微机型数显复合真空计使用说明书
复合真空计的原理和使用方法 真空计操作规程
复合真空计的原理和使用方法真空计操作规程真空计是测量真空系统中气体压强的仪器，种类很多，这里介绍的复合真空计是常见的一种，复合真空计是由温差电偶真空计与热阴极电离真空计组合而成。
温差电偶真空计的原理温差电偶真空规管由玻璃制成，通过小管8和真空系统相接，在规管内的两根引线上装有热丝3，另外两根引线上焊着一对温差电偶4，温差电偶的另一端与热丝在A点焊接。
由于在低压下，气体的热传导系数与压强成正比，所以在通过热丝的电流（90～150mA）确定的条件下，热丝的温度随着规管内真空度的提高而上升，温差电偶电动势也随之而增大。
因此，通过测量温差电偶电动势，可以确定出被测系统的真空度，温差电偶真空计则是依据这个原理制成的。
温差电偶真空计的电离真空计的测量范围1～510—2Pa。
热阴极电离真空计的原理电离真空规管是一只三极管，通过B管与真空系统相接，使用时，在灯丝电路中通以电流5mA，灯丝受热后便发射电子，由于栅极为正电压，使电子加速，中途与气体分子相碰，气体的密度越大，碰撞机会越大，产生的正离子也越多。
另外，由于板极电压为负，便吸引正离子在板极电路中形成板极电流Ip，气体分子密度越大（即压强越大），板极电流也越大，反之越小。
麦氏真空计维护和保养麦氏真空计是依据理想等温压缩的波义耳——马略特定律设计而成。
由于它可以通过本身的参数，直接算得压强值，所以它除了进行压强测量外，还可以作为确定真空计用来校验一些相对真空计（如：座式压缩真空计就是其中的一种），故被广泛用于工业、国防、科研、医药、制冷等真空度测量工作之中。
麦氏真空计维护和保养：1、运输及使用时必需严防倒置平卧，以防水银倒回真空像皮管内或水银珠进入中心闭管毛细管内堵塞毛细管，影响测量精度。
因此在每次使用前必需先将真空橡皮管竖直，以使水银能流回真空计玻璃管内。
2、在测量时即真空表为挺立状态，严禁将任何气体猛烈地冲入真空系统，以免冲击玻璃管致使击碎玻璃管。
3 、真空计内工作汞已经经过化学物理方法处理，有确定的清洁性。
ZDF-IV复合真空计使用说明书
注意：表示必须遵循的信息，如未遵循可能会导致对人身 的伤害和对该真空计的损坏。
表示重要的附加信息和技巧或建议。
正华公司保留对产品外观及设计改进和改变的权利，而无需 事先通知，产品及配件以实物为准。
-1-
2、 技 术 参 数
2.1 电阻单元技术参数:
·规 管 型号:Z J - 5 2 T电 阻规
由 于 该 电阻计 设 计采用 干 燥空气(或 氮 气)校准 而 得出的 工 作曲 线。因此在真空环境下，相对空气（或氮气）的其它气体曲线及 修 正系 数 和等效 氮 压力公 式 如下：(仅 供 参考)
显示真空
等效真空
气 体 修 正 系 数K 气体
修 正 系 数K
P e ff (等 效 真 空) = K×P (显 示 真 空)
-6
-8
1×10 ～1×10 Pa不大 于±20%
·规管去气方式：轰击去气。
-2
-8
·有 效控制 范 围： 5×1 0 ～5×1 0 P a
2.3 其它参数
·控制输出模式：继电器触点通、断输出。每一组输出为一 对常闭和一对常开。
·控 制负载 ：A C 220V/1A（DC2 8 V / 5 A） 无感 负 载。 ·工 作电源 ：A C 220V±1 0%/50HZ。 ·功 率：最 大 功率约60W。 · 工 作 环 境 温 度 ：0～4 5 0C。 ·工 作相对 湿 度＜85%。 ·外形尺寸及重量参见附录。
2.2 电离单元技术参数:
· 测 量 范 围:1×1 0 -1～1×1 0 -8P a
·规 管型号: ZJ-12热阴 极 电离规
-1
·规 管灵敏 度 ：0. 0 7 5 ± 1 5 % P a 。
复合真空计说明书
复合真空计说明书复合真空计是一种用于测量真空度的仪器，它由多个部件组成，包括压力传感器、控制器、显示器等。
本文将详细介绍复合真空计的原理、使用方法以及注意事项。
一、原理复合真空计的原理是基于热电效应和热导率的测量原理。
当真空度发生变化时，热电偶的电势差也会发生变化，通过测量电势差的变化，可以得出真空度的变化。
同时，复合真空计还可以通过测量热导率的变化来确定真空度。
