硫酸盐镀铜液中氯离子的去除
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参考文献 ：
［ １ ］ Ｔ Ｖ Ｖ ｅ ｎ ｋ ａ ｔ ｅ ｓ ｈ ａ ，Ｊ Ｂ ￣ ｄ ａ ｃ ｈ ａ ｎ ｄ ｒ ａ ．Ｅ ｆ ｅ ｃ ｔ ｓ ｏ ｆ Ｇ ｌ ｙ ｃ ｉ ｎ ｅ ａ ｎ ｄ Ｔ ｈ ｉ ｎ ｕ ｒ ｅ ａ ａ Ｂ
耐蚀性 变好 ， 说 明添 加 剂 的加 入 ， 导致 电极 表面吸 附
Ｃ ｕ Ｃ １ 难溶 盐有 如下 平衡 ：
Ｃ ｕ Ｃ １ （ 固） Ｃ ｕ ＋Ｃ ｌ 一
Ｋ ｓ Ｐ ＝［ Ａ ｇ ］ ［ ｃ ０ 一 ］ ＝８ ． １ ×１ ０ 一
其 溶度积 为
Ａ ｇ ２ Ｓ Ｏ ４ （ 固） ２ Ａ ｇ ＋ ｓ ０ ； ’
Ｋ ｓ Ｐ ＝［ Ａ ｇ ］ ［ ｓ ０ ： 一 ］ ＝１ ． ４ ×１ ０
收 稿 日期 ： ２ ０ ０ ５ — ０ ３ — ２ ３
硫 酸 盐 镀 铜 液 中 氯 离 子 的 去 除
郑 振。 顾卫忠。 沈婉萍 （ 上 海应 用技 术 学 院 ， 上海 ２ ０ ０ ２ ３ ５ ）
中 图分 类 号 ： Ｔ Ｑ １ ５ ３ 文献标识码 ： Ａ 文章 编 号 ： １ ０ ０ ０ ・ ４ ７ ４ ２ （ ２ ０ ０ ５ ） ０ ５ — ０ ０ ０ ８ — ０ ２
Ｆ ｉ ｎ ｉ ｓ ｈ ｉ ｎ ｇ 。 １ ９ ８ ７ 。 ７ ６ （ ６ ） ： ７ ７ － ７ ９ ．
［ ２ ］ Ｔ Ｒ Ｒ ｏ ｂ ｅ ｒ ｔ ｓ ， Ｆ Ｈ Ｇｕ ｚ ｚ ｅ ｔ ｔ ａ ．Ｍ ｏ ｒ ｐ ｈ ｏ ｌ ｏ ｇ ｙ ｏ ｆ Ｈ ｉ ｇ ｈ Ｒ ａ ｔ ｅ Ｅ ｌ ｅ ｃ ｔ ｒ ｏ ｚ ｉ ｎ ｃ ［ Ｊ ］ ．
（ ３ ）
（ ４ ）
而用 阴极 移 动 时 最 高 可 限 制 在 １ ８ ０ ｍ ｇ ／ Ｌ 。但 防 止 ｃ ｌ 一 的积 累还 是 必 要 的 。降 低 ｃ ｌ 一 浓 度最 经 济 的方
法 是稀释 镀液 ， 然后 补充硫 酸铜 、 硫 酸和添加 剂 到正
２ Ｃ ｕ ＋Ｚ ｎ
１ 前 言
酸性硫 酸盐 镀铜 液 中的 ｃ ｌ 一 对 于获 得 性 能 良好 的铜 镀层是 不可 缺少 的 ， 但是 ， 当其 在镀 液 中的含量
会阻 碍吸 附铜 原 子 的表 面 扩 散 ， 从 而使 扩散 成 为沉 积机理 中 的 速 率 控 制 步 骤 。在 含 聚 乙 二醇 的镀 液
３ ． ２ Ｃ ｌ 一 的 去 除
硫酸 盐镀铜 液 中 ｃ ｌ 一的含 量 应 定 期 分 析 ， 正 常
情 况下 至少 ３个 月分 析 １ 次 。尽 管 对 ａ一 的浓 度 要
Ｃ １ 一 在硫 脲或某些专利光亮剂存在 时， 除 了生
成Ｃ ｕ Ｃ １ 表面膜 外 ， 吸附的 Ｃ ｕ （ １ ） 或 Ｃ ｕ （ Ｉ ） 一 Ｃ ｌ 络 桥 膜
