eds能谱分析仪

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能谱仪EDS概述

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富Mg相
Al-Mg合金 SEI （深蚀）
Al X射线像
Mg X射线像
20
TiB/Ti合金基复合材料
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CA =（ZAF）
IA
I (SA )
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• X射线检出角
X射线检测方向与试样表面之间的夹角。采用高检出角减小了试样对X射线的吸收和试样表面粗糙所造成的影响。
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试样要求
• 电子探针WDS分析需制备抛光的平试样，否则定量分析误差较大，而EDS分析可采用如颗粒、断口及不能破坏的零件等粗糙试样。虽然定量准确度较差，但许多情况下可以满足要求。 • 细粉末压片或块。 • 为了获得样品的“平均”定量结果，可使电子束扫描几个较大区域，并取不同区域的平均值。
非常低，Be窗口对Be到Ne之间元素的X射线吸收严重。
● 现在的窗口材料可接收Be。
2
电子与物质相互作用
3
4
各种信息的发射深度
5
K系激发：L3层向K层跃迁Kα1，M层向K层跃迁Kβ。
6
元素与特征X射线波长的关系
• 即EDS定性分析原理
√＝ K(Z－σ)
7
•
EDS定性速度快，但由于它能量分辨率低，谱峰往往重叠，必须正确判断才能获得正确的结果。用WDS和
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标样要求
• 在微米区域内成分均匀，成分准确； • 物理和化学性能稳定；在真空中电子束轰击下稳定； • 颗粒直径不小于0.2mm。
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EDS分析方法
点分析
● 将电子束固定在试样感兴趣的点上，进行定性或定量分析。可对材料晶界、夹杂、析出相、沉淀
物、及材料的组成（扫描多个较大区域）等分析。
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电子探针