二、使用方法1.准备工作在使用复合真空计之前，需要进行一些准备工作。
首先，需要将仪器放置在干燥、通风的地方，避免受潮或受到其他污染物的影响。
其次，需要将仪器的各个部件连接好，并将控制器和显示器连接到电源上。
2.校准仪器在使用复合真空计之前，需要对仪器进行校准。
校准的目的是确保仪器的测量结果准确可靠。
校准的方法是将仪器放置在已知真空度的环境中，然后根据测量结果进行调整。
3.测量真空度在进行测量时，需要将复合真空计放置在待测物体的附近，然后打开仪器的电源，等待一段时间，直到仪器的显示屏上显示出当前的真空度。
如果需要连续测量，可以将仪器连接到计算机上，通过软件进行数据记录和分析。
三、注意事项1.避免受潮复合真空计是一种精密仪器，需要避免受潮或受到其他污染物的影响。
在使用过程中，应该将仪器放置在干燥、通风的地方，避免受潮。
2.避免碰撞复合真空计的各个部件都非常精密，需要避免碰撞或受到其他机械性的影响。
在使用过程中，应该轻拿轻放，避免碰撞。
3.避免过度使用复合真空计是一种精密仪器，需要避免过度使用。
在使用过程中，应该遵循使用说明书上的使用时间和使用频率，避免过度使用。
4.定期维护复合真空计需要定期进行维护，包括清洁、校准等。
在使用过程中，应该遵循使用说明书上的维护周期和维护方法，保证仪器的正常运行。
复合真空计是一种精密仪器，需要遵循使用说明书上的使用方法和注意事项，才能保证测量结果的准确可靠。
在使用过程中，应该避免受潮、避免碰撞、避免过度使用，并定期进行维护。
复合真空计校准仪型号安全操作及保养规程
复合真空计校准仪型号安全操作及保养规程引言复合真空计校准仪是一种用于检测和校准真空度测量仪器的设备，具有高精度和可靠性。
为了确保操作人员的安全以及仪器的长期稳定运行，本文档将详细介绍复合真空计校准仪型号的安全操作规程和保养要点。
安全操作规程1.熟悉使用说明书：在使用复合真空计校准仪之前，必须仔细阅读并熟悉使用说明书，确保了解各个部件的功能和操作细节。
2.佩戴个人防护装备：在进行校准操作时，操作人员应佩戴防护眼镜、手套和防护服，以减少可能的伤害和污染风险。
3.检查并确保设备安装正确：在进行校准操作之前，必须检查复合真空计校准仪是否正确安装连接，确保所有连接件牢固且无泄漏。
4.确保工作环境安全：校准操作应在安全、无干扰的环境中进行，避免有害气体和尘埃的存在，以保证操作人员的安全和校准结果的准确性。
5.调整仪器到适当的工作模式：在进行校准操作之前，要根据所需的真空度范围和目标进行调整，确保仪器工作在适当的模式下，并选择合适的校准参数。
6.严格按照操作流程进行：校准操作需要按照规定的操作流程进行，确保操作步骤的正确性和顺序性。
任何时候不要越过操作步骤，以免导致误差或设备损坏。
7.校准过程中不触摸仪器部件：在校准过程中，禁止触摸仪器的任何部件，以防止误操作或电击危险。
保养要点1.定期清洁仪器表面：使用干净的软布擦拭仪器表面，避免使用有腐蚀性的溶剂或清洁剂。
定期清洁可以保持仪器的外观清洁和工作正常。
2.注意通风散热：复合真空计校准仪工作时会产生一定的热量，确保仪器周围有足够的空间和良好的通风，以防止过热导致设备故障。
3.校准仪器的标准物质：定期校准复合真空计校准仪所使用的标准物质，确保仪器的准确度和可靠性。
遵循标准物质的存储和使用规定，防止污染和损坏。
4.维护真空泵和阀门：保持真空泵和阀门的清洁和正常运转，定期检查并更换磨损或老化的零件，以确保泵和阀门的正常工作。
5.避免外界物质污染：尽量避免将灰尘、液体或其他不相关的物质接触到复合真空计校准仪的内部或外部，以防止设备的污染和损坏。
复合真空计内部校准指引
审核
制定
生效日期
5、校准程序:
5.1、执行校准前应先将待校复合真空计表面加以清洁，检查真空计外观有否破损等缺陷。
5.2、将复合真空计开关打开暖机.
5.3、将待测的真空计的加热电流调至与标准真空计的加热电流相同。
5.4、将镀膜机打开，先用标准真空计测量，每到一个测量整数点时将数值记录，同时切换到被测真空计上，读出数值并作记录。
1、目的
说明复合真空计校准程序，确保直复合真空计於使用期间能维持其精密度舆准确度。
2、适用范围
本公司所有复合真空计之校准均适用之。
3.计量所需的标准件和计量环境.
