CDA系统及制程真空系统简介
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CDA及制程真空简介
STOP 絕絕絕
製程真空系統
真空機組成
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絕 絕 絕 絕 絕
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絕絕絕絕絕
製程真空系統
真空機工作流程
絕絕絕絕絕 絕絕絕絕絕
空氣部份
絕絕絕絕絕 絕 絕 絕 絕 絕
潤滑油部份
絕 絕 絕 絕 絕
絕絕絕絕 絕絕絕絕
Standard&Normal風量轉換範例
100SCMM= NCMM 理想氣體定律 (1.033kg/cm2*100SCMM)/(20℃+273) =(1.033kg/cm2* NCMM)/(0℃+273) Ans：93.17NCMM Q(Standard) > Q(Normal)
壓縮乾燥空氣系統
T
B桶槽高溫切換 保護開關(50℃)
A桶槽建壓 壓力開關 (45psi) P
加熱器溫度 保護開關 (370℃) T
加熱溫度 控制開關 (維持200℃) T
B桶槽建壓 壓力開關 (45psi) P
空氣出口溫度 監視點 T
壓縮乾燥空氣系統
Cycle Time(22hr)
單一桶槽依續完成吸附與再生過程之總時間
壓縮乾燥空氣處理流程
壓縮乾燥空氣系統
離心式空氣壓縮機
壓縮乾燥空氣系統
離心式空氣壓縮機
進口空氣过滤器和消音器 旁通阀 後冷却器 進口調節導葉 橈性接頭 止回阀
油過滤器 油温控制阀
中間冷卻 器 中間 冷卻 器 排油氣風扇及過滤器 油 空氣 水 冷凝水 油加热器 油箱 主油泵
油冷却器
辅油泵 过滤網
B桶洩壓閥(OFF)
CDA系统及制程真空系统简介
➢ Standard&Normal风量转换范例
?100SCMM= NCMM ?理想气体定律 (1.033kg/cm2*100SCMM)/(20℃+273) =(1.033kg/cm2* NCMM)/(0℃+273) ?Ans：93.17NCMM ?Q(Standard) > Q(Normal)
2021/6/4
压缩干燥空气及 制程真空系统
2021/6/4
厂务四处空调课
~第一单元~ 压缩干燥空气系统
2021/6/4
压缩干燥空气系统
➢ 系统目的
?提供低含水量之压缩洁净空气
➢ 需求设备
?离心式空气压缩机(螺旋式空气压缩机) ?吸附式干燥机(冷冻式干燥机) ?微粒子过滤器
➢ 质量要求(各厂需求略有不同)
?系统末端压力高于7.0kg/cm2 ?空气露点温度低于-70℃(水份含量低于0.12ppm) ?微粒数少于10颗/ft3
➢ 绝对压力
?表压力+大气压力
真空度
零度錶壓
錶壓力
絕對壓力 大氣壓力
➢ 真空度
絕對壓力
?负压力单位or压力单位(vac)
絕對真空
2021/6/4
制程真空系统
➢ 真空系统流程图
系統末端真空度監視點 TFT CF LCD LCM2F LCM3F LCM4F LCM5F LCM6F
Tank-1
Tank-2 P
P
2021/6/4
压缩干燥空气系统
➢ 干燥机温度/压力控制开关(电子式)
A桶槽高温切换 保护开关(50℃)
T
A桶槽建压 压力开关
(45psi) P
T
加热结束温度 控制开关 (80℃)
?100SCMM= NCMM ?理想气体定律 (1.033kg/cm2*100SCMM)/(20℃+273) =(1.033kg/cm2* NCMM)/(0℃+273) ?Ans：93.17NCMM ?Q(Standard) > Q(Normal)
2021/6/4
压缩干燥空气及 制程真空系统
2021/6/4
厂务四处空调课
~第一单元~ 压缩干燥空气系统
2021/6/4
压缩干燥空气系统
➢ 系统目的
?提供低含水量之压缩洁净空气
➢ 需求设备
?离心式空气压缩机(螺旋式空气压缩机) ?吸附式干燥机(冷冻式干燥机) ?微粒子过滤器
➢ 质量要求(各厂需求略有不同)
?系统末端压力高于7.0kg/cm2 ?空气露点温度低于-70℃(水份含量低于0.12ppm) ?微粒数少于10颗/ft3
➢ 绝对压力
?表压力+大气压力
真空度
零度錶壓
錶壓力
絕對壓力 大氣壓力
➢ 真空度
絕對壓力
?负压力单位or压力单位(vac)
絕對真空
2021/6/4
制程真空系统
➢ 真空系统流程图
系統末端真空度監視點 TFT CF LCD LCM2F LCM3F LCM4F LCM5F LCM6F
Tank-1
Tank-2 P
P
2021/6/4
压缩干燥空气系统
➢ 干燥机温度/压力控制开关(电子式)
A桶槽高温切换 保护开关(50℃)
T
A桶槽建压 压力开关
(45psi) P
T
加热结束温度 控制开关 (80℃)
CDA系统及管材介绍
影响管子价格之因素为最重要之决定因素在表面处理之方法，其价格之高低 顺序EP＞BA＞MP>AP 一般BULK GAS（GN2、CDA、Ar、H2、O2），其中GN2、CDA 选用BA 级其余之 BULK GAS 及APECIALTY GAS皆用EP级之管材，材质为SUS316L ，有时，业主 亦因成本之考量GN2、CDA如用在PUMP之动力源，会考虑使用SUS304。
使用方法例：
将该分析测定夜滴一滴于钢表面，用9V电池，正 极搭钢，负极搭测定液珠上面，通电氧化后呈红 色，则证明它的含镍量≥7%，若不呈红色则证明 该不锈钢中含镍量小于7% 一般药水有：Ni低、Ni2、Ni4、Ni6、Ni7.5、 Ni8、Ni10、Ni14、Ni20、Ni40、Ni60、Ni80、 Mo2、Cr13-17、Cr18-23、Ti微、Ti合金、硫酸 铜等
施工机具
焊接式
先拆卸一端封套，并连接氩气。 拆卸要焊接端封套，并冲吹干净。
焊接式
连接后将一端之管帽钻小孔使之成出气端。
焊接式
开始点焊及全接口式的焊接。
焊接注意事项
1.电源 a.使用前确认电压 b.使用220V的场合要确认结线。 c.接地线要用熔接机单独使用者。 2.氩气 氩气纯度达99.999以上才予使用。 原则上使用液化氩气。 熔接时氧化膜无法去除时要更换气体。 3.钨Tungsten 研磨时不能偏颇。 产生熔接联珠或蛇行是钨研偏所致，要重磨。研 磨时使用研磨专用机。
