TLCC低温共烧陶瓷技术

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低温共烧陶瓷(LTCC)配套浆料和相关材料开发与应用方案(二)

低温共烧陶瓷(LTCC)配套浆料和相关材料开发与应用方案(二)

低温共烧陶瓷(LTCC)配套浆料和相关材料开发与应用方案一、实施背景随着科技的飞速发展,电子行业对高性能、高可靠性、小型化和低成本的要求越来越高。

低温共烧陶瓷(LTCC)技术作为一种先进的陶瓷基板制备技术,具有高性能、高可靠性、小型化等优点,已成为电子行业的重要发展方向。

然而,LTCC技术在实际应用中仍存在一些问题,如材料性能不稳定、制造成本高等,这限制了其广泛应用。

因此,开发与LTCC 技术配套的浆料和相关材料,对于提高LTCC产品的性能、降低制造成本、推动电子行业的发展具有重要意义。

二、工作原理低温共烧陶瓷(LTCC)技术是一种将陶瓷粉体、有机载体、添加剂等原料混合制备成LTCC浆料,然后通过印刷、叠层、烧结等工艺制备成高性能、高可靠性的陶瓷基板的技术。

其中,LTCC浆料的性能直接决定了最终产品的性能。

因此,开发与LTCC技术配套的浆料和相关材料是关键。

三、实施计划步骤1.调研市场:了解当前LTCC技术的市场需求和应用情况,收集相关企业和研究机构的资料,分析现有产品的优缺点。

2.确定研究方向:根据市场调研结果,确定LTCC配套浆料和相关材料的研究方向,包括材料成分、制备工艺、性能指标等方面。

3.制备样品:根据确定的研究方向,制备LTCC配套浆料和相关材料样品。

4.性能测试:对制备的样品进行性能测试,包括物理性能、化学性能、电学性能等,以验证其是否满足市场需求。

5.优化配方:根据性能测试结果,对LTCC配套浆料和相关材料的配方进行优化,以提高产品性能。

6.中试生产:在完成配方优化后,进行中试生产,以验证生产工艺的可行性和产品的稳定性。

7.推广应用:将中试生产的产品推广到市场中,与相关企业和研究机构合作,以推动LTCC技术的广泛应用。

四、适用范围本方案适用于电子行业中的陶瓷基板制备领域,特别是那些需要高性能、高可靠性、小型化且对成本敏感的应用领域,如通信、汽车电子、航空航天等。

五、创新要点1.材料创新:通过开发新型的陶瓷粉体、有机载体和添加剂等原料,优化LTCC浆料的配方,提高产品的性能。

TLCC低温共烧陶瓷技术

TLCC低温共烧陶瓷技术

TLCC低温共烧陶瓷技术TLCC(Low Temperature Co-Fire Ceramic,低温共烧陶瓷)技术是一种新型的封装技术,能够在较低温度下将多种材料烧结成无机玻璃陶瓷材料,广泛应用于电子封装领域。

本文将详细介绍TLCC低温共烧陶瓷技术的原理、优势以及应用情况。

TLCC技术的原理是通过精细调控材料组分、颗粒粒径以及烧结工艺参数,使得多种材料在较低的温度下形成致密的陶瓷结构。

与传统的高温共烧陶瓷相比,TLCC技术所需的烧结温度通常在800℃至900℃之间,大大降低了生产成本,减少了能源消耗。

此外,TLCC技术还可以实现材料的精确控制和微结构优化,提高材料的性能和可靠性。

与传统封装材料相比,TLCC低温共烧陶瓷具有诸多优势。

首先,由于TLCC技术采用了较低的烧结温度,相较于传统材料,减少了对封装部件的热应力,因此可以避免由于温度差异导致的材料失效和封装失效的问题。

其次,TLCC材料具有较高的绝缘性能和良好的耐腐蚀性,可以有效防止电气短路和电子元器件的损坏。

此外,TLCC技术还具有良好的阻尼性能和耐高温性能,适应了封装材料在各种复杂环境下的应用需求。

在实际应用中,TLCC低温共烧陶瓷技术已经得到了广泛的应用。

在电子封装领域,TLCC材料可以用于制造高密度集成电路(HDI)、三维封装(3D Packaging)、电子陶瓷模块等等。

在航空、航天、汽车、通信等高可靠性领域,TLCC材料的低介电常数和低衰减特性使得其成为理想的射频和微波应用封装材料。

此外,由于TLCC材料具有良好的阻尼性能,可用于制作振动传感器和微机电系统(MEMS)等高度灵敏的传感器。

总之,TLCC低温共烧陶瓷技术作为一种新型的封装技术,在电子封装领域具有广阔的应用前景。

其具有烧结温度低、材料性能稳定、制造工艺简单、成本低等优点,可以满足高密度集成、高频射频和高可靠性等应用的需求。

随着科技的不断发展,TLCC技术将进一步改善和发展,为电子封装领域的创新和发展做出更大的贡献。

TLCC低温共烧陶瓷技术资料讲解

TLCC低温共烧陶瓷技术资料讲解

TLCC低温共烧陶瓷技术资料讲解TLCC(Transfer Low Co-fire Ceramic)低温共烧陶瓷技术是一种将不同材料(例如绝缘体、导体、磁体等)在低温下焙烧成一体的技术。