的极 化 曲线 没 有 什 么 影 响 ， 但过量的 ｃ ｌ 一 仍 能 在 阳
极 表面形 成不 溶 性 的 氯 化亚 铜 ， 从 而 阻碍 电沉 积过
内应 力 的最 佳 值 。因 此 ， ｃ ｌ 一 成 为 酸 性 镀 铜 的应 力
消减剂 。
程 的进 行 。 另外 ， ｃ ｒ 在 酸性 镀 铜 溶 液 中对 分 散 能 力 没有
超过 一定值 时则 会产 生相 反 的作 用 。在 配制光 亮酸
性镀 铜 液时 ， 由于使 用活 性炭过 滤镀 液 ， 会引入 一部 分ｃ ｌ 一 。过 多 的 ｃ ｌ 一 则 应选 择适 当 的方法 去除 。
２ Ｃ ｌ 。 的 作 用 与 影 响
在酸性 镀铜 液 中 ｃ ｌ 一 能 降 低 铜 镀 层 的 内应 力 ，
２ ｃ ｕ ＋ｚ ｎ
Ｃ ｕ 又会发 生 岐化反 应
２ Ｃ ｕ ， － － － ＇ Ｃ ｕ 。 ＋ｃ ｕ （ ５ ）
常范 围 。此外 ， 除 了使用 专用 化学 品外 ， 常用 的主 要有 银盐 法 、 锌 粉法 、 氧化亚 铜法 和清 洗 阳极 法 。
３ ． ２ ． １ 银 盐法
黑 色的 密度较 大 的颗 粒 散 布在 溶 液 中 ， 顿时 溶 液 向
黑 色转 变 ， 稍微静置便 有铜粉沉淀 ， 呈 红 色 。Ｃ ｕຫໍສະໝຸດ BaiduＣ １
生 成时 是 白色沉 淀物 ， 它 在干燥 空气 中稳定 ， 受潮 则
易 变棕 色 。因 此 ， 我们 见 到 滤 出 的 固体 物 质 不 是
Ｃ ｕ 为
×６ ３． ５×１ ０一 ： １． ７ ９× １ ０ ／ Ｌ
３ ５ ． ５ ） ×１ ０ ］ ＝８ ． ０×１ ０ ｍ ｏ ｌ ／ Ｌ 。若 由 Ａ ｇ ￣ Ｃ Ｏ ３ 溶 解
提 供 鲰 ， 则 需 溶 解 ４×１ ０ 一 ｍ ｏ ｌ ／ Ｌ ， 即 １ ． １×
１ ０ ～ｇ ／ Ｌ 。 若溶 液 中 Ｃ ｌ 一 浓度是 １ ８ ０ ｍ ｇ ／ Ｌ ， 则 需 多 加
由式 （ １ ） 、 （ ３ ） 可知， 由 于锌 粉 的 加入 ， 镀 液 中会 产生
Ｃ ｕ ， 而Ｃ ｕ 在 溶液 中不稳 定 ， 很快 就 会发 生 岐 化反
银盐 法去除 酸性硫 酸盐 镀 铜液 中 的 ｃ ｌ 一 是 使用 最早 的也是 最 昂贵 的方法 。它 是 利用 鲰 和 Ｃ ｒ在 镀液 中形 成 难 溶 的 白色 沉 淀 Ａ ｇ Ｃ １ ， 然后过滤去除。 因为 不过 滤则容 易造成 镀层 针孑 Ｌ 。在 氯化 银 （ 鬟 Ｃ １ ）
大； Ｒ ： 表 征了耐蚀 性 ， 其值 越大 ， 耐 蚀性 越 好 。从 图
２及 表 １ 中可 以看 出 ， 加入添加剂后 ， 吸 附 量 变大 ，
晶细化致 密 ， 粗糙 度 降低 ， 改善 了宏 观形貌 。 （ ２ ）添 加剂 的 加 入 ， 导 致 电极 表 面 吸 附量 的增
