（门）；4.轴加汽侧及其疏水管（门）；汽封回汽管、门杆回汽管，管道及其疏水管（门）；5.汽封进汽管及其疏水管（门）；6.轴加水封筒管系；7.#1、2汽泵密封水回水水封筒管系；8.#5、6、7、8加热器危急疏水管道及疏水门；9.#6、7、8加热器运行排空气门；10.#3高加汽侧及其疏水管（门）；三抽管道及其疏水管（门）；11.四抽管道及其疏水管（门）；12.一抽管道及其疏水管（门）；13.高排逆止门管道及其疏水管（门）；14.小机各疏水管及（门）；15.除氧器放水管道；16.杂项疏水至疏扩各疏水一次门及旁路门后管系；17.#1、2小机排汽蝶阀门前疏水管及门；18.真空泵入口管道（至真空泵入口气控蝶阀处）关闭真空破坏门，开启凝结器东西侧抽空气门；19.汽轮机本体疏水管道及疏水一次门后；20.疏扩减温水、低旁减温水、三级减温水、低负荷喷水等一次门及旁路门后管道及阀门；21.凝泵抽空气管及入口管。
真空泄漏检测方法
真空泄漏检测方法真空泄漏检测方法引言真空技术在许多应用领域扮演着重要角色，如航天、电子设备制造和化学工程等。
确保真空系统的安全和可靠运行对于这些领域至关重要。
而真空泄漏则是真空系统中常见的问题，因此采用适当的检测方法非常关键。
方法一：气泡检漏法气泡检漏法是一种常用的真空泄漏检测方法，主要用于大型真空系统或外部表面不易检测的装置。
具体步骤如下：1.将试件浸入具有良好润湿性的水槽中。
2.在试件表面均匀涂抹一层薄薄的肥皂水或其他可形成气泡的液体。
3.通过真空泵抽取系统中的气体，观察涂层表面是否冒泡。
4.如果在某些部位冒泡，说明该部位存在泄漏。
气泡检漏法的优点是操作简单，不需要专门的设备，但其缺点是不适用于高真空系统。
方法二：氦质谱检漏法氦质谱检漏法是一种高灵敏度的真空泄漏检测方法，适用于高真空和超高真空系统。
具体步骤如下：1.将氦气注入待检测系统。
2.使用气质谱仪检测系统中是否存在氦气泄漏。
3.如果氦气在某些部位检测到，则该部位存在泄漏。
氦质谱检漏法的优点是能够检测极小的泄漏量，缺点是设备价格较高，操作技术要求较高。
方法三：静态漏率检漏法静态漏率检漏法是一种常用的真空泄漏检测方法，适用于大型真空系统。
具体步骤如下：1.关闭真空系统的所有阀门，记录系统的初始压力。
2.在一定时间内观察系统的压力变化，计算泄漏速率。
3.如果泄漏速率超过设定的阈值，则说明系统存在泄漏。
静态漏率检漏法的优点是能够定量评估泄漏问题，缺点是需要较长的检测时间。
方法四：红外检漏法红外检漏法是一种适用于可见光透明材料的真空泄漏检测方法，如玻璃或有机材料。
具体步骤如下：1.使用红外摄像机或红外热像仪对待检测系统进行拍摄。
2.通过红外辐射检测系统中是否存在泄漏点。
3.如果出现辐射异常的区域，则可能存在泄漏。
红外检漏法的优点是无需接触待检测系统，可实时监测泄漏情况，缺点是需要专门的设备。
结论根据需求和实际情况，可以选择适合的真空泄漏检测方法。
真空系统氦质谱检漏施工工法(2)
真空系统氦质谱检漏施工工法真空系统氦质谱检漏施工工法一、前言真空系统在各行业应用广泛，但系统内部的泄漏问题往往会严重影响系统的正常运行。
为了准确地检测并修复真空系统中的泄漏问题，出现了真空系统氦质谱检漏施工工法。
该工法通过使用氦质谱仪结合真空泵等设备来进行泄漏点的定位和修复，实现了对真空系统泄漏问题的有效解决。
二、工法特点真空系统氦质谱检漏施工工法具有以下几个特点：1. 精确性高：通过氦质谱仪的高灵敏度，能够快速、精确地定位真空系统中的泄漏点；2. 检测范围广：适用于各种真空系统，包括航天、航空、电子、光学等领域的系统；3. 施工周期短：相比传统的泄漏检测方法，真空系统氦质谱检漏施工工法无需拆卸系统部件，减少了维修时间和操作工序；4. 施工成本低：工法所需的设备和材料较少，成本相对较低；5. 工艺可靠：经过实践验证，该工法可以有效解决真空系统中的泄漏问题，提高系统的稳定性。
三、适应范围真空系统氦质谱检漏施工工法适用于以下范围的真空系统：1. 航空航天领域：如航天器、航空发动机等系统；2. 电子领域：如半导体制造设备、电子显微镜等系统；3. 光学领域：如激光器系统、光学仪器等系统；4. 化工领域：如真空蒸馏、真空干燥等化工设备。
四、工艺原理真空系统氦质谱检漏施工工法基于以下工艺原理：1. 氦气的小分子：氦气是一种极小分子，容易渗透进泄漏点，同时也很容易检测到；2. 质谱仪的灵敏度：质谱仪具有高灵敏度，可以检测到非常微小的氦气浓度，从而实现泄漏点的定位；3. 真空泵的抽取：通过真空泵的抽取作用，可以提高系统内氦气浓度，并加速泄漏点的检测和定位。
五、施工工艺真空系统氦质谱检漏施工工法的施工工艺主要包括以下几个阶段：1. 准备工作：包括确认施工现场、准备所需机具设备、校准和检测仪器等；2. 连接设备：安装并连接氦质谱仪、真空泵等设备到真空系统中；3. 抽真空：启动真空泵，抽取真空系统内的气体，达到工艺要求的真空度；4. 检测泄漏：向系统内注入氦气，通过质谱仪检测泄漏点并记录；5. 定位修复：根据质谱仪检测结果，准确定位泄漏点，并进行修复处理；6. 再次检测：修复后再次进行氦质谱检测，确保泄漏问题得到彻底解决；7. 完工验收：确认系统已经无泄漏问题，进行完工验收并撤除施工设备。
