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第二段： 50
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4、曝光（ORC HMW-680GW手动曝光机） 4.1基本操作 A、开主电源，主操作屏开启 B、按系统启动，启动手动操作 C、按启动上下灯，退回目录 D、启动自动操作
E、按“抽真空”掣，“框架运输”掣，进行生产曝光
F、关闭时，按系统关闭，关主电源
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F、调节刀口宽度在0.4-0.6mm位置 绿油培训教材
G、松开涂布头装置固定螺母，此时溢流槽升降柄处于水平 位置 H、推入涂布头于皮带间，锁紧固定螺母，将溢流槽升降柄 上提，使溢流槽处于最低位置 I、将粘度计开关置于“ON”，设定粘度控制值 J、将稀释剂流量开关置于“1-4”格 K、开启油墨搅拌器
4.2 操作条件 曝光能量： 300-1000mj/cm2
曝光指数：
真空度： 环境温度： 湿度： 尘粒：
30-160
650mmhg 18-22C 45%-65% 0.5m以下尘粒少于100K
曝光机温度： 15-20C
红菲林GII： 使用次数不超过600次
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5、冲板（显影Development） 5.1 基本操作
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3.2、湿重测量 A、将皮带出板段玻璃窗撑起 B、右旋控制匙，使涂布段处于测试状态，测试按钮亮 C、将一块25cm40cm（S=0.1m2)测试板放在电子秤上，按下其 归零键
D、将测试板横放在Center段中央，按下测试按钮
E、在皮带出板段，用手将板托起，同时用手遮挡一下出板端 Sensor
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上一层客户所指定的油墨的过程。在单面涂布后，经
由低温炉进行预焗，达到初步固化目的，以便进行另一
面的涂布或后工序的操作。
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4、曝光 曝光是指让紫外光穿过菲林GII及曝光玻璃或Mylar，而
到达感光油膜中，引起一连串化学交链聚合反应，使
感光主剂固化的过程。在菲林GII的挡光区，将尽可能
不使油膜发生此聚合反应，从而利用显影液将之除去。
E、关机时，依次关灯，关输送，关主电源
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6、白字与塞孔（丝印机） 6.1 丝印机操作 A、检查各过滤器，放掉过滤杯中水 B、检查机器传动部分润滑及各限位开关位置设定 C、开启机器后面主压缩气开关 D、开启主电源开关 E、拉起安全保护罩，放入网框，并拧紧支撑架固定网框螺丝
F、调整网框于合适的丝印工作区，锁紧导轨固定钉
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六、Solder Mask发展展望 绿油工序的Handling过多，人为因素对产品品质有较 大影响，因此对绿油工序的品质控制，应从人为因素与 技 术角度两方面同时进行。 制作小孔和细绿油桥，是Solder Mask工艺的一项重要
技术指标，因此我们将努力提高制作小孔（0.3mm以下)及
细绿油桥(3.5mil以下)的能力。
G、调节丝印头左右移动限位开头 H、用手动模式，按操作网框起/落开关放下网框
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I、 校正支撑架上螺至合适位置，并锁紧，使网框高度处 于一合适位置 J、 对网：调节工作台X、Y向旋钮 K、调节刮刀高度和复墨速度 L、 调整丝印头限位开关并锁紧 M、试印 N、检查到位置不合适或不过油现象，立即对刮刀角度、
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四、基本操作与参数控制 1、褪锡 1.1 开机与关机程序 A、开启主电源掣 B、电源选择置于“选择” C、按启动掣于“ON”状态 D、依次将所有操作掣置于“ON”状态
E、关机时，按启动掣于“OFF”位置
F、电源选择置于“O” G、关上电源掣
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1.2 制程参数 项目 控制范围 控制方式
铜面不受蚀刻液攻击而电镀的保护层。在蚀刻完成之后
需用褪锡药水将之除去，剩下所需之裸铜面，以便进行 后工序的制作。
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2、磨板
本工序磨板过程是采用机械方法，利用大山灰对板
的高速冲击作用，以及高压水洗、超音波水洗，达
到粗化表面及清洁的目的，增加绿油的附着力。
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3、涂布 涂布是指采用廉涂方式（Curtain coating）在板面上印
30分钟
15分钟 15分钟 30分钟
1505
1505 1505 1505