材料分析仪器

材料分析仪器材料分析仪器是用于研究材料性质和组成的仪器。

随着科技的发展，材料分析仪器的种类越来越多，功能也越来越强大。

本文将介绍几种常见的材料分析仪器。

一、扫描电子显微镜（SEM）扫描电子显微镜是一种通过扫描样品表面并测量电子束与样品之间的反射电子或次级电子来获得样品表面形貌和结构信息的仪器。

它可以提供高分辨率的图像，并能够观察样品的表面形貌、晶体结构、成分分布等。

SEM广泛应用于纳米材料、金属材料、半导体材料等领域的研究和工业生产中。

二、能谱仪（EDS）能谱仪是一种用于确定材料成分的仪器。

它通过测量材料中X 射线的能量和强度来确定材料的元素组成。

能谱仪通常与SEM配合使用，能够提供样品的形貌和成分信息。

EDS广泛应用于材料科学、地质学、化学等领域。

三、X射线衍射仪（XRD）X射线衍射仪是一种用于研究材料结构和组成的仪器。

它利用X射线与样品相互作用的原理，测量样品中的晶格间距和晶体结构。

XRD可以提供材料的晶体结构、晶格常数、晶体质量和成分等信息。

XRD广泛应用于材料科学、材料工程、矿物学等领域。

四、质谱仪（MS）质谱仪是一种用于确定材料分子结构和组成的仪器。

它通过将样品分子击中电子束或离子束，测量产生的碎片离子质量和相对丰度，从而确定样品的分子结构和组成。

质谱仪可以提供材料的分子量、分子结构、有机化合物成分等信息。

它广泛应用于有机化学、生物化学、环境科学等领域。

五、热分析仪（TA）热分析仪是一种用于研究材料热性质的仪器。

它可以测量材料在不同温度下的热重、差热、热容等参数，以及材料的热分解、氧化、还原等热反应过程。

热分析仪广泛应用于材料研发、药物制剂、化学工业等领域。

六、扫描隧道显微镜（STM）扫描隧道显微镜是一种用于观察和测量材料表面的原子和分子结构的仪器。

它通过扫描金属探测器和样品之间的隧穿电流，获得样品表面的原子尺寸拓扑图像。

STM广泛应用于纳米科学、材料科学、表面科学等领域的研究。

EDS操作指南

EDS操作指南EDS是利用特征X射线能量不同来展谱的能量色散谱仪，简称能谱仪（Energy Dispersive Spectrometer，简称EDS）。

EDS本身不能独立工作,而是作为附件安装在SEM上。

它由探测器、前置放大器、脉冲信号处理单元、模数转换器、多道分析器、小型计算机及显示记录系统组成，实际上是一套复杂的电子仪器。

EDS具体操作过程1.确认能谱能否工作Si(Li)探测器必须在低温环境下才能正常工作，所以在做EDS之前，需要检查能谱的杜瓦瓶中是否还有液氮。

如果杜瓦瓶中没有液氮，则须补充。

在刚加入液氮的1-2小时内，由于探测器还未完全冷却，EDS不能工作。

这时打开EDS的控制电脑，会发现机箱上的HV Bias 灯为红色。

等待至探测器完全冷却，灯变绿色，此时EDS可以正常工作。

2．样品制备及装入EDS的制样及装入与SEM相同，但对于样品的制备有较高的要求。

（1）样品要尽量平。

（2）样品须导电。

（3）非导电样品，需要喷镀金膜的，要确保金或铂在谱图上的峰位，不会影响样品本身所含元素的峰位。

3．在SEM中观察图象3.1在SEM中设定条件在做EDS时，扫描条件的设定主要包括加速电压、发射电流、探针电流和工作距离的设定。

(1)加速电压通常设定在15kV-20kV之间。

(2)发射电流通常设定在7uA-20uA之间。

(3)探针电流设置为“High”模式。

(4)工作距离设定为15mm.3.2在SEM中根据“SEM操作指南”把图象调清晰。

4．谱图观察4.1简明操作过程4.2操作界面介绍134 57892 6上图是能谱仪的控制软件图，图中1-9是常用的控制区域，功能分别如下：1.屏幕观察方式（1、4、16幅图像、图像和谱线、8幅图像和1条谱线等方式）2.启动或释放外部扫描控制3.扫描模式（光斑模式、缩小光栅及全屏模式）4.时间常数（Amp time），调整时间常数使死时间在 20% - 40% 之间。

5.加速电压和放大倍数，根据SEM 控制软件中所选的加速电压和放大倍数设定6.图象收集键7.自动峰识别并清除现有的峰标识8．谱线收集键；清除谱线键；谱线观察键：展开、收缩、升高降低；谱线复位键；定量分析键，得到无标样定量分析结果。

eds能谱表

EDS能谱表一、引言随着科技的不断进步，能谱分析技术已成为材料科学、生命科学、环境科学等领域中不可或缺的分析手段。

其中，EDS能谱表作为一种常用的能谱分析技术，具有广泛的应用前景。

本文将对EDS能谱表的基本原理、技术特点、应用领域及未来发展方向进行详细阐述。

二、EDS能谱表基本原理EDS能谱表，即能量色散X射线光谱仪，是一种基于X射线照射样品后产生的特征X射线来进行元素分析的仪器。

当X射线照射到样品上时，样品中的元素会发射出具有特定波长和能量的特征X射线。

通过测量这些特征X射线的能量和强度，可以确定样品中元素的种类和含量。

EDS能谱表的原理基于X射线与物质相互作用时的能量损失和光谱线特征，能够对样品进行定性和定量分析。

三、EDS能谱表技术特点EDS能谱表具有以下技术特点：1.高精度元素分析：EDS能谱表可以对样品中的元素进行高精度分析，检测范围广泛，包括轻元素到重元素。

2.快速分析：EDS能谱表具有较高的分析速度，可以在较短的时间内完成样品的元素分析。

3.空间分辨率高：EDS能谱表的空间分辨率较高，能够提供元素在样品表面分布的信息。

4.无需样品制备：EDS能谱表分析时不需要对样品进行特殊制备，可以直接对样品进行测量。

5.操作简便：EDS能谱表的操作系统较为简单，便于用户快速掌握。

6.适用范围广：EDS能谱表适用于各种材料的分析，如金属、陶瓷、塑料、生物组织等。

四、EDS能谱表应用领域EDS能谱表在多个领域中都有广泛的应用：1.材料科学：在材料科学领域中，EDS能谱表常被用于合金、陶瓷、复合材料等材料的元素分析和成分研究。