它具有结构复杂、加工精细、性能稳定等优点,被广泛应用于电子、通信、医疗、汽车、航空航天等领域。

下面将对TLCC低温共烧陶瓷技术进行详细讲解。

首先,TLCC低温共烧陶瓷技术的基本原理是将不同材料在低温下共同焙烧,使得它们相互粘结成一体。

这种技术主要应用于多层陶瓷电路板(MLCC)的制备过程中,能够同时在同一基片上实现多种性能的器件的集成制备。

其具体工艺流程主要包括导体制备、绝缘体制备、导体与绝缘体层间融合等步骤。

其次,TLCC低温共烧陶瓷技术相比于传统的烧结工艺具有很多优势。

首先是低烧结温度,一般在800-1100°C之间,远低于传统的烧结温度。

这使得TLCC技术可以在室温下组装敏感器件和半导体元件,避免了高温烧结对元器件的热损伤。

其次是高加工精度,通过采用微细粉体和高分辨率合模技术,可以实现器件的微观结构和复杂阵列的精确制备。

此外,由于TLCC技术的烧结温度低,使得各种不同材料的共烧成型成为可能,实现了多种性能器件的集成制备。

TLCC低温共烧陶瓷技术在电子、通信、医疗等领域有着广泛的应用。

在电子领域,TLCC技术可以用于制备高频电感器、滤波器、天线等器件,具有小尺寸、高品质因子、低损耗等优势。

在通信领域,TLCC技术可以用于制备微波集成电路、光通信器件等,具有高可靠性、低成本等优势。

在医疗领域,TLCC技术可以用于制备生化传感器、人工耳蜗等医疗器械,具有生物相容性好、稳定性高等优势。

总之,TLCC低温共烧陶瓷技术是一种将不同材料在低烧结温度下共同焙烧成一体的技术。

其具有结构复杂、加工精细、性能稳定等优点,并在电子、通信、医疗等领域有着广泛的应用。

随着技术的不断发展完善,TLCC技术将在更多领域发挥重要作用。

低温共烧陶瓷

低温共烧陶瓷

低温共烧陶瓷(LTCC)材料简介及其应用电子科技大学微电子与固体电子学院张一鸣 22一、简介所谓低温共烧陶瓷(Low-temperature cofired ceramics, LTCC)技术,就是将低温烧结陶瓷粉制成厚度精确且致密的生瓷带,作为电路基板材料,在生瓷带上利用激光打孔、微孔注浆、精密导体浆料印刷等工艺制出所需要的电路图形,并将多个无源元件埋入其中,然后叠压在一起,在900℃烧结,制成三维电路网络的无源集成组件,也可制成内置无源元件的三维电路基板,在其表面可以贴装IC和有源器件,制成无源/有源集成的功能模块。

总之,利用这种技术可以成功制造出各种高技术LTCC产品。

多个不同类型、不同性能的无源元件集成在一个封装内有多种办法,主要有低温共烧陶瓷(LTCC)技术、薄膜技术、硅半导体技术、多层电路板技术等。

目前LTCC技术是无源集成的主流技术。

LTCC整合型组件包括各种基板承载或内埋式主动或被动组件产品,整合型组件产品项目包含零组件、基板与模块。

二、LTCC技术特点LTCC与其他多层基板技术相比较,具有以下特点:1.易于实现更多布线层数,提高组装密度;2.易于内埋置元器件,提高组装密度,实现多功能;3.便于基板烧成前对每一层布线和互联通孔进行质量检查,有利于提高多层基板的成品率和质量,缩短生产周期,降低成本;4.具有良好的高频特性和高速传输特性;5.易于形成多种结构的空腔,从而可实现性能优良的多功能微波MCM;6.与薄膜多层布线技术具有良好的兼容性,二者结合可实现更高组装密度和更好性能的混合多层基板和混合型多芯片组件;7.易于实现多层布线与封装一体化结构,进一步减小体积和重量,提高可靠性;LTCC工艺流程如图所示。

由此可知,采用LTCC工艺制作的多芯片组件具有可实现IC芯片封装,内埋置无源元件及高密度电路组装的功能。

与其他集成技术相比,具有以下特点:1.根据配料的不同,LTCC材料的介电常数可以在很大范围内变动,增加了电路设计的灵活性;2.陶瓷材料具有优良的高频、高Q和高速传输特性;3.使用电导率高的金属材料作为导体材料,有利于提高电路系统的品质因数;4.制作层数很高的电路基板,易于形成多种结构的空腔,内埋置元器件,免除了封装组件的成本,减少连接芯片导体的长度与接点数,可制作线宽<50um的细线结构电路,实现更多布线层数,能集成的元件种类多,参量范围大,于实现多功能化和提高组装密度;5.可适应大电流和耐高温特性要求,具有良好的温度特性,如较小的热膨胀系数,较小的介电常数稳定系数。

ltcc低温共烧陶瓷生产工艺流程

ltcc低温共烧陶瓷生产工艺流程

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低温共烧多层陶瓷技术特点与应用

低温共烧多层陶瓷技术特点与应用

低温共烧多层陶瓷技术特点与应用低温共烧多层陶瓷(Low Temperature Co-fired Ceramic,LTCC)是一种先进的电子封装技术,其特点是可以在低温下完成陶瓷的共烧,以实现多层陶瓷的制作。

LTCC技术具有许多优点,使得它在电子封装领域得到广泛应用。

首先,LTCC技术具有良好的耐高温性能。

LTCC陶瓷可以在高温环境下长时间稳定工作,通常可以耐受高达600℃的温度。

这使得LTCC在一些需要高温运行的应用中非常有用,比如汽车电子、航空航天等领域。

其次,LTCC技术具有优异的机械性能。

LTCC陶瓷具有高硬度、高强度和低热膨胀系数等特点,可以有效抵抗机械应力和热应力,从而保证器件长时间的可靠工作。

另外,LTCC技术还具有优异的电学性能。

LTCC陶瓷具有低介电常数和低损耗因子等特点,可以有效降低信号衰减和串扰,提高信号传输的品质。

在应用方面,LTCC技术已经被广泛应用于电子封装领域,特别是微波器件、射频器件和传感器等高频应用。

在微波器件方面,LTCC技术可以实现高可靠性的微波滤波器、耦合器、功分器等器件的制造。

利用LTCC的低介电常数和低损耗因子,可以实现微波信号的高效传输和处理,提高系统的性能。

在射频器件方面,LTCC技术可以制造高性能的射频滤波器、功放、天线等器件。

利用LTCC的优异机械性能和电学性能,可以实现射频信号的高稳定性和高可靠性传输,从而提高通信系统的性能。

在传感器方面,LTCC技术可以制造高灵敏度、高稳定性的物理传感器、化学传感器和生物传感器等器件。

利用LTCC的优异的电学性能和化学稳定性,可以实现对物理量、化学量和生物分子等的高效检测和分析。

此外,LTCC技术还可以应用于医疗器械、能源管理、光电子器件等领域。

在医疗器械方面,LTCC技术可以制造高灵敏度、高稳定性的生物传感器和医用射频器件等;在能源管理方面,LTCC技术可以制造高效的功率传输器件和能源存储器件;在光电子器件方面,LTCC技术可以制造高性能的光电子器件和光通信器件。

