真空压力传感器
硅尖阵列—敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试
第 １ ７卷
第 １期
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关
键
词 ：真 空 微 电 子 ；压 力 传 感 器 ｛ 拟 测 试 ；压 力 特 性 ；测 试 模 文 献 标 识 码 ：Ａ
中 圈 分 类 号 ：ＴＮ７ ３ ９ ８ ．５
１ 引
言
真空微 电子（ ＶＭ Ｅ） 力 传 感 器 出 现 于 ２ 压 ０世 纪 ９ Ｏ年 代 初 期 ， 新 兴 的 真 空 微 电 子 技 是 术 中的一种新 型传感 器 ， 有灵 敏度 高 、 高低 温 、 辐 射 、 积 小等 优 点 ； 航 空 、 天 、 具 耐 抗 体 在 航 汽 车 、 能 机 器 人 、 疗 等 领 域 有 着 广 泛 的应 用 前 景 。 智 医 针 对 真 空 微 电 子 压 力 传感 器 ， 们 在 进 行 了基 础 理 论 和 场 致 发 射 理 论 研 究 的 基 础 上 ， 我 提 出 了 台 阶 阵 列 、 尖 阵 列 一 敏 感 薄 膜 复 合 型 阴 极 ； 行 了计 算 机 模 拟 场 致 发 射 计 算 和 敏 硅 进 感 薄 膜 厚 度 的计 算 ｉ 制 了阴 极 一 敏 感 薄 膜 复 台 型 压 力 传 感 器 和 压 力 ／ 觉 传 感 器 ； 且 研 触 并 封 装 、 试 了 真 空 微 电子 压 力 传 感 器 的场 致 发 射 电 流和 压 力 特 性 。 测
压力传感器的负压介绍
压力传感器用来测负压或者真空度经常遇到，经常接触负压压力传感器的人会发现一般负压传感器测负压的最大量程是-100kpa或者说是-0.1MPA。
但是有极少数厂家说能测到-300kpa甚至更低，这到底是怎么回事呢？
其实这是两个不同的角度分析的。
学过物理的都知道真空的压力是-100kpa，所以说一般压力传感器测量的最低压力就是-100kpa是根据这个来的，所以市面上的负压传感器基本上都是最低能测-100kap，那-300kpa的传感器是怎么回事呢？
-300kpa其实不是参照大气压力来的，物理上都讲究一个参照物，你可以这样理解，在一个密封的箱子里面充满300kpa的高压气体，里面套放着一个真空的箱子，我们用负压传感器放在外面大箱子里来测量里面小箱子的压力，这样就会显示一个-300kpa，所以说-300kpa的压力就是这样产生的。
它不是参照大气压力的。
理解了这个概念对我们选择负压传感器是很有帮助的，这样我们就不会选错压力传感器，这就是为什么我们经常帮客户选择压力传感器的时候首先会问他的使用环境再问他的量程是多少。
只有这样才不会选错压力传感器。
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真空检测原理
真空检测原理
真空检测原理指的是通过对一个系统或容器中的真空程度进行测量和监测，从而判断系统中是否存在真空状态或者真空程度的变化。
一种常见的真空检测原理是利用压力传感器测量系统中气体的压力。
在真空状态下，系统中的气体压力非常低，接近于零。
因此，通过测量系统中气体的压力，可以判断系统中是否存在真空状态。
另一种常用的真空检测原理是利用质谱仪进行检测。
质谱仪是一种能够分析气体成分的仪器，可以通过检测气体中的分子类型和数量来判断系统中是否存在真空。
此外，还有一些其他的真空检测原理，如通过检测系统中的气体流量、气体温度、离子产生与探测等方式进行真空检测。
这些原理基于不同的物理现象和测量技术，在不同的真空条件下都能够有效地检测真空状态。
总结起来，真空检测原理主要是通过测量系统中气体的压力、成分、流量、温度等参数来判断系统中是否存在真空状态或者真空程度的变化。
不同的原理和技术可以根据实际需要选择和应用，以实现精确和可靠的真空检测。