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7、后焗（高温隧道炉） 7.1 开关机操作
A、开墙上的总电源，开控制电源
B、如处于停止状态，打开紧急停止开关 C、设定温度参数 D、按下自动启动开关，系统自动开启风车，电热、冷却风扇 和输送带
E、检查升温情况，温度达到设定点后，才可开始进板
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7.3 参数控制
温度控制：80-160C
（低于130 C为低温范围，高于130 C为高温范围） 速度控制：0.06-0.20m/min
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五、常见缺陷与预防 1、冲板不干净
缺陷 原 因
2、绿油不平均厚
预
3、甩绿油
防
涂布后低温时间太长或温度过高
控制低温焗板时间与温度 依规定控制Hold time 按WI操作 用光度计测菲林GII的挡光性需4.5D
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5.2 操作参数
药水温度：30-36C
冲板速度：2.0-3.5m/min
药水压力：1.5-2.0bar
水洗压力：1.5-2.0bar
药水浓度：0.75-1.0%
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5.3 UV机操作 A、开启主电源 B、按下启动掣，输送掣
C、调整输送速度为4-6m/min
D、开启UV机2-3分钟后，待加热稳定即可生产
撰写人：潘观平
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目
一、工艺流程简介 二、工艺原理 三、特殊环境要求
录
四、基本操作及参数控制
五、常见缺陷与预防
六、Solder Mask发展展望
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一、工艺流程简介 1、绿油（Solder Mask）简介 为了防止蚀刻后之裸铜面，免受外在环境中湿气及化学品 的侵害，以及非焊接区域内的布线区会造成沾锡短路，故 在板面涂布上一层绿漆，从而起到彻底保护线路及防焊的 作用。
温度
速度
25-35C
2-3m/min
生产记录：一次/4小时
生产记录：一次/4小时
药水压力
水洗压力
20-35PSI
15PSI
生产记录：一次/4小时
生产记录：一次/4小时
药水比重
HNO3含量
1.240-1.400
260-350g/l
分析频率:一次/天
分析频率:一次/天
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2、磨板 2.1自动开机与关机 A、开机时，将所有按钮旋至“1”或“AUT” B、按“GENERAL START” C、关机时，按“GENERAL START” 2.2手动开机与关机 A、开机时，按“GENERAL START”
高度进行调整
O、试印OK，即可进行生产 P、关机时，依次松开丝印网、胶刮、关闭电源即可
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6.2 宇宙焗炉操作 A、按下“电热”，附加“电热等按钮，使焗炉完全进入工作 状态 B、设定工作时间
C、当工作时间完成，蜂鸣器发出蜂鸣，工作人员须关掉“电 热”
按钮
D、焗完板后把门打开，冷却
E、把板取出后需将门关好 F、关机时，将焗炉控制箱上的电源掣关上 G、将墙上的主电源掣关闭
F、将测试板放置于电子秤上，其显示值乘以10倍即为油温重
G、 若湿重不符，则通过调整泵速与皮带速度，重新进行测量， 达到要求为止
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3.3 关机程序
A、按下F2键，使Heating显示“OFF”
B、待温度值在其设定值偏下10C时，按“ALT+X”，退出
控制画面
C、关闭显示屏电源
注：当油槽中有油墨时，不允许关掉设备电源及油泵正转控制按钮
A、开启总电源和启动掣
B、开启显影一、二，循环水洗一、二、三、四 C、开启过滤泵、摇摆、强风吹干、热风吹干、照明、加热 掣等 D、开启“输送掣”，按要求调节速度于2.0-3.5m/min
E、待温度到达后，开始生产
F、生产中检查显影段的药水压力是否正常 G、关机时，依次将所有启动掣关闭，最后关闭总电源
7、后焗（高温隧道炉/立式炉高温）
经UV后之板，绿油还未完全固化，必须经由高温过程的后
焗处理，才能使绿油完全硬化，使其硬度达到客户要求。
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8、塞孔 为了杜绝后制程外界的湿气与化学品闯入导通孔
（Via Hole），且这些Via孔无裸露之必要，因此直
接采用塞油入孔的方式来处理。塞孔方式有喷锡
前塞孔和喷锡后塞孔，需依客户要求进行。
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三、特殊环境要求 位置 绿油仓 温度要求 16-25C 湿度要求 45%-65% 洁净度要求 无
绿油涂布房
绿油曝光房
18-22 C
18-22 C
45%-65%
45%-65%
无
0.5m尘粒少于100K