LTCC低温共烧陶瓷

LTCC低温共烧陶瓷

LTCC低温共烧陶瓷低温共烧陶瓷(Low Temperature Co-fired Ceramics,简称LTCC),是一种先进的多层陶瓷技术,广泛应用于电子器件、无线通信和微波模块等领域。

它采用低温烧结工艺,可以在相对较低的温度下实现多层陶瓷的烧结,从而大大提高了生产效率和陶瓷的成品率。

LTCC技术主要包括以下几个方面:材料选择、表面处理、电路设计、胶合、烧结和加工。

首先,材料选择是LTCC技术成功的关键。

通常使用的材料包括陶瓷粉末、玻璃或有机胶粘剂和金属粉末。

这些材料需要具有良好的烧结性能、热膨胀系数匹配性和电性能。

在材料选择之后,需要进行表面处理,以提高粘接强度和降低界面电阻。

常用的表面处理方法包括喷涂、切割和抛光。

接下来是电路设计,根据应用需求设计电路以及创建金属电极和通孔。

然后,使用胶粘剂将各层陶瓷粘接在一起,形成多层陶瓷片。

这一步骤需要精确的控制胶粘剂的粘度和粘接压力,以确保胶层的均匀性。

完成胶结后,将多层陶瓷片进行烧结。

LTCC烧结通常在1000°C以下的温度下进行,这是由于烧结温度过高会导致金属电极的熔化和引起陶瓷材料的烧损。

在烧结过程中,需要控制烧结速率和温度分布,以实现陶瓷的致密化和金属部分的固相扩散。

最后一步是加工,将烧结的陶瓷片进行切割、打磨和镀膜等处理,形成最终的LTCC产品。

这些加工步骤对于产品的精度和性能起着重要的影响。

通常使用的加工方法包括激光切割、机械加工和电镀。

LTCC技术具有以下几个优点:首先,由于采用低温烧结工艺,可以在相对较低的温度下完成烧结,从而减少能耗和环境污染。

其次,LTCC材料具有良好的机械性能、高的介电常数和低的损耗因子,适用于微波和射频应用。

此外,LTCC技术能够实现多层结构的紧凑布局,减少电路板的空间占用,提高器件的集成度。

综上所述,低温共烧陶瓷是一种先进的多层陶瓷技术,通过采用低温烧结工艺,实现了多层陶瓷的高效烧结。

它在电子器件、无线通信和微波模块等领域具有广泛的应用前景,为电子产品的小型化、高频化和高可靠性提供了重要的解决方案。

低温共烧陶瓷技术介绍

低温共烧陶瓷技术介绍

低温共烧陶瓷技术介绍陶瓷的多层LTCC技术是被广泛认可的制造微电子、传感器(如压力传感器、pH值检测、导电性及电阻测量)和执行机构(如压电致动器)的生产技术。

此项技术能制造三维的、大功率的电子电路,可被用于汽车和电信行业。

未烧结材料中的柔性箔片是LTCC技术的基础。

这些单个箔片能通过机械加工或激光烧蚀生成几何图形。

例如每个单箔表面上的电器元件能通过丝网印刷生成。

接下来,预制箔片在900℃的温度下被叠放、压平、烧结。

低温共烧陶瓷技术的一个缺点就是不够透明,导致很难用光学手段进行流程监控。

药学和生物学界的科学家正利用传感系统尝试光学监控加工流程。

通过安装透明的聚合物窗口,陶瓷感应系统将能通过光学监测内部加工过程。

复杂的微流体系统通常都不是通过LTCC技术制造的。

材料和制造技术使这种陶瓷元器件比同等级的聚合物元器件得到更广泛的应用。

尖端的技术工业制造通常采用不同的连接技术来接合聚合物和陶瓷部件,比如,粘接或机械连接技术。

在工业生产中常常会用到粘合剂,来粘合不同的物体,最后能对缝合口起到很好的密合作用。

这项技术的缺点之一就是它额外采用了化学物质用作粘合材料,对最终系统的功能带来了不必要的影响,比如生物医学反应。

使用单芯片实验系统或生物医学系统的科学家对利用光学方式从外部监控内部状况很感兴趣,他们通常会用粘合剂在陶瓷体上安装一个透明窗口,以便观察内部情况。

长期来看,许多这样的粘合接口不够稳定和牢固,经常会发生窗体剥落或泄漏的情况。

机械连接一般用到螺丝钉、夹钳或类似的工具,为连接陶瓷和聚合物提供了另一种选择。

在这种情况下,像孔或卡口之类的地方需要同时考虑两个被连接部件,增加了工作量。

此外还需要配备密封垫圈,用来完成聚合物和陶瓷部件之间不漏液、不漏气的无缝装配。

激光焊接是另一种被业内认可的聚合物部件焊接工艺,需要熔接的两部分由相似的热塑性聚合物组成。

激光束能量穿越首个熔接部件后被第二个吸收,加之外在的压力,能让两个部件紧紧连在一起,形成有力的接点。

2023年LTCC行业市场环境分析

2023年LTCC行业市场环境分析

2023年LTCC行业市场环境分析LTCC(低温共烧陶瓷)技术是一种新兴技术,通过多层陶瓷层的叠加,然后通过高温共烧工艺制造一种新型的电子器件。

LTCC技术具有优异的性能,如低介电常数、低损耗、高频带宽、优异的阻抗匹配性、高精度尺寸稳定性等,得到了广泛的应用,市场前景十分广阔。

1. 市场基础背景随着电子行业应用需求的不断提高,要求电子器件具有更高的信号传输速度、更小的尺寸、更高的集成度以及更低的功耗。

对于LTCC制造技术的需求也就愈加显著。

而且随着大数据、物联网、5G等技术的突飞猛进,LTCC技术遇到了更好的发展机遇。

2. 产业链分析LTCC产业链主要是分为器件设计、材料供应、制造、测试等环节。

器件设计是LTCC生产的基础,材料供应环节负责提供优质的LTCC材料,并保证材料的质量将为后续的生产提供优质的原料。

制造环节则主要负责加工生产,测试环节则是保证产品质量的基础。

3. 市场规模根据市场调查机构的数据统计,LTCC市场规模逐年增长,其中大陆供应商的市场份额连续几年都有所提升。