真空检漏方法
真空检漏方法真空检漏方法是指在低压环境下，通过检查气体泄漏的方式来确定系统的完整性和可靠性。
在各种工业和实验室应用中，真空检漏是非常常见的，以确保制造过程、实验设备或机械系统的性能和稳定性。
本文将详细介绍10种真空检漏方法及其优缺点，以帮助读者更好地了解这方面的知识。
1. 毛细管测量法毛细管测量法是一种基于液体的检漏方法，其原理是通过液体的自吸作用，在低压条件下观察气体泄漏。
此方法根据毛细管长度和内径的关系，可以确定检测范围和检测灵敏度。
该方法需要人工监控，并且无法检测气体泄漏。
2. 红外检测法红外检测法是一种利用红外辐射来检测气体泄漏的方法。
此方法适用于检测有机化学物质的泄漏，如氨、甲烷、丙烷等。
不适用于空气、氮气等无机气体的检测。
3. 热模反应法热模反应法是一种利用气体反应产生的热量来检测气体泄漏的方法。
该方法可以检测气体泄漏，但不适用于检测液体泄漏或固体泄漏。
4. 电离检测法电离检测法是一种通过检测气体电离程度来检测有机和无机气体泄漏的方法。
该方法可以检测非常小的气体泄漏，但不适用于在低压环境中进行检测。
5. 质谱检测法质谱检测法是一种利用离子化技术来检测气体稳定同位素的方法。
此方法非常适用于检测裂解气体。
6. 超声波检测法超声波检测法是一种利用超声波传递来检测密封件泄漏的方法。
此方法适用于密封不良的工业及实验室装置。
7. 气泡法气泡法是一种利用液体变色或产生气泡来检测气体泄漏的方法。
该方法适用于低压系统泄漏的检测，但需要密封很好的试验装置。
8. 空气泄漏检测法空气泄漏检测法是一种利用带氦气的空气进行检测的方法。
该方法适用于检测低压和高压系统的泄漏，但需要设备完好，要求技术人员熟练。
9. 低压检测法低压检测法是一种利用负压来检测气体泄漏的方法。
该方法适用于检测低压系统的泄漏。
该方法需要大量的设备和人力。
10. 总量检测法总量检测法是一种利用气体浓度变化来检测气体泄漏的方法。
此方法适用于气体排放监测。
机组真空系统查漏措施
#5机组真空系统查漏措施#5汽轮机真空严密性修前约700Pa/min左右，此项指标严重影响机组的经济性，为降低机组真空值，使其达到华能集团优秀两型企业200Pa/min的目标，特制订如下查漏措施，望相关单位认真执行。
1、将凝结器喉部膨胀节护板割除，全面检查膨胀节有无裂纹渗漏情况。
2、对轴封系统管路进行检查，重点检查低压轴封供、回汽膨胀节。
对低压前后轴封进汽腔室进行灌水检漏。
3、结合热力系统优化改造项目对负压系统部分无用的疏放水阀门及管道进行割除并封堵严密。
4、对#5低加汽侧安全阀疏水管路引接至地沟，避免影响真空严密性。
5、对下列负压系统影响真空的疑点阀门进行解体检查，确保修后严密不漏。
⑴、辅汽联箱疏水至地沟门⑵、辅汽至轴封供汽调门后疏水至地沟门⑶、主蒸汽至轴封供汽管道疏水至地沟门⑷、凝结器真空破坏门⑸、凝结器汽测放水门6、对低压缸两侧检修平台拆除，全面检查各压力、温度表管封堵是否严密。
7、对轴加水封带地下管道处打地面后进行认真检查。
8、对低压前后轴封供回汽管路穿越凝结器处的焊缝进行探伤检查。
9、核实轴封洼窝疏水管路接口位置，分析是否存在漏空气影响真空可能。
对凝结器汽侧进行注水检漏工作，注水至低压轴封洼窝高限，全面检查下列负压系统管道、阀门、法兰、焊缝、等部位是否渗漏。
（为便于检查已将部分管路保温拆除）⑴、#6、7、8低加汽侧及与#6、7、8低加汽侧相连的各附属设备和管道（#7、8低加汽侧放水管道、低加汽侧运行排气至凝汽器管路等）⑵、小机排汽管道各热工测点、膨胀节、人孔门、大气膜无漏点。
⑶、本体疏水扩容器、危急疏水扩容器人孔门、膨胀节、焊缝无漏点。
⑷、5%旁路疏水扩容器焊缝及人孔门无漏点，5%旁路疏水管道的疏水门关闭严密。
⑸、凝结水泵入口管路及附件10、汽轮机本体检修工作全部结束后，启动真空泵干拉真空，利用氦质谱检漏仪及鸡毛毯子等工具对附件中负压系统漏点排查部位进行全面检查（见附件）。
真空室检漏的原理和方法
真空室检漏的原理和方法
真空室检漏的原理是通过检测真空室内的气体流量或压力变化，来确定是否存在漏气现象。
如果真空室存在漏气，那么气体将从漏气处流入真空室，导致真空室内压力升高或降低，或者导致气体流量异常。
真空室检漏的方法有以下几种：
1. 压差法：将真空室密封后，测量其初始压力和经过一段时间后的压力，如果压力差超过了一定范围，则说明存在漏气。
2. 气泡法：在真空室内充入一定量的水或其他液体，然后密封真空室并抽真空，观察液体中是否出现气泡，如果有气泡出现则说明存在漏气。
3. 灵敏度法：利用高灵敏度的气体检测器检测真空室内的气体浓度，如果气体浓度超过了一定范围，则说明存在漏气。
4. 声波法：利用声波检测器检测真空室周围是否存在异常的声波信号，如果存在异常信号则说明存在漏气。
以上是真空室检漏的原理和几种常见方法，不同的方法适用于不同的应用场景和检测对象，需要根据实际情况选择适合的检漏方法。
