无尘室_洁净室_净化车间标准规格说明(美标、日标)
无尘室(Clean Room)的级数标准规格
無塵室(Clean Room)的級數標準規格
無塵室又稱潔淨室，是將一定空間範圍內空氣的微塵粒子、有害氣體、細菌等之污染物控制在一定的數量內。
無塵室的等級是以一立方英呎含有多少大於0.5um 的微塵粒子來定義的。
下表是根據「美國聯邦標準209D規格」定義的無塵室級數。
一般人大概很難了解 Micron (微米，u) 的大小，這裡有一些實際的比較可以讓你更進一步的了解 Micron (u) 的大小。
∙一個細菌大約有 2 um 大。
∙一個香菸的煙霧顆粒大約有 5 um 大。
∙一顆紅血球大約有 8 um 大。
∙一顆白血球大約有 25 um 大。
∙一個花粉大約有 30 um 大。
∙一根成人的頭髮的直徑大約有 80 um 大。
微塵污染的來源
根據統計，無塵室中的微塵污染來源大部分來自於【人】。
比如說人員進入無塵室，灰塵沾附於衣服上順便帶進無塵室，還有人體皮膚的角質層掉落…等等。
所以嚴格管控無塵衣的穿著的正確性，以及人員進出無塵室時的清潔度就非常重要。
另外，吸完煙者需等三十分鐘以上才能進無塵室，因為香菸的顆粒有 5 微米，而且剛完吸菸者所產生的微塵為非吸煙者的 90 倍，經過三十分鐘後才降為 15 倍。
无尘车间标准要求
无尘车间标准要求标题：无尘车间标准要求引言概述：无尘车间是一种高度洁净的生产环境，广泛应用于电子、医药、食品等行业。
为了确保无尘车间的有效运行和产品质量，各国都有一系列的标准要求。
本文将详细介绍无尘车间的标准要求。
一、空气洁净度要求1.1 空气净化级别：无尘车间的空气洁净度通常根据ISO 14644标准进行分类，常见的级别有ISO 5、ISO 6、ISO 7、ISO 8等。
1.2 空气流速要求：根据车间内的工艺要求和设备布局，空气流速应符合相应标准，确保污染物得以有效排除。
1.3 空气过滤要求：无尘车间内的空气过滤系统需要定期维护和更换，以确保过滤效果和空气质量。
二、温湿度控制要求2.1 温度控制：无尘车间内的温度应符合生产工艺的要求，通常要求在一定的范围内保持稳定。
2.2 湿度控制：对于某些特殊的生产工艺，无尘车间内的湿度也需要进行控制，以确保产品质量和生产效率。
2.3 温湿度监测：无尘车间需要安装温湿度监测设备，实时监测环境参数，及时调整控制参数。
三、地面和墙面要求3.1 地面材质：无尘车间地面通常采用防静电、防滑、易清洁的材料，以确保无尘环境的维护和清洁。
3.2 墙面涂料：墙面要求采用防尘、易清洁的涂料，确保车间内的空气质量和产品质量。
3.3 地面和墙面清洁：无尘车间需要定期清洁地面和墙面，避免灰尘和污垢对生产环境的影响。
四、设备和工具要求4.1 设备密封性：无尘车间内的设备需要具有良好的密封性，防止污染物进入设备内部影响生产质量。
4.2 工具选择：在无尘车间内使用的工具需要符合相关标准，避免产生尘埃或污染物。
4.3 设备维护：无尘车间内的设备需要定期维护和保养，确保设备正常运行和生产质量。
五、人员行为和着装要求5.1 人员培训：无尘车间内的人员需要接受相关的无尘车间操作培训，了解车间标准要求和操作规程。
5.2 着装要求：进入无尘车间的人员需要穿戴相应的防尘服、鞋套、帽子等防护用具，避免带入外部污染物。
洁净室(无尘室)标准
洁净室(无尘室)标准(一)洁净室之定义洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。
「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。
亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。
(二)洁净室之等级世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多，以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。
209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位，洁净室等级以‵M′字头表示，如M 1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5….表示。
美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英呎为单位，日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位，以0.1μm微粒子为计数标准。
日本标准之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等级为Class 1，最差则为Class 8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。