2019年,全球LTCC的市场规模约为12.2亿美元,预计到2024年市场规模将达到17.5亿美元,年复合增长率将接近7%。

中国市场也呈现出快速发展趋势,特别是新兴技术和5G的应用需求,助推了中国LTCC市场的快速发展。

4. 市场应用领域随着LTCC技术逐渐成熟,其应用领域也越来越广泛。

目前,LTCC技术已被广泛应用于通信、计算机、消费电子、汽车电子、医疗器械、航空航天等领域。

其中通信和计算机是LTCC主要的应用领域,占据了整个市场的大部分份额。

5. 技术发展趋势随着LTCC技术的不断推广和应用,未来LTCC技术注重高频、大尺寸、高可靠性和智能化的发展趋势。

同时, LTCC技术的发展需要依托于材料供应、工艺加工和测试等方面的改善和优化。

在大尺寸方面,LTCC材料的生产工艺需要不断创新,提高制造效率、降低成本。

在高可靠性和智能化方面,加强LTCC与其他材料的结合效果,降低产品自身的故障率并且提高智能化程度。

TLCC低温共烧陶瓷技术

TLCC低温共烧陶瓷技术

1 LTCC产业概况随着微电子信息技术的迅猛发展,电子整机在小型化、便携式、多功能、数字化及高可靠性、高性能方面的需求,对元器件的小型化、集成化以至模块化要求愈来愈迫切。

有人曾夸张地预言,以后的电子工业将简化为装配工业——把各种功能模块组装在一起即可。

低温共烧陶瓷技术(low temperature cofired ceramic LTCC)是近年来兴起的一种相当令人瞩目的多学科交叉的整合组件技术,以其优异的电子、机械、热力特性已成为未来电子元件集成化、模组化的首选方式,广泛用于基板、封装及微波器件等领域。

TEK的调查资料显示,2004~2007年间全球LTCC市场产值呈现快速成长趋势。

表1给出过去几年全球LTCC市场产值增长情况。

表1 过去几年全球LTCC市场产值增长情况LTCC技术最早由美国开始发展,初期应用于军用产品,后来欧洲厂商将其引入车用市场,而后再由日本厂商将其应用于资讯产品中。

目前,LTCC材料在日本、美国等发达国家已进入产业化、系列化和可进行材料设计的阶段[1]。

在全球LTCC市场占有率九大厂商之中,日商有Murata,Kyocera,TDK和Taiyo Yuden;美商有CTS,欧洲商有Bosch, CMAC,Epcos及Sorep-Erulec等。

国外厂商由于投入已久,在产品质量,专利技术、材料掌控及规格主导权等均占有领先优势。

图1给出全球LTCC厂商市场占有情况。

而国内LTCC产品的开发比国外发达国家至少落后五年,拥有自主知识产权的材料体系和器件几乎是空白。

国内目前LTCC陶瓷材料基本有两个来源:一是购买国外陶瓷生带;二是LTCC生产厂从陶瓷材料到生带自己开发。

随着未来LTCC制品市场中运用LTCC制作的组件数目逐渐被LTCC模块与基板所取代,终端产品产能过剩,价格和成本竞争日趋激烈,元器件的国产化必将提上议事日程,这为国内LTCC产品的发展提供了良好的市场契机。

中国在LTCC市场占据一定份额的是叠层式电感器和电容器生磁带。

LTCC的概念低温共烧陶瓷

LTCC的概念低温共烧陶瓷

LTCC的概念低温共烧陶瓷LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramic)是一种低温共烧陶瓷技术,用于制造多层陶瓷板(MLCC)和射频模块(RF Module)等微电子器件。

LTCC技术以其优异的电性能、热性能和机械性能,成为了电子器件封装技术领域中的重要技术之一LTCC技术的核心在于材料的成分和共烧工艺的控制。

LTCC材料主要由陶瓷粉体、玻璃粉体和有机添加剂等组成。

这些粉体经过共烧过程,形成致密的陶瓷结构,其中陶瓷相和玻璃相具有不同的性质,以满足不同的应用需求。

共烧工艺包括成形、裁切、粘贴、层压和共烧等步骤,要求温度控制和气氛控制等因素,以确保陶瓷板具有良好的性能和可靠性。

LTCC技术具有许多优势。

首先,LTCC材料具有优异的介电性能,能在高频率下传输信号,且具有较低的介电损耗。

而且LTCC材料还具有良好的热导率和热稳定性,能够在高温环境下工作。

其次,LTCC制造工艺相对简单,可以实现高度集成和微型化。

它可以在一块陶瓷板上制造出多个电路和部件,减少了连接线的长度和功耗,提高了可靠性和效率。

此外,LTCC材料可与金、银等导电材料粘接,在电路板上制造导线和元件,从而实现高度集成。

LTCC技术已广泛应用于电子通信、汽车、医疗、物联网和航天等领域。

在电子通信领域,LTCC技术可以制造高速率的射频滤波器和耦合器,用于无线通信和卫星通信等应用。

在汽车领域,LTCC技术可以制造汽车电子模块,如发动机控制单元(ECU)、车载导航系统和胎压监测系统等。

在医疗领域,LTCC技术可以制造医疗传感器、无线医疗设备和植入式医疗器械等。

在物联网领域,LTCC技术可以制造智能家居设备、智能穿戴设备和智能监控设备等。

在航天领域,LTCC技术可以制造高温和高频率下工作的射频模块和元件。

虽然LTCC技术具有众多的优点,但也存在一些挑战和局限。

首先,LTCC材料的陶瓷粉体和玻璃粉体的选择和制备对材料的性能有重要影响。

低温共烧多层陶瓷技术特点与应用

低温共烧多层陶瓷技术特点与应用

低温共烧多层陶瓷技术特点与应用
1.技术特点:
(1)低温共烧:LTCC技术能够在较低的温度下进行烧结,通常在
850°C-900°C之间,相对于传统的高温烧结工艺,降低了能源消耗。

