椭偏仪操作规程样本
椭偏仪校准作业指导书
2使用范围适用于125、156单、多晶电池片的膜厚、折射率的测试。
3测试要求：3.1标片要求：选取符合技术要求的一级标片（用于校准的标片应在有效使用期限内，且标片上应有唯一编号和制作日期；有效使用期限为3年）。
3.2环境要求：洁净度:100000级湿度:＜80%温度：15-35℃灯源：灯源应在有效使用期内，有效使用期限为30天3.3设备要求：设备正常工作，无明显机械损伤，可正常启动，各数据线和信号线连接正确，显示器等可正常工作3.4操作要求：操作员着洁净服，双手戴乳胶手套或PE手套，佩戴口罩3.5参考测量标准：一级标片相应标定数据4校准内容及方法：4.1校准前准备工作4.1.1每半年进行标片校准；4.1.2取出一级标片准备测试；4.2校准工作4.2.1在桌面上点击测试程序图标（如图一所示），启动程序；图一程序图标4.2.2 程序启动后，会自动初始化（如图二所示），左上方会显示为“Initializing”，待初始化完成后，左上方会显示为“IDLE”，然后需等待30分钟进行预热，预热完成后开始校准。
图二测试程序初始化图4.2.3初始化完成后，点击“F12 Service”图标，进入校准页面（如图三所示），开始校准。
图三校准页面图4.2.3.1由于测试模式分为绒面和抛光片两种方式，下面将分开介绍，首先为绒面厚度折射率校准：4.2.3.1.1在校准界面中上方选择“Textured Mono”模式，如图四所示。
图四校准页面局部图4.2.3.1.2将测试载物平台移至最内部（即刻度为0的位置），将金属标杆移至Textured处，如图五所示首先将测试载物平台移至内部，如图五所示。
图五测试机台图4.2.3.1.3点击校准界面右下方“Dark”按钮，如果R_1和R_2的Dark结果显示为OK的话，则该项校准完成，开始下一项校准；图六校准结果图4.2.3.1.4将测试载物平台移至最外部，同时将下方白色反光板移至中间位置，如图七所示图七测试校准局部图4.2.3.1.5点击校准界面右下方“Reference”按钮，如果R_1和R_2的Reference结果显示为OK的话（如图六所示），则该项校准完成；4.2.3.1.6取出绒面标片进行对比测试，若测试结果满足： Thickness测试（厚度）∈（Thickness 标定-1nm, Thickness标定+1nm），N（折射率）∈（N标定-0.02, N标定+0.02），则此次校准通过，可以进行测量；若结果不在规定范围内，则校准结果不通过，重复4.2.3.1，直至通过为止。
椭偏仪操作规程范文
椭偏仪操作规程范文椭偏仪是一种用于测量介质的光学性质的仪器，主要用于测量介质的双折射、石英厚度和光学旋光等参数。
以下是椭偏仪的操作规程，供参考：一、安全操作规范1.椭偏仪操作人员必须维护正常的工作环境，保持仪器周围干燥、清洁，并避免灰尘和其他杂质进入仪器。
2.在操作前，必须检查仪器是否有损坏或松动的部件，及时报修或更换。
3.在使用椭偏仪时，必须戴上防护眼镜，避免强光直接入眼，以减少潜在的伤害。
4.椭偏仪的电源必须接地，电源插头必须可靠固定。
二、仪器准备1.将椭偏仪放置在平稳的台面上，并将电源插头插入电源插座。
2.打开仪器前，先查看相关的仪器操作手册，了解仪器的基本原理和操作步骤。
3.检查椭偏仪的光路是否正常，是否需要调整或清洁。
三、样品准备1.样品必须干燥、洁净，避免有液体残留或灰尘等杂质。
2.样品的厚度和形状需要符合椭偏仪测试的要求。
3.样品放置在样品台上时，要使其平整，避免有空隙或倾斜。
四、仪器操作步骤1.打开椭偏仪电源，仔细检查仪器的显示界面，确保仪器正常启动。
2.调节仪器的照明光源，使其均匀、稳定。
3.进行背景测量：将样品台上放置纯净的玻璃片，调节椭偏仪使得光对样品台背景的偏振角度为45度，进行背景测量并记录相关数据。
4.将待测试样品放到样品台上，调节仪器使得光对样品的偏振角度为45度，进行测量并记录相关数据。
5.根据需要进行多次测量，取平均值作为最终的测量结果。
6.测量完成后，关闭仪器电源，清理仪器和工作区域，确保仪器和工作区域整洁。
五、数据处理和结果分析1.将测量得到的数据输入计算机，使用相关软件进行数据处理和分析。
2.根据测量结果，计算介质的双折射、石英厚度和光学旋光等参数。
六、常见故障排除方法1.仪器显示异常：检查电源是否稳定，重新启动仪器。
2.光路不正常：检查光源和检测器的连接是否正确，调整光路。
3.无法获取数据：检查是否连接了正确的接口，检查样品是否正常放置，重新进行测量。
以上为椭偏仪的操作规程，按照这些规范和步骤操作，能够确保测量结果的准确性和可靠性，同时保证操作人员的安全。
椭偏仪操作保养规程
椭偏仪操作保养规程
椭偏仪是一种常用的光学分析设备，广泛应用于各个领域的研究和
实验中。
为了确保椭偏仪的性能和使用寿命，需要遵守相应的操作和