比亚迪秦Pro_EV纯电动汽车制动踏板硬的故障诊断与排除
80-CHINA ·November栏目编辑：高中伟 ******************职教园地◆文/广东 郭太辉 毛建辉电动汽车使用驱动电机代替发动机驱动车辆，其制动系统无法像传统内燃机汽车制动系统那样，可以从发动机处获得真空源，从而让真空助力器为驾驶员提供辅助。
为了弥补这一不足，电动汽车使用电动真空泵来产生车辆制动时所需的真空，从而达到助力的目的。
制动系统真空助力效果的优劣直接影响到汽车的行驶安全。
在汽车制动助力系统中，如果真空助力器不能获得真空或获得的真空不足，将导致制动系统制动效果差，且制动踏板发硬。
整车控制器利用真空度传感器采集真空助力器或真空管道中真空压力变化，并作出电动真空泵是否运转的决策，来确保在各种工况下都能提供足够的助力效果。
本文以比亚迪秦Pro EV纯电动汽车制动助力系统为研究对象，针对制动踏板发硬的故障现象，以制动助力系统的结构与控制原理为理论基础进行故障原因分析，借助故障诊断仪等设备进行故障诊断与排除。
一、故障现象一辆比亚迪秦Pro EV纯电动汽车入厂维修，据客户反映，车辆行驶时突然觉得制动踏板踩不动，车辆无法制动，差点追尾其他车辆，严重影响了行车安全。
维修技师接车后，对制动助力系统故障现象进行确认，车辆上电，前舱并没有传来真空泵电机工作时伴随的排气声，同时仪表盘出现“请检查制动系统”的字样，如图1所示。
而且车辆会不停地发出“嘀嘀嘀”的警告声。
图1 仪表盘上的故障提示二、制动助力系统的组成与工作原理如图2所示，比亚迪秦Pro EV纯电动汽车制动助力系统主要由真空助力器、真空压力传感器、电动真空泵、整车控制器、真空软管以及前舱配电盒等组成。
其中整车控制器安装在传统低压蓄电池的下方，是铝合金外壳的高精度集成微电脑。
在车辆启动时，结合制动踏板信号、加速踏板开度信号和挡位信号，若真空压力传感器监控到真空泵软管处真空度不足，此时真空压力传感器就会传输信号到整车控制器，继而真空泵继电器1号、2号就会通电，真空泵电机开始工作，其控制原理如图3所示。
常见的25种传感器类型介绍
常见的25种传感器类型介绍“蓝⾊字”传感器的作⽤实际上是⼀种功能块，其作⽤是将来⾃外界的各种信号转换成电信号。
例如，⽇常⽣活中使⽤的话筒，⼿机中的麦克风，它将声⾳转换成电信号，然后放⼤到最佳范围。
然后，在扬声器的o / p处将电信号变成⾳频信号。
如今传感器所检测的信号近来显著地增加，因⽽其品种也极其繁多。
今天我们来看看传感器的种类吧：1.电阻式传感器电阻式传感器是将被测量，如位移、形变、⼒、加速度、湿度、温度等这些物理量转换式成电阻值这样的⼀种器件。
主要有电阻应变式、压阻式、热电阻、热敏、⽓敏、湿敏等电阻式传感器件。
2.变频功率传感器变频功率传感器通过对输⼊的电压、电流信号进⾏交流采样，再将采样值通过电缆、光纤等传输系统与数字量输⼊⼆次仪表相连，数字量输⼊⼆次仪表对电压、电流的采样值进⾏运算，可以获取电压有效值、电流有效值、基波电压、基波电流、谐波电压、谐波电流、有功功率、基波功率、谐波功率等参数。
3.称重传感器称重传感器是⼀种能够将重⼒转变为电信号的⼒→电转换装置，是电⼦衡器的⼀个关键部件。
能够实现⼒→电转换的传感器有多种，常见的有电阻应变式、电磁⼒式和电容式等。
电磁⼒式主要⽤于电⼦天平，电容式⽤于部分电⼦吊秤，⽽绝⼤多数衡器产品所⽤的还是电阻应变式称重传感器。
电阻应变式称重传感器结构较简单，准确度⾼，适⽤⾯⼴，且能够在相对⽐较差的环境下使⽤。
因此电阻应变式称重传感器在衡器中得到了⼴泛地运⽤。
4.电阻应变式传感器传感器中的电阻应变⽚具有⾦属的应变效应，即在外⼒作⽤下产⽣机械形变，从⽽使电阻值随之发⽣相应的变化。
电阻应变⽚主要有⾦属和半导体两类，⾦属应变⽚有⾦属丝式、箔式、薄膜式之分。
半导体应变⽚具有灵敏度⾼(通常是丝式、箔式的⼏⼗倍)、横向效应⼩等优点。