白字丝印房
18-22 C
45%-65%
无
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3.4 制程参数 油温： 帘宽： 18-24C 0.4-0.6mm
油泵速度： 50-350RPM 皮带速度： 65-100HZ 粘度DIN4#：7510秒
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湿重：
90-130g/m2
Step Cycle： 10-15秒
干燥段温度（偏差±5C）： 1区 第一段： 50 2区 50 3区 70 4区 85 5区 90 6区 75
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5、冲板（显影）
冲板是指利用1%的碱性碳酸钠溶液与未曝光部分的绿
油发生化学反应，从而使绿油被冲洗掉的过程。经显影
后，通过UV机使绿油进一步硬化，以增加绿油的硬度。
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6、印字（ Component Mark）
采用丝印方法，依照客户要求在元件面（Component Side）
印上一些标记符号，以利于元件的安装及辨认。
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6.3 参数控制 白字和塞孔焗板参数表
设置时间
未喷锡 白字板 单面字 双面字 单面字 喷锡后 白字板 双面字 50分钟 第一面10分钟 第二面50分钟 30分钟 第一面10分钟 第二面30分钟
设定定温度C
1505 1505 1505 1505 1505 1505
只塞孔
白字 1000油板 塞孔 再白字
1.
曝光后到显影停留时间过长 曝光能量过高 曝光菲林GII挡光性较差 显影液的温度太低
冲
板 不
干
净
浓度太低
压力太低 速度太快
控制药水温度、浓度、压 力和输送速度在WI范围内
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缺陷
原
因
预
防
2. 绿 油
油幕厚度不均匀
调节刀口宽度：
控制搅油时间，使油搅拌均匀 充分搅拌，并依规定静置20分钟再使用； 防止外界杂物混入油中； 油缸中油墨高度不能太低或太高；
不
平 均 绿油气泡
加油时应沿油缸壁慢慢倒入； 定期用PMA循环管路，达到清洁目的
厚
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缺 陷
原
因
预
防
依WI规定，测试磨痕宽度
3. 甩 绿 油 磨板效果不好 及水破实验，同时控制烘 干温度及磨板速度；
曝光能量不足；
按WI控制好曝光指数：
后焗温度不够或喷锡参数不 控制好高温焗板时间和温度 当 控制喷锡温度及速度
磨痕宽度：
15秒
9-15mm
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3、涂布（Curtain coating） 3.1 开机操作
A、开启电源
B、开启电脑显示屏，屏幕显示“C：\”时输入“Win”，进 入 控制画面 C、按F2键,使Mode：“auto”，Start：“run”；heating： “ON” D、将调好的油墨全倒入已洗好的油槽中 E、按下油泵正转开启按钮，启动油泵
B、按需要将相关按钮旋至“MAN”
C、关机时，将按钮旋至“O” D、按“GENERAL STOP”
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2.3 制程参数 磨板速度： 火山灰含量： 高压水洗压力： 2.0-2.4m/min 15-25 vol % 40-70bar
超声波水洗温度：30-40C 烘干温度： 70-90C
水破实验：
绿油的印制方法有丝印和涂布两种，本文所描述的制作过
程及参数控制，都是针对涂布（Curtain Coating ）线而言。
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
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2、工艺流程简图（Flow chart） 褪锡 （1） 磨板
（塞孔）
涂布 （3）
曝光 （4）
冲板 （5）
（2）
塞孔 （8）
喷锡
后焗 （7）
印字 （8）
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二、工艺原理 1、褪锡 锡是作为一种蚀刻阻剂（Etch resist），以保护所需之
F、开启出板端自动接板机
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G、开启入板端送板机 H、关机时，先检查炉内确实无板才可进行停机操作 I、关自动送板机，收板机 J、按自动停机开关
K、待停机完成指示灯亮，关控制电源，关墙上总电源
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7.2 生产故障排除 较常发生的是进料端或出料端卡板,此时机器会发出警 报声，并停止运输链运行。观察控制板上显示异常部 位（进料或出料），取出卡板，然后按下机器（进料 或出 料端）之复位开关，则可恢复已常。若是其他故 障立即通知维修部人员维修。