保养规程。
本文将分别介绍椭偏仪的操作规程和保养规程。
椭偏仪的操作规程
在使用椭偏仪之前，需要按照如下步骤进行操作：
步骤一：电源连接
将椭偏仪的电源插头插入电源插座，并确认电源指示灯亮起。
步骤二：开机
按下电源开关，待设备启动后，等待仪器校准完成。
步骤三：样品放置
将待测试的样品放置于样品台上，并使用夹子夹紧。
步骤四：参数设置
选择相应的测试模式，并根据样品特性和测试要求设置相应的参数，如波长、角度等。
步骤五：测试操作
按下测试键开始进行测试，待测试完成后，将样品取下。
自动光谱椭偏仪安全操作及保养规程
自动光谱椭偏仪安全操作及保养规程随着科技的不断发展，自动光谱椭偏仪已经成为实验室中不可缺少的仪器之一。
在使用自动光谱椭偏仪时，必须遵守一定的操作规程和保养规范，以确保实验操作的安全和仪器的稳定运行。
本文将介绍自动光谱椭偏仪的安全操作规程及常见保养方法。
自动光谱椭偏仪安全操作规程1. 避免操作中发生短路自动光谱椭偏仪是一个复杂的精密仪器，如果操作不当，易造成短路等危险情况。
因此，在操作前，应仔细阅读使用说明书，遵从厂家的操作建议。
在更换样品和清洁设备时，需要先停止仪器操作，确保安全后再进行操作。
2. 警惕仪器温度在使用自动光谱椭偏仪时，应注意控制仪器温度。
若温度过高会导致仪器损坏、甚至爆炸。
在使用过程中，应严格按照使用说明书规定的操作流程依次进行操作，以保证仪器的正常工作温度。
3. 避免样品过多样品过多也是导致自动光谱椭偏仪损坏的原因之一。
为了避免这类情况的发生，仪器在操作前需要做好样品分装工作，合理控制样品量，以保证仪器的正常运行。
4. 不要移动仪器自动光谱椭偏仪在运行过程中要保持安定。
如果移动仪器，易造成仪器内部元件受损，影响仪器的使用寿命。
在使用过程中，要尽量选择稳定的地方放置仪器，并确保仪器周围干净整洁。
5. 使用电源自动光谱椭偏仪需要用到电源，为保证电源的安全稳定，应该注意以下几点：•在使用前，检查电源和插头是否正常，以确保电源及插头完好无损。
•在断电或拔插插头前，需先将所有操作停止，并关闭仪器电源，以避免电源间接舒适容。
•在使用仪器过程中，应定期检查电源线的使用状况。
自动光谱椭偏仪保养规范除了操作规程，自动光谱椭偏仪的保养也十分重要。
以下内容将介绍常见的保养方法。
1. 定期进行润滑保养由于仪器在使用过程中会产生摩擦，如不进行润滑保养，会加速零部件损坏。
因此，在使用后，应定期进行润滑保养，以减少磨损和保护仪器。
2. 清洗仪器表面自动光谱椭偏仪在使用后，表面常常会有一些污垢和尘土附着。
这不仅会影响仪器的美观，也会影响仪器的使用寿命。
椭偏仪(专业教学)
实验题目：椭偏仪实验目的：利用传统的消光法测量椭偏参数，使学生掌握椭偏光法的基本原理、仪器的使用，并且实际测量玻璃衬底上薄膜的厚度和折射率。
实验原理：见预实验报告。
实验步骤：1、调节仪器共轴。
调节激光与椭偏仪两个光道共轴，具体步骤为取四个中间有小孔的塑料塞，塞在椭偏仪的两个平行光管筒的四个孔上，用激光射向平行光管筒，使激光穿过四个塑料塞的小孔，尽量使四个塑料塞上没有红光，即激光全部从小孔中通过，则说明仪器共轴调好。
调好后将表盘调零。
2、安装检偏器在远离激光器一边的平行光管筒一边插上望远镜筒，在平台上放置一玻璃挡板，将平行光筒调过66°，调节玻璃挡板的角度使得激光射入望远镜筒，在平行光管筒上安上检偏器，内环调到0°，外环调到90°，刻度处竖直向上；然后用眼睛观察望远镜筒，微调检偏器，直至望远镜筒中的红点亮度最小，固定检偏器。
3、安装起偏器与1/4波片将玻璃挡板取下，并将平行光管筒调回0°处，将起偏器内环调到0°，外环也调到0°，刻度竖直向上挂到离激光器较近的平行光管筒上，然后眼睛注视望远镜筒，微调起偏器，直至红点光强最小时停止调整，固定起偏器。
然后将1/4波片安到起偏器上，注意用一只手固定起偏器内环，防止内环转动，同时用另一只手转动波片，眼睛通过望远镜观察红点光强，直至光强最弱，这时停止调整，此时的仪器已调整完毕。
4、寻找消光点将样品放到座台上，将平行光管筒调至40°处，调节样品角度使得激光射到平行光管筒中且可以在望远镜中看到红点。
先将起偏仪内环调到+45°，这时将起偏仪与检偏仪均调至0~90°间任何一值，在0~90°之间调节起偏仪，同时眼睛注视红点，发现红点光强有变化时，调节检偏仪，范围同样是0~90°，可发现光强变小，反复调节二者，直至找到光强最小处，记下此时起偏器与检偏器的读数；再将二者调到90~180°之间重复上述操作，得到另一组数据。
实验八 椭偏仪实验
实验八SGC-2 型自动椭圆偏振测厚仪在半导体平面工艺中，SiO2薄膜是不可缺少的重要材料。
它既可以被作为杂质掩蔽、表面钝化和器件的电隔离材料，也可以用作电容器的介质和MOS管的绝缘栅介质等。
无论SiO2膜用作哪一种用途的材料，都必须准确的测定和控制它的厚度。