5.压阻式压阻式传感器是根据半导体材料的压阻效应在半导体材料的基⽚上经扩散电阻⽽制成的器件。
其基⽚可直接作为测量传感元件，扩散电阻在基⽚内接成电桥形式。
电容式薄膜真空压力传感器设计
电容式薄膜真空压力传感器设计王凡;崔宏敏;宗义仲;王文博【摘要】In order to meet the requirements of engineering models. In the research of the capacitive thin film vacuum pressure sensor,solve problems of insulation isolation between sensitive probe case and sensor case, nonlinearity compensation of sensor output signals,full circuits temperature compensation of thermal zero point drift use capacitive thin film packaging structure,shell of sensor acts as a pole of the capacitor,calibration test is performed in measuring pressure range of(0. 1~100)Pa,0. 2% FS measurement precision is achieved.%为了满足在工程型号上的使用要求,解决真空压力传感器敏感探头壳体与传感器壳体隔离绝缘问题;传感器输出信号非线性的补偿问题;传感器热零点漂移的全电路的温度补偿问题,采用电容式薄膜封装结构,壳体为电容的另一极,在0.1~100 Pa的范围内进行了校准测试,实现了传感器0.2%FS的测量精度.【期刊名称】《传感器与微系统》【年(卷),期】2017(036)003【总页数】4页(P84-86,90)【关键词】电容式薄膜真空压力传感器;零点漂移;温度补偿【作者】王凡;崔宏敏;宗义仲;王文博【作者单位】中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨150001;中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨150001;中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨150001;中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨150001【正文语种】中文【中图分类】TP212随着我国空间探测技术和工程的发展，在地球应用卫星和载人航天器的基础上进行深空探测活动，是进一步了解宇宙、太阳系和认识地球生命起源和演化过程的重要手段，也是我国深空探测工程的发展方向和目标。
汽车常见传感器
流量。
谢谢
THANKS
正温度系数传感器
总结词
正温度系数传感器也是一种热敏电阻，其阻值随温度升高而 增大。
详细描述
这种传感器通常用于检测汽车内部和外部温度，如车外温度 传感器和空调蒸发器温度传感器。由于其阻值随温度升高而 增大，因此可以通过测量电阻值的变化来计算温度。
模拟温度传感器
总结词
模拟温度传感器能够输出连续的模拟信号，以反映所检测的温度变化。
凸轮轴位置传感器用于检测凸轮 轴的位置，从而控制点火和喷油
等操作。
它通常由一个磁感应线圈和一个 转子组成，当凸轮轴转动时，转 子的凸齿与感应线圈相互作用，
产生相应的电压信号。
凸轮轴位置传感器对于控制发动 机的点火和喷油时间也非常重要， 能够提高发动机的启动性能和加
速性能。
04 速度传感器
CHAPTER
曲轴位置传感器
曲轴位置传感器用于检测曲轴的 转速和位置，从而控制点火和喷