外校合格之复合真空计<有国际或国家认可合格证明书>校准环境：温度24±4℃，相对湿度为：20~70%。
4、检查复合真空计表面是否干净，表针指示是否正常，各拨动开关功能是否正常。
5.5、用以上5.4方法，先用V1通道进行对比于误差值。
5.7、示值误差V1、V2不超过±1Pa，即为合格；然后出合格报告，并在仪器上贴上合格证；否则为不合格，出不合格报告，暂停使用并送相关部门维修，并在仪器上贴上停用证。
6、计量周期：一年。
7、记录:《内校记录表》保存两年。
YYZ-200便携式数显真空计说明书
YYZ-200便携式数显热偶真空计使用说明书一概述YYZ-200热偶真空仪，是新型的真空测量仪，它采用计算机技术对真空测量数据进行非线性处理，提高了测量精度，增加了显示的稳定性，是先进的真空测量仪。
广泛应用于航天、机械、石油、化工、低温液体贮运设备、冶金、电子及医疗等领域。
产品符合JB/T6873-2005。
二工作原理根据低压强下气体分子热传导特性，当热偶规管热丝的加热电流恒定时，热丝的温度将随管内的压强而变化，当压强降低时，气体分子的热传导运动减弱，热丝的温度升高；反之，热丝的温度减小，热偶规管输出的热电势反映了热丝温度的变化，只要测量规管的热电势值，与之对应的系统压强就确定了。
规管输出的热电势经计算机非线性处理后送数码管显示。
三热偶规管* ZJ-51（M007）型热偶规管的技术指标1 量程：66.5Pa～ 0.1 Pa2 真空度误差：± 15 %3 加热电流：90～130 mA* ZJ-54(ZJ-53)型热偶规管的技术指标1 量程：300Pa～ 0.1 Pa2 真空度误差：± 15 %3 加热电流：27.5±1.5 mA四仪器的技术指标1 测量范围：500Pa～0.1Pa（0～100格）2 加热电流范围：20 mA～130 mA有效误差范围：68Pa～0.1Pa（ZJ-51）300Pa～0.1 Pa（ZJ-54）3 加热电流误差：± 0.5 %4 真空度极限误差：± 20 %5 显示位数：四位数码LED6 工作电源：DC 8V锂电池，AC 220/50Hz7 功率：2 VA ；8 重量：0.3 kg 9 外型尺寸：100×82×32 mm3五功能菜单功能键:“ SET ”表示，测量转换。
加键：“▲”表示，调节加热电流增加。
减键：“▼”表示，调节加热电流减小。
本机可显示真空度或规管的加热电流。
面板上“SET ”键，用于“真空-丝流”测量转换。
睿宝电子科技有限公司复合真空计使用说明书
ZDF-5227系列/ZDF-5210系列/ZDF-5201系列复合真空计使用说明书成都睿宝电子科技有限公司地址：成都市双流区西航港腾飞二路355号9栋邮编(P.C.)：610207 电话(TEL)：************85535103 传真(FAX)：************网址： E-mail:**************尊敬的客户：首先感谢您的信赖并选择了我公司的真空计产品，我公司是从事研发、生产和销售真空测量仪器的专业制造厂家。
是通过并运行ISO9001质量体系的企业。
我们希望通过我们的产品能为您带来更大的效益，通过我们的服务能更好地满足您的需求。
请在使用我公司产品前仔细先阅读本使用说明书。
请关注您所使用的那一款真空计的各种文字条款和图片解释，以帮助您更好地使用我公司产品。
如果您在使用本公司产品时，还有什么问题或疑虑，请及时和我们联系。
再次感谢您的使用！本用户手册中ZDF-5227系列代表ZDF-5227、ZDF-5227B、ZDF-5227BY三种真空计；ZDF-5210系列代表ZDF-5210、ZDF-5210B、ZDF-5210BY三种真空计；ZDF-5201系列代表ZDF-5201、ZDF-5201B、ZDF-5201BY三种真空计。
售后电话：************-613该系列复合真空计是由一路或者二路皮拉尼电阻真空计（ZJ-52T）和一路热阴极电离(ZJ-27\ZJ-10\ZJ-12)真空计组合而成。
ZDF-5227由一路电阻和一路电离组成；ZDF-5227B\ZDF-5227BY由两路电阻和一路电离组成。
ZDF-5210由一路电阻和一路电离组成；ZDF-5210B\ZDF-5210BY由两路电阻和一路电离组成。
ZDF-5201由一路电阻和一路电离组成；ZDF-5201B\ZDF-5201BY由两路电阻和一路电离组成。
共计9种型号复合真空计，其中电阻1单独测量，电阻2和电离复合测量。
真空计说明书
ZDR—II—LED微机型数显电阻真空计使用说明书OPERATION.INSTRUCTION一、简介ZDR—II—LED型数显双路电阻真空计，是目前国内的新型真空计测量仪器。
它采用微机控制、数字显示，具有测量精度高，控制准确方便，显示直观等特点。
本仪器采用当今世界流行的薄膜面板及能触摸按钮，造型美观大方。
二、适用范围ZDR—II—LED型数显双路电阻真空计配ZJ-52T电阻规管，其测量范围为1*105～1*10-1Pa，适用于要求测量范围宽，反映灵敏的粗、低真空的双路测量，并带有双路定值控制功能。