另外，折射率也是表征SiO2膜性质的重要参数之一，因此我们必须掌握SiO2膜厚及其折射率的测量方法。
通常测定薄模厚度的方法有比色法、干涉法、椭偏法等。
比色法可以方便的估计出氧化硅膜的厚度，但误差较大。
干涉法具有设备简单、测量方便的特点，结果也比较准确。
椭偏法测量膜厚是非破坏性测量，测量精度高，应用范围广。
它是使一束自然光经起偏器变成线偏振光。
再经1/4 波长片，使它变成椭圆偏振光入射在待测的膜面上。
反射时，光的偏振状态将发生变化。
通过检测这种变化，便可以推算出待测膜面的某些光学参数。
我们这个实验是用椭偏法来测量SiO2膜厚度。
一、目的要求1、了解用椭圆偏振法测量薄膜参数的基本原理和方法；2、掌握椭圆偏振仪的使用方法，并用椭偏仪测量Si衬底上的SiO2薄膜的折射率和厚度。
二、实验仪器SGC-2 型自动椭圆偏振测厚仪，计算机三、实验原理由激光器发出一定波长(λ=6328Å)的激光束，经过起偏器后变为线偏振光，并确定其偏振方向。
再经过1/4 波长片，由于双折射现象，使其分解成互相垂直的P 波和S 波，成为椭圆偏振光，椭圆的形状由起偏器的方位角决定。
椭圆偏振光以一定角度入射到样品上，经过样品表面和多层介质（包括衬底－介质图1膜－空气）的来回反射与折射，总的反射光束一般仍为椭圆偏振光，但椭圆的形状和方位改变了。
一般用Φ和Δ来描述反射时偏振状态的变化，其定义为：（1）中tgΦ的物理意义是P波和S波的振幅之比在反射前后的变化，称为椭偏法的振幅参量。
Δ的物理意义是P波和S波的相位差在反射前后的变化，称为椭偏法的相位参量。
R P和R S分别为P波初量和S波分量的总反射系数。
椭偏仪 报告
1实验内容1.1 仪器调节一、 光路调节： 1、调节载物台水平； 2、游标盘0o 对齐度盘0o ； 3、调节二光管共轴 。
二、 偏振片和41波片的调整 1、检偏器定位：（1）将检偏器套在望远镜筒上，偏振片读数头朝上，起始读数为90o ；（2）将望远镜筒转66o ，在载物台上放置黑色反光镜，此时光线以布儒斯特角入射黑色反光镜；（3）转动检偏器（保持读数头90o 位置不变），使反射光线最暗。
锁紧检偏器的固定螺丝；（4）望远镜筒转回原位，移走黑色反光镜。
2、起偏器定位：（1） 将起偏器套在平行光管上，起偏器读数头朝上，上下起始读数均为0o ； （2） 转动起偏器，使检偏器出射光最暗，锁紧起偏器的固定螺丝； 3、41波片的调整（1） 将41波片套在起偏器上，快轴对准起偏器的0o ，微调波片，使检偏器出射光最暗。
1.2 测量薄膜样品1、将薄膜样品放置在载物台中央；2、望远镜筒转过40o （此时光线以70o 角入射薄膜表面）；3、41波片置+45o 仔细调整起、检偏器角度同时>90o （同时<90o ），使检偏器出射光强最弱，分别读出检、起偏器偏转角度A1、P1（A2、P2）；4、41波片置-45o ，重复上述操作测出A3、P3、A4、P41.3 计算机数据处理1、注意按计算机提示的顺序分别将4组数据输入；2、薄膜厚度计算精度：1nm ；折射率计算精度：0.01。
2 实验数据处理及分析2.1 数据记录理论标准值为d=600，n=2.0702.2 数据计算经过计算机的计算，第一次获得的d=656.2，n=1.96，与理论值标准值相差太多，故不合理，舍去进行第二次测算。
经过计算机的计算，第二次获得的d=646.2，n=2.01，与理论标准值比较接近，取得这一组数，作为后续讨论的结果。
2.3 结果讨论d值偏大，正偏差是7.7%,n值偏小，负偏差是2.9%。
据推算，如果厚度值测算的再小一点，那么n值可以再偏大一点，正好更加的接近理论标准值。
全自动光谱椭偏仪安全操作及保养规程
全自动光谱椭偏仪安全操作及保养规程光谱椭偏仪是一种用于测量光的偏振状态和各向异性性质的实验仪器。
在使用过程中，正确的操作方法和保养措施可以提供更加准确可靠的实验结果，同时也可以保障用户的安全。
本文将介绍全自动光谱椭偏仪的安全操作规程以及相应的保养注意事项。
一、操作规程1.1 准备工作在操作椭偏仪前，必须完成以下准备工作：•光源、样品、检测器的选择；•仪器各部分的检查；•仪器的冷却、预热；•仪器的调零。
1.2 测量过程在进行测量前，应根据实验要求选择合适的检测光源和样品，并进行校准和调试。
在使用过程中，应注意以下事项：•避免触碰、摇动仪器，以保持系统的稳定性；•适当调节进光强度，防止信号过强或过弱；•必须按照仪器要求进行样品的处理和放置，以保证测量精度；•在测量过程中，应尽量避免人为干预，防止误差的产生。
1.3 测量结束测量结束后，应注意以下事项：•关闭仪器，避免灰尘和异物进入；•清洗样品仓及附件，以保证下次使用的准确性；•将仪器移动至安全地点，以避免仪器受损。
二、保养规程2.1 日常保养在使用过程中，应注意以下保养事项：•定期进行除尘、清洁仪器表面；•定期检查仪器运转是否正常，如是否有闪烁等情况；•定期检查光源、检测器等部件是否工作正常。