若使用SUS304时，如为卡套接管则厚度需为SCH10S以上
CDA 潔淨管路材料規範
一.管材、管件、閥件規格： 1.CDA管材、管件材質為SUS304L APS管內焊道需經清潔、脫 脂＆洗淨及包裝，5S 無縫(自動焊)。 1.1材質基準SUS304L，JIS G3459 / ASTM A312 GR，規範要求 較嚴格者以規範為主。 1.2操作壓力：0~10㎏/㎝2。 1.3 PARTICLE測定：≦ 5 PCS / FT3大於(等於)0.3μｍ(10 MIN)。 1.4油份測定：MAX 0.1㎎/FT2(禁油處理) 1.5包裝：請註明如何包裝(防止管材變形) 1.6標記(MARK)：請註明如何標記。 1.7尺寸：JIS A SIZE。 1.8環境：無塵室包裝環境。 1.9油份紅外線光譜儀或GC/MSD。 1.10貨品必要時再送公家單位抽驗。
使用方法例：
将该分析测定夜滴一滴于钢表面，用9V电池，正 极搭钢，负极搭测定液珠上面，通电氧化后呈红 色，则证明它的含镍量≥7%，若不呈红色则证明 该不锈钢中含镍量小于7% 一般药水有：Ni低、Ni2、Ni4、Ni6、Ni7.5、 Ni8、Ni10、Ni14、Ni20、Ni40、Ni60、Ni80、 Mo2、Cr13-17、Cr18-23、Ti微、Ti合金、硫酸 铜等
施工机具
焊接式
先拆卸一端封套，并连接氩气。 拆卸要焊接端封套，并冲吹干净。
焊接式
连接后将一端之管帽钻小孔使之成出气端。
焊接式
开始点焊及全接口式的焊接。
焊接注意事项
1.电源 a.使用前确认电压 b.使用220V的场合要确认结线。 c.接地线要用熔接机单独使用者。 2.氩气 氩气纯度达99.999以上才予使用。 原则上使用液化氩气。 熔接时氧化膜无法去除时要更换气体。 3.钨Tungsten 研磨时不能偏颇。 产生熔接联珠或蛇行是钨研偏所致，要重磨。研 磨时使用研磨专用机。
若使用SUS304时，如为卡套接管则厚度需为SCH10S以上
CDA 潔淨管路材料規範
一.管材、管件、閥件規格： 1.CDA管材、管件材質為SUS304L APS管內焊道需經清潔、脫 脂＆洗淨及包裝，5S 無縫(自動焊)。 1.1材質基準SUS304L，JIS G3459 / ASTM A312 GR，規範要求 較嚴格者以規範為主。 1.2操作壓力：0~10㎏/㎝2。 1.3 PARTICLE測定：≦ 5 PCS / FT3大於(等於)0.3μｍ(10 MIN)。 1.4油份測定：MAX 0.1㎎/FT2(禁油處理) 1.5包裝：請註明如何包裝(防止管材變形) 1.6標記(MARK)：請註明如何標記。 1.7尺寸：JIS A SIZE。 1.8環境：無塵室包裝環境。 1.9油份紅外線光譜儀或GC/MSD。 1.10貨品必要時再送公家單位抽驗。
《真空系统》课件
结语
真空系统的重要性
真空系统在科学研究和工业领域中具有重要作用，推动了科技的发展。
意见反馈与交流
欢迎大家对本课件提出意见和建议，共同学习和进步。
联系我们
如有更多问题或合作意向，请随时联系我们的专业团队。
真空管路的材料选择
选用耐腐蚀、低挥发性的材料， 如不锈钢、铝合金等，以确保 系统的长期稳定性。
管路连接方式
常用的连接方式有焊接、快速 接头、法兰连接等，根据应用 需求进行合理选择。
真空规
1 真空规的作用
真空规用于测量和监控系统的压力，确保系统工作在预期范围内。
2 真空规的原理
真空规通过测量气体或气体体积变化来确定系统压力。
真空泵
真空泵的原理
真空泵通过机械或物理原理，将 气体抽出，从而降低系统压力。
真空泵的分类
真空泵包括旋片泵、回转式泵、 离心泵等，不同类型适用于不同 的应用场景。
真空泵的选择
根据工作要求、抽速、真空度等 因素进行选择合适的真空泵。
真空管路
真空管路的设计
根据应用需求，设计高效的管 路布局和连接方案，保证系统 压力稳定。
3 真空规的种类
常见的真空规包括磁石式、毛细管式、电离式等，针对不同压力范围选择不同类型的真 空规。
真空系统的维护
1
常Hale Waihona Puke 问题及处理了解并解决真空系统可能遇到的常见问题，例如泄漏、气体污染等。
2
维护注意事项
维护过程中需要注意的事项，如定期检查、清洁、润滑等。
3
维护保养周期
制定合理的维护计划和周期，确保真空系统始终处于良好状态。
《真空系统》PPT课件
真空系统是一个关键的技术领域，本课件将介绍真空系统的原理、应用、以 及相关设备和维护。
空压系统培训资料
空压机（无油气源，保证气量、压力） 后冷却器及气水分离器（保证吸干机入口温度低于25℃）
储气罐（气体缓冲，除水等） 前置过滤器
吸附式干燥机（保证压力露点） 后置过滤器
终端过滤器（保证最终颗粒数量）
12
CDA系统主要设备
一、空压机 1、空压机选择
a、满足爬坡生产及不同需求量时的气量变化； b、满足由于后方设备压损增大后的压力调节； c、在满足a和b条件下的考虑系统的节能及可靠运行
G8.6 CDA系统培训资料
目录 • 一、CDA系统概述 • 二、 G8.6项目CDA需求 • 三、 CDA工艺流程 • 四、CDA系统主要设备
CDA系统概述
CDA系统概述
一、定义
压缩干燥空气系统简称CDA(compressed dry air)系 统，CDA是指经空气压缩后，经干燥、过滤，压力高于 大气压的空气。
24
CDA系统主要设备
无油螺杆空压机
• 加入螺杆空压机的原因： 由于离心空压机的流量变化范围为70~100%，且启动速度 较慢，在需求气量较小的情况下，能耗大且响应速度慢 ；而采用螺杆机满足了小气量时的要求且可快速响应， 并能节省能耗。
25
CDA系统主要设备
螺杆机原理
工作原理
利用一对互相啮 合的阴阳螺杆在 不断回转的过程 中， 阴 阳 螺 杆 啮 合所密封住的几 个空间体积的变 化， 从 而 连 续 地 完 成 吸 气、 压 缩 和 排 气 的 过 程。 是利用容积的变 化 来 压 缩 气 体， 是典型的容积式 压 缩 机。
CDA系统主要设备
2、空压机分类
按工作原理分类 按润滑方式分类
容积型：螺杆时压缩机、活塞式压缩机 速度型：离心式压缩机 热力型：
储气罐（气体缓冲，除水等） 前置过滤器