通过对材料表面元素的分布进行分析，可以深入了解材料的结构和性能。

2.生物学：在生物学领域中，EDS能谱表常被用于生物组织、细胞、蛋白质等样品的元素分析。

通过对生物样品中元素的种类和含量进行分析，可以揭示生物体内的代谢过程和生理机制。

3.环境科学：在环境科学领域中，EDS能谱表常被用于土壤、水、空气等样品的元素分析。

EDS能谱检测

Z：原子序数修正因子。（电子束散射与Z有关）
A：吸收修正因子。（试样对X射线的吸收） F：荧光修正因子。（特征X射线产生二次荧光）
半定量分析
无标样定量分析
无标样定量分析是X射线显微分析的一种快速定量方法。强度比K＝IS/IStd。
表达式中IStd是标样强度，它是由纯物理计算，或用标样数据库给定的，适应于不同的实验条件。其计算精度不如有标样定量分析。
EDS原理及应用
12091024 吴保华
EDS
EDS可以与EPMA，SEM，TEM等组合，其中SEM－EDS组合是应用最广的显微分析仪器，EDS的发展，几乎成为SEM的表配。是微区成份分析的主要手段之一。
能谱仪：EDS (Energy Dispersive Spectrometer)
能谱的特点
Na
Cl
Ag
Thank you !
EDS检测(未镀膜）
cps/eV 4.5 4.0 3.5 3.0 Cl 2.5 2.0 1.5 1.0 0.5 0.0 0 1 2 3 keV 4 5 6 C Ca O Cl Ca
El AN
unn. C norm. C Atom. C Error (1 Sigma) K fact. Z corr. A corr. F corr. [wt.%] [wt.%] [at.%] [wt.%] ------------------------------------------------------------------------------------C 6 K-series 63.77 66.81 81.86 7.68 1.515 0.441 1.000 1.000 Cl 17 K-series 23.11 24.21 10.05 0.80 0.086 2.794 1.000 1.007 O 8 K-series 8.29 8.68 7.98 1.25 0.119 0.731 1.000 1.00 Ca 20 K-series 0.29 0.30 0.11 0.04 0.001 2.722 1.000 1.017 -------------------------------------------------------------------------------------

能谱分析仪

能谱分析仪（EDS）能谱分析仪（EDS）是微区成份分析的主要手段之一。

通常EDS检测限为0.1%-0.5%（元素含量）。

EDS的能量分辨率：～130eV。

图1 EDS1、主要有以下特点：1）、能快速、同时对各种试样的微区内Be-U的所有元素，元素定性、定量分析，几分钟即可完成。

2）、对试样与探测器的几何位置要求低，可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果。

3）、能谱所需探针电流小：对电子束照射后易损伤的试样，例如生物试样、快离子导体试样、玻璃等损伤小。

4）、检测限一般为0.1%－0.5%，中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差约为2%。

2、EDS分析方法----点分析法电子束（探针）固定在试样感兴趣的点上，进行定性或定量分析。

该方法准确度高，用于显微结构的成份分析，对低含量元素定量的试样，只能用点分析。

图2 某试样EDS点分析3、EDS的分析方法－线扫描分析电子束沿一条分析线进行扫描时，能获得元素含量变化的线分布曲线。

结果和试样形貌像对照分析，能直观地获得元素在不同相或区域内的分布。

图3 某试样线扫表分析4、EDS的分析方法－面分布电子束在试样表面扫描时，元素在试样表面的分布能在屏幕上以亮度（或彩色）分布显示出来（定性分析），亮度越亮，说明元素含量越高。

研究材料中杂质、相的分布和元素偏析常用此方法。

面分布常常与形貌对照分析。

图5-a 某试样EDS检测(未镀膜）图5-b 某试样EDS检测（镀膜）5、定量分析对试样的要求1）样品在真空和电子束轰击下要稳定;2）高准确度的分析时,要求试样分析面平、垂直于入射电子束;图6 不同入射角度对比图3）试样尺寸大于X射线扩展范围;4）有良好的导电和导热性能;不导电试样或者导电性差的试样，例如无机非金属材料、有机材料、矿物及生物材料等，在常规SEM/EDS分析条件下会产生如下现象：（1）、荷电现象（电荷积累）；（2）电子束不稳定，无法确定分析点或者分析点漂移。