2.2 长期保养若长期不使用仪器，应进行以下措施：•清洗并收拾好所有零部件；•覆盖仪器以保证不受灰尘、动物、阳光等影响；•定期检测光源、检测器等部分的工作情况。
2.3 常见问题处理当遇到以下常见问题时，应进行相应的处理：•仪器灵敏度不高：可调整进光强度或调节样品的浓度；•检测值有误差：可进行校准或更换零部件处理。
三、安全注意事项在使用光谱椭偏仪时，应注意以下安全事项：•确保室内通风良好，避免仪器内积聚气体对人体伤害；•禁止未经训练的人员操作仪器，以防止因操作不当而产生事故；•禁止尖锐物品或易燃物品靠近仪器，避免仪器受损或发生火灾。
四、结论全自动光谱椭偏仪作为一种复杂的实验仪器，其正确的操作方法和保养措施可以保证实验准确性，同时也可以保障用户的安全。
椭偏仪作业指导书
图1
打开软件，点击桌面上的“SE 40advanced”图标；
调整载物台高度、红外激光发射及接收的角度，确保光源发射后经薄膜物理作用能图2 图3 图4
图4
载物台的选择
测量单晶硅片时选用带有斜面的载物台①；测量多晶硅时选用小的圆形的载台②抛光片时选用大的可调高度的圆形载物台③；
图6
测试过程
6.5.1 从石墨舟上每舟抽取镀膜后的片子，共五片，抽取位置为每个温区正中间； 6.5.2 如下图所示，将镀膜后的片子放在椭偏仪SE4000的载物台上；
2
3
1
图8
点击程序上的Measure键，等待测试结果出现在“th”和“n”栏，“th”栏显示值为n”栏显示值为折射率；。
椭偏仪操作规程
椭偏仪操作规程一.目的使用椭偏仪测量经PECVD镀膜后的SiN膜的厚度(d)和折射率(n).二.适用范围适用于CENTECH公司的SE 400advanced型号的椭偏仪三.设备主要性能及相关参数3.1 设备型号：SE 400advanced3.2 设备构成：A 光学系统部分：由支架、定位显微镜、线偏振光发射器（包括632.8nm 激光源）、椭圆偏振光接受和分析器组成。
此部分完成整个光学部分的测试。
B PC机部分。
此部分完成数据的分析和输出。
四.运行前的检查主要检查设备光学仪器部分是否损坏和电脑是否可正常使用。
五. 设备操作1. 启动软件将椭偏仪控制器和PC的电源打开，为了仪器快速可用和延长激光器寿命，推荐将椭偏仪控制器连续运转。
SE 400advanced程序通常被安装在文件夹：C:\program files\SE 400Adv\ApplicationFrame\SiAFrame.exe.使用资源管理器或者直接双击桌面的SE 400advanced图标，启动软件。
Fig. 错误!文档中没有指定样式的文字。
-1: SE 400advanced图标软件打开时会自动进入上次退出时的登陆用户界面。
Fig. 错误!文档中没有指定样式的文字。
-2: SE 400advanced 用户认证通过菜单"Logon"，能够添加、更改或删除用户和用户权限。
2. 用户主窗口1342 Fig. 错误!文档中没有指定样式的文字。
-3: SE 400advanced主窗口最后一次使用的模式会被自动加载。
通过菜单，工具栏或模式列表，能够选择另外的模式。
在软件界面的右下角，一个图标（2）用来显示椭偏仪控制器的连接状态，它通常显示为绿色。
如果显示不为绿色，请检查椭偏仪和控制器之间的网络连接是否正常，并检查屏幕右下角的任务栏的网络状态。
3. 样品测试1）在recipe下拉菜单中选择08 Si3N4 on silicon 100 nm .2）将样品平放于测试台，并定位3）通过按来开始测量，测量完成后，结果被显示在主结果区（3）和protocol区（4）。
椭偏仪安全操作及保养规程
椭偏仪安全操作及保养规程椭偏仪是一种常用的仪器，用于测量和分析光线偏振的属性。
这种仪器需要经常维护和保养，以确保正常工作。
同时，使用椭偏仪时需要注意安全，避免损坏设备，保护自己。
操作安全准备工作在操作椭偏仪之前，需要进行以下准备工作：1.检查仪器的工作状态，确保没有损坏或故障。
2.确认仪器所需的电源电压，并检查电源是否正常。
3.检查光源是否足够明亮，并根据需要调整亮度。
4.根据需要，准备样品和其他必要的试剂和仪器。
5.穿戴适当的个人保护设备，如手套和安全眼镜，以降低受伤的风险。
操作步骤在进行下列操作步骤之前，请确保已经完成了准备工作：1.打开椭偏仪并预热，通常需要几分钟时间。
2.选择要使用的波长，根据需要调整滤光片。
3.根据需要将样品放在样品架上，并将样品架放在样品台上。
4.调整样品台和样品架的位置，以便轻松地观察样品并测量。
5.调整偏振器和分析器，以便获得所需的偏振角和透过率。
6.通过旋转样品架来测量不同方向的偏振属性。
7.记录测量结果，并根据需要进行分析和处理。