大， 引起阻抗 变 大 ， 从 而 耐蚀性 变好 。
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・
８ ・
Ｓ ｅ ｐ ． ２ ０ ０ ５
Ｅ ｌ ｅ ｃ ｔ ｒ ｏ ｐ ｌ ａ ｔ ｉ ｎ ｇ＆ Ｐ ｏ ｌ ｌ ｕ ｉ ｔ ｏ ｎ Ｃｏ ｎ ｔ ｒ ｏ ｌ
Ｖ ｏ Ｉ ． ２ ５ Ｎ Ｏ ． ５
其 中 Ｑ 表 征 了吸 附程 度 ， 其 值 越大 ， 吸 附量 越
饱和 溶液 中存在下 列平 衡 ：
Ａ ｇ Ｃ １ （ 固） 一缸 ＋Ｃ １ 一
应（ ５ ） ， 但是它仍有可 能和镀液 中的 ｃ ｌ 一 生成 ｃ ｕ ｃ ｌ 沉淀物 ， 因此 ， 处理 过程 中我们 可 以看到镀 液很 快浑
浊， 这 主要是 由 Ｃ ｕ Ｃ １ 形 成 的胶 体造 成 的 ， 同时 还 有
因为低 于 ３ ０ ｍ ｇ ／ Ｌ ， 镀 层就 无光 、 条纹、 粗糙 、 不平 ； 而 高于 １ ２ ０ ｍ ｇ ／ Ｌ ， 则镀层 晶粒粗 、 无光 ， 阳极 会极 化 ， 影 响镀 层 沉积 。ｃ Ｉ 一 还 会 影 响镀 层 的外 观 、 结构 、 结 晶
取 向等 。
时应使 用 去离 子水 或蒸 馏水 ， 使用 自来 水配 制 时 ， 则 要确 保水 中 ｃ ｌ 一 的浓 度低 于 ２ ０ ｍ ｇ ／ Ｌ 。
Ｐ ｌ ａ ｔ ｉ ｎ ｇ ａ ｎ ｄ Ｓ ｕ ｒ ｆ ａ ｃ ｅ Ｆ ｉ ｎ ｉ ｓ ｈ ｉ ｎ ｇ ． １ ９ ８ ８ 。 ７ ７ （ ９ ） ：５ ３ — ５ ５
性更 加均匀 ， 另一 方 面 由于 提 高 了过 电势 和 降低 了 界 面张力 ， 有 利 于三 维 晶核 的大 量 生成 ， 使得镀 层结
求不那 么苛刻 ， 如， 用 空气 搅 拌 时 不 超 过 １ ５ ０ ｍ ｇ ／ Ｌ ，
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２ ０ ０ ５ 年９ 月
电镀与环 保
第２ ５ 卷第 ５ 期（ 总第 １ ４ ５ 期）
Ｚ ｎ＋ ２ Ｃ ｕ “一
ｚ ｎ ＋２ Ｃ ｕ 一
．９ ．
白色 的。
Ｋ ｓ Ｐ ＝［ Ａ ｇ ］ ［ ｃ ｌ 一 ］ ＝１ ． ８ ×１ ０ 。
用于处理 Ｃ ｌ 一 ， 常 用 碳 酸银 或 硫 酸银 。这 两 种 化 合
物也是 难溶 盐 ， 它 们 的溶 度 积分别 是 ：
Ａ ｇ ￣ Ｃ Ｏ ３ （ 固） ２ Ａ ｇ ＋ｃ 一
在光亮 和 高 分 散 能 力 的硫 酸 盐 镀 铜 液 中， ｃ ｌ 一
能降低 阳极极 化 ， 避 免 高 电流 密 度 区产 生 树枝 状 镀
层 。把 ｃ ｌ 一 浓度 维持在 ６ Ｏ～８ ０ ｍ ｇ ／ Ｌ是 很 重 要 的 。
