薄膜光学理论与膜系设计

薄膜光学
薄膜光学理论与膜系设计
O484. 1
2008043278
硒化锌基底 3～12 μm 渐变折射率红外增透膜的设计 =
Gradient2index thin film design of infrared film s on ZnSe sub2
— 26—
strate for 3～12μm [刊 ,中 ] /鄢秋荣 (中科院光电所. 四川 , 成都 (610209) ) ,黄伟 … / /激光与红外. % 2008, 38 (2). %
增大而增强 。Nb膜应力先随薄膜厚度增大而增大 ,后随
薄膜厚度的增大有所减小 。图 6表 1参 22 (于晓光 )
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2008043281
退火对 N离子注入 ZnO ∶A l薄膜性能的影响 = Effects of
annealing on p roperties of N 2imp lanted ZnO ∶A l thin film s by
600 nm 的 Nb薄膜 ,对薄膜的沉积速率 、表面形貌 、晶体结 构进行了研究 ,分析了其应力和择优取向 。原子力显微镜
图像显示 Nb膜表面光滑 、致密 ,均方根粗糙度达到 0. 1 nm 量级 。X射线小角衍射给出了薄膜的晶格结构 、晶粒尺寸
和应力情况 。分析表明薄膜为多晶体心立方结构 ( bcc) , 在 (110)晶面方向存在明显的择优取向 ,且随着薄膜厚度
值反射率为 33. 29%。采用恒功率模式直流磁控溅射方法
制作 Mo /B4 C多层膜 。通过在 Mo /B4 C多层膜与基底之间 增加 15 nm厚的 Cr粘附层 ,提高多层膜与基底的粘附力 。
另外 ,还采用调整多层膜 Gamma值的方法减小其内应力 ,
调整后多层膜结构周期为 3. 59 nm ,Mo膜厚 1. 97 nm , B4 C 膜厚 1. 62 nm ,峰值反射率 26. 34%。制备了膜对数为 150
(200092) ) ,张众 …/ /强激光与粒子束. % 2008, 20 (1). % 67270
运用遗传算法优化设计了 Mo /B4 C多层膜结构 。入射 光入射角度取 10°时 ,设计的理想多层膜膜对数为 150,周
期为 3. 59 nm, Gamma值 (Mo膜厚与周期的比值 )为 0. 41,峰
1772180 叙述了傅里叶合成方法的原理和该方法用于 ZnSe基 底 3～12 m 红外增透膜的设计 。通过反傅里叶变换期望 的光谱特性曲线得到渐变折射率膜层 。用薄膜特征矩阵 的方法计算细分成很薄的多层均匀膜层的光谱透过率曲
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敏 … / /应用激光. % 2007, 27 (5). % 3752377
研究了一种基于光纤网络的结构承载位置判别的方
法 ,分析了检测系统的工作原理 ,进行了光纤智能结构承
载位置判别实验 ,做出光纤网络输出光强与加载量的变化
曲线图并进行了分析讨论 ,实验数据与理论分析能较好地
符合 。结果表明 ,这种承载位置的判别方法具有快速 、准
sol2gel technique [刊 ,中 ] /袁兆林 (电子科技大学物理电子
学院. 四川 ,成都 ( 610054 ) ) ,祖小涛 … / /半导体光电. %
2008, 29 (2). % 2122216
利用溶胶 2凝胶法在 (0001) A l2O3 衬底上制备了 A l/ Zn 原子比为 1%的 ZnO ∶A l薄膜 ,将能量 56 keV、剂量 1 ×
定时传感器 ,研制了涡轮机高速旋转叶片振动监测系统 , 能够高效地收集叶尖定时信号 ,配合后续的光电转换 、数 据采集和数据分析 ,实现了高速旋转叶片的实时振动检 测 。在现场高速模拟转子的实时监测实验中 ,该系统的工 作性能良好 ,得到的结果与同时进行监测的应变片实验结 果基本一致 ,分析的异步振动阶次和频率也基本符合 。图 4表 1参 9 (严寒 )
等 15个误差系数 。图 2表 2参 14 (严寒 )
其他
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2008043274
一种基于光纤的智能结构承 载 位 置 监 测 与 分 析 研 究 =
Load monitoring of fiber op tic smart structure [刊 ,中 ] /郭林
峰 (南京航空航天大学理学院. 江苏 ,南京 (210096) ) ,赵志
线 ,构造了新的 Q 函数和用逐次近似的方法修正膜层的折 射率轮廓图 ,能有效地减小与期望透射率曲线的偏差 ,再 给膜层加上五次方多项式匹配层与空气和基底两侧界面 相匹配 。所得渐变折射率增透膜在设计波段平均透射率 达到 95%。图 6参 9 (于晓光 )