操作注意事项在使用椭偏仪时，需要注意以下事项，以确保操作的安全和准确性：1.尽量遵循操作手册中的步骤，避免强制操作和过度使用力量。
2.不要将手指或其他物体放在样品架或其他移动部件附近，以避免受伤或损坏设备。
3.不要在仪器周围放置液体，以避免进入设备内部并损坏仪器。
4.不要将椭偏仪暴露于潮湿或极端温度的环境中，以避免损坏设备。
5.不要尝试拆卸或修理椭偏仪，以避免损坏设备和个人受伤。
保养规程为了保证椭偏仪的正常工作，需要经常进行维护和保养。
以下是一些常见的保养规程：1.定期清洗仪器外表面，包括玻璃和金属部件。
可以使用去污剂、酒精和棉布进行清洁。
注意不要在对表面施加过量力量或使用过激的化学药品。
2.定期更换分析器和偏振器上的滤光片，以确保它们的精度和清洁度。
3.定期检查光源灯泡并更换损坏的灯泡。
注意使用正确的电压和功率的灯泡，并且不要直接触摸灯泡。
全自动光谱椭偏仪安全操作及保养规程
全自动光谱椭偏仪安全操作及保养规程一、操作规程：1.阅读操作手册：在使用全自动光谱椭偏仪之前，必须仔细阅读仪器的操作手册，熟悉其结构、使用方法以及相关安全注意事项。
2.准备工作：在使用仪器之前，需确保实验室环境整洁，光谱椭偏仪表面干净无尘，电源线、仪器接口等都正常无损。
同时，还需要确认所使用的试剂、样品和其他实验用品准备齐全。
3.仪器开关操作：按照操作手册的指示正确打开或关闭仪器电源开关。
在操作过程中，必须遵循安全用电规范，确保正确接地和有效的电源保护措施。
4.样品处理：在样品处理过程中，要小心操作，避免溶剂、酸碱等有害物质接触皮肤或吸入呼吸道。
必要时应戴手套、口罩等防护用品。
5.样品装载：在安全行操作的前提下，将样品准确地装入光谱椭偏仪的样品槽中，并在操作过程中避免突然的动作或碰撞，以免损坏仪器。
6.控制操作：根据操作手册的要求进行控制参数的设定和操作过程的步骤，确保仪器能够正常工作和采集数据。
7.数据采集：在测量数据时，要保持仪器的稳定、无干扰的工作状态。
避免操作过程中临时停电、电源不稳定、其他干扰源造成结果的不准确。
8.数据保存：将测量的数据按照规定的格式和命名要求保存，并备份到可靠的存储媒介上，以备后续分析和参考。
二、保养规程：1.日常检查：每天使用前应仔细检查仪器的各个部分是否正常，特别注意检查光路系统是否有灰尘、污物等异物，若有，则应及时清理。
2.仪器清洁：定期对光谱椭偏仪进行清洁，使用干净、柔软的布擦拭仪器表面和光学元件，避免使用有腐蚀性或刮伤性的溶剂或工具进行清洁。
3.镇定架调整：定期检查仪器镇定架的水平度和稳定性，确保光路的正常运行和稳定的信号输出。
4.仪器校准：根据操作手册的要求，定期对仪器进行校准和标定，保证测量的准确性和可靠性。
5.试剂及标准品管理：定期检查试剂和标准品的有效期和存储条件，确保其质量和可靠性。
避免试剂的过期使用和受潮受污等情况。
6.仪器维护：定期对仪器的关键部件和部件接口进行维护，例如检查光源的使用寿命和稳定性，检查控制芯片和电路板的工作情况等。
EX2椭圆偏振测厚仪操作步骤
EX2椭圆偏振测厚仪操作步骤By冶前增1.打开仪器电源开关，打开电脑，点击打开软件EX3进入预热界面（若是之前已经预热过或打开仪器超过十分钟则点击取消加热直接进入测量界面）。
2.点击测量原理，了解测量的基本原理与步骤。
3.点击仪器设置，由于仪器之前已经设置好了，这一步可直接跳过。
4.点击放置样品，样品台和入射臂和检偏臂角度已设置好，直接将样品放置在样品台上且测量面朝上，将光源孔的保护膜撕下。
点击软件的开始按钮进行光强测量，选择适当的增益使得光强>10%。
5.点击软件中的测量样品按钮进入测量样品界面。
（1）.搜索P的消光区域：起偏器P旋转，初始范围0°~180°；检偏器A角度固定初始为45°，方位角扫描歩距可设置，初始为2°；设置完毕后点击开始按钮，界面中间出现光强值曲线，右侧为曲线对应原始数据，可导出保存。
待起偏器P停止旋转，点击“分析”按钮，然后保存数据。
（2）搜索A的消光区域：起偏器方位角P固定，角度设置为步骤（1）中的消光角P0，检偏器A旋转，初始范围为0°~ 90°，后面操作与步骤（1）。
下面开始进行精细测量（3）测量P的消光点P01：起偏器P旋转，扫描范围为步骤1中消光角P0±15°，检偏器A固定，角度为步骤2中的消光角A0，后面的操作与步骤1相同。
（4）测量A的消光点A01：起偏器P固定，角度为步骤3中的消光角P01，起偏器A 旋转，扫描范围为步骤2中消光角A0±15°，后面的操作与步骤2相同。
在测量结果栏中选中此行，计算椭偏角。
（5）测量P的消光点P02：起偏器P旋转，扫描范围为（P01+90°或P01-90°，保证其结果在0°~180°之间）±15°。
检偏器A固定为180°-A01，后面的操作与步骤3相同。
系列椭偏仪安全操作及保养规程
系列椭偏仪安全操作及保养规程椭偏仪是一种常用的实验仪器，用于测量光线的偏振状态和样品的光学性质。