油等操作。
它通常由一个磁感应线圈和一个 转子组成，当曲轴转动时，转子 的凸齿与感应线圈相互作用，产
生相应的电压信号。
曲轴位置传感器对于控制发动机 的点火和喷油时间非常关键，直 接影响发动机的性能和燃油经济
性。
凸轮轴位置传感器
热式空气流量传感器
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ总结词
热式空气流量传感器是一种利用热传导原理测量气体流量的传感器。
详细描述
该传感器内部有一个发热元件，当空气流过时，发热元件会受到冷却作用，其温度变化与空气的流速成正比，通 过测量温度变化即可得到空气的流量。
真空计工作原理
真空计工作原理
真空计是一种测量气体压强的仪器，它的工作原理是基于气体分子在真空中碰撞壁面产生压力的原理。
真空计的结构主要包括真空室、压力传感器和读数装置。
真空室是真空计的主体部分，它通常由金属材料制成，具有良好的密封性能。
在真空室中存在着非常低的气体压强，因此分子之间的碰撞频率相对较小。
当被测气体进入真空室时，气体分子将与真空室壁面相碰撞，并产生一个称为气体压强的物理量。
压力传感器用于测量气体压强，其常用的原理包括热导法、压阻式、电容式和热敏电阻式等。
其中，热导法是比较常见的一种原理。
它利用电加热线产生的热量被气体带走的特性进行测量。
当气体压强增大时，气体分子与热导线碰撞的频率增加，从而使导线的温度升高，通过测量导线温度变化的方式得到气体压强的值。
读数装置用于显示和记录测得的气体压强数值。
常见的读数装置包括指针式压力表、数字式压力计和计算机等。
它们能够将压力传感器测得的电信号转化为相应的压强数值，并通过显示屏或其他方式呈现出来。
总的来说，真空计的工作原理是基于气体分子在真空中与壁面碰撞产生压力，通过压力传感器测量气体压强，并通过读数装置将压强数值显示出来。
这种测量方式广泛应用于科研、工业生产和实验室等领域。
在工业自动化中常用的传感器介绍
在工业自动化中常用的传感器介绍导语：在工业自动化中，传感器起着至关重要的作用，以使产品智能化和超自动化。
传感器帮助人们检测，分析，测量和处理各种变化在工业自动化中，传感器起着至关重要的作用，以使产品智能化和超自动化。
传感器帮助人们检测，分析，测量和处理各种变化，例如在工业生产场所发生的位置，长度，高度，外部和错位的变化。
传感器是一种设备，可以识别电气或物理或其他数量的进度，并以确认产量进度的方式交付收益。
简而言之，工业自动化传感器是输入设备，可提供有关特定物理量（输入）的输出（信号）。
传感器在预测和预防众多潜在过程中也起着举足轻重的作用，从而满足了许多工业传感应用的需求。
是自动化中使用的各种传感器：1、压力传感器压力传感器是一种可感知压力并将其转换为电信号的仪器，其数量取决于所施加的压力。
工业自动化中使用的主要压力传感器包括压力传感器和真空传感器。
压力传感器：压力传感器广泛用于工业和液压系统，这些高压工业自动化传感器也用于气候控制系统。
真空传感器：当真空压力低于大气压时，会使用真空传感器，并且很难通过机械方法进行检测。
这些传感器通常取决于电阻与温度相关的加热丝。
当真空压力增加时，对流下降，导线温度上升。
电阻成比例增加，并在压力附近进行校准，以便对真空进行有效测量。
压力传感器的应用：用于在给定位置测量低于大气压的压力；用于气象仪器，飞机，车辆和其他已实现压力功能的机械；用于系统中以测量其他变量，例如流体/气体流量，速度，水位和高度。
2、温度传感器温度传感器是一种从资源中收集有关温度的信息并将其更改为其他设备可以理解的形式的设备。
它是传感器的常用类别，可以检测温度或热量，并且可以测量介质的温度。
自动化中使用的主要温度传感器包括数字温度传感器和温湿度传感器。
数字温度传感器：数字温度传感器是基于硅的温度感应IC，可通过数字表示所测量的温度来提供准确的输出。