由于 过高 含量 的 ｃ ｌ 一 在酸 性 镀铜 液 中的不 良影 响， 而且 又较难 去 除 ， 因此 ， 配 制 酸 性 硫 酸盐 镀 铜 液
什 么影 响… 。
在 光亮 酸性 镀 铜 溶 液 中 ， ｃ ｌ 一 能 和 不 少 光 亮 剂 起协 同作 用 ， 使 铜镀 层 的光亮性 明显提 高 ， 因而也 被
认 为是 酸性镀 铜 光亮 剂 。
３ 去除 Ｃ ｌ 一 的 方 法 和 原 理
３ ． １ 控 制配 制镀 液 的水质
Ａ ｇ ２ Ｃ ０ 的溶度积虽然 比 Ａ ｇ Ｃ １ 的 溶度 积 小 ， 但 由于
Ｋ ＝［ ｃ ｕ ］ 【 ｃ １ 一 ］ ＝１ ． ２ Ｘ １ ０
如溶 液 中有 ８ ０ ｍ ｇ ／ Ｌ Ｃ １ 一 ， 即 ［ Ｃ １ － ｊ ＿ ：２ ． ２ ５ ×１ ０ － ３ ｍ ｏ ｌ ／ Ｌ
量 的增大 ， 引起阻 抗变 大 ， 从 而耐 蚀性 变好 。
４ 结 论
（ １ ） 加 入 添 加剂 后 ， 一 方 面使 基 体 金 属 表面 活
Ｂ ｒ ｉ ｇ ｈ ｔ ｅ ｎ ｅ ｒ ａ ｉ ｎ ８ ｎ Ａ ｃ ｉ ｄ Ｚ ｉ ｎ ｃ Ｓ ｕ ｌ ｆ ａ ｔ ｅ Ｂ ａ ｔ ｈ ［ Ｊ ］ ．Ｐ ｌ ａ ｔ ｉ ｎ ｇ ａ ｎ ｄ Ｓ ｕ ｒ ｆ ａ ｃ ｅ
应生 成 白色 Ａ ｇ Ｃ １ 沉 淀 。若 溶 液 中应 维 持 ８ ０ ｒ ａ ｇ ／ Ｌ
Ｃ １ 一， 则Ａ ｇ 的最 高 浓 度 ［ Ａ ｇ ］ ＝１ ． ８×１ ０ 。 ／ ［ （ ８ ， ０÷
即溶 液 中约含 ３ ． ３ ７×１ ０ Ｉ ４ ｇ ／ Ｌ Ｃ ｕ 。如 溶 液 中 有 １ ８ ０ ｍ ｇ ／ Ｌ Ｃ １ 一， 要去 掉 １ ０ ０ ｍ ｇ ／ Ｌ Ｃ １ 一， 应 多 产 生
中， 没 有 氯离 子或 含 量 过少 会 影 响 聚 乙 二醇 的抑 制
作用 ， 对镀 层形 貌 产生 不 良影 响 。在 有 ｃ ｌ 一 时， 少 量 的聚乙 二醇对 电 流 的阻化作 用 比仅有 聚 乙二醇 时强
烈得 多 。 少量 的 Ｃ ｌ 一 对铜 沉 积有加 速 的作用 ， 因为 ｃ ｌ 一 在
而且 ， 在 比较宽 的浓 度 范 围 内都 能使 铜 镀 层 无 内应 力， ５ ０ ｍ Ｌ左右 的 ｃ ｌ 一 是 提高 镀层 硬 度 又不 致 引起
电极表 面 为聚 乙二醇 之类 的表 面活性 剂起 到键 合位
置 的作用 。虽 然 在 无 添加 剂 或 光 亮 剂存 在 时 ， 在 铜 沉 积 时吸 附的 ｃ ｌ 高 达 ｌ Ｏ ～ｍ ｏ ｌ ／ Ｌ ， 仍 对 硫 酸盐 镀铜
在酸性溶液中， ｃ ０ ； 一和 Ｈ 作用生成 ｃ ０ 和水。因
此， Ａ ｇ 。 ｃ ０ 不 断溶解 ， 生成的 Ａ ｇ 和溶 液 中的 Ｃ ｌ 一 反
与之 平衡 的 ［ ｃ ｕ ］ 应 为