三、技术指标1、ZJ-52T规管电阻值：85Ω2、真空度测量范围：1*105～1*10-1Pa3、定值控制设定范围：1*105～1*10-1Pa4、定值控制负数：AC220V/3A（或DC28V/10A）5、放大器满度误差：≤4％±1个字6、工作电源：220V±10% 50HZ±5%7、功耗：约30W8、使用环境温度：0～45℃9、空气相对湿度：＜85%10、仪器外型规格：480*88*280或240*88*320mm11、重量：3KG四、工作原理电阻计的工作原理是基于在低压强时，利用气体分子的热传导，在高压时，利用气体分子的对流传热特性，使得电阻规的电阻随所测系统的压强变化而变化。
电阻规的电阻与压强的变化是一种非线性关系，鉴次本机采用微机对此非线性进行误差修正，从而提高了测量精度。
由压强变化所引起的电阻规电阻的变化，由测量桥路输出电压信号，由放大器放大，经A/D转换换入微机进行非线性处理过算，最后送显示器显示。
其工作原理框图如下五、使用方法：1、将玻璃电阻规或金属电阻规开封与系统妥善密封连接，将仪器电缆线与规管连接。
2、接通仪器电源，数秒后显示“规1”测量值（左边），“规2”真空测量值（右边）。
真空度显示前两位为系数，第三位是底数10，用数字符号E来表示，最后位为指数。
如显示2.8E2时，其真空度P=2.8*102Pa=280Pa3、零点、满度校准由于电阻规制造时材料、工艺、装配等方面的因素，不同电阻规的性能有差异。
真空计使用说明新版
真空计使用说明新版一、引言真空计是一种用来测量气体压力的仪器，广泛应用于真空技术、化学分析、物理实验等领域。
本说明将介绍如何正确使用和操作真空计，以及常见故障排除等内容。
二、仪器结构真空计主要由真空容器、压力传感器、显示屏和控制电路等组成。
真空容器通常采用金属或陶瓷材料制成，具有较好的密封性能。
压力传感器能够将压力信号转化为电信号，并传递给显示屏进行显示。
控制电路用于控制仪器的开关、校准等操作。
三、使用步骤1.准备工作将真空计放置在平稳的工作台上，确保周围无干扰物和易燃物。
接通电源，等待仪器预热。
2.接入真空管路将真空计的进、出口与管路连接，确保连接口处无泄漏。
根据需要使用密封垫和夹子固定连接。
3.打开电源打开电源开关，真空计开始运行。
等待仪器自检完成，显示屏上将显示当前环境压力值。
4.校准仪器如果需要对真空计进行校准，可按照仪器手册中的指引进行操作。
通常情况下，将校准键调至相应位置，等待仪器校准完成。
5.测量压力将待测气体引入真空计中，可以通过控制电源上的按钮选择相应的单位和量程。
待测气体压力将显示在显示屏上。
6.关闭仪器测量完毕后，关闭电源开关，待仪器停止运行后再拔掉电源插头。
注意，不可强行拔插电源插头，以免损坏仪器。
四、注意事项1.使用前需仔细阅读说明书，了解仪器的性能、规格和使用方法。
2.在使用过程中，需保持仪器和周围环境干净整洁，避免灰尘和杂质进入。
3.避免将仪器暴露在高温、潮湿或有腐蚀性气体的环境中，以免影响仪器的性能和寿命。
4.如需长时间存放仪器，应将其封存在干燥、无尘的环境中，并定期进行保养和检查。
五、故障排除1.无显示或显示异常2.泄漏检查所有连接处是否紧固，并逐一进行泄漏测试。
若仍有泄漏，更换密封垫或夹子，并注意管路连接是否正确。
六、总结。
真空计使用方法_带参数要求说明
真空计使用方法1、天海、广汇、安瑞科贮罐规管须使用HASTING HPM4/6真空计测量，2、HPM 4/6真空计为便携式、数显，使用9VDC直流电池。
3、HPM4/6真空计测量围有两个：0.001-1.0 Torr 和0.01-20.0 Torr左侧有一选择开关，放在中间是关的位置，往上推则是DV6的位置，即测量低温容器真空度的位置，测量围为0.001-1.0 Torr。
只有当低温容器和低温罐车的真空度低于一个Torr时，真空计的液晶显示屏才能够显示低温容器和低温罐车的真空度；往下推则是DV4的位置，测量围为0.01-20.0 Torr，对我们测量低温容器真空度用处不大。
故平时不要将选择开关往下推。
使用完毕后，将选择开关放在中间关的位置，以防电池电量短时间耗尽。
当电池电量低时，液晶显示屏会显示“LOBAT”，这时显示的真空度不准确，应立即关机并更换9VDC直流电池。
4、注意真空计使用完毕后应及时放回黑色包装盒，不受潮和强光照射，也不要暴露于灰尘之中，同时注意防止剧烈振动（如不能从高处摔到地上）。
5、测量步骤如下：序号操作步骤图示1打开真空规管阀（如图a），等待1小时。
图a2 将真空规管保护帽取下，按定位槽位置（如图b和图c），把真空计插头插入真空规管的针孔（如图a）。
图b图c3 将真空计开关向上打开至DV6位置（如图d），显示屏上可观察到真空读数的变化，真空读数稳定后，即为贮罐实际真空度（如图e）。
图d图e提示：真空计价格昂贵，请您小心使用、注意保护，用后及时保存。
6、根据GB/T 18442常温下(储罐未进液)封结真空度：真空阀打开后等一小时，然后再测，只需要测一次，但如果真空度有问题的，需要再次确认，可等待一小时后再测一次，没有问题的只需要测一次就行了。
6.4.4 在低温使用过程中，缠绕储罐真空夹层的压力不高于0.015帕（0.00011 TORR）6.4.5 在低温使用过程中，珠光砂罐真空夹层的压力不高于0. 5帕 (0.00376 TORR) 6.4.6 质保期，低温储罐加入低温液体后，罐体不应“出汗”但TSG R7001-2004中的要求很低：（一般厂家都用此要求）未装低温介质情况下，粉末罐真空度不大于65帕，缠绕罐不大于40帕装低温介质情况下，粉末罐真空度不大于10帕，缠绕罐不大于0.2帕。