在使用椭偏仪时，必须遵守一系列的安全操作规程，并进行定期的保养，以确保仪器的正常运行和延长使用寿命。
以下是椭偏仪的安全操作及保养规程。
一、安全操作规程：1.在使用椭偏仪之前，必须先仔细阅读使用说明书，并掌握其使用方法和原理。
2.椭偏仪应安装在干燥、通风的实验室中，保持仪器周围环境的清洁和整洁。
3.在操作椭偏仪前，先检查仪器是否无损坏，所有部件是否齐全。
4.椭偏仪使用过程中要注意保持仪器表面干燥，避免在湿度过高的环境中操作。
5.在使用椭偏仪之前，必须先打开室温恒温器，使仪器处于稳定的温度环境中。
6.在操作椭偏仪时，必须佩戴防护眼镜，并注意仪器所使用的光源是否对眼睛有危害。
7.当调节和观察样品时，要避免直接照射光源和进入接口。
8.使用椭偏仪时，不得将手指或其他物体伸入到仪器的运动元件中，以免造成伤害。
9.椭偏仪使用完毕后，应将所有调节元件调回初始位置，并关闭电源开关。
二、保养规程：1.定期检查椭偏仪的各个部件，若有损坏或松动的情况，应及时修理或更换。
2.椭偏仪表面应定期清洁，使用干净的软布擦拭，避免使用有腐蚀性的溶剂。
3.椭偏仪的光路系统应定期进行检查和校正，确保光路的稳定和准确。
4.椭偏仪的光源应定期检查和维护，保证光源的光强和光谱分布。
6.长时间不使用椭偏仪时，应断开电源，存放在干燥、通风的地方。
7.定期保养时，应参照使用说明书进行操作，避免因误操作而对仪器造成损坏。
8.若要更换零部件或对仪器进行大修，应送到专业的维修中心或生产厂家进行维修。
以上是椭偏仪的安全操作及保养规程，通过遵守这些规程，能够确保仪器的安全运行和延长使用寿命，同时也能保障实验人员的人身安全。
在平时的使用过程中，还需根据情况及时补充和完善规程，并进行培训和宣讲，提高实验人员的安全意识和操作技能。
大型光谱椭偏仪安全操作及保养规程
大型光谱椭偏仪安全操作及保养规程前言大型光谱椭偏仪是一种常见的分析测试设备，广泛应用于生物、化学、药物等多个领域。
在使用过程中，正确的实验操作和保养维护是确保设备准确性和使用寿命的关键因素。
因此，本文将介绍大型光谱椭偏仪的安全操作和保养规程。
安全操作规程1.设备检查使用前需检查设备是否正常运行，配件是否完整、连接是否牢固、光源是否正常等。
如发现问题，应及时停止使用并通知设备管理员。
2.穿戴个人防护装备在使用过程中，应穿戴个人防护装备，如实验室专用服、手套、口罩、护目镜等，以保护人员安全，并避免对设备造成污损。
3.操作规范在使用光谱椭偏仪时，应注意以下操作规范：(1) 记录实验过程在操作过程中应记录实验过程，记录正确的参数和结果，保存相关数据及图像。
以便后续分析和演示。
(2)避免共振在样本放置、移动过程中，应避免共振，以免影响实验结果，如果需要更改样品高度，建议先关闭仪器以避免对设备产生影响。
(3) 定期校准使用前应定期校准光谱椭偏仪，以确保准确性。
(4)避免开机条件差尽量避免在环境条件差的情况下开启仪器，如大雨多风等情况下千万不要强行使用。
保养规程1.日常维护保持设备干净，定期清理仪器周围的灰尘；保持设备通风良好，禁止在椭偏仪上堆放任何物品，以免影响仪器散热；保持仪器表面清洁，使用干净柔软的布擦拭。
（如果在赛杰玛上发现一些灰尘或杂质，必须停止射线照射并及时清理）。
2.定期检查定期对仪器进行维护保养，检查连接线是否正常；检查灯泡是否正常；检查仪器各个部分的操作是否灵活。
3.定期更换配件定期更换样品盒和分光装置的光学元件，一般更换时间至少为半年一次，以保证测试结果的准确性。
总结在使用大型光谱椭偏仪时，务必严格按照安全操作规程进行实验，随时保持仪器清洁和良好的工作状态，合理的维护保养是保证光谱椭偏仪性能准确性和寿命延长的重要保障。
高精度光谱椭偏仪安全操作及保养规程
高精度光谱椭偏仪安全操作及保养规程前言高精度光谱椭偏仪是一种遵循荷兰分析公司JASCO的标准研制的一款仪器，用于测量光学试样的旋光度、线偏振度等参数。
为了确保使用过程中的安全和顺利，本文档将重点介绍高精度光谱椭偏仪的安全操作和保养规程。
安全操作规程1.操作前检查：使用前要对设备进行检查，确保其完好无损，每次安装试样时，应确保所有的红外光谱仪配件都不会被阻碍或受到干扰，如有異常现象请勿使用，应及时与专业人员联系。
2.放置方向：安装前需将光谱椭偏仪放置于平稳无震动的工作台，严禁将设备安装在未稳固的地方。
3.避光操作：使用前需要确保取样室环境干燥，坚固，以免发生意外。
操作时需避光，以免对光谱椭偏仪的测量造成影响。
4.光谱测量：光谱测量时，必须确保薄片架的金属部分不同接触玻璃部分，否则会影响光谱数据。
5.物质清理：每次使用后应清洁及吹除气体、粉尘或纤维等，以防影响下一次使用。
保养规程1.设备清洁：长期使用后，设备上会有一些粉尘及其他颗粒物质，这些物质会影响设备的精度，因此应该经常进行清洁。
2.润滑保养：光谱椭偏仪设备需要进行相应的润滑，以保证设备的正常运转。