(3)、图像质量差（图像畸变、衬度和亮度异常），试样经常放电或者无法成像。

eds分析

eds分析人工智能是当下最为热门的技术领域之一，其中一个重要的应用就是EDS分析。

EDS分析是通过能量色散X射线能谱仪（Energy Dispersive X-ray Spectroscopy）对样品进行化学元素分析的一种方法。

本文将从EDS分析的原理、仪器设备、应用领域等方面进行介绍。

首先，我们来了解一下EDS分析的原理。

当样品受到电子束轰击后，会产生各种各样的物理反应，其中之一就是发射X射线。

这些X射线的能量与样品中的化学元素有关，通过检测和分析X射线能谱，我们可以确定样品中存在的化学元素的种类和相对含量。

这种分析方法非常快速和灵敏，可以用于研究不同材料的成分和微观结构。

要进行EDS分析，我们需要一台能量色散X射线能谱仪。

这种仪器设备通常由电子显微镜和能量色散X射线探测器组成。

电子显微镜负责向样品发射电子束，并观察样品的形态和结构；而能量色散X射线探测器则负责收集和分析样品产生的X射线能谱。

通过对X射线能谱的处理和解析，我们可以得到样品中元素的特征峰和相对峰强度，从而进行元素定性和定量分析。

EDS分析在材料科学、地质学、生物学等领域具有广泛的应用。

首先，它可以用于材料组分的分析和表征。

例如，在合金材料中，我们可以利用EDS分析来确定不同元素的含量和分布情况，从而了解合金的组成和性能。

此外，EDS分析还可以用于研究纳米材料和薄膜的成分和结构，为材料的制备和改性提供依据。

其次，EDS分析在地质学研究中也扮演着重要的角色。

地质样品往往含有丰富的化学元素，通过对样品进行EDS分析，可以确定岩石和矿物中的主要元素和微量元素的含量，帮助地质学家了解地质过程和资源开发的潜力。

另外，EDS分析还可用于分析土壤和环境样品中的污染元素，为环境保护和污染治理提供科学依据。

此外，EDS分析在生物学研究中也有一定的应用。

通过对细胞和组织样品进行化学元素分析，可以揭示生物体内微量元素的分布和变化规律，为生物学家研究生物体的功能和生理过程提供重要线索。

X射线能谱仪(EDS)

入射电子束受到气体散射作用
电子能量为25KV时，通过氧气的平均自由程
环境扫描电镜的特点(一)
平均碰撞次数(m)定义三类不同的散射
Minimal Scattering Scatter <5% （ 0< m< 0.05 ）
Partial Scattering Scatter 5% to 95% （ 0.05< m< 3）
半定量分析
无标样定量分析
无标样定量分析是X射线显微分析的一种快速定量方法。强度比 K＝IS/IStd。表达式中IStd是标样强度，它是由纯物理计算，或用标样数据库给定的，适应于不同的实验条件。其计算精度不如有标样定量分析。
二、X射线能谱仪基本功能
EDS的分析方法－点分析
电子束（探针）固定在试样感兴趣的点上，进行定性或定量分析。该方法准确度高，用于显微结构的成份分析，对低含量元素定量的试样，只能用点分析。
EDS的分析精度
“电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则”国家标准定量结果及允许误差对定量结果必须正确选取有效位数。EDS定量分析结果，小数点后保留一位，原始数据可以多保留一位。 EDS分析的相对误差 (含量＞20%wt）的元素，允许的相对误差 <5% (3 %wt<含量<20%wt的元素，允许的相对误差<10% (1 %wt<含量<3%wt的元素，允许的相对误差<30% (0.5%wt<含量<1%wt的元素，允许的相对误差<50%
X + e- → X+ + 2e-
环境扫描电镜的特点(二)
消除绝缘样品表面电荷积累的解释
- - - - gas
- - - - gas

x射线能谱仪(eds)测试相关说明

英国xmax50能谱仪性能参数项目xmax50能谱主机升级incaxstream2第二代波形采集和处理分析器分辨率分辨率优于127evmnk计数率为20000cps
X－射线能谱仪（EDS）测试相关说明
X－射线能谱仪用途：
配合扫析。
技术参数及指标：
规格型号：X-Max50厂家：英国牛津仪器公司产地：英国
X-Max50能谱仪性能参数
项目
X-MAX50
1
能谱主机升级
INCA X-Stream2第二代波形采集和处理分析器
2
分辨率
分辨率优于127eV (MnKα处,计数率为20000cps)；
1000～50000CPS Mn Ka谱峰宽化弱于1eV；
1000～50000CPS平均元素定量误差小于0.5％
3
检测元素范围
Be4-U92
4
分析最小颗粒
40-50纳米
5
SuperATW窗口
50 mm2
收费标准：
校内：测试40元/个；
校外：测试150元/个。
物资设备处现代教育技术部
2013/6/18