复合真空计的原理和使用方法
真空计是测量真空系统中气体压强的仪器,种类很多, 这里介绍的复合真空计是常见的一种, 复合真空计是由温差电偶真空计与热阴极电离真空计组合而成。
温差电偶真空计的原理温差电偶真空规管由玻璃制成, 通过小管8 和真空系统相接, 如图2 所示, 在规管内的两根引线上装有热丝3,另外两根引线上焊着一对温差电偶4, 温差电偶的另一端与热丝在A 点焊接。
由于在低压下, 气体的热传导系数与压强成正比,所以在通过热丝的电流( 90～150 mA)一定的条件下, 热丝的温度随着规管内真空度的提高而升高, 温差电偶电动势也就随之而增大。
因此, 通过测量温差电偶电动势, 就可确定出被测系统的真空度, 温差电偶真空计就是根据这个原理制成的。
温差电偶真空计的电离真空计的测量范围1～5×10-2 Pa。
热阴极电离真空计的原理电离真空规管就是一只三极管, 如图3 所示, 通过B 管与真空系统相接, 使用时, 在灯丝电路中通以电流5 mA, 灯丝受热后便发射电子, 由于栅极为正电压, 使电子加速, 中途与气体分子相碰, 气体的密度越大, 碰撞机会越大, 产生的正离子也越多。
另外, 由于板极电压为负, 便吸引正离子在板极电路中形成板极电流Ip , 气体分子密度越大( 即压强越大) , 板极电流也越大, 反之就小。
所以, 通过测量板极电流便可以确定气体的压强, 热阴极电离真空计就是根据这个原理制成的。
热阴极电离真空计是测量极高真空的仪器,测量范围为1×10-2～1×10-5 Pa。
注意: 一旦测量完结, 立刻关闭电离真空规管灯丝, 这样可延长规管使用寿命。
复合真空计的使用复合真空计由上述两种真空计组合而成, 现在常用的型号有WXK 型和FZH 型, 使用方法基本相同。
现就WZK-1A 型介绍如下。
如图4 所示是WXK-1A 型的板面图, K1 为电流总开关, 开关K3、K4 及电位器W5 和电表CB2 属于温差电偶真空计部分, 其余均属于热阴极电离真空计部分,温差电偶真空规管和电离真空规管已经焊接在真空系统上, 测量时, 各用一根电缆线与复合真空计相接, 在使用前或停止使用时, 应该使面板上的所有开关都处于关闭状态, 如图4 所示。
微机型数显复合真空计使用说明书
目录1、安全说明 (1)2、技术参数 (2)3、工作原理 (3)4、性能概述 (4)5、使用概述 (5)6、规管性能概述 (7)7、规管外形及安装 (10)8、真空计与规管连线 (12)9、真空计开机及显示说明 (13)10、真空计使用方法 (13)电阻2单元使用方法 (13)电阻1与电离复合单元使用方法 (15)11、真空计去气 (17)*12、控制功能及设定方法 (17)*13、控制输出 (18)*14、扩展功能 (20)机箱规格 (22)15、附录规管接口 (24)常见问题 (27)*号内容属选配功能说明，仅选配了此功能相应配置有效1、安全说明▲为确保该真空计的正常功能，使其具有较高的准确度、稳定性和较长的使用寿命，请根据本说明书中规定的允许值和应用条件进行操作和使用。
·操作、维护和维修该真空计时，请遵守电气设备的安全规范。
′·避免大气压下开启电离规灯丝，这将烧毁电离规灯丝。
·避免真空系统或管道有真空时，强制拆卸规管。
·避免用于“正压”的真空系统安装普通规管，应安装承受“正压”的规管。
·避免真空系统中腐蚀性气体腐蚀电阻规传感丝及电离规各电极，以延长规管寿命。
·采用适当措施防止误操作或不允许的损坏。
·如未按本说明书操作，我们将不承担任何责任；有关该真空计及其附件的保证条款也将无效。
该说明书使用符号说明：▲注意：表示必须遵循的信息，如未遵循可能会导致对人身的伤害和对该真空计的损坏。
●表示重要的附加信息和技巧或建议。
炫辰钛金保留对产品外观及设计改进和改变的权利，而无需事先通知，产品及配件以实物为准。
2、技术参数电阻单元技术参数：·配用规管型号:ZJ-52T电阻规·电阻规传感丝冷态电阻值Ω±Ω)·真空度测量范围（对干燥空气或氮气）×105～×103可测范围。
×103～×10-1不大于显示值的±30%×10-1～×10-1可测范围。
复合真空计说明书
复合真空计说明书一、概述复合真空计是一种用于测量真空度的仪器，广泛应用于科研、工业制造和实验室等领域。
本说明书将详细介绍复合真空计的原理、使用方法以及注意事项。
二、原理复合真空计基于电离和热电子发射原理，采用了复合式结构，结合了宽范围测量和高精度测量的优势。
2.1 电离原理复合真空计中的电离器通过加热阴极，使原子或分子电离，产生电子流。
电离器中的阳极测量到的电离电流与真空度成正比，通过测量电离电流可以推算出真空度。
2.2 热电子发射原理复合真空计中的热阴极通过加热产生电子，电子经过加速电场达到一定能量后，撞击阳极产生的二次电子流。
通过测量二次电子流的大小可以推算真空度。
三、使用方法3.1 准备工作•确保接入电源电压符合要求，并连接正确的电源线。
•确保连接复合真空计的接口正确，避免倒插或错插。
3.2 操作步骤1.打开复合真空计，并等待其预热至工作温度。
2.设置测量模式，可以选择电离模式或热阴极模式。
3.根据需要设置测量范围，在合适的范围内进行真空度的测量。
4.开始测量，记录电离电流或二次电子流的数值。
5.根据记录的数值，使用标定曲线或公式计算出真空度。