(2)多层结构:LTCC技术可以制作多层结构的封装材料,每一层都可
以设计电路线路和电器元件的连接点。

(3)绝缘性能:LTCC材料具有良好的绝缘性能,可以避免电路线路之
间的干扰,提高电路的可靠性。

(4)低介电损耗:LTCC材料的介电损耗较低,可以在高频电路中保持
较高的信号传输质量。

(5)高温稳定性:LTCC材料在高温条件下具有良好的稳定性,可以应
用于高温环境下的电子封装。

2.应用:
(1)射频模块:由于LTCC材料具有较好的高频性能,能够在高频范围
内传输信号,因此应用于射频模块的制作中,如天线模块、射频滤波器等。

(2)传感器:LTCC材料具有高温稳定性和良好的绝缘性能,适用于制
作各种传感器,如温度传感器、湿度传感器等。

(3)多层电路板:由于LTCC技术可以制作多层结构,可以用来制作多
层电路板,实现高密度的线路连接。

(4)微波封装:由于LTCC材料在高温下具有良好的稳定性和低介电损
耗的特点,可以应用于微波封装中,如滤波器、功率放大器等。

(5)模组封装:LTCC技术可以制作复杂的三维结构,可以用于模组封装,如无线通信模块、传感器模块等。

总之,低温共烧多层陶瓷(LTCC)技术以其低温烧结、多层结构、良好
的绝缘性能和高温稳定性等特点,被广泛应用于电子封装领域,为高性能、高密度的电子器件提供了一种可靠的封装材料。

低温共烧陶瓷流延技术研究

低温共烧陶瓷流延技术研究

低温共烧陶瓷流延技术研究篇一低温共烧陶瓷流延技术研究一、引言随着现代电子技术的飞速发展,对电子材料的要求也日益提高。

其中,低温共烧陶瓷(LTCC)技术作为一种先进的电子封装技术,因其独特的优势而备受关注。

LTCC技术能够在较低的温度下实现多层陶瓷的共烧,从而有效地提高电子设备的集成度和性能。

而流延技术作为LTCC制备过程中的关键环节,对陶瓷膜片的成型和质量起着至关重要的作用。

因此,本文旨在深入研究低温共烧陶瓷流延技术,以期为LTCC技术的发展和应用提供有益的参考。

二、低温共烧陶瓷技术概述低温共烧陶瓷(LTCC)技术是一种将多层陶瓷材料在较低温度下共同烧结的先进电子封装技术。

该技术具有多层结构、高集成度、优良的电气性能、热稳定性和机械强度等特点,被广泛应用于无线通信、汽车电子、航空航天等领域。

在LTCC技术的制备过程中,流延技术是制备高质量陶瓷膜片的关键环节之一。

通过流延技术,可以获得厚度均匀、表面平整的陶瓷膜片,为后续的打孔、填孔、印刷等工艺提供良好的基础。

三、流延技术原理及设备流延技术是一种将陶瓷浆料通过刮刀或滚筒在基带上形成均匀湿膜,再经过干燥、烧结等工艺制备成陶瓷膜片的方法。

其原理是将陶瓷粉体、粘结剂、溶剂等按一定比例混合制成具有一定流动性的浆料,然后通过刮刀或滚筒将浆料均匀地涂覆在基带上。

在涂覆过程中,刮刀或滚筒的线速度、角度、压力等参数对湿膜的厚度和均匀性有着重要影响。

此外,基带的材质和表面粗糙度也会对湿膜的质量产生影响。

在流延技术的实施过程中,需要使用到的主要设备包括:流延机、干燥设备、烧结设备等。

其中,流延机是实现浆料涂覆的关键设备,其性能直接影响到湿膜的质量和产量。

干燥设备用于将湿膜中的溶剂去除,使膜片达到一定的干燥程度,以便进行后续的打孔、填孔等工艺。

烧结设备则是将干燥后的膜片在高温下进行烧结,使其形成致密的陶瓷结构。

四、流延技术在LTCC制备中的应用在LTCC技术的制备过程中,流延技术被广泛应用于陶瓷膜片的制备。

LTCC低温共烧陶瓷

LTCC低温共烧陶瓷

LTCC低温共烧陶瓷
图文并茂
一、介绍
LTCC(Low Temperature Cofired Ceramics)低温共烧陶瓷是用来制
作复合电子结构的多层陶瓷封装技术,它采用湿法烧结技术,并使用低温
共烧聚合物粘合剂烧结,其产品可以实现紧凑的封装和高密度的整体结构。

LTCC技术可以将多种表面安装元件的布局和多层电子结构结合在一起,并通过低温烧结技术实现半导体封装。

LTCC技术是一种可靠的高密
度半导体封装技术,它不仅可以提高组件的密度,而且还可以实现高精度、高密度的电路封装。

二、优点
1、技术优势:LTCC技术采用低温共烧技术,降低了封装的温度,减
少了元件的损伤,大大增强了产品的可靠性;
2、紧凑封装:LTCC封装可以做到紧凑,结构设计灵活,体积小,可
以在一定空间内实现多层电路封装;
3、低噪音:LTCC封装的产品具有低噪音特性,可以有效抑制信号的
失真,提高产品的可靠性;
4、高精度:LTCC采用紫外可见光烧结技术,精度可达几十微米,适
用于精密的电子组件封装;
5、耐高温:LTCC材料具有良好的耐高温特性,可以达到200-300℃,适用于高温环境。