［ Ｃ ｕ 十 ］ ＝ －５ ． ３ ｘ １ ０ ６ ｏ ｔ ｏ ｌ ／ Ｌ
［ １ ］ Ｔ Ｖ Ｖ ｅ ｎ ｋ ａ ｔ ｅ ｓ ｈ ａ ，Ｊ Ｂ ￣ ｄ ａ ｃ ｈ ａ ｎ ｄ ｒ ａ ．Ｅ ｆ ｅ ｃ ｔ ｓ ｏ ｆ Ｇ ｌ ｙ ｃ ｉ ｎ ｅ ａ ｎ ｄ Ｔ ｈ ｉ ｎ ｕ ｒ ｅ ａ ａ Ｂ
耐蚀性 变好 ， 说 明添 加 剂 的加 入 ， 导致 电极 表面吸 附
Ｃ ｕ Ｃ １ 难溶 盐有 如下 平衡 ：
Ｃ ｕ Ｃ １ （ 固） Ｃ ｕ ＋Ｃ ｌ 一
Ｋ ｓ Ｐ ＝［ Ａ ｇ ］ ［ ｃ ０ 一 ］ ＝８ ． １ ×１ ０ 一
其 溶度积 为
Ａ ｇ ２ Ｓ Ｏ ４ （ 固） ２ Ａ ｇ ＋ ｓ ０ ； ’
Ｋ ｓ Ｐ ＝［ Ａ ｇ ］ ［ ｓ ０ ： 一 ］ ＝１ ． ４ ×１ ０
收 稿 日期 ： ２ ０ ０ ５ — ０ ３ — ２ ３
硫 酸 盐 镀 铜 液 中 氯 离 子 的 去 除
郑 振。 顾卫忠。 沈婉萍 （ 上 海应 用技 术 学 院 ， 上海 ２ ０ ０ ２ ３ ５ ）
中 图分 类 号 ： Ｔ Ｑ １ ５ ３ 文献标识码 ： Ａ 文章 编 号 ： １ ０ ０ ０ ・ ４ ７ ４ ２ （ ２ ０ ０ ５ ） ０ ５ — ０ ０ ０ ８ — ０ ２
Ｆ ｉ ｎ ｉ ｓ ｈ ｉ ｎ ｇ 。 １ ９ ８ ７ 。 ７ ６ （ ６ ） ： ７ ７ － ７ ９ ．
［ ２ ］ Ｔ Ｒ Ｒ ｏ ｂ ｅ ｒ ｔ ｓ ， Ｆ Ｈ Ｇｕ ｚ ｚ ｅ ｔ ｔ ａ ．Ｍ ｏ ｒ ｐ ｈ ｏ ｌ ｏ ｇ ｙ ｏ ｆ Ｈ ｉ ｇ ｈ Ｒ ａ ｔ ｅ Ｅ ｌ ｅ ｃ ｔ ｒ ｏ ｚ ｉ ｎ ｃ ［ Ｊ ］ ．
（ ３ ）
（ ４ ）
而用 阴极 移 动 时 最 高 可 限 制 在 １ ８ ０ ｍ ｇ ／ Ｌ 。但 防 止 ｃ ｌ 一 的积 累还 是 必 要 的 。降 低 ｃ ｌ 一 浓 度最 经 济 的方
法 是稀释 镀液 ， 然后 补充硫 酸铜 、 硫 酸和添加 剂 到正
２ Ｃ ｕ ＋Ｚ ｎ
１ 前 言
酸性硫 酸盐 镀铜 液 中的 ｃ ｌ 一 对 于获 得 性 能 良好 的铜 镀层是 不可 缺少 的 ， 但是 ， 当其 在镀 液 中的含量
会阻 碍吸 附铜 原 子 的表 面 扩 散 ， 从 而使 扩散 成 为沉 积机理 中 的 速 率 控 制 步 骤 。在 含 聚 乙 二醇 的镀 液
３ ． ２ Ｃ ｌ 一 的 去 除
硫酸 盐镀铜 液 中 ｃ ｌ 一的含 量 应 定 期 分 析 ， 正 常
情 况下 至少 ３个 月分 析 １ 次 。尽 管 对 ａ一 的浓 度 要
Ｃ １ 一 在硫 脲或某些专利光亮剂存在 时， 除 了生
成Ｃ ｕ Ｃ １ 表面膜 外 ， 吸附的 Ｃ ｕ （ １ ） 或 Ｃ ｕ （ Ｉ ） 一 Ｃ ｌ 络 桥 膜