42成分分析1——EDS电镜能谱分析

电镜能谱仪结构及工作原理
特征X射线的产生
产生：内壳层电子被轰击后跳到比费米能高的能级
上，电子轨道内出现的空位被外壳层轨道的电子填入时，作为多余的能量放出的就是特征X射线。
特点：特征X射线具有元素固有的能量，所以，将
它们展开成能谱后，根据它的能量值就可以确定元素的种类，而且根据谱的强度分析就可以确定其含量。
电镜能谱仪结构及工作原理
（3）定量分析
定量分析是通过X射线强度来获取组成样品材料的各种元素的浓度。根据实际情况，人们寻求并提出了测量未知样品和标样的强度比方法，再把强度比经过定量修正换算呈浓度比。最广泛使用的一种定量修正技术是ZAF修正。本软件中提供了两种定量分析方法：无标样定量分析法和有标样定量分析析法。
电镜能谱仪结构及工作原理
X射线探测器的种类和原理
展成谱的方法：
X射线能量色散谱方法(EDS:energy dispersive X-ray spectroscopy)
X射线波长色散谱方法(WDS：wavelength dispersive Xray spectroscopy) 在分析电子显微镜中均采用探测率高的EDS。从试样产生的X射线通过测角台进入到探测器中。
应该对样品进行适当的处理，尽量使样品表面平整、光洁和导电。
电镜能谱仪图
3
图
操作界面示
快捷启动
意
图
GENESIS60E
电镜能谱分析举例
化学成分分析元素的线分析元素的面分布
电镜能谱分析举例
化学成分分析
优点：
①快速，全谱一次收集，分析一个样品只需几分钟至几十分钟
②不破坏样品 ③可以把样品的成分和形貌乃至结构结合在一起进行

eds能谱仪的原理及应用

EDS能谱仪的原理及应用1. 什么是EDS能谱仪？EDS (Energy Dispersive Spectroscopy) 能谱仪是一种用于材料分析的仪器，用于确定样本中元素的组成和浓度。

它是一种非破坏性的测试方法，可以在不破坏样品表面的情况下进行分析。

2. 原理EDS能谱仪利用电子束与样品相互作用时发生的现象，测量样品辐射出的X射线来分析元素的组成。

其主要原理包括：•激发产生特征X射线：电子束轰击样品表面后，原子的内层电子被激发至高能级，并随后发生跃迁回低能级，释放出特征X射线。

•检测与能谱分析： EDS能谱仪中装有一个固态能量敏感探测器，当X射线进入探测器时，其能量将引起探测器中的电子云的激发。

探测器将测量这些激发，并将其转化为能谱图。

•能谱图分析：通过对能谱图的分析，可以确定样品中存在的元素和其相对浓度。

3. 应用EDS能谱仪在许多领域中都有广泛的应用，包括但不限于以下几个方面：3.1 材料科学•元素分析： EDS能谱仪可以分析材料中存在的元素种类及其相对浓度，从而帮助确定材料的组成。

•相分析：通过对样品的能谱图进行分析，可以确定样品中存在的相的类型和相对含量，帮助研究材料结构和性能之间的关系。

3.2 金属学•金相组织分析： EDS能谱仪可以用于金属的金相组织分析，通过检测不同区域的能谱图，可以获得样品中不同相的元素分布情况。

•微区分析： EDS能谱仪具有较高的分辨率，可以进行微区分析，帮助确定金属样品中的微观组织和元素分布。

3.3 地质学•矿物分析： EDS能谱仪可用于矿物的分析，通过检测样品中矿物的能谱图，可以确定其元素组成和矿物类型。

•矿石分析： EDS能谱仪可以对矿石样品进行分析，以确定其元素组成和含量，从而帮助矿石的评估和开采。

3.4 生物科学•细胞成分分析： EDS能谱仪可以用于细胞的成分分析，通过检测细胞样品的能谱图，可以确定细胞中存在的元素和其相对含量，从而帮助研究细胞的结构和功能。

eds能谱分析

eds能谱分析EDS（能谱分析）：从微观世界解读材料特性的利器概述能谱分析是一种重要的材料表征技术，其利用能量分辨的方法，通过测量材料中元素的能谱信息，从而得到材料的化学成分、电子结构等参数。