与涉及外部信号调理和模数转换器（ADC）的方法相比，这简化了控制系统的设计。
真空压力开关的作用
真空压力开关的作用1. 引言真空压力开关是一种用于监测和控制真空系统中压力变化的设备。
它在许多应用中发挥着重要的作用，包括工业制造、医疗设备、实验室研究等领域。
本文将详细介绍真空压力开关的作用、工作原理、应用领域以及一些常见问题。
2. 真空压力开关的作用真空压力开关主要用于监测和控制真空系统中的压力变化。
它可以根据设定的压力阈值，在压力超过或低于该阈值时触发相应的动作，如打开或关闭电路。
真空压力开关的主要作用如下：2.1 监测真空系统的压力真空压力开关能够实时监测真空系统中的压力变化。
通过传感器感知真空系统的压力，并将其转换为电信号，真空压力开关可以准确地测量系统的压力。
这对于许多应用来说非常重要，如半导体制造过程中对真空环境的要求非常高，需要实时监测和控制真空系统的压力。
2.2 控制真空系统的操作真空压力开关可以根据设定的压力阈值来控制真空系统的操作。
当系统的压力超过或低于设定的阈值时，真空压力开关会触发相应的动作，如打开或关闭电路，从而控制真空系统的运行状态。
这对于保护真空系统和相关设备非常重要，避免因压力异常而引发的故障或事故。
2.3 防止真空泄漏真空压力开关可以帮助检测和预防真空系统中的泄漏。
当真空系统中的压力超过设定的阈值时，真空压力开关会发出警报信号，提醒操作人员可能存在泄漏的情况。
这可以帮助及时采取措施修复泄漏，保持系统的正常运行。
3. 真空压力开关的工作原理真空压力开关的工作原理基于压力传感器和电路控制。
其主要组成部分包括传感器、比较器、电路和输出装置。
下面是真空压力开关的工作原理：3.1 压力传感器真空压力开关中的压力传感器是监测真空系统压力变化的核心部件。
压力传感器通常采用微型压力传感器或膜片式压力传感器。
当真空系统的压力变化时，压力传感器可以将压力转化为电信号。
3.2 比较器和电路真空压力开关中的比较器和电路用于处理传感器输出的电信号。
比较器可以将传感器输出的电信号与设定的压力阈值进行比较，并根据比较结果触发相应的动作。
PVS压力传感器
开关的保护：标准的PVS系列开关可以为绝大多数应用提供优质长寿命 的保护。开关具有防水保护，开关的浸润部分采用防腐材料构成，膜 片通常采用VITON® KAPTON®或EPDM膜片，能满足苛刻的行业应 用。外壳可选用钢铁，黄铜或不锈钢材质。
FTDATOWRFTTATINMOHWRALNOGARECELOGREUENCPTERAULILPSTOAAALNIPILOOANARNLCCANNR:ACCEEM:CSALSEEDM:ALEAS THREE PLACE
DO NOT S
PROHIBITED.
DO NOT SC
机械寿命: 1，000，000次
1 2 3
端子
公共端 常闭 常开
BPA FL CATALOG CUT AWAY A
接线
调压塞 上盖 密封圈
微动开关 顶杆
限位器 外壳
硅胶密封
调节头 弹簧 微动开关外壳
托盘 压盖 缓冲垫 膜片
BPA系列 结构示意图
上海办事处：１８９３０２２１１７５ （江楠）Ｑ：２２４４９８３３９８
3
Conv
MVA/MVF 真 空 开 关
.79 1.799.9 19.9
1.29 13.22.99 32.9
DIN型
Deutsch
TITLE:
2810 Blue RidgCe B29lv6d9.6 West Union, SC 29696
TIATALIIENN:PPTTCECEGGAARTRTAAAALLLLOODDGEGEUUATATCSCSSHSHYY
*不适用于 MPA/MVA
真空压力传感器原理及应用
真空压力传感器原理及应用1. 什么是真空压力传感器？好吧，大家听我说，真空压力传感器可不是个高大上的东西，简单来说，它就像我们日常生活中的一个“压力侦探”，负责检测那些看不见的气体压力。