的极 化 曲线 没 有 什 么 影 响 ， 但过量的 ｃ ｌ 一 仍 能 在 阳
极 表面形 成不 溶 性 的 氯 化亚 铜 ， 从 而 阻碍 电沉 积过
内应 力 的最 佳 值 。因 此 ， ｃ ｌ 一 成 为 酸 性 镀 铜 的应 力
消减剂 。
程 的进 行 。 另外 ， ｃ ｒ 在 酸性 镀 铜 溶 液 中对 分 散 能 力 没有
超过 一定值 时则 会产 生相 反 的作 用 。在 配制光 亮酸
性镀 铜 液时 ， 由于使 用活 性炭过 滤镀 液 ， 会引入 一部 分ｃ ｌ 一 。过 多 的 ｃ ｌ 一 则 应选 择适 当 的方法 去除 。
２ Ｃ ｌ 。 的 作 用 与 影 响
在酸性 镀铜 液 中 ｃ ｌ 一 能 降 低 铜 镀 层 的 内应 力 ，
２ ｃ ｕ ＋ｚ ｎ
Ｃ ｕ 又会发 生 岐化反 应
２ Ｃ ｕ ， － － － ＇ Ｃ ｕ 。 ＋ｃ ｕ （ ５ ）
常范 围 。此外 ， 除 了使用 专用 化学 品外 ， 常用 的主 要有 银盐 法 、 锌 粉法 、 氧化亚 铜法 和清 洗 阳极 法 。
３ ． ２ ． １ 银 盐法
黑 色的 密度较 大 的颗 粒 散 布在 溶 液 中 ， 顿时 溶 液 向
黑 色转 变 ， 稍微静置便 有铜粉沉淀 ， 呈 红 色 。Ｃ ｕຫໍສະໝຸດ BaiduＣ １
生 成时 是 白色沉 淀物 ， 它 在干燥 空气 中稳定 ， 受潮 则
易 变棕 色 。因 此 ， 我们 见 到 滤 出 的 固体 物 质 不 是
Ｃ ｕ 为
×６ ３． ５×１ ０一 ： １． ７ ９× １ ０ ／ Ｌ
３ ５ ． ５ ） ×１ ０ ］ ＝８ ． ０×１ ０ ｍ ｏ ｌ ／ Ｌ 。若 由 Ａ ｇ ￣ Ｃ Ｏ ３ 溶 解
提 供 鲰 ， 则 需 溶 解 ４×１ ０ 一 ｍ ｏ ｌ ／ Ｌ ， 即 １ ． １×
１ ０ ～ｇ ／ Ｌ 。 若溶 液 中 Ｃ ｌ 一 浓度是 １ ８ ０ ｍ ｇ ／ Ｌ ， 则 需 多 加
由式 （ １ ） 、 （ ３ ） 可知， 由 于锌 粉 的 加入 ， 镀 液 中会 产生
Ｃ ｕ ， 而Ｃ ｕ 在 溶液 中不稳 定 ， 很快 就 会发 生 岐 化反
银盐 法去除 酸性硫 酸盐 镀 铜液 中 的 ｃ ｌ 一 是 使用 最早 的也是 最 昂贵 的方法 。它 是 利用 鲰 和 Ｃ ｒ在 镀液 中形 成 难 溶 的 白色 沉 淀 Ａ ｇ Ｃ １ ， 然后过滤去除。 因为 不过 滤则容 易造成 镀层 针孑 Ｌ 。在 氯化 银 （ 鬟 Ｃ １ ）
大； Ｒ ： 表 征了耐蚀 性 ， 其值 越大 ， 耐 蚀性 越 好 。从 图
２及 表 １ 中可 以看 出 ， 加入添加剂后 ， 吸 附 量 变大 ，
晶细化致 密 ， 粗糙 度 降低 ， 改善 了宏 观形貌 。 （ ２ ）添 加剂 的 加 入 ， 导 致 电极 表 面 吸 附量 的增
大， 引起阻抗 变 大 ， 从 而 耐蚀性 变好 。