EDS（能量散射谱）是能谱分析的一种常见方法，具有高灵敏度、高分辨率和非破坏性等特点，广泛应用于材料科学、地质学、生物学等领域。

原理EDS的原理基于能量散射效应，当材料被高能电子或X射线轰击时，原子核和电子发生相互作用，导致电子从低能级跃迁至高能级，随后重新回到基态时会释放出特定的能量。

这些能量可以被探测器捕捉到，通过分析能谱可以确定元素的存在和相对含量。

仪器EDS依赖于扫描电镜和能谱仪两部分构成。

扫描电镜能够产生高能电子或X射线束，用于激发材料。

能谱仪则包括探测器、信号放大器和数据处理部分，用于采集、放大和分析能谱信号。

目前市场上常见的能谱仪种类繁多，有光子计数器、硅探测器、硅锗探测器等。

应用EDS在材料科学中应用广泛。

首先，它在金属材料的分析中发挥着重要作用。

通过EDS的能量分辨能力，可以对金属中的元素类型和含量进行非破坏性分析，为材料加工和质量控制提供支持。

其次，在纳米材料研究中，EDS能够准确检测纳米颗粒的成分，帮助研究人员了解材料的结构和性能。

此外，EDS还被广泛应用于地质学和生物学领域，如岩石成分分析和细胞组织化学成分分析等。

优势与挑战EDS作为一种常见的能谱分析方法，具有多个优势。

首先，它具有高灵敏度，可以检测到很低浓度的元素。

其次，EDS具有高分辨率，能够准确分辨不同元素的能谱峰。

此外，EDS是非破坏性技术，可以以非常小的样品损伤完成分析。

然而，EDS也存在一些挑战。

例如，由于能量散射的特性，EDS只能分析出材料表面的元素信息，不能获取深层元素的信息。

此外，噪声和背景干扰也会影响EDS的准确性。

发展动态随着科技的进步，EDS技术不断发展，提高了分析的性能和准确度。

近年来，许多研究人员致力于开发新型的探测器和数据处理算法，以提高EDS的灵敏度和分辨率。

学术干货谈谈能量色散X射线谱仪（EDS）的那些事儿

学术干货谈谈能量色散X射线谱仪（EDS）的那些事儿大家对能够进行样品的微区结构与形貌分析的扫描电子显微镜（SEM）和透射电子显微镜（TEM）都不陌生，而与之相关的利用特征X射线具有特征能量这一原理设计的用于成分分析的能量色散X射线谱仪（EDS），因为不常用，所以可能就没那么熟悉了。

而今天，小编就给大家讲讲，EDS的那些事儿！一、EDS所用信号：高速运动的电子束轰击样品表面，电子与元素的原子核及外层电子发生单次或多次弹性与非弹性碰撞，有一些电子被反射出样品的表面，其余的渗入样品中，逐渐失去其动能，最后被阻止，并被样品吸收。

在此过程中有99％以上的入射电子能量转变成热能，只有约1％的入射电子能量从样品中激发出各种信号。

其中，特征X射线是高能电子激发原子的内层电子，使原子处于不稳定态，从而外层电子填补内层空位使原子趋于稳定的状态，在跃迁的过程中，直接释放出具有特征能量和波长的一种电磁辐射，即特征X射线。

图1：高能电子轰击样品表面所能产生的各种信号二、能量色散X射线谱仪（EDS）的结构与工作原理不同元素发射出来的特征X射线能量是不相同的，利用特征X射线能量不同而进行的元素分析称为能量色散法。

所用谱仪称为能量色散X射线谱仪（EDS），简称能谱仪。

图2：能谱仪结构及工作原理X射线能谱仪的主要构成单元是Si(Li)半导体检测器，即锂漂移硅半导体检测器和多道脉冲分析器。

能量为数千电子伏特的入射电子束照射到样品上，激发出特征X射线，通过Be窗直接照射到Si(Li)半导体检测器上，使Si原子电离并产生大量电子-空穴对，其数量与X射线能量成正比。