真空检漏方案
真空检漏方案下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。
文档下载后可定制随意修改，请根据实际需要进行相应的调整和使用，谢谢!Download Tip: This document has been carefully written by the editor. I hope that after you download, they can help you solve practical problems. After downloading, the document can be customized and modified. Please adjust and use it according to actual needs. Thank you!真空检漏方案简述：①系统预处理：确保被检系统清洁无杂质，关闭所有阀门，断开非检测部分，为检漏创造良好条件。
②抽真空：连接真空泵，对系统进行抽真空处理，直至达到预定真空度，通常远低于工作真空范围，以暴露微小漏点。
③保压监测：停止抽真空，保持系统真空状态，观察真空表或使用真空计持续监测真空度变化，记录时间-真空度曲线。
④氦质谱检测（如有条件）：注入少量氦气或使用氦气喷枪扫描可疑区域，利用氦质谱检漏仪检测氦气浓度，精准定位漏点。
⑤压力变化分析：根据真空保持时间内的压力下降速率，判断是否存在漏点及其大致泄漏率，快速泄漏需立即查找，缓慢泄漏可延长监测时间。
⑥漏点标识与记录：发现漏点后，使用标记笔或标签进行标注，记录漏点位置、漏率大小，为后续维修提供依据。
⑦重复检测：对已修复的部位重新进行抽真空及检漏，直至确认无漏点存在。
⑧恢复系统：完成全部检漏并确认合格后，缓慢向系统充入工作介质，恢复至正常工作状态，检查有无异常。
⑨总结报告：整理检漏过程数据，编写检漏报告，总结漏点原因及修复措施，提出预防建议。
真空检漏箱的工作原理
真空检漏箱的工作原理
真空检漏箱是一种用于检测密封件（如管道、容器、仪器等）是否存在泄漏的仪器。
其工作原理如下：
1. 真空系统：真空检漏箱内部通过泵将空气逐渐抽出，将箱内建立起一定的真空度，通常可达到10^-2至10^-3 Pa。
2. 漏气检测：在箱体内设置了一个漏气检测系统，通常是通过气体质谱仪、电离检漏仪等设备来检测箱内的气体成分。
3. 密封测试：待测密封件放置在检漏箱内，箱体内部的真空度会将泄漏点的气体逐渐吸出，如果密封件有泄漏，泄漏的气体会通过漏气检测系统被检测出来。
4. 检测结果：漏气检测系统将检测到的气体成分转换成电信号传递给控制系统，控制系统会对信号进行分析，判断密封件是否存在泄漏，并将结果以可视化形式显示出来。
通过不断抽真空以及漏气检测系统的配合，真空检漏箱能够高效地检测出密封件的泄漏情况，确保产品的质量和安全性。
真空检漏概述
8放射性同位素检漏法——将少量的放射性材料放入被检件中并密封好，如有漏孔便会有射线泄露出来，从而在外面用特殊的射线探测仪指示出来。放射性同位素检漏法在背压检漏法中应用的相当成功。
9慢性气体的加速检漏法——将管子置于高压的氩气中，管内的压力上升率会比在空气中快得多，这便是慢性气体的加速检漏法的理论依据。
②真空检漏法——将被检漏真空容器和敏感元件，抽成真空状态，然后将示漏物质依次施加在可疑部位，若有漏孔，示漏物质将进入容器内，被敏感元件所发现。③背压检漏法——有三个步骤：充压，净化，检漏。
二：各种检漏方法
1静态升压法——把容器抽到一定的压力后，关闭阀门，隔离真空室和真空泵，测量容器内的压力变化。
一般常用的静态升压法有以下两种：①辅助真空罩法——可以排除放气的干扰；②压力平衡法——可以测量那些不能安装真空规管的被检件的漏率。
电气系统的核心是质谱室的供电和测量。辅助真空系统，它具有预抽被检件，保证检漏仪真空度，进行气体分流等功能。对于体积小，漏气小的系统可以不选用辅助真空系统，对于体积大，漏气大的系统需要选用辅助真空系统。
③氦质谱检漏仪的灵敏度：对于氦质谱检漏仪有三种灵敏度——漏率灵敏度，记作 ；分压比灵敏度，记作 ；检漏灵敏度，氦质谱检漏仪在实际检漏条件下所能达到的灵敏度，记作 。当氦质谱检漏仪安装在真空系统的不同位置时，所能达到的检漏灵敏度是不同的。
2气泡检漏法——在被检件中充入一定压力的示漏气体后放入水中，气体将通过漏孔进入水中，形成气泡，从而判断漏孔的有无及其位置和大小。属于压力检漏法。一般有以下两种：①水槽法——适用于小型器件；②皂膜法——适用于尺寸较大的器件。
3氨气检漏法——把被检件抽真空，在其外壁可疑位置上贴上显影带，然后在其内部充入高于大气压的氨气，当有漏孔时，氨气会漏出并进入显影带，使其变色。具体步骤为：清洁处理——贴显影带——充氨——排氨。
真空技术真空设备的检漏方法选择
真空技术真空设备的检漏方法选择真空技术是指在一个封闭的空间内，将压力降至低于大气压的状态下进行实验或加工制造的一种工艺。