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８ ・
Ｓ ｅ ｐ ． ２ ０ ０ ５
Ｅ ｌ ｅ ｃ ｔ ｒ ｏ ｐ ｌ ａ ｔ ｉ ｎ ｇ＆ Ｐ ｏ ｌ ｌ ｕ ｉ ｔ ｏ ｎ Ｃｏ ｎ ｔ ｒ ｏ ｌ
Ｖ ｏ Ｉ ． ２ ５ Ｎ Ｏ ． ５
其 中 Ｑ 表 征 了吸 附程 度 ， 其 值 越大 ， 吸 附量 越
饱和 溶液 中存在下 列平 衡 ：
Ａ ｇ Ｃ １ （ 固） 一缸 ＋Ｃ １ 一
应（ ５ ） ， 但是它仍有可 能和镀液 中的 ｃ ｌ 一 生成 ｃ ｕ ｃ ｌ 沉淀物 ， 因此 ， 处理 过程 中我们 可 以看到镀 液很 快浑
浊， 这 主要是 由 Ｃ ｕ Ｃ １ 形 成 的胶 体造 成 的 ， 同时 还 有
因为低 于 ３ ０ ｍ ｇ ／ Ｌ ， 镀 层就 无光 、 条纹、 粗糙 、 不平 ； 而 高于 １ ２ ０ ｍ ｇ ／ Ｌ ， 则镀层 晶粒粗 、 无光 ， 阳极 会极 化 ， 影 响镀 层 沉积 。ｃ Ｉ 一 还 会 影 响镀 层 的外 观 、 结构 、 结 晶
取 向等 。
时应使 用 去离 子水 或蒸 馏水 ， 使用 自来 水配 制 时 ， 则 要确 保水 中 ｃ ｌ 一 的浓 度低 于 ２ ０ ｍ ｇ ／ Ｌ 。
Ｐ ｌ ａ ｔ ｉ ｎ ｇ ａ ｎ ｄ Ｓ ｕ ｒ ｆ ａ ｃ ｅ Ｆ ｉ ｎ ｉ ｓ ｈ ｉ ｎ ｇ ． １ ９ ８ ８ 。 ７ ７ （ ９ ） ：５ ３ — ５ ５
性更 加均匀 ， 另一 方 面 由于 提 高 了过 电势 和 降低 了 界 面张力 ， 有 利 于三 维 晶核 的大 量 生成 ， 使得镀 层结
求不那 么苛刻 ， 如， 用 空气 搅 拌 时 不 超 过 １ ５ ０ ｍ ｇ ／ Ｌ ，
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２ ０ ０ ５ 年９ 月
电镀与环 保
第２ ５ 卷第 ５ 期（ 总第 １ ４ ５ 期）
Ｚ ｎ＋ ２ Ｃ ｕ “一
ｚ ｎ ＋２ Ｃ ｕ 一
．９ ．
白色 的。
Ｋ ｓ Ｐ ＝［ Ａ ｇ ］ ［ ｃ ｌ 一 ］ ＝１ ． ８ ×１ ０ 。
用于处理 Ｃ ｌ 一 ， 常 用 碳 酸银 或 硫 酸银 。这 两 种 化 合
物也是 难溶 盐 ， 它 们 的溶 度 积分别 是 ：
Ａ ｇ ￣ Ｃ Ｏ ３ （ 固） ２ Ａ ｇ ＋ｃ 一
在光亮 和 高 分 散 能 力 的硫 酸 盐 镀 铜 液 中， ｃ ｌ 一
能降低 阳极极 化 ， 避 免 高 电流 密 度 区产 生 树枝 状 镀
层 。把 ｃ ｌ 一 浓度 维持在 ６ Ｏ～８ ０ ｍ ｇ ／ Ｌ是 很 重 要 的 。
由于 过高 含量 的 ｃ ｌ 一 在酸 性 镀铜 液 中的不 良影 响， 而且 又较难 去 除 ， 因此 ， 配 制 酸 性 硫 酸盐 镀 铜 液