吸附式干燥机（保证压力露点） 后置过滤器
终端过滤器（保证最终颗粒数量）
12
CDA系统主要设备
一、空压机 1、空压机选择
a、满足爬坡生产及不同需求量时的气量变化； b、满足由于后方设备压损增大后的压力调节； c、在满足a和b条件下的考虑系统的节能及可靠运行
G8.6 CDA系统培训资料
目录 • 一、CDA系统概述 • 二、 G8.6项目CDA需求 • 三、 CDA工艺流程 • 四、CDA系统主要设备
CDA系统概述
CDA系统概述
一、定义
压缩干燥空气系统简称CDA(compressed dry air)系 统，CDA是指经空气压缩后，经干燥、过滤，压力高于 大气压的空气。
24
CDA系统主要设备
无油螺杆空压机
• 加入螺杆空压机的原因： 由于离心空压机的流量变化范围为70~100%，且启动速度 较慢，在需求气量较小的情况下，能耗大且响应速度慢 ；而采用螺杆机满足了小气量时的要求且可快速响应， 并能节省能耗。
25
CDA系统主要设备
螺杆机原理
工作原理
利用一对互相啮 合的阴阳螺杆在 不断回转的过程 中， 阴 阳 螺 杆 啮 合所密封住的几 个空间体积的变 化， 从 而 连 续 地 完 成 吸 气、 压 缩 和 排 气 的 过 程。 是利用容积的变 化 来 压 缩 气 体， 是典型的容积式 压 缩 机。
CDA系统主要设备
2、空压机分类
按工作原理分类 按润滑方式分类
容积型：螺杆时压缩机、活塞式压缩机 速度型：离心式压缩机 热力型：
CDA系统及管材介
TUPE和PIPE的主要区别
Tube管管壁较薄、一般采用管子外径称呼、以英寸 （inch）作为计量单位，目前来说，常用的管径为1/8”
（一分）、2/8“（二分）、3/8”（三分）、 4/8“（四分）、5/8”（五分）、6/8“（六分）、 1”等等，这是一种实际尺寸，可以直接由英寸和公制
毫米换算，即1/4”=6.35mm；
型号 301—延展性好，用于成型产品。也可通过机械加工使其迅速硬化。焊接性好。 抗磨性和疲劳强度优于304不锈钢。 型号 302—耐腐蚀性同304，由于含碳相对要高因而强度更好。 型号 303—通过添加少量的硫、磷使其较304更易切削加工。 型号 304—通用型号；即18/8不锈钢。GB牌号为0Cr18Ni9。 SUS304L 型号 309—较之304有更好的耐温性。 型号 316—继304之后，第二个得到最广泛应用的钢种，主要用于食品工业和外科手术 器材，添加钼元素使其获得一种抗腐蚀的特殊结构。由于较之304其具有更好的抗氯化 物腐蚀能力因而也作“船用钢”来使用。SS316则通常用于核燃料回收装置。18/10级 不锈钢通常也符合这个应用级别。 SUS316L 型号 321—除了因为添加了钛元素降低了材料焊缝锈蚀的风险之外其他性能类似304。 400 系列—铁素体和马氏体不锈钢 型号 408—耐热性好，弱抗腐蚀性，11%的Cr，8%的Ni。 型号 409—最廉价的型号（英美），通常用作汽车排气管，属铁素体不锈钢（铬钢）。 型号 410—马氏体（高强度铬钢），耐磨性好，抗腐蚀性较差。 型号 416—添加了硫改善了材料的加工性能。 型号 420—“刃具级”马氏体钢，类似布氏高铬钢这种最早的不锈钢。也用于外科手术 刀具，可以做的非常光亮。 型号 430—铁素体不锈钢，装饰用，例如用于汽车饰品。良好的成型性，但耐温性和抗 腐蚀性要差。 型号 440—高强度刃具钢，含碳稍高，经过适当的热处理后可以获得较高屈服强度，硬 度可以达到58HRC，属于最硬的不锈钢之列。最常见的应用例子就是“剃须刀片”。 常用型号有三种：440A、440B、440C，另外还有440F（易加工型）。 500 系列—耐热铬合金钢。 600 系列—马氏体沉淀硬化不锈钢。 型号 630—最常用的沉淀硬化不锈钢型号，通常也叫17-4；17%Cr，4%Ni。
压缩空气系统流程简述
压缩空气CDA系统
一、压缩空气CDA系统系统概述
CDA之来源取之于大气经压缩机压缩后除湿，再经过滤器或活性炭吸附
去除粉尘及碳氢化合物以供给无尘室CDA，CDA主要供给厂务系统气动 设备、FAB内气动设备动力气源及吹净。
Hale Waihona Puke 我厂压缩空气的流程为：环境压力下的大气---空气压缩机---- 缓衡储存槽
---冷却干燥机 --- 过滤器 ---用户 压缩空气系统设2台水冷无油螺杆式空压机（定频/变频）,2台压缩热回收 式干燥机，一个压缩空气罐, 二套过滤组。
无耗气压缩热回收吸附式干燥机： 含有水份、油份的压缩空气进入气对气热交换器，使压缩空气预冷，降 低压缩空气的温度，除去一部份水分，再进入气对制冷剂热交换器，使 压缩空气冷却到2-100C的露点温度。水份、油份及部分杂质在此被凝结 ，冷却后的气体和已凝结的水份、油份及部分杂质通过气液分离器被分 离，然后水份、油分被自动排水阀排出，干燥后的压缩空气通过气对气 热交换器升温后输出，从而有效地防止了管路“出汗”现象的发生。
三、主要设备介绍
螺杆式空压机主机主要由一对阴阳转 子和壳体组成，属于容积式。其工作 工程由吸气过程、压缩过程和排气过 程组成。外部空气吸入压缩机主机， 当一对凸角完成排气过程（两凸角在 排气端完全啮合）时转子另一端（进 气端）的空隙开始通过吸气口充气， 而另一对准备压缩，当该对凸角中的 阴凸角在其整个长度上充满气时，进 气阶段结束。随着转子进一步转动， 阳转子凸角开始在进气端与阴转子啮 合，相互啮合的两凸角的脊线通过密 封线时便将已吸入的空气截住，阳凸 角开始挤压截住的空气并同时将其挤 到排气端盖。阳转子的挤压运动逐渐 减少被截留的空气的体积，同时冷却 油通过机壳上钻有的压力喷嘴不断喷 入这些空气里，冷却油吸收压缩热， 润滑转子，并为转子提供密封。
一、压缩空气CDA系统系统概述
CDA之来源取之于大气经压缩机压缩后除湿，再经过滤器或活性炭吸附
去除粉尘及碳氢化合物以供给无尘室CDA，CDA主要供给厂务系统气动 设备、FAB内气动设备动力气源及吹净。
Hale Waihona Puke 我厂压缩空气的流程为：环境压力下的大气---空气压缩机---- 缓衡储存槽
---冷却干燥机 --- 过滤器 ---用户 压缩空气系统设2台水冷无油螺杆式空压机（定频/变频）,2台压缩热回收 式干燥机，一个压缩空气罐, 二套过滤组。