(三)洁净室控管之项目1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。
2. 能防止微尘粒子之产生。
3. 温度和湿度之控制。
4. 压力之调节。
5. 有害气体之排除。
6. 结构物与隔间之气密性。
7. 静电之防制。
8. 电磁干扰预防。
9. 安全因素之考虑。
10. 节能之考量。
(四)洁净室之分类1.乱流式(Turbulent Flow)：空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。
无尘车间洁净度标准
无尘车间洁净度如何确定详细分析一、净化车间的规格净化车间的规格一般适用于美国联邦规格No.209B。
这个规格对净化间的环境要素即空气洁净度、温湿度、室内压等都进行了规格化规定。
但是，伴随着洁净化程度的不断提高，美国联邦规格进行了改版，其内容主要是以洁净度进行分类。
最新版已成为No209E，名称也进行了变更。
No.209E 的级别表示是把0.5um以上的颗粒数为10x个/m3，把X表示成级别，同时加上米制M的意思，表示成M3.5等等。
在表7里表示的是美国联邦规格No.209B，表8表示的是美国联邦规格No.209E。
在日本，相应的规格是JIS B9920。
JIS9920的级别表示是把0.1um以上的颗粒数规定为10X个，用Y表示级别。
表9、图2表示了JIS B 9920的级别的主要内容。
表8, 美国联邦规格No.209E的洁净度级别分类级别上限值是各级别名。
上限值用指定粒径以上的浓度（单位堆积粒子数）表示。
** 上表中表示的级别上限值仅仅是为了级别分类而定义的，并不表示实际的粒径分布值。
** 针对中间级别的浓度上限值，用如下的公式进行计算。
粒子直径/m3=10M(0.5/d)2.2，其中，M : SI单位里的级别名称，D : 粒径（um）***国际单位（Systeme International d’Unites的缩写）图1 ，209E的洁净度级别（图略）图中的●标记表示评价洁净度级别用的对象粒子。
（）内数值是用English unit 表示级别。
图2 ，JIS B 9920的洁净度级别的上限浓度表9，三、不同用途所要求的洁净度如前所述，净化间的级别一般分成M3.5（100）、M4.5（1000）、M5.5（10000）、M6.5（100000）4个级别。
但根据各产业领域的作业工序不同，形成必要的级别是不一样的。
例如，在半导体制造工厂等里边，根据作业内容，要求有M1（10）—M5.5（1000）的净化间。
净化车间标准
净化车间标准
首先，净化车间的洁净度标准是非常重要的。
洁净度标准通常
是以空气中悬浮微粒的数量来衡量的，常用的单位有颗粒数/立方米（ISO标准）、颗粒数/立方英尺（美国标准）等。
在制定净化车间
标准时，应根据生产的具体要求和产品的特性来确定洁净度标准，
以确保产品的质量和生产的正常进行。
其次，净化车间的空气流速和空气质量也是需要重点考虑的。
空气流速应能够有效地将污染物带出车间，保持空气的流通和洁净度。
同时，空气质量也应符合相关标准，确保生产过程中不会对产
品质量产生影响。
此外，温度、湿度和静电的控制也是净化车间标准中必不可少
的内容。
在一些特定的生产环境中，温度和湿度的控制对产品的质
量和生产过程起着至关重要的作用。
静电的控制也是非常重要的，
特别是在电子、半导体等行业，静电可能会对产品产生严重的影响，因此在净化车间标准中应有相关的规定和措施。
总之，净化车间标准的制定和执行对于保证产品质量和生产环
境的洁净度至关重要。
在制定净化车间标准时，应综合考虑洁净度、
空气流速、空气质量、温度、湿度和静电等因素，确保生产过程中
不会对产品质量产生影响。
同时，净化车间标准的执行也是非常重
要的，只有严格执行标准，才能保证产品的质量和生产环境的洁净度。
因此，应加强对净化车间标准的宣传和培训，确保所有相关人
员都能够严格执行标准，以保证生产的顺利进行和产品质量的稳定。
净化车间等级划分标准
净化车间等级划分标准净化车间是一种特殊的工作环境，用于处理对微尘、微生物和其他污染物极其敏感的工艺或实验。
为了满足不同应用的需求，净化车间被划分为不同的等级，根据其能够提供的空气洁净度来进行分类。
以下是常见的净化车间等级划分：1. ISO 14644-1标准ISO 14644-1是国际标准化组织（ISO）制定的净化空气等级的标准。
它定义了空气中颗粒物浓度的限值，并根据这些限值将净化空气划分为九个等级，从最高级别ISO 1到最低级别ISO 9。
ISO 1：洁净室内每立方米空气中直径大于0.1µm的颗粒物数不超过10个。
ISO 2：洁净室内每立方米空气中直径大于0.1µm的颗粒物数不超过100个。
ISO 3：洁净室内每立方米空气中直径大于0.1µm的颗粒物数不超过1,000个。
ISO 4：洁净室内每立方米空气中直径大于0.1µm的颗粒物数不超过10,000个。
ISO 5：洁净室内每立方米空气中直径大于0.1µm的颗粒物数不超过100,000个。