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2008043279
高反射率 M o / B4 C 多层膜设计及制备 = Design and fabri2 cation of high reflectivity Mo /B4 C multilayer m irrors[刊 ,中 ] / 张慧晶 (同济大学精密光学工程技术研究所 ,物理系. 上海
确和可靠的优点 。图 3参 12 (严寒 )
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2008043275
飞秒激光加工的微型光纤法布里 2珀罗干涉传感器 =M i2
cromachining of an in2fiber extrinsic Fabry2Perot interferomet2
ric sensor by using a fem tosecond laser[刊 ,中 ] /王维 (重庆
的 Mo /B4 C膜并测量了其反射率 ,在波长 7. 03 nm 处 ,Mo / B4 C多层膜的近正入射反射率为 21. 0%。图 5参 13 (于晓 光)
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2008043280
膜厚对直流磁控溅射 Nb 薄膜微结构的影响 = Effects of
thickness on m icrostructure and p roperties of Nb film s deposi2
% 60265
提出一种光纤陀螺 IMU 的六位置旋转现场高精度标
定新方法 ,该方法在使用现场将光纤陀螺 IMU在 6个位置
上进行 12次旋转 ,然后根据光纤陀螺 IMU 的误差模型建
立 42个非线性输入输出方程 ,通过旋转积分和对称位置
误差相消 ,消除方程中的非线性项 ,最终求解出陀螺标度
因数 、陀螺常值漂移 、陀螺安装误差和加速度计常值偏置
颖 / /西安工业大学学报. % 2007, 27 (5). % 4132415, 425
研究了三光纤补偿式位移传感器的原理和性能 ,根据
光纤出射端面的近似光强分布 ,数值计算了三光纤传感器
中接收光纤接收光强与位移的关系和补偿后的输出特性 ,
并对此输出特性进行了实验测量 。结果表明 ,数值计算结
果和测量结果一致 ,两根接收光纤各自的线性范围较小 ,
补偿后的三光纤位移传感器不仅能改善测量的线性度 ,而
且能在一定程度上放大传感器的线性测量范围 。图 5参 6
(严寒 )
饶云江 … / /中国激光. % 2007, 34 (12). % 166021664 介绍了一种利用波长为 800 nm 的飞秒激光脉冲在普 通单模光纤 ( SM F) 上刻蚀出微 型光纤法布里 2珀罗干涉 (M EFP I)传感器的方法 。该方法通过计算机控制就可以 进行任意腔长的微型光纤法布里 2珀罗干涉传感器的制 作 。实验研究了光纤法布里 2珀罗传感器的应变和温度特 性 ,结果表明 ,在 0～350με的应变范围内 ,干涉条纹波长 相对于应变的灵敏度为 0. 006 nm /με,线性度达 99. 69% ; 在 20～100 ℃的温度范围内 ,该光纤法布里 2珀罗传感器具 有较小的负温度特性 ,干涉条纹往短波方向漂移了 0. 15 nm。图 7参 11 (严寒 )
大学光电技术与系统教育部重点实验室. 重庆 ( 400044) ) ,
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2008043277
反射式光纤在高速旋转叶片振动测量中的应用 = App lica2
tion of reflective op tical fiber in vibration measurement for high2speed rotating blades[刊 ,中 ] /方志强 (天津大学精密 测试技术及仪器国家重点实验室. 天津 ( 300072) ) ,段发阶 … / /光电子 ·激光. % 2007, 18 (11). % 134821350 采用基于反射式光纤工作原理的新型光纤束式叶尖
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百度文库
2008043276
光纤陀螺 IM U的六位置旋转现场标定新方法 =Novel field
calibration through rotation in six2position for FOG2IMU [刊 ,
中 ] /刘百奇 (北京航空航天大学仪器科学与光电工程学
院. 北京 (100083) ) ,房建成 / /光电工程. % 2008, 35 ( 1).