想象一下，平常我们喝的饮料，如果里面的气压不够，喝起来就没滋味，对吧？真空压力传感器就是用来监测这些压力变化的，保证我们的饮料还是那么爽口。
不过，它不仅仅局限于饮料这小事，很多行业都在用到它，像食品、制药、化工等，都是它的“主场”。
1.1 真空的“秘密”说到真空，许多人可能心里会打个问号：真空到底是个什么东西？简单点说，真空就是气体压力低于大气压力的状态，就像在太空中，那里可没有空气，压力那是低得吓人。
真空压力传感器就像一个精明的小侦探，专门去测量这种低压环境里的变化。
它会告诉你，这里的压力是多少，让你不会在关键时刻出错。
1.2 原理大揭秘那么，这个小侦探是怎么工作的呢？它的原理其实也不复杂。
一般来说，它会用到一种叫做“膜片”的部件。
当外界压力变化时，这个膜片就会发生变形，然后通过一系列传感器将这个变形转化成电信号。
简单点说，就是膜片把压力的变化“转告”给了仪器，让你可以一目了然。
就像当你开心的时候，脸上的笑容不自觉地显露出来一样，膜片的变形就把压力的秘密都暴露了。
2. 真空压力传感器的应用2.1 工业领域在工业界，真空压力传感器可是个“当家花旦”。
它们经常被用于监测各种工艺过程中的压力，帮助企业确保产品质量。
比如在食品加工时，真空包装的压力必须保持在一个特定范围内，否则食品容易变质，简直就像你最爱的小吃被放坏了一样，心疼得不行。
而在制药行业，真空压力传感器也同样重要，能够确保药品的制造过程安全无误，真是为我们健康保驾护航。
2.2 研究领域除了工业，真空压力传感器在科研领域也是一位“得力助手”。
许多实验室在做物理、化学实验时，需要在低压环境下进行，这时候真空压力传感器就派上了大用场。
它可以帮助研究人员精确控制实验环境，确保数据的准确性。
压电式压力传感器的氦质谱压力真空检漏方法
Power Electronics •电力电子Electronic Technology & Software Engineering 电子技术与软件工程• 241【关键词】氦质谱检漏 压力真空法 真空室 压力传感器1 引言压力信号是航空航天、武器装备、战车战舰，汽车、工业生产、管道、电子消费类产品等军民领域广泛关注的一类重要信号。
压力传感器是获取压力信号的“器官”，随着5G 、物联网时代的到来，压力传感器的重要地位只会增强，不会削弱。
压电式压力传感器的氦质谱压力真空检漏方法文/张科辉 高成 黄姣英 王怡豪压电式压力传感器相比较其他类型的压力传感器具有灵敏度高、线性度好、耐高温等优点。
图1为CY-YD-203型压力传感器结构示意图，此类型压力传感器为膜片式压电式压力传感器，该类型传感器主要由弹性敏感器件（膜片）、压电转化器件（石英晶体）、本体（外壳和芯体）组成。
当压力P 作用在膜片上时，将在压电元件表面产生电荷，其与作用力之间呈线性关系。
此种传感器结构紧凑，小巧轻便，是全密封结构。
压电式压力传感器的敏感元件是石英晶体，石英晶体的稳定性和准确性很大程度上受其内部的水汽含量的影响。
如果传感器密封性不好，外部环境当中的水分便会进入传感器内部，给石英晶体的电性能造成很大的影响，从而导致压力传感器电性能参数不稳定。
因此对压力传感器进行检漏试验对保证石英晶体的稳定性、压力传感器测量准确性具有十分重要的意义。
应用于发动机引气管道各处的压力动态测量，用于燃油系统的供油压力波动过程的测量等特殊场合为确保测量精度和良好的动态响应，需要压力传感器保持全密封结构，因此需要在使用前对压力传感器进行检漏测试，保证压力测试系统的可靠工作。
当前，应用于压力传感器检漏的方法主要是吸枪法，精度与压力真空法相比相对较低。
本文在分析氦质谱压力真空检漏方法的基础上设计了适用于CY-YD-203型压电式压力传感器的真空室和检漏工装，经试验验证，满足检漏要求。
真空压力传感器安全操作及保养规程
真空压力传感器安全操作及保养规程随着科技的不断发展，真空技术在现代工业生产中越来越普及，而真空压力传感器作为其中不可或缺的仪器设备，扮演着十分重要的角色。