ISO 6：洁净室内每立方米空气中直径大于0.1µm的颗粒物数不超过1,000,000个。
ISO 7：洁净室内每立方米空气中直径大于0.1µm的颗粒物数不超过10,000,000个。
ISO 8：洁净室内每立方米空气中直径大于0.1µm的颗粒物数不超过100,000,000个。
ISO 9：洁净室内每立方米空气中直径大于0.1µm的颗粒物数不限制。
2. 美国联邦标准209E美国联邦标准209E是美国国家航空航天局（NASA）制定的净化空气等级的标准。
它与ISO 14644-1类似，将空气质量划分为九个等级，从最高级别Class 1到最低级别Class 100,000。
Class 1：洁净室内每立方英尺空气中直径大于0.5µm的颗粒物数不超过1个。
Class 10：洁净室内每立方英尺空气中直径大于0.5µm的颗粒物数不超过10个。
无尘室等级区分标准
无尘室是一种能够控制空气中微粒子和污染物浓度的特殊环境。
根据微粒子和污染物的浓度等级不同，无尘室可以分为不同的等级。
以下是常见的无尘室等级区分标准：
1. ISO 14644等级：这是国际标准化组织（ISO）制定的无尘室等级标准。
分为六个等级，从最高级别的Class 10到最低级别的Class 100，依次降低微粒子和污染物的浓度。
2. 美国联邦标准等级：这是美国联邦政府制定的无尘室等级标准。
分为四个等级，从最高级别的Class 100到最低级别的Class 1000，依次降低微粒子和污染物的浓度。
3. 日本工业标准等级：这是日本工业标准组织（JIS）制定的无尘室等级标准。
分为三个等级，从最高级别的JIS Class 100到最低级别的JIS Class 1000，依次降低微粒子和污染物的浓度。
4. 欧洲标准等级：这是欧洲标准化组织（CEN）制定的无尘室等级标准。
分为四个等级，从最高级别的ISO Class 5到最低级别的ISO Class 8，依次降低微粒子和污染物的浓度。
以上是常见的无尘室等级区分标准，每个标准都有其独特的等级划分和要求，具体应用时需要根据实际情况选择合适的标准。
无尘室_洁净室_净化车间标准规格说明(美标、日标)
M3.5 100 - - 26500 750 10600 300
3530 100 -
M4
- - 75700 2140 30900 875 10000 283 -
M4.5 1000 - -
-
-
-
M5
--
-
-
-
M5.5 10000 - -
-
-
-
-
35300 1000 247
-
100000 2830 618
无尘室/洁净室/净化车间标准规格说明（一）
目前世界各国虽有自订规格，但普遍还是采用美国联邦标准 209 为多，今就 209D 及 209E 和世界上其他各国之所订标准再做更进一步之介绍与相互比较。表 1-1 为美国联邦标准 209D 之洁净室规格。
表 1-1 美国联邦标准 209D 洁净室规格
洁净室
表 1-3 日本 JIS（9920 ~1989）标准
粒径\级 数 0.1 0.2 0.3 0.5 5.0
Class1 Class2 Class Class4 Class5 Class6 3
101
10
2
24 236 2，360 23，600
-
1
10 101 1，010 10，100 101，000
表 1-2 美国联邦标准 209E
洁净度等级 0.1um
0.2um
单位
单位
公制 英制 (m3) (ft3) (m3)
M1
350 9.91 75.7
0.3um 单位 (ft3) (m3) 2.14 30.9
微尘粒子
0.5um
单位
(ft3)
(m3)
0.875 10.0
洁净室标准规格说明
洁净室标准规格说明（一）洁净室型态洁净室定义[CLEAN ROOM][Clean ROOM]洁净室，亦名无尘室或清净室，目前已是半导体工业和生物化学、医药、食品界等不可或缺之重要设施。
近几年来，由于技术之创新发展，对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切，如超大型积体电路(VLSI，Very Large Scale Integrated Circuit)之研究制造，已成为世界各国在科技发展上极为重视之项目，我国亦不例外。
然积体电路与精密轴承(Bearing)、太空航空仪器、光学机械等之精密机械产业，对于空气中之浮游粒子、粉尘等之污染极为敏感，且对于产品之品质、可靠性及良率高低有著极大之影响。
由于以上之产品必须在良好之洁净室内进行生产制造，故工业用之洁净室在各种产业上已被广泛采用。
另一方面在医学上及医疗技术方面，对于手术室，新生儿室、重症加护病房(Intensive Care Unit, ICU)、烫伤病房及冠状动脉加护病房，(Coronary Care Unit,CCU)等场所所为达成高度医疗效果，亦需有去除空气中浮游细菌之无菌之无菌环境，以维人员生命安全。
其次在制药工作、食品制造业及医疗仪器制造业、生化及细菌培养等为提高产品品质及安全卫生，以去除空气中浮游细菌或微生物与外界异物之干扰侵犯之无菌洁净室亦应运而生。