在真空技术中，保持设备封闭和稳定的真空状态非常重要。
因此，选择合适的检漏方法是确保真空设备正常运行的关键。
常用的真空设备的检漏方法主要有以下几种：1.比较法：比较法是指将待检设备与已知正常的参考设备进行对比。
常用的比较法包括浸泡法和测漏仪法。
-浸泡法：将设备放置在相同密封条件下的液体中，观察是否有气泡产生。
当设备有漏气时，气泡会从设备表面冒出，可以通过观察气泡数量和冒出位置来检测漏点。
-测漏仪法：使用专业的测漏仪器进行检测。
常用的测漏仪包括氦气质谱仪和气泵测漏仪。
氦气质谱仪是目前最常用的检漏仪器，它使氦气充入设备中，然后使用质谱仪检测设备外部是否有泄漏的氦气。
2.物理法：物理法是指通过物理性质的变化来检测漏点。
常用的物理法包括泡沫法和红外法。
-泡沫法：在待检设备上覆盖一层泡沫液体，并观察是否有气泡生成。
当设备有漏气时，气泡会从设备表面冒出，可以通过观察气泡数量和冒出位置来检测漏点。
-红外法：使用红外检测仪来检测设备外部的热点。
当设备有漏气时，漏出的气体会导致周围温度变化，红外检测仪可以通过检测温度变化来确定漏点位置。
3.质谱法：质谱法是指使用质谱仪来检测漏点。
常用的质谱法包括速度导向调谐仪和质谱单元法。
-速度导向调谐仪：该方法使用氦气注入设备，并利用调谐器检测氦气流速，当气体泄漏时，氦气流速会发生变化，通过检测这种变化来确定漏点的位置。
-质谱单元法：该方法使用质谱仪来检测漏点。
质谱单元会检测气体中的杂质，当设备有漏气时，漏出的气体会导致杂质浓度变化，质谱单元可以通过检测杂质浓度的变化来确定漏点位置。
选择合适的检漏方法需要考虑以下几个因素：1.设备的要求：不同的真空设备对检漏方法的要求不同，需要根据设备的特点选择合适的方法。
例如，一些设备对泄漏的最小值有严格的要求，可以选择敏感度高的测漏仪器。
真空技术真空系统漏率测试
真空技术真空系统漏率测试1 范围本标准规定了利用氦质谱法和升压法对真空系统的漏率进行测试的测试原理、仪器与设备、测试条件、测试程序、漏率测试中断处理、测试记录与测试报告。
本标准适用于真空系统（以下简称被检件）的漏率测试。
2 测试原理2.1 氦质谱法真空系统漏率测试原理喷枪或氦罩中的示漏氦气通过漏孔进入被检件内，并被引入检漏仪，引起检漏仪输出指示的变化，将该变化值与安装在被检件上的标准漏孔在检漏仪上引起的输出指示变化值进行比较，确定真空系统被检件的漏率。
2.2 静态升压法真空系统漏率测试原理当被检件容积不变且已知时，在静态条件下，测量在一定时间内被检件容积中压力升高值，然后通过计算得到被检件的漏率。
3 仪器与设备3.1 检漏仪和检漏系统检漏仪的最小可检漏率，应满足被检件漏率测试要求。
检漏系统的有效最小可检漏率应不大于被检件允许漏率的1/10。
3.2 标准漏孔标准漏孔要求如下：a)应选用真空标准漏孔，其标定值应与被检件允许漏率接近；b)在校准或检定有效期内使用；c)根据漏率测试方法不同，选用不同类型的真空标准漏孔。
3.3 真空计真空计要求如下：a)真空计的量程应能满足被检件的压力测量范围；b)真空计应在检定或校准有效期内使用。
3.4 氦罩氦罩应选用对氦渗透系数小的材料制作。
3.5 累积阀累积阀要求如下：a)能快速开启和关闭；b)关闭后的内漏率不应大于1×10-10 Pa·m3/s。
3.6 测试阀对静态升压法中使用的测试阀的要求如下：a)能快速关闭；b)能耐高温烘烤，降低阀门的出气速率；c)关闭后的内漏率不应大于1×10-10 Pa·m3/s。
4 测试条件4.1 测试场地的环境要求测试场地的环境要求如下：a)环境温度：30℃～16℃；b)相对湿度：<80%；c)无强磁场干扰、无剧烈振动、无腐蚀性气体；d)环境通风良好。
4.2 氦气测试使用的氦气应满足GB/T 4844-2011中合格品的要求。
什么是真空检漏
真空系统漏气是绝对的，不漏气是相对的在真空检漏技术中所指的“漏”是和最大容许漏率的概念联系在一起的。
对于动பைடு நூலகம்真空系统，只要其平衡压力能够达到所要求的真空度，这时即使存在着漏孔，也可以认为该系统的漏率是容许的，该情况下系统的漏率称为最大容许漏率。动态真空系统的最大容许漏率qLmax应满足qLmax≤1/10PwS。
最小可检漏率是指某种检漏方法能够检测出的漏率的最小值。
最佳灵敏度是指检漏仪器或检漏方法在最佳条件下所能检测出的最小漏率。对于检漏仪器来讲，最佳灵敏度又称作仪器灵敏度。
检漏灵敏度是指在具体条件下，某种检漏方法所能检测出的最小漏率。检漏灵敏度又称作有效灵敏度。
反应时间，即从检漏方法开始实施(如开始喷吹示漏气体)到指示方法(如仪表)做出反应的时间。
什么是真空检漏
真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。
漏气也叫实漏，是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。
虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气体的流出等原因引起真空系统中气体压力升高的现象。气密性是表征真空系统器壁防止气体渗透的性能，它包括通过漏孔(或间隙)的漏气和材质的渗气。