3.3 注意事项•使用时避免频繁开启和关闭电源，以免影响复合真空计寿命。
•使用过程中避免水汽和气体泄漏进入复合真空计，防止污染或损坏设备。
•定期进行检查和维护，保持复合真空计处于良好工作状态。
四、常见问题解答4.1 复合真空计测量的误差是多少？复合真空计的测量误差通常在百分之几到几个百分点之间，具体取决于使用的型号和测量范围。
4.2 复合真空计如何校准？复合真空计的校准通常需要使用标准真空计进行，根据标准真空计的测量结果对复合真空计进行调整。
4.3 复合真空计的寿命是多久？复合真空计的寿命取决于使用频率和环境条件，一般可使用数年至数十年。
4.4 是否可以在高温环境下使用复合真空计？复合真空计可以在一定的高温范围内使用，但需根据具体型号和温度要求选择适当的型号。
微机型数显复合真空计使用说明
目录1、安全说明 (1)2、技术参数 (2)3、工作原理 (3)4、性能概述 (4)5、使用概述 (5)6、规管性能概述 (7)7、规管外形及安装 (10)8、真空计与规管连线 (12)9、真空计开机及显示说明 (13)10、真空计使用方法 (13)10.1电阻2单元使用方法 (13)10.2电阻1与电离复合单元使用方法 (15)11、真空计去气 (17)*12、控制功能及设定方法 (17)*13、控制输出 (18)*14、扩展功能 (20)机箱规格 (22)15、附录规管接口 (24)常见问题 (27)*号内容属选配功能说明，仅选配了此功能相应配置有效1、安全说明▲为确保该真空计的正常功能，使其具有较高的准确度、稳定性和较长的使用寿命，请根据本说明书中规定的允许值和应用条件进行操作和使用。
·操作、维护和维修该真空计时，请遵守电气设备的安全规范。
′·避免大气压下开启电离规灯丝，这将烧毁电离规灯丝。
·避免真空系统或管道有真空时，强制拆卸规管。
·避免用于“正压”的真空系统安装普通规管，应安装承受“正压”的规管。
·避免真空系统中腐蚀性气体腐蚀电阻规传感丝及电离规各电极，以延长规管寿命。
·采用适当措施防止误操作或不允许的损坏。
·如未按本说明书操作，我们将不承担任何责任；有关该真空计及其附件的保证条款也将无效。
该说明书使用符号说明：▲注意：表示必须遵循的信息，如未遵循可能会导致对人身的伤害和对该真空计的损坏。
●表示重要的附加信息和技巧或建议。
炫辰钛金保留对产品外观及设计改进和改变的权利，而无需事先通知，产品及配件以实物为准。
2、技术参数2.1 电阻单元技术参数：·配用规管型号:ZJ-52T电阻规·电阻规传感丝冷态电阻值(86.5Ω±1.7Ω)·真空度测量范围（对干燥空气或氮气）1.0×105～2.5×103可测范围。
真空计使用说明新版
1、复合真空计使用说明1.1 主要性能：1.1.1 本复合真空计由一个热偶计和一个宽量程的复合真空计构成．热偶采用单一的一支ZJ—54D 热偶规管进行测量。
复合真空计用一支ZJ－54D 热偶规和一支ZJ－10 电离规进行测量。
1.1.2 测量范围：热偶计：103Pa～10-1Pa复合计：103Pa～10-4Pa 。
其中电离规3.5Pa～10-4Pa。
1.1.3 本复合真空计配有RS232 接口，可与带相应接口的计算机联机。
测量数据由计算机进行管理。
1.1.4 供电：本复合真空计采用单相220V 交流供电。
电压范围：220V AC±10%；消耗功率：≤30W1.1.5 使用和储存环境：温度：5℃～35℃湿度：0～85 %严禁在高温潮湿和有腐蚀性气体的环境下工作和储存。
严禁在工作时猛烈碰撞。
1.1.6 机箱尺寸：宽×高×深＝480×119×320重量：约7Kg1.1.7 出厂时规管引线均为5m。
最长建议不要长于10m。
1.1.8 RS232 接口建议采用屏蔽电缆。
屏蔽线与机壳相连，并接地。
1.1.9 电离规的启动方式：由面板上的自动、手动开关控制。
自动方式下，热偶规测量值<3.5Pa时接通，>4.0Pa 时关闭。
手动方式下，由面板上的二个ON和OFF按纽控制。
当真空度大于10Pa时，请不要打开电离规。
2.操作说明：本复合真空计是采用单片机技术的智能化仪器。
打开电源后，真空计初始化显示“HZ HZ HZ HZ”初始化完后,热偶计直接进入工作状态。
没有接入规管或规管暴露在大气中时，都是显示103Pa。
复合计：分手动和自动启动方式，在面板上，设有电离规状态指示灯。
电离规关闭或没接或故障时，ZJ－10 指示灯亮。
在手动方式下，在没有接通电离规之前，若热偶规正常，则指示热偶规测量的真空值。
接通电离规后，显示的是电离规测量的真空度。
电离规测量值≥5.0Pa 时，自动关闭电离规灯丝。
HPM 4-5-6真空计简易操作说明
HPM 4/5/6数显真空计介绍及使用操作说明HPM 4/5/6是美国Teledyne Hastings Instruments 2014年推出的一款新的便携式数显真空计, 将替代过去的HPM 4/6数显真空计。
与原来的HPM 4/6数显真空计相比, 新推出的HPM 4/5/6数显真空计有以下特点:１). 控制开关、量程和单位都在面板上，最上面的是开关按钮，中间的是量程按钮，最下面的单位按钮。