针对积体电路（半导体行业）而言，洁净室最重要之作用在于控制产品(如夕晶片等)所接轴之大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为[洁净室}。
换言之，洁净室之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给于特别设计之房间。
亦即是不论为在之空气条件如何变化，其室内均能具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
洁净室等级标准
6
100,000
-
353,000
7
1,000,000
-
3,530,000
8
10,000,000
-
M1 M1.5 M2 M2.5 M3 M3.5 M4 M4.5 M5 M5.5 M6 M6.5 M7
US 209D(1988)
1 10 100 1,000 10,000 100,000 -
FRANCE AFNOR(1981)
特点：与旧规范相比，控制粒径2种增加到6种；4个级 别增加到9个级别。另，允许采用整数间的中间级别。
表2-2 洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级
空气洁净度等级 (N)
1 2 3 4 5 6 7 8 9
大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m3)
0.1um 10 100
1000 10000 100000 1000000
1963年12月问世。 0.5µm 5.0µm
2.1 洁净度等级标准
3、现在标准 美国联邦标准FS209E
表2-1 美国联邦标准（USA Federal Standard）209E（1992年）
粒 径 Particles Size (um)
洁净度级别
Clean class
0.1
0.2
0.3
0.5
2.1 洁净度等级标准
3、现在标准 基于≥0.5um粒径的各国洁净度等级近似对照表
基于≥0.5um粒径的各国洁净度等级近似对照表
个/M3≥0.5um
ISO 14644-1(1999)
US 209E(1992)
1
-
3.5
2
10.0
-
35.3
3
100
无尘车间参数标准
无尘车间参数标准引言概述：无尘车间是一种高洁净度的生产环境，广泛应用于电子、医药、食品等行业。
为了确保无尘车间的正常运行和产品质量，制定一套严格的参数标准是必要的。
本文将从空气洁净度、温湿度、静电控制、气流控制和照明等五个方面，详细阐述无尘车间的参数标准。
一、空气洁净度：1.1 空气洁净度等级：无尘车间的空气洁净度等级通常根据国际标准ISO 14644-1来确定。
常见的等级有ISO 5、ISO 6和ISO 7等。
ISO 5级的洁净度要求每立方米空气中的颗粒物不得超过0.1微米，而ISO 6级和ISO 7级的洁净度要求分别为0.5微米和1微米。
1.2 换气次数：换气次数是指单位时间内无尘车间的空气更新次数。
根据不同行业和工艺要求，换气次数的要求也不同。
普通来说，电子行业的无尘车间要求每小时换气15-20次，而医药行业的无尘车间则要求每小时换气25-30次。
1.3 过滤器效率：过滤器是无尘车间中的重要设备，用于过滤空气中的颗粒物。
过滤器的效率通常使用HEPA（高效颗粒空气）过滤器等级来表示，如H13、H14等。
H13级过滤器的效率达到99.95%，H14级过滤器的效率更高，达到99.995%。
二、温湿度：2.1 温度范围：无尘车间的温度范围对产品的生产和储存有重要影响。
普通来说，无尘车间的温度要求在20-25摄氏度之间，特殊行业或者工艺要求可能会有所不同。
2.2 湿度范围：湿度是指空气中水蒸气的含量。
无尘车间的湿度要求通常在45%-60%之间。
过高或者过低的湿度都会对产品的生产和质量产生不利影响。
2.3 温湿度控制设备：为了保持无尘车间的温湿度在合适的范围内，通常需要安装温湿度控制设备，如空调系统、加湿器、除湿器等。
这些设备可以根据实际需求进行调节和控制，确保无尘车间的温湿度稳定。
三、静电控制：3.1 防静电地板：无尘车间通常需要铺设防静电地板，以防止静电的产生和积累。
防静电地板具有导电性能，可以将静电迅速导入地下，减少静电的影响。
无尘车间洁净度标准综述
无尘车间洁净度如何确定详细分析一、净化车间的规格净化车间的规格一般适用于美国联邦规格No.209B。
这个规格对净化间的环境要素即空气洁净度、温湿度、室内压等都进行了规格化规定。
但是，伴随着洁净化程度的不断提高，美国联邦规格进行了改版，其内容主要是以洁净度进行分类。
最新版已成为No209E，名称也进行了变更。
No.209E 的级别表示是把0.5um以上的颗粒数为10x个/m3，把X表示成级别，同时加上米制M的意思，表示成M3.5等等。
在表7里表示的是美国联邦规格No.209B，表8表示的是美国联邦规格No.209E。
在日本，相应的规格是JIS B9920。
JIS9920的级别表示是把0.1um以上的颗粒数规定为10X个，用Y表示级别。