消除时间，即从检漏方法停止(如停止喷吹且开始抽出示漏气体)到指示方法的指示消失的时间。漏率，即单位时间内流过漏孔(包括间隙)的气体量。
漏孔、漏率及其单位
真空技术中所指的漏孔，由于尺寸微小、形状复杂、形式多样(如图1所示)，无法用几何尺寸表示其大小。所以一般用等效流导或漏气速率(简称为漏率)表示漏孔的大小。
用漏率表示漏孔大小时，如果不加特殊说明，则是指在漏孔入口压力为1.01×105Pa，出口压力低于1.33×103Pa，温度为296士3K的标准条件下，单位时间内流过漏孔的露点温度低于248K的空气的气体量。漏率的单位是帕斯卡×立方米／秒，记为Pam3／s。为了方便，有时用帕斯卡×升／秒，记为PaL／s。
semi真空检漏标准
SEMI真空检漏标准
一、真空系统完整性
1.1 确保真空系统的所有部件和连接都完整无损，无明显磨损、老化或腐蚀现象。
1.2 真空系统的所有密封件应完好无损，无明显磨损、老化或腐蚀现象。
二、系统漏率测试
2.1 在进行系统漏率测试前，必须对真空系统进行充分的清洗和干燥。
2.2 使用合适的检测仪器对真空系统进行漏率测试，确保漏率符合SEMI标准。
三、设备运行稳定性
3.1 确保真空设备的电源、水源、气源等都正常稳定，无波动或中断现象。
3.2 真空设备的运行温度、压力、流量等参数应稳定，无异常波动。
四、检漏程序验证
4.1 应定期对检漏程序进行验证，确保其有效性。
4.2 在进行检漏程序验证时，应考虑到各种可能影响检漏结果的因素，如温度、湿度、压力等。
五、真空设备维护
5.1 应定期对真空设备进行维护保养，包括更换密封件、清洗设备内部等。
5.2 在进行维护保养时，应严格遵守设备制造商提供的操作手册和维修指南。
六、检漏员技能要求
6.1 检漏员必须经过专业培训，掌握真空检漏的基本理论和实践
技能。
6.2 检漏员应具备良好的分析判断能力和应变能力，能够根据实际情况做出正确的判断和处理。
七、安全操作规程
7.1 检漏员必须严格遵守安全操作规程，确保自身和设备的安全。
7.2 在进行检漏操作时，应佩戴必要的防护用具，如防护手套、防护眼镜等。
八、异常处理及记录
8.1 当发现异常情况时，检漏员应立即停止检漏操作，并报告上级管理人员。
8.2 对异常情况应进行详细记录，包括异常情况的现象、发生时间、处理方法等，以便进行后续分析和改进。
浅谈火力发电厂真空系统查漏的方法
浅谈火力发电厂真空系统查漏的方法在整个火力发电厂的工作流程中，最重要也是最关键的一个环节是要保证火力发电厂的真空系统是无漏的。
这就需要我们在工作中可以对真空系统进行严密地检查，查找真空系统中是否存在漏点，而为了保证工作的效率和质量，采取怎样的查漏方法去进行实际操作就显得十分重要。
在本文的论述中，我们从几个方面入手进行阐述，首先是我们对真空系统进行查漏的原因，包括其重要性和可能带来的不好后果，其次便是根据我们已知的真空系统的一些特性来选择合适的查漏方法，并针对漏洞的处理进行了阐述。
标签：火力发电厂;真空系统;查漏方法;有效探究近些年来，社会经济不断发展，经济发展的同时对于资源的需求也越来越强烈，我们的生活和工作之中离不开电，因此火力发电厂成为当今社会上一个不可或缺的存在，它的正常运作为社会的正常运作提供能量。
火力发电厂的每一个运转环节都十分重要，其中真空系统更是如此，一旦火力发电厂的真空系统存在漏洞，在运作过程中就会出现漏电情况，会影响整个系统的工作，严重的会导致其它环节的运转。
本文针对这种情况，对火力发电厂真空系统的查漏方法进行了深入探究。
一、对火力发电厂真空系统进行查漏的原因1、火力发电厂真空系统查漏的重要作用作为一个系统来说，火力发电厂中真空系统的内部构造是非常繁杂的，所含内容特别多，相比较于系统的复杂，出现的一个漏点是几乎观察不到的，然而正是这些微小的漏点会让火力发电厂无法正常地进行运转。
在当前的情况下，火力发电厂必须从各个环节出发，精益求精，保证整个环节的运行，提高效率，从而得到更好的发展。
2、真空系统中漏点特征在选择合适的真空系统查漏方法之前，我们需要对真空系统中出现的漏点的基本特征有一定的了解。
相对于大而复杂的真空系统来说，漏点的存在是十分微小的，通过肉眼是很难被观察到的，而且漏点的形状也不规则，比较复杂。
在实践中，我们通常采用漏气率来大概估计漏点的大小。
不论漏点的形状和大小是什么样的，在实际的操作中，只要他们的漏气率相同，它们就可以被认为是一样的漏点。
真空检漏操作规程
真空检漏操作规程真空检漏是一项关键的质量检测工作，用于检测真空系统中是否存在漏气现象。
下面是一份真空检漏操作规程，供您参考。
一、操作准备1. 预先准备好所需的检漏仪器和设备，包括真空泵、检漏仪、检漏剂等。
2. 确保检漏仪器和设备处于良好的工作状态，检查其电源是否正常，仪表是否准确。
3. 准备好操作手册、相关图纸和技术参数作为参考。
二、检漏前的准备工作1. 建立一个相关的安全检测区域，确保操作环境安全，预防意外事故的发生。
