干膜培训教材教材

外层图形转移工艺培训教材

高玉枝

1. 目的：

通过干膜这种特殊感光材料，利用贴膜机贴到光铜板面上，然后用所需要的线路菲林通过对位、紫外线曝光、显影等流程使菲林上的线路图形转移到铜面上，该图形可以通过电镀加厚线路和孔壁铜以满足客户的要求，也可以采用掩孔工艺法直接蚀刻出线路图形。

2．工艺流程

前处理→贴膜→曝光→显影

2.1 前处理

流程：上板→酸洗→水洗→去毛刺磨板→火山灰磨板→水洗→烘干

✧板件要经过酸洗（5%H2SO4），主要作用是清洗油脂，手迹，轻微的氧化

物等。如果厚板在平板电镀时烘的不干，会造成孔内轻微氧化，经过干

膜、电镀、蚀刻后就会有孔内点状蚀不净的缺点，我们可以适当提高酸

洗段的浓度改善这种由于孔内氧化而导致的点状蚀不净的缺点。

✧经过酸洗后，需要用水清洗，将板面上残留的硫酸和溶解下的油迹清洗

干净。

✧去毛刺磨板和沉铜前磨板一样，有针刷磨板和不织布磨板，但是使用的

针刷和不织布的型号有一点不同，干膜前是针刷320目，不织布500目。

针刷主要打磨对板面，而不织布刷则对孔口的磨损比较大。所以我们规

定返工的板件不能开去毛刺磨板。磨刷压力为15－25％，最佳值为20％，

但是对于板面有明显不平整，如有凹点、擦花时会考虑将针刷的压力调

整到20％-25％。

✧干膜前火山灰磨板采用4F火山灰，它作用是对平板电镀后铜面进行粗化处

理，使铜面得到微观粗化以达到增加干膜与板面的结合力，防止后工序出现渗镀短路等品质问题。

✧控制参数：磨刷压力（15－25％）、火山灰浓度（12－20％）磨痕（9－15mm）、

水破时间（30s）即磨完板后浸入水中拿出斜放45°位置看水膜在板面保持完整情况如果〉30秒钟不破为合格。

✧磨板速度：根据板线路要求。

板件类型磨板速度自动贴膜速度手动贴膜速度

线宽<5.0mil及有埋盲

孔的板件（A类）

1.8±0.1m/min 1.8±0.1m/min 0.8-1.2 m/min

线宽5.0-7.0mil的板件

（B类）

2.1±0.1m/min 2.1±0.1m/min 1.2-1.5 m/min

线宽＞7.0mil的板件

（C类）要求控制在

2.4±0.1m/min 2.4±0.1m/min 1.5-2.0 m/min

压力过大磨板过度导致无铜压力合适磨板后OK

2.2 贴膜

2.2.1干膜的介绍

干膜根据根据显影和去膜的方法可把干膜分为三种类型一 溶剂型；二 水溶型；三 干显影或剥离型。目前水溶型成为干膜应用的主体，我们公司采用的是水溶型。

图1.

A 干膜的组成

干膜是由聚酯薄膜（Polyester ），光致抗蚀剂膜(Photoresist coating)及聚乙烯(Polyethylene; PE ）保护膜三部分组成，见图1。 聚酯薄膜是支撑感光胶层的载体，使之涂布成膜。聚酯薄膜在曝光之后显影之前除去，防止曝光时氧气向抗蚀剂层扩散，破坏游离基，引起感光度下降。 聚乙烯膜是覆盖在感光胶层上的保护膜，防止灰尘等污物粘污干膜，避免在卷膜时，每层抗蚀剂膜之间相互粘连。聚乙烯膜一般厚度为25μm 左右。 光致抗蚀剂膜为干膜的主体，多为负性感光材料，主要由粘结剂（Blinder ）、光聚合单体(Monomer)、光引发剂(Photoinitiator)、增塑剂(Plasticizers)、增粘剂（Adhesion Promoter ）及染料(Dye)等组成。其厚 保 护 膜（PE ）

载膜（聚酯薄膜） 光致抗蚀膜

度视其用途不同，有若干种规格，最薄的可以是十几个微米，最厚的可达100μm。一般图形电镀用膜40μm ，掩孔法用膜50μm 。

B 干膜的作业的环境要求

一：为了避免干膜在正式曝光前先感光，要求干膜作业环境为黄色照明，黄光波长必须在500nm，这是因为比500nm短的光源中含有紫外线而导致干膜局部感光，一般在日光灯外加装黄色灯罩即可使用。

二：在10K级以上的无尘室中作业。（10K 级，即每平方尺的空气中所含有大于0.5微米的尘粒不能超过10K个），无尘室控制的三个要点：防止外界尘埃的进入、避免内部产生及清除内部已有的尘埃。所以必须遵循以下几方面：（1）进入洁净房的物品越少越好，必须进入的物料必须经过除尘作用。（2）进入洁净房的人数要控制，人员必须穿防尘服，头发到脚必须穿戴好，不能露出。进入需风淋15S，进门只限一人，出门可以两人一起出，风淋门不能对开。（3）带入洁净房的工具不能带毛织，尘埃要通过吸尘或贴除方式除去。（4）操作人员手指甲修短，不能佩带戒指、手表等装饰品以防擦伤板面和菲林片，做好个人卫生。

三：环境温度应控制在23°±3℃，相对湿度应保持55％RH-65％左右。

其主要作业步骤如下：

贴膜─停置─曝光─停置─显影。

2.2.2 贴膜流程：除尘→预热→贴膜→收板

A 除尘：我司采用Qui-clean Blow（简称QCB）除尘机，主要是空气通

过过滤后经风机吹到板面和除尘辊与板面接触达到一个除尘的效果。除尘的效果会直接影响到板件的质量，所以对除尘机的定期保养清洁则是非常重要。

QCB 除尘机 QCB 除尘机

B 预热：由于只有在一定的温度下干膜和板件才会很好的结合，预热就

是为贴膜做准备。目前设定为预热温度为90－100℃，可以根据贴膜前进板温度测量适当的调整预热温度。

C. 贴膜：贴膜机由收集聚烯类隔层的卷轮，干膜主轮，热压轮，抽风设

备等四主要部份，进行连续作业。

D 贴膜条件：

贴膜时要掌握好的三个要素为：压力、温度、传送速度。 除尘辊

除尘辊

收集聚烯类隔层的卷轮 干膜主轮

抽风 热压辊

进风