无耗气压缩热回收吸附式干燥机： 含有水份、油份的压缩空气进入气对气热交换器，使压缩空气预冷，降 低压缩空气的温度，除去一部份水分，再进入气对制冷剂热交换器，使 压缩空气冷却到2-100C的露点温度。水份、油份及部分杂质在此被凝结 ，冷却后的气体和已凝结的水份、油份及部分杂质通过气液分离器被分 离，然后水份、油分被自动排水阀排出，干燥后的压缩空气通过气对气 热交换器升温后输出，从而有效地防止了管路“出汗”现象的发生。
三、主要设备介绍
螺杆式空压机主机主要由一对阴阳转 子和壳体组成，属于容积式。其工作 工程由吸气过程、压缩过程和排气过 程组成。外部空气吸入压缩机主机， 当一对凸角完成排气过程（两凸角在 排气端完全啮合）时转子另一端（进 气端）的空隙开始通过吸气口充气， 而另一对准备压缩，当该对凸角中的 阴凸角在其整个长度上充满气时，进 气阶段结束。随着转子进一步转动， 阳转子凸角开始在进气端与阴转子啮 合，相互啮合的两凸角的脊线通过密 封线时便将已吸入的空气截住，阳凸 角开始挤压截住的空气并同时将其挤 到排气端盖。阳转子的挤压运动逐渐 减少被截留的空气的体积，同时冷却 油通过机壳上钻有的压力喷嘴不断喷 入这些空气里，冷却油吸收压缩热， 润滑转子，并为转子提供密封。
CDA系统及管材介绍
CDA系统及管材介绍1.牙科椅:牙科椅是牙科诊疗的中心设备，用于患者的诊疗和治疗。
牙科椅通常具有可调节性、舒适的椅背和椅座，并附有手扶和足踏开关等操作装置。
2.牙科灯:牙科灯用于提供适宜的照明条件，帮助牙医观察和治疗患者的口腔。
牙科灯通常具有可调节的亮度和颜色温度，以及良好的照射范围和聚光度。
3.牙科器械:牙科器械包括手术钳、镊子、镜子、吸引器等。
这些器械用于在牙医进行治疗和手术过程中辅助操作和提供帮助。
一些先进的CDA系统还可能包括牙科激光器等器械。
4.牙科吸引系统:牙科吸引系统用于吸取患者口腔中产生的唾液和口腔分泌物等废液。
这可以确保在治疗过程中保持口腔的清洁和干燥条件，有利于牙医的工作效果。
5.牙科设备:牙科设备包括X光机、洗牙器、高速手托等。
这些设备用于辅助牙医进行口腔检查、牙齿矫正、牙齿洁治等治疗和操作。
除了CDA系统的组成部分，牙科管材也是牙科治疗中至关重要的一部分。
1.牙齿填充材料:牙齿填充材料用于修复蛀牙或损坏的牙齿。
常见的牙齿填充材料包括复合树脂、金属合金、陶瓷等。
2.牙齿固位材料:牙齿固位材料用于固定和稳定矫正器械和义齿。
常见的牙齿固位材料包括牙齿粘接剂、牙齿胶粘剂等。
3.牙齿根管材料:牙齿根管材料用于根管治疗，以清除或填充受损的牙髓和根管。
常见的牙齿根管材料包括封根剂、填充材料等。
4.牙齿修复材料:牙齿修复材料用于修复和重建缺失的牙齿。
常见的牙齿修复材料包括牙冠、牙桥、义齿等。
总而言之，CDA系统是一种全面的牙科助理系统，用于辅助牙医进行各种牙科治疗和手术。
牙科管材是牙科治疗中常用的材料，用于修复、固位和重建牙齿。
只有综合运用CDA系统和适当选择合适的牙科管材，才能有效地进行牙科治疗，并保证患者口腔健康的恢复。
cda系统流程及施工方案
CDA系统流程及施工方案1. 简介CDA（Construction Document Automation）系统是一种用于自动化生成施工文件的工具。
通过该系统，用户可以快速生成各种施工相关的文件，如施工合同、工作计划、进度表等。
本文将介绍CDA系统的流程以及施工方案。
2. CDA系统流程CDA系统的流程分为以下几个步骤：2.1 用户登录用户首先需要通过用户名和密码登录CDA系统。
每个用户都有自己的账户，可以根据权限不同拥有不同的操作权限。
登录成功后，用户可以进入系统的主界面。
2.2 创建项目在CDA系统中，用户可以创建多个项目。
每个项目代表一个具体的施工任务。
用户可以为每个项目指定项目名称、项目描述等信息。
创建项目后，用户可以进入项目的详细界面。
2.3 编辑施工文件在项目详细界面中，用户可以对施工文件进行编辑。
CDA系统提供了丰富的模板和表单，用户可以根据需要选择相应的模板和表单。
用户可以填写施工文件的各个字段，如合同中的双方当事人、工期、报价等。
填写完成后，用户可以保存并导出施工文件。
2.4 审核施工文件在填写完施工文件后，用户可以将文件提交给上级审核。
审核人可以对文件进行审核和修改，或者直接通过文件。
审核完成后，文件的状态将变为“已审核”。
2.5 打印施工文件在文件审核通过后，用户可以选择打印施工文件。
CDA系统支持生成PDF格式的文件，用户可以选择打印机打印或者保存文件。
2.6 文件归档打印完成后，用户可以将施工文件归档。
CDA系统将自动为每个文件生成唯一的编号，并将其存储在系统中。
用户可以根据编号进行查找和检索。
3. 施工方案CDA系统的施工方案包括以下几个方面：3.1 数据库设计CDA系统需要设计一个数据库来存储项目信息、用户信息、施工文件等。
数据库设计需要考虑项目与用户的关系、项目与施工文件的关系等。
同时，数据库还需要设计相应的权限管理机制，以保证用户只能访问自己所属的项目和文件。
3.2 界面设计CDA系统的界面需要直观、易用。
厂务系统概述简单中文介绍
清洁清洗/制程需求
1.4 真空系统在制程中的功能
PV 制程真空
HV 清洁真空
吸引搬移 尘屑吸引清洁
1.5 排气/排水系统在制程中的功能
Pump Line 制程高真空
Exhaust 排气系统
Drain 排水系统
制程转换之高真空建立 制程转换之废气排除 制程使用之废DI/Chemical排放
二、厂务系统使用材质
PN2 纯化氮气
SUS 316L EP
其他B-GAS 大宗气体
SUS 316L EP/PH2有时用双套管(EP/AP)
S-GAS 特殊气体
SUS 316L EP/双套管/加热套
2.3 化学系统使用材质
有机类 化学药品
一般酸碱 化学药品
其他 化学药品
溶剂类→SUS 316 BA H2SO4/NaOH→PVC/CPVC CPVC/PFA/PVDF/PTFE
厂务系统概述
目录 一、厂务系统功能 二、厂务系统使用材质 三、厂务系统流程
一、厂务系统功能
1.1 水系统在制程中的功能
PCW 制程冷却水
UPW/DIW 超纯水
制程机台冷却 补水/清洗/稀释
Chill Water 冰水