2. 根据实际需要，确定检漏的时间、地点和安全措施。
3. 进行相关的工艺流程、系统介绍和操作要求的培训。
三、检漏操作步骤1. 关闭真空系统中的所有阀门，确保系统完全隔离。
2. 连接真空泵和漏气检测仪器，确保连接密封可靠。
3. 启动真空泵，排空真空系统，确保真空系统处于良好的排气状态。
4. 将检漏剂喷洒或注入到系统中，并按照仪器操作手册的要求，选择适当的检测方式。
5. 缓慢打开系统中的阀门，使之逐步进入真空状态。
6. 检查仪器显示的压力变化情况，并观察是否有泄漏现象。
7. 对检漏仪器进行校准，并进行零点调整，确保检测结果的准确性。
8. 对系统中的所有接头、阀门、管路等进行逐一检查，寻找潜在的漏气源。
9. 对发现的漏气点进行标记，并根据需要，进行必要的修补和更换。
10. 测试完毕后，关闭真空泵和检漏仪，切断电源。
四、检漏操作注意事项1. 检漏操作需要有经验的技术人员进行，并进行必要的培训和指导。
2. 操作人员需要佩戴个人防护装备，如手套、工作服等，确保人身安全。
3. 检漏操作需要严格按照标准程序进行，不得随意更改操作步骤。
4. 在操作过程中，要注意避免对系统造成不必要的损坏，严禁敲打和碰撞真空设备。
5. 在检漏过程中，要保持操作环境的整洁，确保工作台面干净，避免杂物进入系统。
6. 检漏操作结束后，要及时清理和维护检漏仪器和设备，确保其正常和可靠的工作状态。
五、检漏操作结果处理1. 对于发现的漏气点，要及时记录并报告相关部门，并采取相应的措施进行修复。
真空检漏技术
真空检漏技术一个真空系统，经相当长时间抽气之后，仍然达不到预期的真空度，可能的原因有：抽气情况不良，即抽气系统本身的问题。
放气，即真空系统或容器内部存在气体或气源。
漏气，即真空系统或被抽容器存在漏孔或缝隙。
至于漏气是检漏技术所要解决的问题，即准确检出漏孔并加以修补。
常规检漏内容包括：用适当的方法判断真空系统中漏气问题是否存在。
确定漏气率。
找出泄漏部位，以便修补堵漏。
真空系统漏气的判定如何判断真空系统是否存在漏气，通常采用静态升压法，即把容器抽到一定压强后，关闭阀门将被抽容器与泵隔开，若容器漏气或材料放气，容器中的压强将随时间而上升。
用真空计每隔一定时间计量一次容器中的压强，可得出压强/时间曲线。
由于容器的漏气与出气情况不同，其曲线也不同1.直线A压强不随时间变化，说明系统即不漏气，也不放气。
真空度上不去的原因是泵工作不良。
2.直线B压强开始上升很快，而后上升速度渐渐减慢而趋于平衡，这说明容器没有漏气。
真空度上不去的原因主要是放气的影响。
因为放气速率随压强的升高和时间的延长而降低，故曲线渐趋向于平衡。
3.直线C是一斜率为ΔP/Δt的直线。
这说明只有漏气而没有放气。
4.曲线D开始压强上升较快，而后渐渐减慢，最后变成斜率为ΔP/Δt的直线。
这说明容器即有放气也有漏气。
曲线D可以认为是B和C的叠加。
如果出现曲线C和D的情况，则判定系统有漏气。
漏孔大小的表示方法有漏气必有漏孔，真空技术中通常指的漏孔是非常微小的，其截面形状各不相同，漏气路径也各式各样。
漏孔常出现在焊缝搭头、应力集中、弯折、拆卸等部位，一般是由于焊接、表面不清洁、工艺规范不当、结构不合理、安装不仔细等原因造成。
漏孔的几何尺寸很小，肉眼不能察觉，加之漏气路径各式各样，截面形状又很复杂，所以漏孔的大小极难用其几何尺寸来度量，在真空技术中漏孔的大小有专门的表示。
由气体定律PV=M Rt/μ可知，当温度一定时，气体的质量M可以用气体的压强和体积的乘积PV（即气体量）来表示，而PV又是容易测量的，所以漏孔的大小可以用单位时间漏入系统的气体量（PV）来表示，亦称漏率。
真空检漏原理
真空检漏原理
真空检漏是指在一定的真空度下，通过检测被测物体的气密性能，以确定其是
否存在漏气现象的一种检测方法。
在工程领域中，真空检漏被广泛应用于航空航天、汽车制造、船舶制造、电子设备、医疗器械等行业。
下面将介绍真空检漏的原理和常见的检测方法。
首先，我们来了解一下真空检漏的原理。
真空检漏的原理是利用被测物体内部
的气体与外部的真空系统之间的气体流动来检测被测物体的漏气情况。
在真空系统中，被测物体内部的气体会通过漏洞或裂缝逸出到外部环境中，这种气体流动会导致真空系统内部的气压发生变化。
通过检测气压的变化，就可以确定被测物体是否存在漏气现象。
其次，我们来介绍一些常见的真空检漏方法。
真空检漏方法主要包括质谱检漏法、氦质谱检漏法、氦充入法和泡沫检漏法等。
其中，质谱检漏法是利用质谱仪对被测物体进行检测，通过检测气体分子的质量来确定漏气点的位置。
氦质谱检漏法是在被测物体内充入氦气，然后利用质谱仪检测氦气的流动情况，以确定漏气点的位置。
氦充入法是将被测物体充入氦气，然后利用氦气检测仪对漏气进行检测。
泡沫检漏法是将被测物体表面涂覆一层泡沫，通过观察泡沫的气泡情况来确定漏气点的位置。
总的来说，真空检漏是一种非常重要的检测方法，它可以帮助我们及时发现被
测物体的漏气问题，从而保障产品的质量和安全性。