2). 按一下开关按钮就打开真空计，再按一下开关按钮就关掉真空计；3). 开机显示：→DV-6(或DV-4或DV-5)999 OVER RANGE（表示超出真空规管测量范围或者没有连接真空; 如果显示000 UNDER RANGE, 则表明真空规管小于测量范围）电量高低图示以及真空单位（Pa或mTorr或mbar或цbar）4). 中间的量程按钮有三个量程: DV-4、DV-5和DV-6，按动这个按钮依次可以显示DV-4、DV-5和DV-6;DV-4对应量程0.01-20.0Torr, DV-5对应0.0001-0.1Torr, DV-6对应0.001-1.0Torr, 一般低温贮罐和低温罐车选用DV-6；5). 最下面的是测量单位，有四个测量单位可选择: Torr、mbar、цbar和Pa，一般中国用户比较喜欢用Pa.6). 每次开机都显示上次关机前显示的量程和单位；7). 真空计的校验也通过面板上的按钮来完成（一般要有相应的校验规管才能校验，出厂前校验过）；8). 真空计的外面有一个橡胶套，可有效保护真空计；9). 真空计的背面有个斜撑，可以很方便放在某个平面上，便于读数；10). HPM 4/5/6用的是９vdc碱性电池，工作温度20℃; 如果工作温度大大低于20℃，并且开机时间很长，那么电池寿命就会缩短。
碱性电池的工作温度为-18℃－55℃。
11). 不测量时应尽量关机，可以延长电池寿命；但开机大约５分钟后，会自动关机，以延长电池寿命；12). 几个有用的单位换算：1Torr=1000mTorr; 1Torr=133.33pa;1Pa=7.5 mTorr; 1mTorr=0.133Pa1 Bar=1000 mbar ; 1цbar=0.1Pa。
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·操作、维护和维修该真空计时，请遵守电气设备的安全规范。
′·避免大气压下开启电离规灯丝，这将烧毁电离规灯丝。
·避免真空系统或管道有真空时，强制拆卸规管。
·避免用于“正压”的真空系统安装普通规管，应安装承受“正压”的规管。
·避免真空系统中腐蚀性气体腐蚀电阻规传感丝及电离规各电极，以延长规管寿命。
·采用适当措施防止误操作或不允许的损坏。
·如未按本说明书操作，我们将不承担任何责任；有关该真空计及其附件的保证条款也将无效。
该说明书使用符号说明：▲注意：表示必须遵循的信息，如未遵循可能会导致对人身的伤害和对该真空计的损坏。
●表示重要的附加信息和技巧或建议。
炫辰钛金保留对产品外观及设计改进和改变的权利，而无需事先通知，产品及配件以实物为准。
2、技术参数电阻单元技术参数：·配用规管型号:ZJ-52T电阻规·电阻规传感丝冷态电阻值Ω±Ω)·真空度测量范围（对干燥空气或氮气）×105～×103可测范围。
×103～×10-1不大于显示值的±30%×10-1～×10-1可测范围。
·有效控制范围×103～×10-1Pa。
电离单元技术参数:·测量范围:5～1Pa可测范围1～5×10-5 Pa不大于显示值的±50%5×10-5～1×10-5Pa可测范围·配用规管型号:ZJ-27电离规·规管灵敏度:±15% Pa-1。
·规管加速极（栅极）对地电位：225V±3%·规管阴极（灯丝）中心点对地电位：25V±5%。
·收集极对地电压：0V。
·发射电流：100uA±3% 5～1×10-1Pa1mA±3% 1×10-1～1×10-5 Pa·离子流放大器示值误差：5～1×10-4 Pa不大于±5%1×10-4～1×10-5 Pa不大于±10%·规管除气方式：焦耳去气。
·有效控制范围：1Pa～5×10-5 Pa其它参数·控制输出模式：继电器触点通、断输出。
每一组输出为一对常闭和一对常开。
·控制负载：AC220V/1A（DC28V/5A）无感负载。
·工作电源：AC220V±10%/50HZ。
·功率：最大功率约40W。
·工作环境温度：0～450C。
·工作相对湿度＜85%。
·机箱规格及开孔尺寸和重量参见附录。
3、工作原理电阻单元工作原理电阻单元采用热传导式电阻真空规（又称皮拉尼规），基于这种规通以电流的热丝温度是随真空（压力）而变化的。
由于温度的改变导致热丝电阻的变化。
因此用测量电阻的变化来测量真空度。
电离计工作原理电离单元采用热阴极电离规。
基于这种规在低压力（真空）下，对通过电流的电离管灯丝“加热”，使其发射电子，故称热阴极电离规；同时给电离规加速极施加直流高压，使电子在规管电极间产生的电场中被加速，去轰击气体分子使其电离，电离产生的正离子被收集极接收。
离子流与气体压力p的关系：I+=KI e PK为规管灵敏度，I+为离子流，I e为发射电流，P为真空系统内压力（真空）。
复合真空计由电阻规管、电离规管和电子学电路组成。
电阻单元电路完成电阻规热丝定温功率调节，以及随真空度变化的测量桥路电压信号的采样，放大，经模数（A/D）转换为数字信号。
电离单元电路一部份提供电离规管所需的工作电压以及发射电流的稳定；另一部份完成离子流的检测、放大，经模数（A/D）转换为数字信号。
以微处理器为核心的数字电路，一方面完成电阻单元真空数字信号非线性处理、运算，最后送显示器显示；一方面完成电离单元数字信号采样、运算，并送显示器显示；同时完成离子流放大量程和发射电流转换的自动切换。
另一方面接受前面板各按键指令或后板外控信号指令并发出相应执行指令；同时输出真空控制信号以及真空度通讯信等。
作原真空计电路工作原理框图4、性能概述：本复合真空计：采用经过特殊的稳定的处理工艺，以热容量极小的金属丝作为真空敏感元件的电阻规，从而更大程度地降低零点、满度的漂移。