在润滑之前，务必确认完全清除旧油污染，并使用指定的润滑油进行清洗。
3.电器元件保养：电器元件是高精度光谱椭偏仪的核心组成部分，使用过程中应尽量避免在温度过热或潮湿等特殊情况下使用，以免对电器元件造成损伤。
总结高精度光谱椭偏仪是精密仪器，在使用过程中应该特别注意操作规程和保养规程。
运用时应该特别注意安全操作，定期进行保养。
这样才能够保证设备的长时间正常稳定运转，也为用户提供更为准确的数据支持。
教学椭偏仪安全操作及保养规程
教学椭偏仪安全操作及保养规程教学椭偏仪是一种常见的光学实验仪器，在学校的物理实验室、光电技术实验室等科研领域都有广泛的应用。
教学椭偏仪的使用涉及到高强度的激光光束，对于操作人员的安全和仪器的保养都有很高的要求。
本文为大家介绍教学椭偏仪的安全操作要点和保养规程。
1. 教学椭偏仪安全操作要点1.1 环境安全教学椭偏仪的使用场所应该具备安全的环境条件。
首先，操作室的光线应该足够明亮。
其次，应该保证仪器四周的地面平整、不易滑动。
最后，使用时应该避免出现高温、高压力等安全隐患。
1.2 操作人员安全激光光束是教学椭偏仪的核心部分，因此操作人员应当正确区分危险区域、危险物品，并严格按照安全操作规程执行。
尽量避免激光直接照射眼睛，长时间观察激光光束，会损伤视网膜，应该佩戴给定的护目镜。
1.3 设备操作安全•开机操作要点：1.接通电源开关后，先将亮度调至最低，再慢慢调增至适合的亮度。
2.在开机后，需要先检查和调整教学椭偏仪的各个透镜、反射镜位置是否正确，尤其是需要调整激光器的水平以及调平光斑点位置。
3.在调整完各项参数后，才可以开始使用教学椭偏仪进行实验操作。
•使用操作要点：1.操作时应保证自己和周围的人安全。
2.使用时，不应将椭偏仪中的各种光线非法转折或反射到其他方向，要保证激光束的射出范围。
3.使用时不可以随意拆下和更换任何部件。
4.使用后要及时检查、拆除留在仪器上的附件。
1.4 故障处理若在使用过程中发现椭偏仪有任何异常情况，应该立刻停止使用，不得进行自行修理，应该联系有关人员进行维修，确保椭偏仪能够正常使用。
2. 教学椭偏仪日常保养规程教学椭偏仪作为一种光学仪器，其保养也非常重要，只有严格遵循保养规程才能使仪器持续且稳定地工作。
教学椭偏仪的日常保养规程如下：2.1 仪器擦拭使用前需要擦拭各种透镜、反射镜、平面镜、激光处，尤其是更换激光柱的位置，应该保持擦洗干净，以防止灰尘和脏物进入仪器内部。
擦拭时应使用干净的纯棉布，不可以使用垃圾或会掉毛的棉布。
椭偏仪操作规程
椭偏仪操作规程本页仅作为文档页封面，使用时可以删除This document is for reference only-rar21year.March椭偏仪操作规程一.目的使用椭偏仪测量经PECVD镀膜后的SiN膜的厚度(d)和折射率(n).二.适用范围适用于CENTECH公司的SE 400advanced型号的椭偏仪三.设备主要性能及相关参数设备型号：SE 400advanced设备构成：A 光学系统部分：由支架、定位显微镜、线偏振光发射器（包括激光源）、椭圆偏振光接受和分析器组成。
此部分完成整个光学部分的测试。
B PC机部分。
此部分完成数据的分析和输出。
四.运行前的检查主要检查设备光学仪器部分是否损坏和电脑是否可正常使用。
五. 设备操作1. 启动软件将椭偏仪控制器和PC的电源打开，为了仪器快速可用和延长激光器寿命，推荐将椭偏仪控制器连续运转。
SE 400advanced程序通常被安装在文件夹：C:\program files\SE 400Adv\ApplicationFrame\.使用资源管理器或者直接双击桌面的SE 400advanced图标，启动软件。
Fig. 错误!文档中没有指定样式的文字。
-1: SE 400advanced图标软件打开时会自动进入上次退出时的登陆用户界面。
Fig. 错误!文档中没有指定样式的文字。
-2: SE 400advanced 用户认证通过菜单"Logon"，能够添加、更改或删除用户和用户权限。
2. 用户主窗口1342 Fig. 错误!文档中没有指定样式的文字。
-3: SE 400advanced主窗口最后一次使用的模式会被自动加载。
通过菜单，工具栏或模式列表，能够选择另外的模式。
在软件界面的右下角，一个图标（2）用来显示椭偏仪控制器的连接状态，它通常显示为绿色。
如果显示不为绿色，请检查椭偏仪和控制器之间的网络连接是否正常，并检查屏幕右下角的任务栏的网络状态。
紫外广义光谱椭偏仪安全操作及保养规程
紫外广义光谱椭偏仪安全操作及保养规程1. 引言紫外广义光谱椭偏仪是实验室中常用的仪器之一，用于测量物质在紫外光谱范围内的椭偏性质。
本文档旨在提供紫外广义光谱椭偏仪的安全操作与保养规程，以确保仪器正常工作，并保护用户和设备的安全。