这是因为：•产生一个空穴对的最低平均能量为ε•则由一个X射线光子造成的电子空穴对的数目为:N=ΔE/ε•入射X射线光子的能量越高，N就越大。

•不同元素发射不同能量的X射线，不同能量的X射线将产生不同的电子空穴对数。

例如：Fe的Kα辐射可产生1685个电子空穴对，而Cu为2110个。

Minipal 4 Sulfur X射线能谱仪(EDS) 说明书

帕纳科（PANalytical ）是世界上最大的X-射线荧光光谱仪、X-射线衍射仪设备和软件的供应商。

公司在全球及中国开展业务已超过50年的历史。

这些仪器系统主要用于科学的研究和发展、工业过程控制以及半导体材料的物性测量领域。

帕纳科（PANalytical ，原飞利浦分析仪器Philips Analytical 。

）是思百吉集团的一部分，全球员工近800多人，总部位于荷兰的Almelo ，并分别在中国、日本、美国以及荷兰设立了设备齐全的应用实验室。

帕纳科（PANalytical ）的研究活动是以英国Brighton 的Sussex 大学校园为基础展开的。

零配件供应及技术支持中心位于Almelo 和Eindhoven 。

覆盖全球60多个国家和地区的销售和服务网络确保了专业、及时和可靠的客户支持。

公司已通过了ISO9001和ISO14001认证。

帕纳科（PANalytical ）的生产业务范围包括X-射线荧光光谱仪和X-射线衍射仪分析仪器系统及软件，产品范围多样化，广泛适用于产品的组成分析、材料的特性分析，应用范围如：水泥、钢铁、塑料、聚合物和石油化工、工业采矿、玻璃和高分子、硅半导体芯片、药用液体、可再生原料、环保样品等等。

帕纳科MiniPal4 Sulfur 针对石化行业客户设计，满足ISO 8754、ISO 20847ASTM D4294-03、ASTM D6445-02、ASTM D6481等标准要求。

其中S 的检出限可达到1ppm ，在同类产品中具有极高的性价比，而且除了分析S 元素以外，还可以分析其他70多种元素，满足石化行业客户多种样品分析的需求。

使用帕纳科（PANalytical ）公司生产的全系列X-射线荧光光谱仪，具有制样简单、分析速度快、准确度高等特点。

由于X-射线荧光分析是多元素分析技术，因此，一次测定可完成所有元素的含量分析，而且可在几分钟内即可完成一个样品的测定。

帕纳科公司不仅对用户不同的要求针对性的推出了不同型号的仪器,帕纳科不仅提供仪器，还提供整体解决方案：1）安排专家到现场，为客户建立完整的分析方法，直到用户能独立完成分析并满足分析要求为止；2）在上海建有研发实验室，给用户提供非常完善的分析方法建立、培训等售后服务（包括售前参观演示等服务）；3）同时我们在上海、北京、香港、广州、昆明、南京、烟台、成都等地均有维修中心,并且配备超过20位全职帕纳科职工的维修和应用工程师。

EDS能谱检测解读

Z：原子序数修正因子。（电子束散射与Z有关）
A：吸收修正因子。（试样对X射线的吸收） F：荧光修正因子。（特征X射线产生二次荧光）
半定量分析
无标样定量分析
无标样定量分析是X射线显微分析的一种快速定量方法。强度比K＝IS/IStd。
表达式中IStd是标样强度，它是由纯物理计算，或用标样数据库给定的，适应于不同的实验条件。其计算精度不如有标样定量分析。
EDS检测(未镀膜）
cps/eV 4.5 4.0 3.5 3.0 Cl 2.5 2.0 1.5 1.0 0.5 0.0 0 1 2 3 keV 4 5 6 C Ca O Cl Ca
El AN
unn. C norm. C Atom. C Error (1 Sigma) K fact. Z corr. A corr. F corr. [wt.%] [wt.%] [at.%] [wt.%] ------------------------------------------------------------------------------------C 6 K-series 63.77 66.81 81.86 7.68 1.515 0.441 1.000 1.000 Cl 17 K-series 23.11 24.21 10.05 0.80 0.086 2.794 1.000 1.007 O 8 K-series 8.29 8.68 7.98 1.25 0.119 0.731 1.000 1.00 Ca 20 K-series 0.29 0.30 0.11 0.04 0.001 2.722 1.000 1.017 -------------------------------------------------------------------------------------