RW 回收水
冷却用冷源/空调用冰水 DI回收/冷凝回收/再生使用
CW 自来水
原水/一般用水
化学品 供应槽车
化学品 储槽
传送系统
供应槽
废液 回收槽
回收管线
使用点
VMB/P
分配系统 化学管路
3.10 废水收集系统简略流程
Drain Pipe
机台 排放点
收集 管线
废水 处理厂
3.11 废水处理系统简略流程
CDA与特气简介
螺杆空压机管路流向(水,油,压缩空气)：
压缩空气 冷却水 油
加卸载调节阀
空气过滤器 油过滤器
空气进口
低压转子
消声器 单向阀
贮油槽
高压转子 油泵
中冷器
后冷器
冷却水出
冷却水进
水分离器 排污阀
压缩空气出口
油冷却器
空压机加载运行：
K04 AC 24V
电磁阀
C
加载活塞
100%进气
进气 阀
高压排气 阀
中间压力2.3bar
•转子的旋转齿间容积达到了最大，此位齿槽内的气 体被转子齿和机壳包围在一个封闭的空间中；
•齿间容积由于转子齿的啮合而不断减少，实现 气体的压缩，气体压力不断升高；
•齿间容积与排气口连通后即开始排气，持续 到齿末端的型线完全啮合为止；
干燥机工作步聚
冷却:再生加热完成后，为了避免吸附剂内的高温对现场使用的影响，即 进入桶槽的冷却；
①，冷却采用密闭循环，避 免环境空气的影响。
②，首先鼓风机反转，冷却空气经单 向止回阀R4,气动二通阀K4从下而上 进入桶槽B2冷却，
③，与吸附剂换热后经气动二通阀K6 与冷却器换热冷却，吸附剂的热量最 终被冷却水带走。
去除压缩空气中的水，油 去水/油，保护末端滤芯 去除颗粒，保证供气质量
三、CDA管网
2F Tank
1F
计量
Tank 空压机
1,Fab#3每个楼层设置有Tank保证本楼层压力的稳定; 2,每个区域采用环网管路，进一步保证至各机台压力的稳定；
3,所有CDA管路材质使用是SUS 316L BA SCH 5S不锈钢管;
2,连杆(2)在弹簧力作用下返回，调节阀（TV）关闭,导致中间压力为负值,膜片(4)向左移动;同 时卸荷阀（UV）打开,高压转子出口压力通过消音器(US)排放;空压机卸载运行;
制程真空系统简介
扩散泵浦（Diffusion pump）
喷射泵浦（Ejection pump）
动力
涡轮分子泵浦（Turbo molecular pump）
分子拖曳泵浦（Molecular drag pump）
吸收泵浦（Sorption pump） 冷冻陷阱泵浦（Cold trap pump） 溅击离子泵浦（Sputter ion pump,SIP） 钛深升华泵浦（Titanium sublimation pump,TSP） 非蒸发吸除泵浦（Non evaporable getter,NEG）
温度固定时，一定量气体所产生之压力与体积成反比： 即P1V1= P2V2 ２．查理定律（Charle’s Law）
体积固定时，一定量气体所产生之压力与温度成正比： 即P1/T1= P2/T2 ３．道尔顿定律（Dalton’s Law） 一个混合气体的总压力等于每个单独气体其分压得的总和： 即Pt=ntkT= n1kT+ n2kT+ n3kT+……+ nikT或是 Pt=P1+P2+P3+……+Pi
表压力=绝对压力-大气压力 =650-1013=-363mbar=-272.3mmHg
由上例可知若是将真空压力=650mbar视为表压力，则 会出现甚大之差距。
一般言之，型录上之真空压力大部分为绝对压力， 单位为Kpa,mmHg,inHg等，我们在表示真空压力为表压 力时，其应以负值表示，或是以mmHg.之方式表示之， 以免造成误解。
1~10-3 torr 1~10-3 mbar
10-3~10-7 torr 10-3~10-7 mbar
10-7~10-10 torr
10-10以下 torr
10-7~10-10 mbar 10-10以下mbar
CDA系统及制程真空系统简介解读
真空度大于28.0inHg(vac) (轻载)
制程真空系统
➢ 真空机~油温控制器
水量控制旋鈕
冰水流向
油溫感測器 (揮發性液體)
制程真空系统
➢ 主电源回路/控制回路
480-110V
Local Remote
On Off PLC Start
PLC Stop Kp1
TR3 CR2
PPR(Phase Protection Relay)
Relay
M2
M1
OL2
OL1
M
Fan Motor
M
Vacuum Pump Motor
制程真空系统
➢ 主电源回路/控制回路
480-110V
Local Remote
On Off PLC Start
PLC Stop Kp1
TR3 CR2
PPR(Phase Protection Relay)
ITS(油溫保護點)
系統末端真空度監視點 TFT CF LCD LCM2F LCM3F LCM4F LCM5F LCM6F
Tank-1
Tank-2 P
加減載真空度 延 遲 時 間
自動加載設定 -26.0 inHg
20 sec
自動減載設定 -28.0 inHg
60 sec
RUN
RUN
STOP
STOP
待機一
待機二
制程真空系统
➢ 压缩干燥空气处理流程
压缩干燥空气系统
➢ 离心式空气压缩机
压缩干燥空气系统
➢ 离心式空气压缩机
進口空氣过滤器和消音器 旁通阀
進口調節導葉
止回阀
橈性接頭 後冷却器
油過滤器 油温控制阀
压缩空气系统流程简述
二、压缩空气系统启动
系统启动前的准备工作： 1.检查确认各动力电源和控制电源等送上，各联锁、保护报警、程控装置、 测量、指示表计等投入，各设定值正确； 2.打开空压机油分离器底部冷凝液排污阀，检查有无冷凝水。排干净水后 关闭排污阀；检查油的压力和存量 3.检查各动力设备冷却水循环系统是否正常，水压是否正常，水温是否正 常， 打开冷却水进出水阀门； 4.检查空压机出口阀至无耗气压缩热回收吸附式干燥机的阀门打开状态。 5.观查制冷系统：观察冷媒高、低压表，两表在一定压力下达到基本平衡， 是否正常。 6.检查储气罐、管道及过滤组的阀门位置正常，仪表已正确投入。 7.32℃冷却水回收换热器投用运行。