为了确保真空压力传感器的正常工作，保障生产的安全，本文将介绍真空压力传感器的安全操作及保养规程。
一、真空压力传感器的安全操作1. 工作原理及基本结构真空压力传感器是通过测量压力差来确定被测压力值的一种传感器。
其基本结构由压力变送器和传感器元件两部分构成，传感器元件一般采用带细微结构的硅微加工技术，在真空状态下，当外界压力作用于传感器元件的膜片上时，膜片发生变形，变形的程度与压力大小成正比，传感器元件将变形的信息转化为电信号，通过压力变送器输出相应的电压信号。
因此，真空压力传感器虽然结构小巧，但其工作原理十分精密，需要特别小心地操作。
2. 使用前的检查使用前应仔细检查真空压力传感器的外观是否有损伤，接口是否松动、氧化；并检查相关仪器设备的接口是否匹配，电源电压是否正常。
如果发现损坏或异常，应及时更换或维修。
3. 安装时的注意事项（1）安装应平稳进行，避免碰撞撞击。
（2）采用正确连接方式，接线应牢固，保证信号正常传输。
（3）确认正负极连接正确，防止电极短路、彼此相连接。
（4）安装过程中应避免使用锤击、螺栓拆卸起重等操作。
4. 使用时的操作规范（1）在使用真空压力传感器前，确认接线无误、电源正常、校准好的仪器才能接通电源，否则严禁开机。
（2）真空压力传感器应在规定的范围内使用，不能超载使用，避免发生危险。
（3）真空压力传感器适用范围内的测量系统内不得存在微量磁性体，否则会造成传感器失准甚至损坏。
5. 停机后的注意事项（1）停机时，应先将电源关闭，再断开传感器与测试系统的接头。
（2）传感器在停止使用前应从系统中取下，防止测量系统内残余物质对传感器膜片产生不良影响。
二、真空压力传感器的保养规程传感器作为精密仪器，其保养十分重要，以下是真空压力传感器的保养规程。
SDE1-...压力-真空传感器(675418)新版
4
SDE1-…
显示的符号 符号
说明
（SDE1-…-C-…）的显示 (SDE1-…-L-…)的显示 开关量输出口 A /开关量输出口 B
开关量输出置位/清零
阈值比较器
区域比较器
SP
切换压力
SP min
切换压力下限
SP max
切换压力上限
HY
迟滞
NO
常开触点（NO）
NC
常闭触点（NC）
min
被测压力的历史最小值
开关量输出
1. 仅当安全锁锁定时，如下操作： -- 按 EDIT 键。 -- 按向上/向下键输入安全码。
开关量输出
（仅 SDE1-…-P2-../-N2-../-2I-..）
2. 按 EDIT 键（开关量输出指示 Out A 闪烁）。
3. 按向下键（开关量输出指示 Out B 闪
---
烁）。
4. 按 EDIT 键。
-G2-…(2%)
-R..-..(法兰)/ -H..-..(导轨)/ -W-..-..(墙面)/ -F-..-..(面板)
-..18-…(1/8”)/ -..14-…(1/4”)/ -..Q4-…(QS4) -C-…(LCD)/ -L-…(发光 LCD)
-P..(PNP) / -N..(NPN)
..1-… 1 个开关量输出 ..2-… 2 个开关量输出 ..U-… 1 个开关量和模拟量输出（0…10V） ..I-… 1 个开关量和模拟量输出 (4…20mA)
(Out C) ***)
*) 当选用附件中的带导线插座时 **) 模拟量输出 0…10V (仅限 SDE1-…-PU/NU-…)
模拟量输出 4…20mA (仅限 SDE1-…-PI/NI-…) ***)模拟量输出 4…20mA (仅限 SDE1-…-2I-M12)
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产品选型
HM27
真空/绝压变送器
压力类型 负表压（G 可不标）； 硅式绝压（A）；电容薄膜绝压（CA）
量程
测量范围 0~X KPa 或 0~X MPa
