无尘室测试简介

無塵室測試簡介

在測試無塵室之前，若是能對測試規範、無塵室基本概念、無塵室的術語等有些了解，對測試當有幫助。這裡是一些背景資料，提供給讀者參考。

一、無塵室測試規範

有關無塵室定義、建造、控制、管理等等的國際標準，在網路上用〝contamination control〞搜尋，可以找到很多相關資料。無塵室的定義，最早是在美國聯邦標準209上出現，之後日漸普及並廣為半導體業與製藥業接受。在歐洲與日本，隨著工業的日益發展，各國的版本也逐漸出現。到了90年代後期，產業界體認到若是無共同標準，就不能實現經濟的全球化，於是有ISO-14644的產生。以下說明無塵室的各種標準與規範。

1.Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) ：美國聯邦標準209E，209的出版發行，是在1960

年代，之後不斷改版以因應科技進步與工業發展，版本從原始的209、209A，一直到1992年的最後一版209E。在2001年11月29日，美國正式宣佈廢止209E，改用

ISO-14644，於是209E在書面上走入歷史。但是在產業界，除了部份的歐洲公司之外，美國、日本、台灣、與中國大陸，都還沿用209E。微粒計數器的製造商，雖然都推出滿足公制計數法的新機型，但是要等舊機器完全淘汰，恐怕還要很長時間，因此新規範ISO-14644還沒能取代209E。

2.ISO-14644系列；美國政府為了推動經濟全球化，就很大方的放棄了自己的209E，改

而推行全部使用公制的國際標準ISO-14644。14644系列有8個子題〈Part〉，稱為14644-1，14644-2，一直到14644-8。整個系列涵蓋了等級定義、測試與監視的規範、測試的程序方法、設計與建造、操作、以及其他的有關設備等，範圍很廣。有些主題已經定案，如Part 1和Part 2，有些只有初稿〈Draft〉，有些連初稿都還沒有，讀者可以到ISO或IEST的網站上訂購。

3.JIS B9920 (1989)：日本的潔淨標準，規定無塵室中浮游粒子的濃度測定方式，及潔

淨度的等級定義。

4.VDI 2083 (1993)：德國的潔淨標準，規定潔淨度等級的定義方式，以及潔淨度的量

測技術。

5.Gost-R 50766 (1995)：俄國的潔淨標準，定義無塵室的分類與一般需求。

以上是無塵室等級規定，與潔淨度量測的相關標準。另外有關無塵室污染控制〈也就是潔淨度控制〉，和環境控制〈如溫溼度、震動噪音等〉，也有一些重要的測試規範，因為這些環境影響因素，都包含在無塵室性能測試的範圍之內。

1.：這本有名的測試規範，目的就是為了補209的不足。209只有微粒量測，006 包括

了風速風量、濾網洩漏、潔淨度、溫溼度、平行度、恢復率、粒子沉降測試、照度等。

006 的第一版稱為006-84-T，是第二版。現在由於 NEBB 的興起，0062已經功成身退，逐漸消失了。

2.NEBB 無塵室測試規範第二版：這是目前最廣為流行的測試規範，提到無塵室認證，

就非 NEBB 莫屬。NEBB 無塵室測試規範，可說是IEST-0062的改良版，其測試涵蓋範圍差不多，但是測試程序更為清楚嚴謹，儀器使用也有詳細規定。因此 NEBB 無塵室測試規範的出現，解決了不少測試的爭議，也因此 NEBB 無塵室測試規範成功的成為產業標準。有關 NEBB，請參照本站。

3.ISO-14698 系列：14698 有 Part 1、Part 2、Part 3 三個子題，是有關無塵室裡面

生物污染的控制，目前都只有初稿。

每一種行業，甚至每一家公司或工廠，對無塵室的要求可能都不一樣。以上所列無塵室定義與無塵室測試規範，雖然以可滿足大部份廠商的需求，但是嚴格來講，這些規範也只是一個參考。各公司在訂定測試規格時，應依照自己的製程需求，在上述規範裡取出自己適用的部份，並要求供應商與測試單位照辦，必要時可以酌情修改測試標準，才能真正滿足自己的需求。

二、無塵室常用名詞

1.無塵室定義：無塵室是一個為了對空間內空氣中的微粒做控制，所建造的特殊封閉性

建築。一般而言，無塵室也會對溫溼度、氣流運動模式、與震動噪音等環境因素做控制。

2.微粒控制：無塵室微粒控制的第一步，是把室內微粒對製程影響的程度做完整分析，

然後針對分析結果，訂定恰當的微粒控制方式與無塵室管理模式，才能有效率的控制微粒污染。在做微粒影響分析時，必須特別注意數據的量化，也就是粒徑與其數量對製程的影響，才是有用的數據。

3.外來污染源：從無塵室外進入系統的污染源，外來污染源主要是由空調通風系統所導

入，另外門、窗、牆壁裂縫等也是外來污染源的成因。

4.內部污染源：無塵室內部產生污染的來源，一般是製程機器與操作員工，最嚴重的內

部污染源一般是操作員工。

5.隔離：隔離是污染控制的一種觀念，也就是讓污染源隔絕在無塵區域之外。這種觀念

多應用在高潔淨度的無塵環境，例如 Class 100，Class 10，Class 1等高濾網覆蓋率的無塵室，或是使用迷你潔淨室將機台整個包住。

6.稀釋：稀釋是污染控制的另一種觀念，多應用在潔淨度不高的無塵室。例如在 Class

10000的無塵室，因為換氣量不大，製程與人員產生的粒子就會在室內打轉，要比較常的時間才會排出。因此新的乾淨空氣只能稀釋室內的微粒濃度，讓室內潔淨度控制在某一等級之下就可以了，部要求把人員與製程隔開。使用稀釋法作為粒控制時，要特別注意本節第二條微粒影響分析的正確性，能掌握微粒的產生速率，才能有效的稀釋微粒。

7.氣流模式：指的是流場型態，氣流分佈，氣流的流向等性質。由於微粒的移除完全掌

握在氣流的模式，因此愈潔淨的無塵室或是無塵區域，對氣流模式的掌控就愈重視。

基本上要先掌握氣流模式，才能掌握潔淨度。

8.單一流向型氣流：氣流以同一個方向移動，這種無塵室稱為單一流向型無塵室，以前

稱為層流型無塵室，定義並無多大改變。高潔淨度無塵室需要單一流向型氣流。

9.非單一流向型氣流：氣流方向不受控制，就是所謂的亂流型無塵室，潔淨度較低的無

塵室都是用非單一流向型氣流以節省成本。

10.As-built cleanroom（剛完工的無塵室）：已經完成且可以操作，所有相關支援設施

皆已完成的潔淨室，但並沒有設備及操作設備的人員。

11.At-rest cleanroom（準備中的無塵室）：已經完成且可以操作，所有相關支援設施皆已

動作的無塵室，設備已載入並可以操作或已在運轉，1如所指定，但沒有操作設備的人員。

12.Operational cleanroom（操作中的無塵室設施）：一個已在正常運轉的無塵室，所

有相關支援設施皆已動作，設備及人員皆已載入，運轉狀況可以呈現和達到其正常的功能。

三、無塵室等級定義

無塵室的等級