三、缺点
1、工艺复杂:LTCC封装技术的工艺复杂,需要操作多层材料,工作效率低,生产周期长;
2、投资。

低温共烧陶瓷 LTCC工艺的技术及发展

低温共烧陶瓷 LTCC工艺的技术及发展

低温共烧陶瓷 LTCC工艺的技术及发展作者:陕西国防工艺职业技术学院电子信息学院西安市户县 710300摘要:低温共烧陶瓷( L TCC) 技术是近年发展起来的令人瞩目的整合组件技术,已经成为无源集成的主流技术,成为无源元件领域的发展方向和新的元件产业的经济增长点。

叙述了低温共烧陶瓷技术(LTCC) N制备工艺以及未来应用前景。

关键词:低温共烧陶瓷; LTCC工艺;基板引言:低温共烧陶瓷 ( Low— Temperatue cofired ceramics ,LTCC ) 技术,就是将低温烧结陶瓷粉经过流延制成厚度精确而且致密的生瓷带,作为电路基板材料,在生瓷带上打孔、微孔填充、精密导体浆料印刷、叠片以及层压等工艺制出所需要的电路图形,并将多个无源元件埋入其中,然后叠压在一起,在900℃下烧结,制成三维电路网络的无源集成组件,也可制成内置无源元件的三维电路基板,在其表面可以贴装 I C和有源器件,制成无源/有源集成的功能模块。

随着微电子信息技术的迅猛发展,电子整机在小型化、便携式、多功能、数字化及高可靠性、高性能方面的需求,对元器件的小型化、集成化以至模块化要求愈来愈迫切。

LTCC是 1982年由休斯公司开发的新型材料技术。

它采用厚膜材料,根据预先设计的结构,将电极材料、基板、电子器件等一次性烧成,是一种用于实现高集成度、高性能的电子封装技术。

LTCC技术集中了厚膜技术和高温共烧陶瓷技术 ( High Temp eraure Co — fired Ceramic HTCC ) 的优点,有更广阔的应用前景。

目前, LTCC 普遍应用于多层芯片线路模块化设计中,它除了在成本和集成封装方面的优势外,在布线线宽和线间距、低阻抗金属化、设计的多样性及优良的高频性能等方面有更广阔的发展前景。

1 LTCC工艺技术以来料为Dupont pt 951 生瓷片做实验,环境温度(20 ~5 ) ℃,湿度40 %~6 5 %,流程工艺如图 1 所示。

LTCC技术工艺流程

LTCC技术工艺流程

LTCC技术工艺流程LTCC (低温共烧陶瓷)是一种用于制造电子设备的先进技术。

LTCC 技术通过在低温下共烧具有导电和绝缘性能的陶瓷材料,形成多层结构,以实现高性能的电子器件。

以下是LTCC技术工艺流程的简要描述。

1. 材料准备:首先,需要准备陶瓷材料。

这些陶瓷通常由氧化铝、氧化铝和氧化铝玻璃陶瓷等组成。

这些材料需要粉碎和混合,以确保整体材料的均一性。

2. 成型:接下来,材料需要被成型成所需的形状。

一种常见的方法是采用模具将混合的陶瓷材料压制成板状。

这些板可以有不同的尺寸和形状,以满足设备的要求。

3. 绿体准备:被压制成板状的陶瓷材料被成为绿体。

绿体需要被放置在蓄热室中,以去除湿度并使其变硬。

4. 成型与打印:在绿体上,需要进行成型和打印来形成所需的线路和零部件。

这可以通过多种方法实现,如印刷、拉丝、喷涂、电浆切割等。

5. 退火:为了消除材料内部的应力,需要进行退火处理。

在加热的过程中,材料的内部结构被改变,使其更加稳定和坚固。

6. 粘接:多层绿体需要被粘接在一起,以构成完整的器件结构。

常用的粘接方法有粘合剂和烧结。

7. 加工:一旦绿体被粘接在一起,需要进行切割、研磨、钻孔等加工工艺,以得到所需的尺寸和形状。

8. 导电层:为了实现电子器件的导电性能,需要在器件表面涂覆一层导电膜。

这可以通过印刷或蒸镀等技术实现。

9. 电子器件的组装:整个LTCC结构可以与其他电子元件进行组装,如晶体管、电容器、电阻器等。

这些元件可以通过焊接或粘接等方法与LTCC结构连接起来。

10. 测试:最后,完成的LTCC器件需要经过严格的测试以确保其性能符合规格要求。

测试可能包括电阻、电容、线路连通性等方面的检测。

总结:LTCC技术通过低温共烧陶瓷材料,实现了多层结构和高性能的电子器件的制造。

工艺流程包括材料准备、成型、绿体准备、成型与打印、退火、粘接、加工、导电层、电子器件的组装和测试等多个环节。

这些步骤的顺序和精确性对于制造高质量的LTCC器件至关重要。

LTCC技术综述11LTCC概述111LTCC性能特点低温共烧

LTCC技术综述11LTCC概述111LTCC性能特点低温共烧

第一部分LTCC技术综述1.1 LTCC概述1.1.1 LTCC性能特点低温共烧陶瓷(Low Temperature Co-fired Ceramics,LTCC)是1982年由美国休斯公司开发的新型材料技术。

它采用低温烧结陶瓷粉料(800℃~900℃),根据预先设计的结构,通过流延工艺将陶瓷浆料制成厚度精确且致密的生瓷带,在生瓷带上利用激光打孔、微孔注浆、精密导体浆料印刷等工艺形成金属化布线和通孔金属化制成所需要的电路图形,然后将电极材料(Au、Ag、Ag/Pd和Cu)、基板、电子器件(如低容值电容、电阻、滤波器、阻抗转换器、耦合器等)等叠片后,在1000℃以下一次性烧成多层互连三维电路基板,在其表面可以贴装IC 和有源器件,制成无源/有源集成的功能模块。

是一种用于实现高集成度、高性能的电子封装技术[1-4]。

传统基板材料如Al2O3、SiC等和高温烧结陶瓷HTCC烧结技术,不仅烧结温度高(>1500℃,只能与高熔点、高电阻的金属Mo、W等共烧),而且不利于降低生产成本。

