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空气洁净度等级标准及规范

空气洁净标准和规范在经济和科技发达的国家和地区都有自己的标准，都规定了有关的洁净度等级。例如：美国、日本、西欧、北欧、俄罗斯等。我国于1984年颁布《洁净厂房设计规范》（GBJ73-84），1996年该规范进行较大的修改，1990年颁布《洁净室施工及验收

规范》（JGJ71-90）以指导施工和验收的重要文件。目前，该规范在重新修订中。

GBJ73-84规定的洁净度等级

等级每立方米（升）空气中》0.5μｍ尘粒数每立方米（升）空气中》5μｍ尘粒数100《35*100（〈3.5〉

1000《35*1000（〈35〉《250（〈0.25〉

10000《35*10000（〈350〉《2500（〈2.5〉

100000《35*100000（〈3500〉《25000（〈25〉

ISO 1644 国际标准中洁净室或洁净区选用的空气悬浮粒子洁净度等级

等于或大于相应粒径的最大允许浓度（粒/m3）

0.1μｍ0.2μｍ0.3μｍ0.5μｍ1μｍ5μｍ

ISO1102

ISO210024104

ISO31000237102358

ISO4100002365101835283

ISO51000002365110176351783229

ISO61000000236514101763351688318293

ISO7351676831762925

ISO8351675783176429251

ISO9351675728317638292511

1，洁净室或洁净区内空气悬浮粒子洁净等级还有著名的美国联邦标准（Fed.St.209系列）可以参考；

粒子，≤3.5颗/升，或100颗2，ISO1644的ISO5相当于Fed.St.209系列的100级（≥0.5μｍ

/ft3，或3530颗/m3）

3，洁净度等级在100级以下者（1000，10000级等）通常用0.5μｍ粒径考核的居多；

4，随着微电子技术的发展，洁净度等级相应提高，洁净室检测粒径也越来越小（见表），对粒子检测仪器的要求当然也越来越高，对洁净室设计和施工方而言，在验收时，可能不止用一个粒径（如0.5μｍ）而要用到更多的粒径，如0.3 μm 0.2μｍ甚至0.1μｍ。

空气洁净度

空气洁净度

1．空气洁净度和级别

空气洁净度是洁净环境中空气含悬浮粒子量的多少的程度。通常空气中含尘浓度低则空气洁净度高，含尘浓度高则空气洁净度低。按空气中悬浮粒子浓度来划分

洁净室及相关受控环境中空气洁净度等级，就是以每立方米空气中的最大允许粒

子数来确定其空气洁净度等级。

洁净度标准的制定

以前有关国家都各自制定自己的标准，但基本上都是参照美国标准FS-209的各版进行，仅单位制及命名方法有所变换或改变。在命名上基本可分为两类：一是以单位体积空气中大于等于规定粒径的粒子个数直接命名或以符号命

名，这种命名方法以美国FS-209A～E版为代表，其规定粒径为0.5μｍ，以空气中≥0.5μｍ粒径的粒子浓度采用英制pc/ft3直接命名，如标准中的100级，表示空气中≥0.5μｍ粒径的粒子浓度为100pc/ft3直接命名，即每立方英尺的空气中

≥0.5μｍ粒径的粒子数量为100个，（我们平时使用的是国际单位，即通常所指

的是每立方米的空气中所含≥0.5μｍ粒径的粒子数量，因为1立方米≈35.2立方英尺，所以我们看到标准中100级对应≥0.5μｍ粒径的粒子数量不是100个，而是3520个，就是这个道理）。

二是以单位体积空气中大于等于规定粒径的粒子个数以10n表示，按指数n 命名空气洁净度的等级，这种命名方法以日本JISB9920为代表，其规定粒径为

粒径的粒子浓度（采用国标单位制）10n pc/m3命名为0.1μｍ，以空气中≥0.1μｍ

粒径的粒子浓度为100 pc/m3，即102pc/m3。n级，如该标准2级，其表示≥0.1μｍ

俄罗斯的标准亦基本上采用此种命名方法。

现在国际标准ISO14644-1已发布实施，美国标准FS-2009E亦于2001年11月宣布停止使用。

按国际标准，空气中悬浮粒子洁净度等级以序数N命名，各种被考虑粒径D 的最大允许浓度Cn可用公式确定：

式中：Cn--被考虑粒径的空气悬浮粒子最大允许浓度，pc/m3。Cn是以四舍五入相近的整数，通常有效位数不超过三位数；

N--分级序数，数字不超过9，分级序数整数之间中间数可以作规定，N的最小允许增量为0.1；

D--被考虑粒径，μｍ；

0.1 --常数，其量纲为μｍ；

2．我国的洁净室的标准

（1）我们国家洁净室的标准是《洁净厂房设计规范》（GB50073-2001），标准中规定的空气洁净度等级等同采用国际标准ISO1466-1中的有关规定。洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级见下表：

空气洁净度等级表2.0.1

等级每立方米(每升)空气中

≥0.5微米尘粒数每立方米(每升)空气中≥５微米尘粒数

100级≤35×100(3.5)

1000级≤35×1000(35) ≤250(0.25)

10000级≤35×100

00(350) ≤2500(2.5) 100000级≤35×100000(3500) ≤25000(25)

净化级别划分和规定

行业标准(洁净级别的划分和规定)

美国联邦标准（USA Federal Standard）

空气中微粒的洁净等级对照

空气微粒洁净等级（每立方米，每立方英尺）微粒的最大浓度限值

ISO14644-1 FED STD 209E CLASS Nμｍber of Par Cubic Meter by Micrometer Size

ISO Class English Metric 0.1μｍ0.2μｍ0.3μｍ0.5μｍ0.5μｍ5μｍ

m3m3m3ft3m3

1 ISO1

2 ISO2 4

3 1 M1.5 1SO3 35

4 10 M2.

5 ISO4 10 353