表9、图2表示了JIS B 9920的级别的主要内容。
表8, 美国联邦规格No.209E的洁净度级别分类级别上限值是各级别名。
上限值用指定粒径以上的浓度（单位堆积粒子数）表示。
** 上表中表示的级别上限值仅仅是为了级别分类而定义的，并不表示实际的粒径分布值。
** 针对中间级别的浓度上限值，用如下的公式进行计算。
粒子直径/m3=10M(0.5/d)2.2，其中，M : SI单位里的级别名称，D : 粒径（um）***国际单位（Systeme International d’Unites的缩写）图1 ，209E的洁净度级别（图略）图中的●标记表示评价洁净度级别用的对象粒子。
（）内数值是用English unit 表示级别。
图2 ，JIS B 9920的洁净度级别的上限浓度表9，三、不同用途所要求的洁净度如前所述，净化间的级别一般分成M3.5（100）、M4.5（1000）、M5.5（10000）、M6.5（100000）4个级别。
但根据各产业领域的作业工序不同，形成必要的级别是不一样的。
例如，在半导体制造工厂等里边，根据作业内容，要求有M1（10）—M5.5（1000）的净化间。
无尘室洁净度参考标准
无尘室洁净度参考标准■美国联邦标准（USA Federal Standard）209E（1992年）无尘室洁净度参照标准0.10.20.30.5 5.0135.07.50 3.00 1.00NA1035075.030.010.0NA100NA750300100NA1000NA NA NA10007.010000NA NA NA1000070.3100000NA NA NA100000700单位：尘埃数量个/ft3■中国药品生产洁净室（区）的空气洁净度标准≥0.5um≥5um浮游菌个/立方米沉降菌个/皿.30min100350005110000350,0002,00010031000003,500,00020,0005001030000010,500,00061,800NA15国家药品监督管理局1999年8月1日发布实施■基于≥0.5um粒径的各国洁净度等级近似对照表31-------3.52----0210.0-M1-----35.33M1.51--13100-M2-----3534M2.510--241,000-M3-----3,5305M3.5100A+B4,00035 10,000-M4-----35,3006M4.51,0001,000-46100,000-M5-----353,0007M5.510,000C400,000571,000,00-M6-----03,530,008M6.5100,000D4,000,00068 010,000,0-M7-----00■洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级30.1um0.2um0.3um0.5um1um5um11022100241043100023710235841000023701020352835100000237001020035208322961000000237000102000352008320293735200083200293083520000832000293009352000008320000293000最佳答案世界各国均有自定规格，但普遍依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，可将无尘室分为六级。
无尘车间参数标准
无尘车间参数标准引言概述：无尘车间是一种特殊的工作环境，要求空气中的尘埃和微粒浓度低，以满足特定的生产需求。
为了确保无尘车间的正常运行和产品质量，制定一套合理的参数标准是非常重要的。
本文将从空气质量、温湿度、静电控制、照明和噪声等五个方面详细阐述无尘车间的参数标准。
一、空气质量：1.1 空气净化设备：无尘车间应配备高效空气净化设备，如高效过滤器和空气净化器，以确保车间内空气的洁净度。
1.2 空气流速：无尘车间内的空气流速应根据不同的生产需求进行调整，一般在0.2-0.5 m/s之间。
1.3 空气污染物浓度：无尘车间内的空气中尘埃、微粒和有害气体的浓度应控制在一定范围内，以确保产品的质量和员工的健康。
二、温湿度：2.1 温度控制：无尘车间的温度应根据生产工艺的要求进行调节，一般在20-25摄氏度之间。
2.2 湿度控制：无尘车间的湿度应保持在一定范围内，一般在40%-60%之间，以避免产品受潮和设备受潮。
2.3 温湿度稳定性：无尘车间的温湿度应保持稳定，变化范围应控制在一定范围内，以避免对生产工艺和产品质量的影响。
三、静电控制：3.1 静电消除：无尘车间应采取适当的静电消除措施，如安装静电消除器、接地装置等，以防止静电对产品和设备的影响。
3.2 静电防护：无尘车间内的工作人员应穿戴防静电服装和鞋，使用防静电工具，以减少静电的产生和积累。
3.3 静电监测：无尘车间应配备静电监测设备，及时监测静电的产生和积累情况，以便采取相应的措施进行调整和处理。
