布拉格光栅反射率的计算
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由边界条件可得到等效折射率Y:
其中δ1为: 故能量反射率为:
1 … k 3 2 + 1
多层薄膜的反射率
考虑k层薄膜的情况
可以从第k层递推到第1层,求出多层膜的有效折射率
第k层和基底的有效折射率为:
递推关系为:
这样递推到所有膜层都算完,得到整个膜系的 组合折射率
其中
有吸收情况下,膜系的反射率
有吸收情况下,菲涅尔公式也是有效的。 所不同的是介质的折射率为复数,即
2) TE波(S-偏振)── 最终,菲涅尔反射系数和透射系数可以写成:
能量反射率分别是:
1 2 单 层 薄 膜 的 等 效 界 面 图
单层薄膜的反射率
垂直入射很容易推广到斜入射时的情况: 只要将折射率N用修正折射率η代替,且在计算P-分量的反 射率时用 ,而在计算S-分量时用 (i=0,1)
假定所有介质均是非磁性的 单层薄膜的两个界面在数学上可以用一个等效界面来表示。 膜层和基底的组合折射率是Y。 即单层薄膜的振幅反射系数可以表示为:
由折射定律 得
即θ1为复数,且除了θ0=θ1=0的特殊情况外,θ1不再代表 折射角。 同时,菲涅尔投射西数也没有实际意义,因为波的衰减同 时取决于它在介质中传播的行进距离。
各膜层的相位厚度
令 则
同样令
则
这样原来的多层膜的递推公式
就可以相应地改写为
不过里面的各个参数都不再是实数而要代换成复数 膜层相邻两界面上的能流密度之比:
多层膜体系反射率 计算
Index
一)背景理论 1)单界面的反射率 2)单层薄膜的反射率 3)多层薄膜的反射率 4)有吸收情况下,多层薄膜的反射率 二)数值计算 1) 流程图 2) 计算结果
单界面的反射率
●
菲尼耳折射率公式:
一) 正入射时,界面的振幅反 射系数为:
界面的能量反射率为:
解决办法:引入修正折射率 1)TM波(P-偏振)──
相应的振幅反射系数就可以写为:
反射率:
流程图
输人 λ=λ0
初始化Nk 计算:δj, sinδj,cosδj Yj
是
φj=1
K=0?
否
j=j-1 计算r,λ=λ0+Δλ
否
是
λ>λ1?
否
推出
计算结果