干式螺杆真空泵

三级爪式泵腔体内的压缩温度非常高， 第一级压缩即达200多度，三级压缩后可 达300度以上，处理闪点及燃点较低的介 质时一般要求在泵进气口和排气口配置 火焰阻火器，而火焰阻火器的造价比较
昂贵。
噪音低。
噪音大,机组震动大。 由于爪式泵多为小抽量泵，若需实现大 抽量则需配合罗茨泵使用，噪音更为显 著。
日常维护保养
斯卡
个帕斯卡
可选泵型从一百到几千个立方每小时
的抽量，相对抽量范围较宽，且可在大 仅有几百立方每小时的小抽量泵，曲线 气压到一个毫巴压力范围内下保持大 在几十毫巴以下开始下降
抽速
可以处理一定量的液体及小颗粒固体。 泵内有防腐涂层（如：Nickel,NIFLON, NIFA, PFA 等多种涂层），温度适中， 允许流程介质在泵内凝结，可夹带一定
几乎免维护。操作简单，维护保养方便， 三级爪泵维护保养比较麻烦，维修较复
且因能耗小，冷却水需求少，日常运行 费用低。维修简便，易损件少，维修费
杂需要专业的工程师处理，尤其是配件 价格很高
用低
价格
中等。 一次性投入，性价比高
很贵
应用
常用于石油化工，制药等工艺，是现代 很适用于半导体行业，石油化工等行业
几乎不能处理液体。泵内路径复杂，通 常无防腐措施，且多级压缩使泵内温度 升高，有机物在泵内因高温易发生碳化，
造成故障。
的液体，且可以安全排放
高效，低能耗，小功率。 冷却水消耗量少。
高能耗，大功率。 冷却水消耗量少。
结构简单、紧凑，占空少。
结构复杂，体积大。
排气温度比较高。原因是
泵腔内的温度150度，消音器后排气温 度稳定且一般低于80度，在处理易燃 易爆气体时安全可靠性更高
干式螺杆真空泵与爪式泵特性对比
泵型 气体路径 极限真空
抽量
处理可凝性气 体能力
效率
泵内和排气温 度
噪音
干式螺杆真空泵
多级爪式真空泵
单级干式双螺杆真空泵，气体呈直线一 三级爪式真空泵，气体在泵内经多次压
次性通过泵腔，气体压缩路径短
源自文库
缩，路径复杂
单级即可实现高真空，极限压力几个帕 经三级压缩排气后实现的极限真空几十
化工工艺的优选泵型
应用较少
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