eds测竹材表面能谱

eds测竹材表面能谱
EDS（能量色散谱仪）是一种用于分析材料表面成分的仪器。

它可以通过测量材料表面发射的X射线或电子的能量分布来推断材料的组成。

对于竹材表面能谱的测量，通常需要使用扫描电子显微镜（SEM）与EDS 联用。

首先，将竹材表面制备成适合SEM观察的样品，然后将其放置在扫描电子显微镜的样品台上。

在SEM中，可以通过调整工作距离、电子束流和扫描范围等参数来获取竹材表面的形貌和元素分布图像。

当获取到SEM图像后，可以通过EDS模式来获取每个像素点的元素组成信息。

在EDS模式下，仪器会发射一束电子束到样品表面，并收集从表面反射回来的电子。

这些电子携带了样品表面的元素信息，通过分析它们的能量分布，可以推断出样品的组成。

需要注意的是，EDS测量的结果受到多种因素的影响，如样品制备、工作距离、电子束流等。

因此，在进行竹材表面能谱测量时，需要仔细调整仪器参数，并确保样品的制备质量。

此外，还需要对测量结果进行正确的分析和解释，以便准确评估竹材表面的化学成分。

能量分散谱仪(EDS)

谢谢！
能量分散谱仪
EDS
能谱仪
• 能谱仪全称为能量分散谱仪(EDS)． • 能谱仪的结构及工作原理： • 能谱仪是利用X 光量子的能量不同来进行元素分析的方法，对于某一种元素的X 光量子从主量子数为n1的层上跃迁到主量子数为n2的层上时有特定的能量ΔE＝En1－ En2。X 光量子的数目是作为测量样品中某元素的相对百分含量用，即不同的X 光量子在多道分析器的不同道址出现，而脉冲数－脉冲高度曲线在荧光屏或打印机上显示出来，这就是X光量子的能谱曲线。 • 所谓能谱仪实际上是一些电子仪器，主要单元是半导体探测器（一般称探头）和多道脉冲高度分析器，用以将 X光量子按能量展谱。
能谱仪的缺点：
• (1)能量分辨率低，峰背比低。由于能谱仪的探头直接对着样品，所以由背散射电子或X射线所激发产生的荧光X射线信号也被同时检测到，从而使得Si(Li) 检测器检测到的特征谱线在强度提高的同时，背底也相应提高，谱线的重叠现象严重。故仪器分辨不同能量特征X射线的能力变差。能谱仪的能量分辨率(130eV)比波谱仪的能量分辨率(5eV)低。 • (2)工作条件要求严格。Si(Li)探头必须始终保持在液氦冷却的低温状态，即使是在不工作时也不能中断，否则晶体内Li的浓度分布状态就会因扩散而变化，导致探头功能下降甚至完全被破坏。
• 目前最常用的是Si(Li)X 射线能谱仪，其关键部件是Si(Li)检测器，即锂漂移硅固态检测器，它实际上是一个以Li为施主杂质的n-i-p 型二极管。
Hale Waihona Puke • 以Si(Li)检测器为探头的能谱仪实际上是一整套复杂的电子学装置。 Si(Li)X射线能谱仪
Si(Li)能谱仪的优点：
• (1)分析速度快能谱仪可以同时接受和检测所有不同能量的X射线光子信号，故可在几分钟内分析和确定样品中含有的所有元素，带铍窗口的探测器可探测的元素范围为11Na~92U，20世纪80年代推向市场的新型窗口材料可使能谱仪能够分析Be以上的轻元素，探测元素的范围为4Be~92U。 • (2)灵敏度高X射线收集立体角大。由于能谱仪中Si(Li)探头可以放在离发射源很近的地方(10㎝左右)，无需经过晶体衍射，信号强度几乎没有损失，所以灵敏度高(可达104cps/nA，入射电子束单位强度所产生的X射线计数率)。此外，能谱仪可在低入射电子束流(10-11A)条件下工作，这有利于提高分析的空间分辨率。 • (3)谱线重复性好。由于能谱仪没有运动部件，稳定性好，且没有聚焦要求，所以谱线峰值位置的重复性好且不存在失焦问题，适合于比较粗糙表面的分析工作。