什 么影 响… 。
在 光亮 酸性 镀 铜 溶 液 中 ， ｃ ｌ 一 能 和 不 少 光 亮 剂 起协 同作 用 ， 使 铜镀 层 的光亮性 明显提 高 ， 因而也 被
认 为是 酸性镀 铜 光亮 剂 。
３ 去除 Ｃ ｌ 一 的 方 法 和 原 理
３ ． １ 控 制配 制镀 液 的水质
Ａ ｇ ２ Ｃ ０ 的溶度积虽然 比 Ａ ｇ Ｃ １ 的 溶度 积 小 ， 但 由于
Ｋ ＝［ ｃ ｕ ］ 【 ｃ １ 一 ］ ＝１ ． ２ Ｘ １ ０
如溶 液 中有 ８ ０ ｍ ｇ ／ Ｌ Ｃ １ 一 ， 即 ［ Ｃ １ － ｊ ＿ ：２ ． ２ ５ ×１ ０ － ３ ｍ ｏ ｌ ／ Ｌ
量 的增大 ， 引起阻 抗变 大 ， 从 而耐 蚀性 变好 。
４ 结 论
（ １ ） 加 入 添 加剂 后 ， 一 方 面使 基 体 金 属 表面 活
Ｂ ｒ ｉ ｇ ｈ ｔ ｅ ｎ ｅ ｒ ａ ｉ ｎ ８ ｎ Ａ ｃ ｉ ｄ Ｚ ｉ ｎ ｃ Ｓ ｕ ｌ ｆ ａ ｔ ｅ Ｂ ａ ｔ ｈ ［ Ｊ ］ ．Ｐ ｌ ａ ｔ ｉ ｎ ｇ ａ ｎ ｄ Ｓ ｕ ｒ ｆ ａ ｃ ｅ
应生 成 白色 Ａ ｇ Ｃ １ 沉 淀 。若 溶 液 中应 维 持 ８ ０ ｒ ａ ｇ ／ Ｌ
Ｃ １ 一， 则Ａ ｇ 的最 高 浓 度 ［ Ａ ｇ ］ ＝１ ． ８×１ ０ 。 ／ ［ （ ８ ， ０÷
即溶 液 中约含 ３ ． ３ ７×１ ０ Ｉ ４ ｇ ／ Ｌ Ｃ ｕ 。如 溶 液 中 有 １ ８ ０ ｍ ｇ ／ Ｌ Ｃ １ 一， 要去 掉 １ ０ ０ ｍ ｇ ／ Ｌ Ｃ １ 一， 应 多 产 生
中， 没 有 氯离 子或 含 量 过少 会 影 响 聚 乙 二醇 的抑 制
作用 ， 对镀 层形 貌 产生 不 良影 响 。在 有 ｃ ｌ 一 时， 少 量 的聚乙 二醇对 电 流 的阻化作 用 比仅有 聚 乙二醇 时强
烈得 多 。 少量 的 Ｃ ｌ 一 对铜 沉 积有加 速 的作用 ， 因为 ｃ ｌ 一 在
而且 ， 在 比较宽 的浓 度 范 围 内都 能使 铜 镀 层 无 内应 力， ５ ０ ｍ Ｌ左右 的 ｃ ｌ 一 是 提高 镀层 硬 度 又不 致 引起
电极表 面 为聚 乙二醇 之类 的表 面活性 剂起 到键 合位
置 的作用 。虽 然 在 无 添加 剂 或 光 亮 剂存 在 时 ， 在 铜 沉 积 时吸 附的 ｃ ｌ 高 达 ｌ Ｏ ～ｍ ｏ ｌ ／ Ｌ ， 仍 对 硫 酸盐 镀铜
在酸性溶液中， ｃ ０ ； 一和 Ｈ 作用生成 ｃ ０ 和水。因
此， Ａ ｇ 。 ｃ ０ 不 断溶解 ， 生成的 Ａ ｇ 和溶 液 中的 Ｃ ｌ 一 反
与之 平衡 的 ［ ｃ ｕ ］ 应 为
［ Ｃ ｕ 十 ］ ＝ －５ ． ３ ｘ １ ０ ６ ｏ ｔ ｏ ｌ ／ Ｌ