代号 综合精度（线性+重复性+迟滞）
1
0.5%FS
2
0.25%FS
3
0.1%FS
代号
信号输出
A1
4~20mA
Байду номын сангаас
V1
1~5V DC
V2
0~5V DC
代号
与 316 不锈钢兼容的气体或液体 负表压（G） 硅式绝压（A）
电容薄膜绝压（CA）
过载能力 测量范围
负表压为 2 倍，微量程绝压为十倍至百倍 负表压： 0~-5KPa ..-50KPa…-100KPa 硅 式 绝 压： 0~5KPa…..10KPa …20KPa…100KPa…200KPa…1MPa 电容薄膜绝压： 0.02Pa~200Pa、1Pa~1KPa
HM27CA 电容薄膜绝压变送器是本公司最新引进德国 HELM 电容薄膜规技术和国际先进的标定生产设备在 国内生产的真空压力仪表。此产品采用电容量变化原理工作，最小量程可做到绝压 0.02Pa—200Pa，且检测 不受检测介质种类和成分的影响，有标准电信号输出，可以远传，便于微处理机智能化控制，是一款低真空 压力测量的理想仪表。
综合精度 （非线性、重复型、迟 ±0.1%FS 滞）
长期稳定性
典型：±0.1%FS/年
零点温度漂移
典型：±0.01%FS/℃
灵敏度温度漂移
典型：±0.01%FS/℃
工作温度
-20～ 85℃
补偿温度
-10 ～ 60℃
环境温度
-20 ～ 80℃ -
±0.25%FS
±0.5%FS
最大：±0.15%FS/年 最大：±0.15%FS/℃ 最大：±0.15%FS/℃
供电范围 信号输出 负载电阻 分辨率
12~36VDC（一般 24VDC） 4~20mA/1~5VDC/0~5VDC ≤(U-12)/0.02 Ω 无限小（理论），1/100000（通常）
外壳防护 安全防爆 振动误差 响应时间
插头型（IP65）； 电缆型（IP67） Ex iaⅡ CT5 ≤±0.01%FS(X、Y、Z 轴，200Hz/g) ≤2 ms
产品特点 ◇全部选用德国 HELM 高精度感测元件，其精度最高可达 0.1％FS ◇性能稳定可靠 ◇可长期连续使用，长期稳定性好 ◇特殊要求可用于测量腐蚀性介质 ◇抗过载能力强 ◇响应快 ◇可用于危险场所，有本安防爆型 Ex iaⅡ CT5 ◇结构多元化，可根据客户的特殊要求进行个性化设计
性能参数
测量介质 压力类型
F1
F2 F3 F0 W1 W2 W3 P
E
附加功能 M20x1.5 外螺纹 G1/4 外螺纹 卡箍式 特殊 电缆型 （IP67，2m）
插座型 （IP65，DIN43650） 航空插头 齐平膜型 本安防爆型 Ex iaIICT5
HM27A（0~10KPa）—1 —A1 —F1 —W2
真空/绝压变送器
产 品 详细 介 绍
产品概述 HM27 系列真空/绝压变送器是德国 HELM 在国内推出的一款专业用于真空测量控制的新系列产品，完
全解决了真空测量难的问题，该系列产品分为 HM27G 负压变送器、HM27A 绝压变送器、HM27CA 电容薄膜绝压 变送器三种规格，已广泛应用制药，医疗设备，航空航天，科研，检漏，自动化设备配套等领域。
选型提示：
1. 被测介质应与产品接触的材料相兼容， 2. 选型附加功能代号“E” 本安防爆型 Ex iaIICT5，须经安全栅供电。 3. 其它特殊要求，敬请与本公司商洽，并在订单中注明。
HM27G 负压变送器是采用 HELM 单晶硅厚膜传感器，配以高精度信号处理电路，性能稳定，可靠，解决 了国产扩散硅式负压真空产品的信号不稳定，使用寿命不长等不足，常用量程有：0— -100KPa ；0—-50KPa 等。
HM27A 绝压变送器是采用德国 HELM 先进的绝压芯片和温度自补偿及规一化电路调试等高新技术，将绝压量 程最小扩展到 5KPa，且大幅度提高了产品的综合精度，该型号产品技术先进，性能卓越，质量可靠，体积小， 和国产同类型绝压产品相比有非常大的优势，性价比高。