在实际应用中，我们需要根据被测物体的特点和检测要求选择合适的检漏方法，并严格按照操作规程进行检测操作，以确保检测结果的准确性和可靠性。
希望本文可以帮助大家更好地了解真空检漏的原理和方法，为工程实践提供一定的参考价值。
真空系统检漏方法
真空系统检漏方法嘿，朋友们！今天咱就来好好唠唠真空系统检漏方法。
你说这真空系统啊，就好比一个密封的大箱子，要是有个小孔啥的，那可就麻烦啦！就像你家的米袋子要是有个小洞，那米不就哗哗往外跑嘛！那咱咋知道这真空系统有没有漏呢？这就有好多招啦！比如说，咱可以用个最简单的法子，就像你找东西一样，仔细瞅瞅，看看有没有啥异常的地方，比如有没有滋滋响的声音啊，或者有没有啥地方感觉不太对劲。
这就叫直观检漏法，虽然简单，可有时候还真挺管用呢！还有一种方法叫压力检漏法。
这就好比你给气球打气，要是有个小洞，那气不就漏得快嘛！咱就通过观察压力的变化来判断有没有漏。
你想想，要是压力老是上不去，或者掉得特别快，那是不是很有可能有漏的地方呀！再说说氦质谱检漏法，这可是个厉害的家伙！氦气就像个小侦探，能帮咱找到那些小小的漏洞。
咱把氦气放进去，然后用专门的仪器去检测，一旦发现氦气跑出来了，嘿嘿，那就说明找到漏点啦！这就好像警察抓小偷，一抓一个准儿！还有一种叫真空检漏法，这就像是在黑暗中找萤火虫，虽然有点难，但只要你有耐心，还是能发现那些一闪一闪的小亮点的。
通过检测真空度的变化，来推断有没有漏。
那咱在检漏的时候可得注意啦！不能马虎大意，得像个细心的侦探一样，不放过任何一个蛛丝马迹。
你想想，要是漏点没找到，那以后可就麻烦大啦！就像你出门没带钥匙，那不得急死呀！而且啊，咱还得选对方法。
不同的真空系统可能适合不同的检漏方法，就跟治病一样，得对症下药。
可不能瞎搞一通，不然不仅找不到问题，还可能把系统给搞坏了呢！另外，操作的时候也得小心谨慎，别一不小心把系统给碰坏了或者弄脏了。
这可都是宝贝呀，得好好爱护！总之呢，真空系统检漏可不是个简单的事儿，但只要咱用心去做，用对方法，肯定能把那些漏点都给揪出来！让咱的真空系统稳稳当当的，不出一点儿差错！这就是咱要努力做到的，大家说是不是呀！原创不易，请尊重原创，谢谢!。
真空检漏原理
真空检漏原理
真空检漏是一种用于检测封闭空间中是否存在漏气的技术。
其原理是利用真空度检测仪器，通过抽取测试空间内的气体，将其压力降低到一个较低的真空度。
然后观察一段时间内真空度是否变化，如果真空度出现明显下降，则可以判断存在漏气。
真空检漏的原理基于两个主要因素：一是漏气通道的存在，二是压力差的作用。
当测试空间存在漏气通道时，高压区域的气体会通过漏洞进入低压区域，从而导致真空度下降。
因此，通过观察真空度的变化，可以确定是否存在漏气通道。
为了实现真空检漏，通常需要使用专门的真空检漏设备。
这些设备通常包括真空度检测仪、抽气设备和检漏剂。
在检测过程中，首先将真空度检测仪连接到测试空间，并通过抽气设备将测试空间内的气体抽取至较低的真空度。
然后，使用检漏剂喷洒在可能的漏气点上。
如果存在漏气，漏气点附近的气体将被抽入检漏剂中，并在真空度检测仪上显示出真空度的下降。
通过真空检漏技术，可以有效地检测出封闭空间中的漏气问题。
这对于一些需要高度密封的设备和系统来说非常重要，如真空系统、气密性要求高的容器、航空航天设备等。
真空检漏技术有助于提高设备的可靠性和操作安全性，避免因漏气导致的性能下降或故障发生。
真空检漏
3.氨检漏法 氨检漏法
示漏气体：氨气（碱性） 外涂试剂或贴试纸（溴酚蓝最好） 原理：漏孔处变色 优点：简单方便，灵敏度高，一次充氨可以检完所 有部位。 缺点：有毒！不能用于铜银等金属容器。
（二）真空检漏法
• 真空检漏法：被检件和检漏器的敏感元件处于真空 真空检漏法： 状态，在被检件的外部施加示漏物质，如果有漏孔， 状态，在被检件的外部施加示漏物质，如果有漏孔， 示漏物质就会通过漏孔进入被检件和敏感元件的空 由敏感元件检测出示漏物质， 间，由敏感元件检测出示漏物质，从而可以判定漏 孔的存在位置及漏率的大小，这就是真空检漏法。 孔的存在位置及漏率的大小，这就是真空检漏法。 常见的有三种： 常见的有三种： • 1.高频火花检漏法 1.高频火花检漏法 • 2.真空计检漏法 2.真空计检漏法 • 3.质谱仪检漏法 3.质谱仪检漏法
双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪
由于两次分析，减少了非氦离子到达收集器的机率。并 且，如在两个分析器的中间，即中间缝隙S2与邻近的挡 板间设置加速电场，使离子在进入第二个分析器前再次 被加速。那些与氦离子动量相同的非氦离子，虽然可以 通过第一个分析器，但是，经第二次加速进入第二个分 析器后，由于其动量与氦离子的不同而被分离出来。由 于二次分离，仪器本底及本底噪声显著地减小，提高了 仪器灵敏度。
（1）工作原理与结构 ）