采用特别的定温式工作模式，使其电阻单元具有更宽广的测量范围和更快的响应时间。
采用高稳定、高性能直流高压稳压及稳发射电路，以确保电离规各参数稳定运行。
采用独特的真空度离子流采样放大电路和保护回路，确保从收集极回路串入的瞬变电压（TVS）强力衰减，使得真空度测量更加稳定和可靠。
采用全进口的微处理和数字接口芯片以及模拟与数字分离技术，光电隔离技术，数字滤波等新技术，确保了真空计具有强大的抗干扰能力。
采用优化的全自动切换技术，确保真空计自动量程切换平稳和可靠。
采用超量程自动关闭电离规灯丝技术，确保因真空系统突然曝露大气而不损坏电离规。
采用了外控PLC信号、RS232/RS485信号，开启/关闭电离规最新功能，使得实现真空系统的自动化成为可能。
采用国际通用流行的2U标准机箱以及PVC彩色薄膜面板，使真空计外型更为美观、时尚。
5、使用概述真空计为二路电阻测量和一路电离测量，组合为复合真空计。
电阻单元2为独立工作单元，由真空计前面板左窗口显示。
适宜抽气机组前级管路或其它位置的粗、低真空测量和控制。
电阻1和电离组合为复合单元，由真空计前面板右窗口显示。
这种复合在自动模式时，可实现电阻1自动开启和关闭电离规实现真实度连续测量和控制：（此模式运行要求电阻规1和电离规安装位置之间应没有压力（真空）差，如同一真空室内等）。
这种复合在手动模式时，电阻1和电离规可不受安装位置限制（如不在同一真空室内等），通过手动开启和关闭电离规进行测量和控制。
这种复合也可通过外控端口PLC信号等关闭电离规，以实现真空系统在放气降真空之前关闭电离规，避免了在低真空时使点亮的电离规灯丝氧化，以延长规管寿命；同时在真空系统恢复抽真空后又置为自动程序自动开启电离规。
可通过前面板完成控制点的设定，以及自动/手动模式测量时的自由切换。
可能过前面板零点（真空），满度（大气压）修正小孔，修正电阻单元零点（真空）和满度（大气压）值。
可通过面板完成去气功能等操作。
真空计前/后面板功能图：ZDF-X-LED前面板ZDF-X-LED后面板ZDF-X前面板ZDF-X后面板6、规管性能概述：该复合真空计采用ZJ-52T电阻规和ZJ-27热阴极电离规。
6．1电阻规性能概述：ZJ-52T电阻规(又称皮拉尼规)采用经过特殊的稳定化处理工艺，以热容量极小的金属丝作为真空敏感元件，并内置了环境温度补偿回路和管口防粉尘等装置。
具有量程宽、性能稳定、响应快、抗污染、耐氧化、漂移小、寿命长等特性。
适用于粗、低真空测量，即大气压×105 Pa至×10-1 Pa测量。
电阻规（皮拉尼规）以气体分子热传导方式来检测真空，这种热传导电阻规在低压力（真空）下，气体传热量与气体的摩尔质量，气体分子温度，热丝表面等有关。
因此不同种类的气体对电阻规的灵敏度不同。
由于该电阻计设计采用干燥空气（或氮气）校准而得出的工作曲线。
因此在真空环境下，相对空气（氮气）的其它气体曲线及修正系数和等效氮压力公式如下：（仅供参考）P eff（等效真空）=K×P（显示真空）电离规性能概述ZJ-27电离规（又称宽量程规），其阴极灯丝采用贵金属氧化物增强了阴极的抗氧化从而提高了耐受瞬时大气冲击的能力，延长了规管寿命。
该热阴极电离规的I+/I E与真空P的关系曲线如下图如示：如图所示，当真空度进一步降低时，在Pm处I+/I E将达到一个峰值，然后急剧下降，这种现象称作双值现象。
ZJ-27电离规的峰值点（或双值点）为：左右。
因此在开启电离规测量时，真空度应高于此点，若真空度低于此点，此时你将会发现异常的真空度显示。
如真空度变好时系数本应减小，它却反而增加，或真空度异常偏高等。
● ZJ-27电离规虽采用了抗氧化阴极灯丝，但高温灯丝长时间工作在较低真空下（氧气分压相对校高）亦易被氧化，并逐步降低发射能力，使规管寿命缩短。
●因此应采取最优的真空系统运行程序，缩短低真空区域停留时间。
●并使其保持在高真空区域工作。
●或无需测量时暂时关闭电离规。
电阻适宜测量范围：×103Pa～●电离规适宜测量范围：～×10-5Pa ●7、规管外形及安装规管外形图ZJ-52T电阻规外形图ZJ-27电离规外形图规管安装：规管安装的位置和方法对测量值及规管寿命有明显的影响，尤其是当系统中存在气流、气源等非均匀条件或高能离子/电子时，这种影响更加明显。
安装示意图如下：7.2.1电阻规安装说明●玻璃外壳电阻规安装前可先与电阻单元连机确认零点是否正确或修正其零点，然后开封安装。
系数位表示×10●采用竖直安装。
●水平安装可能会带来测量偏差。
7.2.2电离规安装说明●应优先采用竖直安装。
●应远离有油蒸汽（如扩散泵返油）的位置，防止油蒸汽遇高温灯丝裂解，改变规管灵敏度和特性以延长规管的使用寿命。
●应远离高能离子或电子的位置，或屏蔽衰减真空系统内的高能离子或电子进入规管，轰击规管电极，加速规管电极老化，缩短规管寿命。
●应避免规管安装处有漏孔，否则微小漏气在规管局部产生压力差，这将带来较大的测量偏差。
8、真空计与规管连线真空计与电阻规连线图将电阻规电缆线（五芯插头）与仪器后面板电阻规1/2插口相连并旋紧，电缆线的另一头（八脚插座）与电阻规八脚插头相连。
真空计与电离规连线图将电离规电缆线（四芯插头）与仪器后面板电离规插口相连并旋紧，电缆线的另一头（八脚插口）与电离规八脚插头相连。