系统启动： 1.压缩空气各管道阀门确认空压机启动条件满足，启动空压机； 2.空压机启动运行，排气压力开始缓慢上升，检查空压机运行正常； 3.打开待投运干燥机进口阀，压力升至指定工作压力后，将干燥机启动； 4.检查干燥机正常运行一至两个工作循环周期后，打开干燥机出口气动阀； 5.打开压缩空气储罐进口阀， 6. 当压缩空气压力升至工作压力后，检查压缩空气储罐及系统管道无泄漏， 各表计指示正常，开启各用户手动阀，往各用户供气。
压缩空气CDA系统
一、压缩空气CDA系统系统概述
CDA之来源取之于大气经压缩机压缩后除湿，再经过滤器或活性炭吸附
去除粉尘及碳氢化合物以供给ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ尘室CDA，CDA主要供给厂务系统气动 设备、FAB内气动设备动力气源及吹净。
我厂压缩空气的流程为：环境压力下的大气---空气压缩机---- 缓衡储存槽
---冷却干燥机 --- 过滤器 ---用户 压缩空气系统设2台水冷无油螺杆式空压机（定频/变频）,2台压缩热回收 式干燥机，一个压缩空气罐, 二套过滤组。
CDA系统简介.chm
管子表号是管子设计压力与设计温度下材料许用应力的比值乘以 1000,并经圆整后的数值。
即: Sch＝P/[σ]t×1000 根据工业管道验收规范（ GB 50235—97） 验收水压试验为使用压力的1.5倍 吸气管路的选择： 根据GB50233-97规范要求： 3.0.4 空气压缩机吸气系统的吸气口，宜装设在室外，并应有防雨措施。
5、管路及阀件的配备
1.管路的选择 钢管的形式：焊接钢管还是无缝钢管 管路的材质选择：SUS304，碳钢，镀锌钢管，根据用气品质的要求 管路洁净度及表面光滑度的选择： AP/BA/MP
5、管路及阀件的配备
1.管路的选择 压缩空气管路选择： 管路的压力等级（Sch10S） 压力的确定 使用压力8.5kgf/cm2, Sch10S的确定：
6、压缩空气系统热工仪表的安装
根据GB50029-2003确定压缩空气系统仪表的安装 1.压缩机空气站供气母管压力 2.储气罐气压 3.空气压缩机组冷却水进水（阀后）压力 4.空气干燥装置压差 5. 空气过滤器压差 过滤器进出管路安装压力表 6.冷却水进水总管水温 7. 空气压缩机组冷却水排水温度 8.吸附式干燥机后需安装压力露点仪 9.压缩空气站供气母管流量
CDA系统简介
主要内容
1.系统所要达到的要求 2.系统主要设备的简介 3.系统管路及阀件的配备 4.系统热工仪表的配备
1.压缩空气功能需求
功能需求:压缩空气的排气量,压力和温度
2.压缩空气品质需求
品质需求 (ISO8573-1)或GB/T13277-1991
1.湿度: 压力露点: 1级:< -70 C 2级:< -40 C 3级:< -20 C 4级:< +3 C 5级:< +7 C 2.固体颗粒:
即: Sch＝P/[σ]t×1000 根据工业管道验收规范（ GB 50235—97） 验收水压试验为使用压力的1.5倍 吸气管路的选择： 根据GB50233-97规范要求： 3.0.4 空气压缩机吸气系统的吸气口，宜装设在室外，并应有防雨措施。
5、管路及阀件的配备
1.管路的选择 钢管的形式：焊接钢管还是无缝钢管 管路的材质选择：SUS304，碳钢，镀锌钢管，根据用气品质的要求 管路洁净度及表面光滑度的选择： AP/BA/MP
5、管路及阀件的配备
1.管路的选择 压缩空气管路选择： 管路的压力等级（Sch10S） 压力的确定 使用压力8.5kgf/cm2, Sch10S的确定：
6、压缩空气系统热工仪表的安装
根据GB50029-2003确定压缩空气系统仪表的安装 1.压缩机空气站供气母管压力 2.储气罐气压 3.空气压缩机组冷却水进水（阀后）压力 4.空气干燥装置压差 5. 空气过滤器压差 过滤器进出管路安装压力表 6.冷却水进水总管水温 7. 空气压缩机组冷却水排水温度 8.吸附式干燥机后需安装压力露点仪 9.压缩空气站供气母管流量
CDA系统简介
主要内容
1.系统所要达到的要求 2.系统主要设备的简介 3.系统管路及阀件的配备 4.系统热工仪表的配备
1.压缩空气功能需求
功能需求:压缩空气的排气量,压力和温度
2.压缩空气品质需求
品质需求 (ISO8573-1)或GB/T13277-1991
1.湿度: 压力露点: 1级:< -70 C 2级:< -40 C 3级:< -20 C 4级:< +3 C 5级:< +7 C 2.固体颗粒:
真空系统方案
真空系统方案引言真空系统在很多工业领域中都起着重要作用，例如半导体制造、航天航空、医疗设备等。
一个稳定、高效的真空系统方案能够确保设备的正常运行，并对产品质量和工艺流程起到关键影响。
本文将介绍一种高效稳定的真空系统方案，包括系统组成、关键技术以及应用案例。
系统组成一个典型的真空系统主要由以下几个组成部分构成：1.真空泵：真空泵是整个系统的核心部件，负责将系统中的气体抽出，形成真空状态。
根据抽气原理的不同，真空泵可以分为离心泵、根式泵、螺杆泵等多种类型，根据系统的需求选择适当的真空泵非常重要。
2.阀门：阀门用于控制系统中的气体流动和压力调节。
常见的阀门类型有截止阀、调节阀、截断阀等，不同的阀门可以实现不同的控制功能。
3.传感器：传感器用于监测系统中的真空度、气体流动速度等参数。
常见的真空传感器有热导式传感器、冷阴极离子化传感器等，准确的传感器能够提供可靠的监测数据，保证系统的稳定性。
4.管道系统：管道系统负责连接各个组件，将气体从一个地方传输到另一个地方。
管道材料需要具备良好的密封性和耐腐蚀性能，以确保气体不泄漏，同时要避免对气体流动的过多阻力。
5.控制系统：控制系统依靠电子设备，对真空系统的各个组件进行监控和控制。
它可以自动调整真空泵的工作状态，控制阀门的开关和流量，同时通过传感器获取数据，实现对真空度的精确控制。
关键技术一个高效稳定的真空系统方案需要充分考虑以下几个关键技术：1.泵速和泵油选择：根据系统所需抽气速度和泄漏率，选择合适的泵速和泵油是保证真空度的关键。
如果抽气速度过大，有可能带来过高的泄漏率；而抽气速度过低，则无法满足系统的需求。
2.管道设计和材料选择：管道的设计要充分考虑气体流动的阻力和泄漏的可能性。
合理选择管道的直径和长度，使用高质量的密封材料，可以减少能量损失和气体泄漏，提高系统效率。
3.控制策略和算法：控制系统采用合适的策略和算法可以提高系统的稳定性和响应速度。