四、照明：4.1 光照度：无尘车间内的照明应满足工作需求，一般光照度应达到300-500勒克斯。
4.2 光源选择：无尘车间内的光源应选择无频闪、无紫外线和无红外线的照明设备，以避免对产品和员工的影响。
4.3 照明均匀性：无尘车间内的照明应均匀分布，避免出现明暗不一致的情况，以提高工作效率和产品质量。
五、噪声：5.1 噪声限制：无尘车间内的噪声应控制在一定范围内，一般在70分贝以下，以保护员工的听力健康。
空气洁净度等级标准及规范
空气洁净标准和规范在经济和科技发达的国家和地区都有自己的标准，都规定了有关的洁净度等级。例如：美国、日本、西欧、北欧、俄罗斯等。我国于1984年颁布《洁净厂房设计规范》（GBJ73-84），1996年该规范进行较大的修改，1990年颁布《洁净室施工及验收规范》（JGJ71-90）以指导施工和验收的重要文件。目前，该规范在重新修订中。
2，ISO1644的ISO5相当于，≤3.5颗/升，或100颗/ft3，或3530颗/m3）
3，洁净度等级在100级以下者（1000，10000级等）通常用0.5μm粒径考核的居多；
4，随着微电子技术的发展，洁净度等级相应提高，洁净室检测粒径也越来越小（见表），对粒子检测仪器的要求当然也越来越高，对洁净室设计和施工方而言，在验收时，可能不止用一个粒径（如0.5μm）而要用到更多的粒径，如0.3 μm 0.2μm甚至0.1μm
《25000（〈25〉
ISO 1644国际标准中洁净室或洁净区选用的空气悬浮粒子洁净度等级
等于或大于相应粒径的最大允许浓度（粒/m3）
0.1μm
0.2μm
0.3μm
0.5μm
1μm
5μm
ISO1
10
2
ISO2
100
24
10
4
ISO3
1000
237
102
35
8
ISO4
10000
2365
1018
352
83
ISO5
100000
23651
10176
3517
832
29
ISO6
1000000
236514
101763
35168
世界各国洁净室标准规格说明
洁净室标准规格说明（一）下一页目前世界各国虽有自订规格，但普遍还是采用美国联邦标准209为多，今就209D及209E和世界上其他各国之所订标准再做更进一步之介绍与相互比较。
表1-1为美国联邦标准209D之洁净室规格。
表1-1 美国联邦标准209D洁净室规格至于209E和209D等最大之不同点在于209E表示单位增加了公制单位，即洁净室等级以“M”字头表示，如M1、M1.5、M2、M2.5、M3......依此类推，其目的在于配合国际公制单位之标准化。
M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中≧0.5um之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，而取指数为之；若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间（即非整数，则以1.5、2.5、或3.5......等表示之。
表1-2即为1992年9月新颁布之美国联邦标准209E之内容，前述之M字母后的数字，可从表中0.5um列的数值中求出，读者可试算之。
表1-2 美国联邦标准209E美国联邦标准FS 209D 都以英制每立方英尺为单位，而日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位；另外209D与日本JIS（B9920-1989）标准中另一不同点为209D是以0.5um之粒子数为计数基准，而日本则以0.1um微粒子为计数标准。
日本标准之表示法是以Class1,Class2,Class3,......Class8表示，即最好之等级为Class1,最差则为Class8,表1-3为日本JIS （9920-1989）之标准规定的粒子上限数（个/m3）。
其Class1，Class2...之数目字以0.1um粒子为基准，而以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10之幂次方，取其指数而得。
表1-3 日本JIS（9920 ~1989）标准洁净室标准规格说明（二）上一页下一页在德国工业及医学等之多数领域中，洁净室是为相关产业界所重视和期望发展之技术，因此在1967年完成了德国的洁净室规格，在德国规格中洁净室等级之表示法与美国规格不同，其表示法是以4*10”的形式表示粒径0.5um以上之粒子数，而以其中之指数n规定等级，如4*103 即表示等级为3，此等级与美国联邦规格Class100想近似。
无尘无菌车间的洁净度的标准
无尘无菌车间的洁净度的标准无菌无尘车间洁净度的确定净化车间的洁净度标准是按照美国联邦规格，而联邦规格对无尘无菌车间的环境都有一定的规格规定，但是由于现在洁净度要求不断的增加，慢慢的也发展成为洁净度进行了分类，而美国联邦规格的警戒级别分成4级，也就是100,1000,10000,100000，粒径一般都是≥1.5um，室内的压力要求都是在+13以上，温度一般是在19.4到25°之间。