7 nm 范围内的波长线性解 调 , 测量波长分辨率为 0. 01 nm。图 6参 12 (于晓光 )
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2008043272
光纤陀螺中的关键技术分析 = Analysis of key technique in
fiber op tic gyro [刊 ,中 ] /郝婕 (空军工程大学电讯工程学
1017 ions/ cm2 的 N 离子注入到薄膜中 。离子注入后 ,样品
在 500～900 ℃氮气气氛中退火 ,研究了退火温度对薄膜
性能的影响 。结果显示 ,在 800 ℃以下退火 ,随退火温度
提高 ,薄膜结晶性能逐渐变好 ;在 600 ℃以上退火 ,随退火
温度提高 ,紫外近带边发光峰 (NBE)和缺陷相关的深能级
可见光发光带都逐渐增强 ; 600℃退火时 ,样品的电阻率仅 为 83Ω ·cm。图 4表 1参 25 (于晓光 )
thermal2op tical p roperties of vanadium oxide film s[刊 ,中 ] /杨 爱国 (兰州大学物理学院. 甘肃 ,兰州 ( 730000 ) ) ,杨子健 … / /半导体光电. % 2008, 29 (2). % 2002202, 207 以石英片为基底材料 ,采用直流 /射频磁控共溅射方 法制备了掺 A l和掺 Ti的氧化钒薄膜 ,探索了用这种方法 制备掺杂氧化钒薄膜的工艺条件 ,对所制备的氧化钒薄膜 进行了热光性能测试 ,并利用能带理论对测试结果进行分 析 。结果表明 ,在氧化钒薄膜中掺入 Ti比掺入 A l对薄膜 的热光性质的改变所起的作用更为明显 。增大 Ti杂质的 含量对薄膜的电阻 2温度特性 、相变温度 ,以及相变滞豫区 的改善比较明显 ,而掺 A l引起的变化规律与此相反 。图 3 表 1参 10 (于晓光 )
参 4 (杨妹清 )
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2008043273
三光纤补偿式位移传感器的研究 = Study of tri2fiber op tical
disp lacement sensor w ith intensity compensation [刊 ,中 ] /李
武军 (西安工业大学数理系. 陕西 ,西安 ( 710032 ) ) ,王晓
院. 陕西 ,西安 (710077) ) ,李云霞 … / /激光杂志. % 2007,
28 (6). % 67268
论述了光纤陀螺的基本原理和工作过程 ,并对光纤熔
接技术 、光纤绕制技术 、误差检测和补偿技术 、系统动态误
差补偿技术 、光源以及噪声抑制技术 、集成光学芯片技术 、
数字信号处理电路等关键技术做了详细分析 。图 4 表 1
ted by DC magnetron sputtering[刊 ,中 ] /林华平 (西华师范
大学物理与电子信息学院. 四川 ,南充 ( 637002) ) ,吴卫东
… / /强激光与粒子束. % 2008, 20 (3). % 4132418 采用直流磁控溅射方法制备膜厚为 50, 100, 200, 400,