例如，采用PID控制算法可以实现对真空度的精确控制，提高系统的稳定性。
真空系统介绍
真空系统介绍真空系统介绍⒈引言此文档旨在介绍真空系统，包括其基本原理、组成部分以及应用领域。
真空系统是一种利用各种技术手段将气体流动控制在低压环境下的系统。
它在科研实验室、工业生产以及医疗设备等领域广泛应用。
⒉基本原理真空系统的基本原理是通过减压手段将系统内的气体流动减少到一个较低的压力水平。
常用的减压手段包括机械泵、说服泵以及分子泵等。
通过减压，真空系统可以实现可控的低气压环境。
⒊组成部分⑴减压装置真空系统的减压装置起到降低压力的作用。
常用的减压装置包括机械泵、说服泵、分子泵以及涡轮分子泵等。
每种减压装置都有其适用的压力范围和工作原理。
⑵气体收集系统真空系统需要收集和处理流出的气体。
气体收集系统通常包括气体收集罐、冷凝器以及其他处理设备。
这些设备可以分离、回收和处置气体，以满足不同的需求。
⑶控制系统真空系统的控制系统用于监测和控制系统内的压力、温度和流量等参数。
控制系统通常包括传感器、阀门、计量仪表和计算机控制等部分，以实现对真空系统的精确控制和调节。
⒋应用领域⑴科研实验室真空系统在科研实验室中广泛应用，用于制备样品、实现特定的气氛条件以及模拟极端气候环境等。
它在物理学、化学、材料科学等领域起到重要作用。
⑵工业生产真空系统在工业生产中常用于处理、包装和干燥等工艺。
例如，在食品包装行业中，真空系统可以将氧气抽出，延长食品的保鲜期。
⑶医疗设备真空系统在医疗设备中起到关键作用。
例如，真空系统可用于医疗器械的消毒和干燥，以及操作室和手术室的气氛控制等。
⒌附件本文档没有涉及附件内容。
⒍法律名词及注释⑴真空度：衡量真空系统状态的参数，通常用帕斯卡（Pa）或毫巴（mbar）表示。
⑵减压装置：用于降低真空系统内气体压力的装置，包括机械泵、说服泵、分子泵等。
⑶气体收集系统：用于收集和处理真空系统流出气体的系统，通常包括气体收集罐、冷凝器等设备。
⑷控制系统：监测和控制真空系统参数的系统，包括传感器、阀门、计量仪表、计算机控制等。
厂务系统概述简单中文介绍
清洁清洗/制程需求
1.4 真空系统在制程中的功能
PV 制程真空
HV 清洁真空
吸引搬移 尘屑吸引清洁
1.5 排气/排水系统在制程中的功能
Pump Line 制程高真空
Exhaust 排气系统
Drain 排水系统
制程转换之高真空建立 制程转换之废气排除 制程使用之废DI/Chemical排放
二、厂务系统使用材质
2.4 真空系统使用材质
PV 制程真空
HV 清洁真空
PVC SCH80/SUS 304 PVC SCH80/SUS 304
2.5 排气系统使用材质
Pump Line 制程高真空
GEX 一般排气
Solvent 有机排气
Acid/Ak 酸硷排气
SUS 316 BA/EP 镀锌螺旋风管 SUS 304全焊式不锈钢风管 不锈钢Teflon Coating风管
3.2 冰水系统简略流程
大气
冷却水塔 冷却 水
冰水主机 冷媒循环
冰水 回
MAU VAU
冰水
AHU
出 其他空调箱
板热
3.3 纯水系统简略流程
City Water 自来水
多层过滤器
阴/阳离子 交换树脂塔
RO Tank RO进水槽
热交换器
精密滤器 5μM 滤心
紫外线杀 菌灯
纯水储水槽
CEDI
精密滤器 1μM 滤心
化学品 供应槽车
化学品 储槽
传送系统
供应槽
废液 回收槽
回收管线
使用点
VMB/P
分配系统 化学管路
3.10 废水收集系统简略流程
Drain Pipe
机台 排放点
收集 管线
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制程真空系统
控制回路
480-110V R S On Local Remote Kp1 TR3 CR2 ITS(絕絕絕絕絕) TR1 Cont. Auto CR2 OL1 OL2 M1 M2 HM(絕絕絕絕) SV2(絕絕絕絕絕) TR1 Vacuum Switch Local Remote Remote Load M1 SV1(絕絕絕絕絕) M Fan Motor M Vacuum Pump Motor M2 OL2 M1 OL1 PPR(Phase Protection Relay) CR2 Off PLC Start PLC Stop TR3 (5sec) Phase Protection Relay FU Kp1 Set Kp1 Reset NFB T
制程真空系统
控制回路~Local/Cont
480-110V R S On Local Remote Kp1 TR3 CR2 ITS(絕絕絕絕絕) TR1 Cont. Auto CR2 OL1 OL2 M1 M2 HM(絕絕絕絕) SV2(絕絕絕絕絕) TR1 Vacuum Switch Local Remote Remote Load M1 SV1(絕絕絕絕絕) M Fan Motor M Vacuum Pump Motor M2 OL2 M1 OL1 PPR(Phase Protection Relay) CR2 Off PLC Start PLC Stop TR3 (5sec) Phase Protection Relay FU Kp1 Set Kp1 Reset NFB T
压缩干燥空气及 制程真空系统
厂务四处空调课
~第一单元~ 压缩干燥空气系统
压缩干燥空气系统
系统目的
?提供低含水量之压缩洁净空气
需求设备
?离心式空气压缩机(螺旋式空气压缩机) ?吸附式干燥机(冷冻式干燥机) ?微粒子过滤器
质量要求(各厂需求略有不同)
?系统末端压力高于7.0kg/cm2 ?空气露点温度低于-70℃(水份含量低于0.12ppm) ?微粒数少于10颗/ft3
STOP 絕絕絕
制程真空系统
真空机组成
絕絕絕絕絕 絕絕絕絕絕 絕絕絕絕絕 絕 絕 絕 絕 絕
絕 絕 絕 絕 絕
絕絕絕絕 絕絕絕絕
絕絕絕絕絕 絕絕絕絕絕
絕絕絕絕絕
制程真空系统
真空机工作流程
絕絕絕絕絕 絕絕絕絕絕
空气部份
絕絕絕絕絕 絕 絕 絕 絕 絕
润滑油部份
絕 絕 絕 絕 絕
絕絕絕絕 絕絕絕絕
A絕絕絕絕
B絕絕絕絕
A絕絕絕絕
B絕絕絕絕