而低温共烧陶瓷LTCC技术,其低烧结温度可使金属良导体Cu、Ag等同生坯片共烧,提高厚膜电路的导电性能[5]。

因LTCC多层基板技术,能将部分无源元件集成到基板中,有利于系统的小型化,提高了电路的组装密度和系统的可靠性。

与其它集成技术相比,LTCC具有以下几个特点:(1)多层互连,提高了模块可靠性,减少了体积;内埋无源元件,提高电路的组装密度;一次烧结成型,印制精度高,多层基板生瓷带可进行逐步检查,有利于生产效率提高,降低成本,适应批量生产。

(2)LTCC基板材料,介电常数较小(一般ε≤10),有非常优良的高频特性。

(3)适应大电流及耐高温要求,比普通PCB电路基板具有优良的热传导性。

(4)具有较好的温度特性,如较小的热膨胀系数(CTE),较小的共振频率温度系数(η),是多芯片组装MCM首选多层基板,可以制做多达几十层电路基板。

低温共烧多层陶瓷(LTCC)技术特点与应用

低温共烧多层陶瓷(LTCC)技术特点与应用

低温共烧多层陶瓷(LTCC)技术特点与应用什么是低温共烧多层陶瓷(LTCC)技术低温共烧多层陶瓷(Low Temperature Co-fired Ceramics,简称LTCC)是一种多层陶瓷电子制造技术,利用多种陶瓷材料加上陶瓷压块工艺及精密印刷工艺,制造出三维结构的电子器件。

通常情况下,制造出的器件包括滤波器、天线、功分器等。

LTCC技术特点1. 低温加工LTCC技术最显著的特点就是低温加工。

相对于传统的陶瓷加工工艺,LTCC技术在加热工艺上,降低了材料烧结温度。

一方面可以避免因高温引起的压块变形,另一方面可以增加烧结的材料种类,使制造出来的多层陶瓷具有更细致的复杂结构。

2. 极好的高频特性LTCC技术的另一个特点就是其极好的高频特性。

由于使用多种陶瓷材料,并在制造的时候使用了精密印刷技术,所以制造出来的器件具有微小、高精度的电线结构,从而保证器件的散热性能。

因此,LTCC器件在高频电路中的应用越来越普遍。

3. 可实现三维结构LTCC技术制造出来的器件不仅可以使用二维板材制造,还可以实现三维结构,提高了器件性能,扩大了器件应用范围。

4. 耐高温性除了具有很好的高频特性,由于使用了多种陶瓷材料,所以LTCC器件具有更高的耐高温性能。

LTCC技术的应用1. 无线通讯领域LTCC技术可以制造出一些在无线通讯领域中必不可少的器件,比如天线和滤波器等,这些器件在高温环境下仍能保持稳定的性能。

2. 汽车电子领域LTCC技术常被应用于汽车电子领域的压力、流量、温度传感器、发动机管理、驾驶辅助系统等方面。

其中, LTCC技术制造的传感器具有优异的高温性能,稳定性和可靠性。

3. 医疗器械领域LTCC技术可以制造出高精度的医疗器械,如血糖测量器、医用颗粒计量等等,这些器械具有微小、精密、高精度、高可靠性等特点,可以帮助医疗领域更好地实现无损诊断和治疗。

结论总体来说,低温共烧多层陶瓷(LTCC)技术具有低温加工、极好的高频特性、实现三维结构和耐高温等特点。

ltcc关键工艺技术

ltcc关键工艺技术

ltcc关键工艺技术LTCC是低温共烧陶瓷(Low Temperature Co-fired Ceramics)的英文缩写,是一种先进的陶瓷封装技术。

LTCC关键工艺技术是指在LTCC封装过程中的关键步骤和技术,主要包括材料选择、压制成型、烧结和金属化等过程。

首先,材料选择是LTCC关键工艺技术的第一步。

LTCC封装材料一般由陶瓷粉料、有机物料和溶剂等组成。

其中,陶瓷粉料是LTCC的主要成分,其选择需要考虑材料的性能和工艺要求。

常用的陶瓷材料有氧化铝、氧化铝钛、氧化铝锆等。

此外,有机物料的选择也很重要,它可以使陶瓷粉料具有良好的可塑性和成型性。

其次,压制成型是LTCC关键工艺技术的第二步。

压制成型可以使用传统的注塑成型或者新型的模板压制成型等方法。

在压制成型过程中,需要控制好压力和温度等参数,以保证成型件的尺寸和形状的准确性。

第三,烧结是LTCC关键工艺技术的重要环节。

烧结是将压制成型的陶瓷件在高温环境中进行加热,使其形成致密的陶瓷结构。

烧结过程需要控制好温度和持续时间等参数,以确保陶瓷件的密度和机械强度。

此外,采用合适的气氛也是烧结过程的关键,常用的烧结气氛有氮气、氢气等。

最后,金属化是LTCC关键工艺技术的最后一步。

金属化是在烧结完成后,通过涂布或打印等方式将导电金属层覆盖在陶瓷表面上,以实现电气连接。

金属化过程中,需要控制好金属膜的粘附性和导电性,以及金属与陶瓷的界面性能。

总之,LTCC关键工艺技术是实现LTCC封装的基础和保障。

通过合理的材料选择、精确的压制成型、良好的烧结和可靠的金属化等工艺技术,可以制备出高质量的LTCC封装器件,广泛应用于电子、通信、汽车等领域。

随着科技的进步和需求的增长,LTCC关键工艺技术也在不断发展和创新,为封装工艺的提升和产品的改良提供了重要支持。

低温共烧技术介绍

低温共烧技术介绍

低温共烧技术介绍061110232 王炳文三、低温共烧技术概念所谓低温共烧陶瓷工(Low-temperature cofired ceramics,LTCC)技术,就是将低温烧结陶瓷粉制成厚度精确而且致密的生瓷带,作为电路基板材料,在生瓷带上利用激光打孔、微孔注浆、精密导体浆料印刷等工艺制出所需要的电路图形,并将多个无源元件埋入其中,然后叠压在一起,在900℃烧结,制成三维电路网络的无源集成组件,也可制成内置无源元件的三维电路基板,在其表面可以贴装IC和有源器件,制成无源/有源集成的功能模块。

