能谱分析仪

能谱分析仪（EDS）

能谱分析仪（EDS）是微区成份分析的主要手段之一。通常EDS检测限为0.1%-0.5%（元素含量）。EDS的能量分辨率：～130eV。

图1 EDS

1、主要有以下特点：

1）、能快速、同时对各种试样的微区内Be-U的所有元素，元素定性、定量分析，几分钟即可完成。

2）、对试样与探测器的几何位置要求低，可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果。

3）、能谱所需探针电流小：对电子束照射后易损伤的试样，例如生物试样、快离子导体试样、玻璃等损伤小。

4）、检测限一般为0.1%－0.5%，中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差约为2%。

2、EDS分析方法----点分析法

电子束（探针）固定在试样感兴趣的点上，进行定性或定量分析。该方法准确度高，用于显微结构的成份分析，对低含量元素定量的试样，只能用点分析。

图2 某试样EDS点分析

3、EDS的分析方法－线扫描分析

电子束沿一条分析线进行扫描时，能获得元素含量变化的线分布曲线。结果和试样形貌像对照分析，能直观地获得元素在不同相或区域内的分布。

图3 某试样线扫表分析

4、EDS的分析方法－面分布

电子束在试样表面扫描时，元素在试样表面的分布能在屏幕上以亮度（或彩色）分布显示出来（定性分析），亮度越亮，说明元素含量越高。研究材料中杂质、相的分布和元素偏析常用此方法。面分布常常与形貌对照分析。

图5-a 某试样EDS检测(未镀膜）

图5-b 某试样EDS检测（镀膜）5、定量分析对试样的要求

1）样品在真空和电子束轰击下要稳定;

2）高准确度的分析时,要求试样分析面平、垂直于入射电子束;

图6 不同入射角度对比图

3）试样尺寸大于X射线扩展范围;

4）有良好的导电和导热性能;

不导电试样或者导电性差的试样，例如无机非金属材料、有机材料、矿物及生物材料等，在常规SEM/EDS分析条件下会产生如下现象：

（1）、荷电现象（电荷积累）；

（2）电子束不稳定，无法确定分析点或者分析点漂移。

(3)、图像质量差（图像畸变、衬度和亮度异常），试样经常放电或者无法成像。

二次电子像畸变图像衬度、亮度异常

(4)、电子束轰击点的温度显著升高，往往使试样中某些低熔点组份挥发而影响定量分析准确度。

5）均质、无污染。