絕絕絕 A絕絕絕絕 B絕絕絕絕
絕絕絕
絕絕絕絕
压缩干燥空气系统
干燥机温度/压力表(机械式)
入口壓力
P
T
排氣出口溫度
T
A桶槽溫度
B桶槽溫度
T
P
A桶槽壓力
B桶槽壓力
P
冷卻壓力
P P
出口壓力
压缩干燥空气系统
干燥机温度/压力表(机械式)
Inlet Pressure
绝对压力
?表压力+大气压力
絕 絕 絕
絕 絕 絕 絕絕絕絕
压力换算
?1kg/cm2=14.7/1.033=14.2psi
絕絕絕絕
絕絕絕絕 絕絕絕絕
絕絕絕絕
压缩干燥空气系统
风量单位
?CMM(m3/min)、CMH(m3/hr)、CFM(ft3/min)
单位换算
?1CMM(m3/min)=1m3/(1/60hr)=60CMH =(3.28ft)3/min=35.3CFM
P
Left Chamber Pressure
Moisture Indicator
Right Chamber Pressure
A桶槽
B桶槽
Inlet Pressure Purge Outlet Pressure
Purge
P Left Chamber Pressure
P P Right Chamber Pressure
特定风量条件
?Standard Condition(SCMM)：1atm、20℃、 65%R.H ?Normal Condition(NCMM)：1atm、0℃、 0%R.H
压缩干燥空气系统
Standard&Normal风量转换
?理想气体定律 ?(P1*V1)/T1=(P2*V2)/T2 ?P：绝对压力 ?T：绝对温度
Standard&Normal风量转换范例
?100SCMM= NCMM ?理想气体定律 (1.033kg/cm2*100SCMM)/(20℃+273) =(1.033kg/cm2* NCMM)/(0℃+273) ?Ans：93.17NCMM ?Q(Standard) > Q(Normal)
压缩干燥空气系统
大气压力
?1atm=29.92inHg=10,328mmAq=1.033kg/cm2=14.7Psi =101,325Pa=1.01Bar=760Torr 絕 絕 絕
绝对压力
?表压力+大气压力
絕 絕 絕
絕絕絕絕
真空度
?负压力单位or压力单位(vac)
絕絕絕絕 絕絕絕絕
絕絕絕絕 絕絕絕絕
制程真空系统
絕絕絕絕絕
絕絕絕 (15psi)
絕絕絕絕絕絕 (115絕) 絕絕絕絕絕絕( 絕/ 絕)
絕絕絕絕絕
制程真空系统
真空机~入口导引阀
真空开关设定：下限?-26.0inHg 上限?-28.0inHg
絕絕絕 絕 絕 絕 絕絕絕
絕絕 絕絕 ON ON/OFF OFF
絕絕絕絕 絕絕絕
絕 絕 絕 絕絕絕絕
设备启动(真空度小于26.0inHg vac)
吸附过程(11hr)
?干燥粒吸收压缩空气所含水份之程序
再生过程(11hr)
?泄压程序(8min)：泄除欲再生桶槽保有之压力 ?加热程序(240min max)：加温移除干燥粒子所含水份 ?冷却程序(410min max)：冷却干燥粒以恢复吸附能力 ?建压程序(15min)：建立再生完成桶槽之压力
压缩干燥空气系统
工作流程~吸附过程
入口阀(桶槽切换时作动)
A桶槽高温切换 T 保护开关(50℃)
A桶排气阀(OFF)
T
B桶排气阀(OFF)
T
B桶槽高温切换 保护开关(50℃)
吸附桶槽
A絕絕
桶槽切换依据 1.侦湿器作动(7.5~13kHz) 2.时间控制(11hr)
P T T P
B絕絕
待机桶槽
A桶泄压阀(OFF)
真空度大于26.0inHg(vac) 小于28.0inHg(vac) (重载)
真空度大于28.0inHg(vac) (轻载)
制程真空系统
真空机~油温控制器
絕絕絕絕絕絕
絕絕絕絕
絕絕絕絕絕 ( 絕絕絕絕絕)
制程真空系统
主电源回路/控制回路
480-110V R S On Local Remote Kp1 TR3 CR2 ITS(絕絕絕絕絕) TR1 Cont. Auto CR2 OL1 OL2 M1 M2 HM(絕絕絕絕) SV2(絕絕絕絕絕) TR1 Vacuum Switch Local Remote Remote Load M1 SV1(絕絕絕絕絕) M Fan Motor M Vacuum Pump Motor M2 OL2 M1 OL1 PPR(Phase Protection Relay) CR2 Off PLC Start PLC Stop TR3 (5sec) Phase Protection Relay FU Kp1 Set Kp1 Reset NFB T
压缩干燥空气处理流程
压缩干燥空气系统
离心式空气压缩机
压缩干燥空气系统
离心式空气压缩机
進口空氣过滤器和消音器 旁通阀 後冷却器 進口調節導葉 橈性接頭 止回阀
油過滤器 油温控制阀
中間冷卻 器 中間 冷卻 器 排油氣風扇及過滤器 油 空氣 水 冷凝水 油加热器 油箱 主油泵
油冷却器
辅油泵 过滤網
真空系统流程图
絕絕絕絕絕絕絕絕絕絕 TFT CF LCD LCM2F LCM3F LCM4F LCM5F LCM6F
絕絕絕絕絕絕 絕 絕 絕 絕 絕絕絕絕絕絕 Tank-1 Tank-2 P 絕絕絕絕絕絕 -26.0 inHg -28.0 inHg 20 sec 60 sec
RUN
RUN
STOP 絕絕絕
絕絕絕絕絕 絕絕絕絕絕
絕絕絕絕絕
制程真空系统
真空机表件/图控点/附属组件
絕絕絕絕絕 絕絕絕絕絕 絕絕絕絕絕 絕絕絕絕絕 絕絕絕絕 絕絕絕絕 絕 絕 絕 絕 絕 絕 絕 絕 絕 絕 絕絕 絕絕絕 絕絕絕絕絕絕 絕絕絕絕絕絕 絕絕絕絕 絕絕絕絕絕 ( 絕絕絕75絕) 絕絕絕絕 絕絕絕絕絕
絕絕絕絕絕 絕絕絕絕絕 絕絕絕絕絕
再生过程~冷却程序(410min max)
入口阀
T
A桶排气阀(ON)
T
B桶排气阀(OFF)
T
35℃
冷却桶槽
A絕絕
T T
B絕絕
吸附桶槽
P
P
A桶泄压阀(OFF)
B桶泄压阀(OFF)
建压阀(ON)
T
压缩干燥空气系统
再生过程~建压程序(15min)
入口阀
A桶槽高温切换 T 保护开关(50℃)
A桶排气阀(OFF)
入口阀
T
A桶排气阀(ON)
B桶排气阀(OFF) 加热结束温度 控制开关 (80℃) 1.鼓风机启动 2.加热器启动