在净化工程中，洁净度不同，他的用途就不同，净化车间的级别一般分成M3.5（100）、M4.5（1000）、M5.5（10000）、M6.5（100000）4个级别，由于行业的公寓的不同，形成的级别就不一样，比如说，电子设备（计算机制造，阴极射线管，磁带）的洁净度的标准时M5.5，而精密仪器工程上，比如，陀螺，微型轴承，导弹部件，继电器，还有中标，小型计算器，洁净度的标准也就是M5.5,也就是说，值是10000，主要就是防止噪音，提高精度和防止错误动作。
化学药品上，注射液充填和无菌动物养育的洁净度标准就是M3.5，就是100，主要的内容就是填充和检测；在食品方面，酿造和发酵时m5.5，主要的内容就是防止酱油，大酱腐坏，乳制品和生食品是M6.5,主要是防止酸乳酪编制，食肉加工是M6.5，主要是香肠和火腿方面的制作；在医疗上，层流手术室净化的过程上，洁净度的标准就是M3.5，主要是骨关节手术，脏器官的移植。
净化车间的分类主要是根据室内的气流来分类的，主要分成垂直层流型，水平层流性，非层流型。
垂直层流型就是将过滤器安装在天花板上，从顶板到地上，以同样的速度给无尘无菌车间提供洁净空气的方法，而这种设备因为体积庞大，造价也很高。
然而却是最好的。
水平型的就是将过滤器安装在壁板上，从墙壁上，向对面一相同的速度提供洁净空气的方式，在气流上相比之下，下流侧的洁净度就相对较低点，跟垂直型的相比，就是设备比较小店，费用比较低点的特点。
各国净化厂房洁净度等级标准
ISO 14644 根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室（区）及相关受控环境中空气洁净度的等级，并且仅考虑粒径限值（低限）在0.1um～5.0um 范围内呈累积分布的粒子群。
根据粒子径，可以划分为常规粒子（0.1um～5.0um）、超微粒子（＜0.1um）和宏粒子（＞5.0um）。
500
L
200000
45000
5000
M
450000
50000
各种国际标准的比较：
美国联邦
美国联邦
英国标准
澳大利亚标准
法国标准
德国标准
国际标准
日本标准
标准209D
标准209E
BS5295
AS1386
AFNORX44101
VDI2083
14644-1
JACA24
1
1
—
0
2
2
1
M1.5
C
0.035
—
1
3
2 930
ISO Class 8
3 520 000
832 000
29 300
ISO Class 9
35 200 000
8 320 000
293 000
注：由于涉及测量过程的不确定性，故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。
空气洁净度分级标准： GB/T16292-1996 （中国标准）
粒径、数值洁净度级别
3
10
M2.5
D
0.35
—
2
4
4
100
M3.5
E
3.5
4000
3
5
5
1000
净化车间国家标准
净化车间国家标准一、净化车间标准：1、净化车间必须维持一定的相对正压，不同等级的洁净车间之间的压强不小于5Pa;洁净车间与非洁净车间之间的压强以不小于10Pa，以防止低级洁净车间空气逆流到高级洁净车间；2、温度宜保持18~26℃，洁净度级别潜伏粒子最大允许数/立方米微生物最大允许数≥0.5чm ≥5чm 浮游菌/立方米沉降菌/立方米100级 3，500 0 5 1万级 350，000 2，000 100 310万级 3，500，000 20，000 500 1030万级 10，500，000 60，000 1，000 15万级净化车间标准(按尘粒数目和微生物数目来定义的): 尘粒最大允许数(每立方米): 大或等于0.5微米的粒子数不得超过350000个,大或等于5微米的粒子数不得超过2000个; 微生物最大允许数: 浮游菌数不得超过100个每立方米:, 沉降菌数不得超过3个每培养皿.10万级洁净车间标准(按尘粒数目和微生物数目来定义的): 尘粒最大允许数(每立方米): 大或等于0.5微米的粒子数不得超过3500000个,大或等于5微米的粒子数不得超过20000个; 微生物最大允许数: 浮游菌数不得超过500个每立方米:, 沉降菌数不得超过10个每培养皿.30万级洁净车间标准(按尘粒数目和微生物数目来定义的): 尘粒最大允许数(每立方米): 大或等于0.5微米的粒子数不得超过10500000个,大或等于5微米的粒子数不得超过60000个; 微生物最大允许数: 浮游菌数不得超过1000个每立方米:, 沉降菌数不得超过15个每培养皿.二、1）空气无尘车间洁净度分级标准：ISO14644-1（国际标准）2）空气无尘车间洁净度分级标准：GB/T16292-1996（中国标准）三、美国联邦标准（USA Federal Standard）。
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5um 单位 (ft3) (m3) 0.283 -
1.00 -
(ft3) -