2. 安全操作规程2.1 首次使用前检查在首次使用紫外广义光谱椭偏仪之前，应仔细检查仪器的外观是否完好，并确保连接线及电源线没有损坏。
确认仪器没有明显故障后方可进行下一步操作。
2.2 仪器开启与关闭在开启和关闭紫外广义光谱椭偏仪时，务必按照以下步骤进行操作：•开启仪器：先将电源插头插入插座，然后按下仪器上的电源开关，并等待仪器启动。
•关闭仪器：按下仪器上的电源开关，将仪器断电，然后拔出电源插头。
2.3 仪器操作注意事项•在操作紫外广义光谱椭偏仪时，应严格遵守操作指南。
如有不清楚的操作步骤或操作过程中遇到问题，应立即停止操作，并寻求专业人员的帮助。
•在更换样品或调整实验参数时，务必先断开电源，并等待仪器完全停止运行后再进行操作。
•注意避免将任何液体或固体杂质进入仪器内部，如有意外发生应立即停止使用并通知维修人员。
•避免使用过大的力量操作仪器，轻拿轻放，以免损坏仪器部件。
2.4 安全防护装备使用在使用紫外广义光谱椭偏仪时，要确保相关的安全防护装备的正确使用，包括：•穿戴实验室规定的安全眼镜和防护手套，以保护眼睛和手部免受潜在的危害。
•注意避免和光源直接接触，避免对眼睛造成损伤。
•在实验过程中，要远离开关和控制按钮，以防止误触发造成意外损伤。
3. 仪器保养规程3.1 仪器清洁保持紫外广义光谱椭偏仪的清洁是确保仪器稳定运行的重要措施。
在进行仪器清洁时，请遵循以下步骤：•使用柔软的纤维布轻轻擦拭仪器外壳和控制面板，清除灰尘和污垢。
•避免使用含有酸性或碱性成分的清洁剂，以免损坏仪器表面。
•定期清洁仪器各个部件，确保通风孔畅通无阻。
3.2 仪器存放当紫外广义光谱椭偏仪暂时不使用时，应按照以下步骤进行存放：•关闭仪器电源，并拔出电源插头。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
椭偏仪操作规程
一.目的
使用椭偏仪测量经PECVD镀膜后的SiN膜的厚度(d)和折射率(n).
二.适用范围
适用于CENTECH公司的SE 400advanced型号的椭偏仪
三.设备主要性能及相关参数
3.1 设备型号: SE 400advanced
3.2 设备构成:
A 光学系统部分: 由支架、定位显微镜、线偏振光发射器( 包括632.8nm激光源) 、椭圆偏振光接受和分析器组成。
此部分完成整个光学部分的测试。
B PC机部分。
此部分完成数据的分析和输出。
四.运行前的检查
主要检查设备光学仪器部分是否损坏和电脑是否可正常使用。
五. 设备操作
1. 启动软件
将椭偏仪控制器和PC的电源打开, 为了仪器快速可用和延长激光器寿命, 推荐将椭偏仪控制器连续运转。
SE 400advanced程序一般被安装在文件夹:
C:\program files\SE 400Adv\ApplicationFrame\SiAFrame.exe.
使用资源管理器或者直接双击桌面的SE 400advanced图标, 启动软件。
Fig. 错误!文档中没有指定样式的文字。
-1: SE 400advanced图标软件打开时会自动进入上次退出时的登陆用户界面。
Fig. 错误!文档中没有指定样式的文字。
-2: SE 400advanced 用户认证经过菜单"Logon", 能够添加、更改或删除用户和用户权限。
2. 用户主窗口
1
3
4
2 Fig. 错误!文档中没有指定样式的文字。
-3: SE 400advanced主窗口
最后一次使用的模式会被自动加载。
经过菜单, 工具栏或模式列表, 能够选择另外的模式。
在软件界面的右下角, 一个图标( 2) 用来显示椭偏仪控制器的连接状态, 它一般显示为绿色。
如果显示不为绿色, 请检查椭偏仪和控制器之间的网络连接是否正常, 并检查屏幕右下角的任务栏的网络状态。
3. 样品测试
1) 在recipe下拉菜单中选择08 Si3N4 on silicon 100 nm .
2) 将样品平放于测试台, 并定位
3) 经过按来开始测量, 测量完成后, 结果被显示在主结
果区( 3) 和protocol区( 4) 。
4. 测量选项
在"Measurement options"页面中, 能够按照测量的数值计算方法、数值极限和结果报告, 对一些设定进行更改。
另外, 设定入射角度和对多角度测量所使用角度的选择, 也能够在这里进行。
Fig. 错误!文档中没有指定样式的文字。
-4: 模式选项 (测量)
测量任务
Psi, Delta 椭偏角度的测量。
Substrate ns, ks 使用free surface.模型时, 基底的复折射率。
Thickness
使用单层透明膜模型, 并指定指定膜层折射率和基底折射率时, 膜层的厚度;
开始膜厚由用户给出或由CER测量给出。
Thickness + n
使用单层膜模型时, 膜层的厚度和折射率。
(基底的复折射率作为固定值);
开始膜厚由用户给出或由CER测量给出。