操作时在真空泵入口的空气管上接一根软管至氦质谱检漏 仪,在真空系统的漏点处喷氦气,由于氦质谱检漏仪工作时 能形成比真空泵更高的真空,因此,漏入真空泵入口管上氦 气与空气的混合元体,有一部分被吸入到氦质谱检漏仪,由 于氦分子质量与其他分子质量不一样,通过磁场产生的偏 转磁力不一样,仪器上设计有一狭缝,刚好使氦分子通过而 其他分子无法通过,这样,通过狭缝后的氦分子打在收集板 上,通过靶板计数,即可知道通过的分子数泄漏量的相对大 小 。
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Vacuum Science and Technology
真空系统
各种组件和材料的组合 更换零件、开关容器 保证零件连接，又要防止通过接头漏气 真空气密性：必须不漏气，但不一定是气密的 允许电流的传输，材料传递 永久密封 可拆密封 电引入密封 材料传输密封
真空密封的基本要求
真空密封分类
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ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
液体密封
用液体材料密封连接部件的空隙 水银、油 表面光洁度非常好的法兰紧压，会留下微米大小的通道
垫圈密封
电线引入
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基本要求
酸洗
酸洗液-彻底冲洗-碱浴中和-热风吹干 金属
Al Cu
酸洗液
NaOH(10%)用NaCl饱和 15-50s后浸入10%HCl HNO3:H2SO4:HCl:H2O (25:60:2:13) 500mlHNO3、500mlH2SO4、 10mlHCl+5g碳黑 50%HCl溶液 5～15％H2SO4溶液
石蜡（粘附剂）
暂时连接零件或泄漏接缝
环氧树脂胶 氯化银封接 平面磨口：用于不需要轴向移动零件 锥形磨口：相同锥度的内外两部分装配 球形磨口：小口径密封 涂脂
磨口封接
真空密封技术
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陶瓷清洗
800~1000焙烧 碱清洗液清洗，稀HNO3浸渍 降低出气率 70C 20%KOH清洗，漂洗后吹干 70C真空出气4~5小时
橡胶清洗
尽可能使用“新鲜”处理的材料
真空密封技术
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油脂去除
机械清洗-酸洗-去垢清洗-去油脱脂
金属清洗
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真空密封技术
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永久密封
金属
熔焊：利用温度或压力使金属局部熔化（气焊、弧焊） 钎焊：用第三种熔点较低的金属焊接两种金属（低温） 熔融：将玻璃加热到软的足以加工的温度 退火点：软玻璃400C，硬玻璃>500C 热膨胀系数、残余应力 直接粘附：可以达到真空密封，但不结实 中间加氧化层：一系列分层氧化物 玻璃作为中间材料
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真空材料选择
真空清洗技术 真空密封技术
真空系统检漏
真空系统计算
真空清洗技术
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金属
SS Mo
酸洗液
1~3%HNO3+25%HCl 65C 7%H2SO4+3%HCl 65C 蒸馏水 100ml+ CrO3 12g + H2SO4 3ml 室温15s 50mlHNO3＋30mlH2SO4溶于 20ml蒸馏水 沸腾H2O2
Fe
W
玻璃清洗
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真空物理与技术
第7章 高真空技术
高真空技术
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真空清洗
清除表面可见污垢 去除粘附在表面的物理污染物（油、脂、灰尘） 去除表面化学污染物（氧化物、硫化物） 表面层去除
清洗工艺
机械或化学方法除去（磨料喷洁、刷、酸洗、浸蚀）
动植物油：水解在脂肪酸中，碱性溶液清洗 矿物油：溶解于有机溶剂中
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清洗液
铬酸
1L浓硫酸+50ml饱和重铬酸钾，加热 褐红色时有效，绿色时失效
5% HF+33%HNO3+60%H2O 冷用
有机溶剂
去除油脂，二氯乙烯、煤油 酒精（石英必须用酒精） 乙醚、丙酮
清洗技术
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玻璃
玻璃－金属
陶瓷－金属
真空密封技术
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半永久可拆密封