-
M2
3500 99.1 757 21.4 309 8.75
100 2.83 -
-
M2.5 10 12400 350 2650 75.0 1060 30.0
353 10.0 -
-
M3
35000 991 7570 214 3090 87.5 1000 28.3 -
-
353000 10000 2470
7.00 17.5 70.0
M6
--
-
-
-
- 1000000 28300 6180
175
M6.5 100000 - -
-
-
-
- 3530000 100000 24700
700
M7
--
-
-
-
- 10000000 283000 61800
1750
美国联邦标准 FS 209D 都以英制每立方英尺为单位，而日本则是采用公制，即以每立方 公尺为单位；另外 209D 与日本 JIS（B9920-1989）标准中另一不同点为 209D 是以 0.5um 之粒 子数为计数基准，而日本则以 0.1um 微粒子为计数标准。日本标准之表示法是以 Class1,Clas s2,Class3,......Class8 表示，即最好之等级为 Class1,最差则为 Class8,表 1-3 为日本 JIS （9920-1989）之标准规定的粒子上限数（个/m3）。其 Class1，Class2...之数目字以 0.1um 粒子为基准，而以每立方公尺中微尘粒子总数中化为 10 之幂次方，取其指数而得。
无尘室/洁净室/净化车间标准规格说明（一）
目前世界各国虽有自订规格，但普遍还是采用美国联邦标准 209 为多，今就 209D 及 209E 和世界上其他各国之所订标准再做更进一步之介绍与相互比较。表 1-1 为美国联邦标准 209D 之洁净室规格。
表 1-1 美国联邦标准 209D 洁净室规格
洁净室
微尘粒子
级数（C 粒子大小 粒子数目 Pa
lass) um rticles/ft3
压力 mmAg
推薦 值域℃
值℃
温度
风速与换气率 照度 lux
（次/hr)
误差 最大 MA 最小 误差%
值℃ X% MIN%
≧0.5
≦1
1
≧5.0
0
层流方式 0.35~
≧0.5 10
≧5.0
≦10 0
±2.8
±10
0.55 m/s
至于 209E 和 209D 等最大之不同点在于 209E 表示单位增加了公制单位，即洁净室等级以 “M”字头表示，如 M1、M1.5、M2、M2.5、M3......依此类推，其目的在于配合国际公制单位 之标准化。M 字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中≧0.5um 之微尘粒子数目字以 10 的幂次 方表示，而取指数为之；若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间（即非整数，则以 1.5、 2.5、或 3.5......等表示之。表 1-2 即为 1992 年 9 月新颁布之美国联邦标准 209E 之内容， 前述之 M 字母后的数字，可从表中 0.5um 列的数值中求出，读者可试算之。
M3.5 100 - - 26500 750 10600 300
3530 100 -
M4
- - 75700 2140 30900 875 10000 283 -
M4.5 1000 - -
-
-
-
M5
--
-
-
-
M5.5 10000 - -
-
-
-
-
35300 1000 247
-
100000 2830 618
1080
100 1000 10000
≧0.5 ≧5.0 ≧0.5 ≧5.0 ≧0.5 ≧5.0
≦100
≦1 ≦1000 ＞1.3 19.4~25 22.2 特殊 45 30 特殊
≦10
需求
需求
~ 1620
≦10000 ≦65
±1.4
乱流方式≧20
±5
次/hr
≧0.5 100000
≧5.0
≦100000 ≦700
表 1-2 美国联邦标准 209E
洁净度等级 0.1um
0.2um
单位
单位
公制 英制 (m3) (ft3) (m3)
M1
350 9.91 75.7
0.3um 单位 (ft3) (m3) 2.14 30.9
微尘粒子
0.5um
单位
(ft3)
(m3)
0.875 10.0
M1.5 1 1240 35.0 265 7.50 106 3.00 35.3
-
- 35 350 3，500 35，000
-
-
-
-29Biblioteka 290Class7
107 1，010，000 350，000 2，900
Class8
108 -
10，100，000 3，500，000
29，000
表 1-3 日本 JIS（9920 ~1989）标准
粒径\级 数 0.1 0.2 0.3 0.5 5.0
Class1 Class2 Class Class4 Class5 Class6 3
101
102 103
104
105
106
2
24 236 2，360 23，600
-
1
10 101 1，010 10，100 101，000