总之,利用这种技术可以成功地制造出各种高技术LTCC产品。

二、生产制备一般的我们可以把LTCC生产过程概括如下:四、流延片的制备:采用不同的配比,可以制备出各种性能的流延片生带。

五、流延片的下料、打孔。

六、通孔填充:有厚膜印刷、丝网印刷和导体生片等填充法。

七、导电介质的印刷:共烧导电体的印刷可采用传统的厚膜丝网印刷和计算机直接描绘。

八、叠层、热压及切片。

九、排胶、共烧。

十、镀端电极,组装等。

图为经典LTCC生产流线上图为典型的LTCC基板示意图,由此可知,采用LTCC工艺制作的基板具有可实现IC芯片封装、内埋置无源元件及高密度电路组装的功能。

十一、LTCC技术的优势1、在介电损耗方面,RF4要比LTCC来的高,而虽然PTFE的损耗较低,但绝缘性却不如LTCC。

所以LTCC比大多数有机基板材料提供了更好地控制能力,在高频性能、尺寸和成本方面,比较之下LTCC比其它基板更为出色。

2、利用LTCC技术开发的被动元件和模块具有许多优点,包括了,陶瓷材料具有高频、高Q特性;3、LTCC技术使用电导率高的金属材料作为导体材料,有利于提高电路系统的质量;4、可适应大电流及耐高温特性要求,并具备比普通PCB电路基板优良的热传导性;5、可将被动元件嵌入多层电路基板中,有利于提高电路的组装密度;6、具有较好的温度特性,如较小的热膨胀系数、较小的介电常数温度系数,可以制作层数极高的电路基板,可以制作线宽小于50μm的细线结构。

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1 LTCC产业概况ﻫ
随着微电子信息技术的迅猛发展,电子整机在小型化、便携式、多功能、数字化及高可靠性、高性能方面的需求,对元器件的小型化、集成化以至模块化要求愈来愈迫切。

有人曾夸张地预言,以后的电子工业将简化为装配工业——把各种功能模块组装在一起即可。

低温共烧陶瓷技术(low temperature cofired ceramic LTCC)是近年来兴起的一种相当令人瞩目的多学科交叉的整合组件技术,以其优异的电子、机械、热力特性已成为未来电子元件集成化、模组化的首选方式,广泛用于基板、封装及微波器件等领域。

TEK的调查资料显示,2004~2007年间全球LTCC市场产值呈现快速成长趋势。

表1给出过去几年全球LTCC市场产值增长情况。


表1 过去几年全球LTCC市场产值增长情况ﻫ
LTCC技术最早由美国开始发展,初期应用于军用产品,后来欧洲厂商将其引入车用市
场,而后再由日本厂商将其应用于资讯产品中。

目前,LTCC材料在日本、美国等发达国家已
进入产业化、系列化和可进行材料设计的阶段[1]。

在全球LTCC市场占有率九大厂商之中,
日商有Murata,Kyocera,TDK和Taiyo Yuden;美商有CTS,欧洲商有Bosc
h, CMAC,Epcos及Sorep-Erulec等。

国外厂商由于投入已久,在产品质量,专利技
术、材料掌控及规格主导权等均占有领先优势。

图1给出全球LTCC厂商市场占有情况。

而国内LTCC产品的开发比国外发达国家至少落后五年,拥有自主知识产权的材料体系和器
件几乎是空白。

国内目前LTCC陶瓷材料基本有两个来源:一是购买国外陶瓷生带;二是LT
CC生产厂从陶瓷材料到生带自己开发。

随着未来LTCC制品市场中运用LTCC制作的组
件数目逐渐被LTCC模块与基板所取代,终端产品产能过剩,价格和成本竞争日趋激烈,元
器件的国产化必将提上议事日程,这为国内LTCC产品的发展提供了良好的市场契机。


国在LTCC市场占据一定份额的是叠层式电感器和电容器生磁带。

目前,清华大学材料系、
上海硅酸盐研究所等单位正在实验室开发LTCC用陶瓷粉料,但还尚未到批量生产的程度。

南玻电子公司正在用进口粉料,开发出介电常数为9.1、18.0和37.4的三种生带,厚度
从10µm到100µm,生带厚度系列化,为不同设计、不同工作频率的LTCC产品的开发
奠定了基础。

国内现在急需开发出系列化的、拥有自主知识产权的LTCC 瓷粉料,并专业化生产LTCC用陶瓷生带系列,为LTCC产业的开发奠定基础。

2 LTCC的技术特点
ﻫLTCC技术是于1982年休斯公司开发的新型材料技术,是将低温烧结陶瓷粉制成厚度精确而且致密的生瓷带,在生瓷带上利用激光打孔、微孔注浆、精密导体浆料印刷等工艺制出所需要的电路图形,并将多个被动组件(如低容值电容、电阻、滤波器、阻抗转换器、耦合器等)埋入多层陶瓷基板中,然后叠压在一起,内外电极可分别使用银、铜、金等金属,在900℃下烧结,制成三维空间互不干扰的高密度电路,也可制成内置无源元件的三维电路基板,在其表面可以贴装IC和有源器件,制成无源/有源集成的功能模块,可进一步将电路小
ﻫLTCC工艺流程见图1。

图2为典型化与高密度化,特别适合用于高频通讯用组件。


型的LTCC基板示意图,由此可知,采用LTCC工艺制作的基板具有可实现IC芯片封装、内埋置无源元件及高密度电路组装的功能。

图1 LTCC工艺流程图
图 2 LTCC基板
与其它集成技术相比,LTCC具有以下特点[2-5]: 1)根据配料的不同,LTCC材料的介电常数可以在很大范围内变动,增加了电路设计的灵活性;2)陶瓷材料具有优良的高频、高Q 特性和高速传输特性;3)使用高电导率的金属材料作为导体材料,有利于提高电路系统的品
质因数;4)制作层数很高的电路基板,易于形成多种结构的空腔,内埋置元器件,免除了封装组件的成本,减少连接芯片导体的长度与接点数,并可制作线宽小于50µm的细线结构电路,实现更多布线层数,能集成的元件种类多,参量范围大,易于实现多功能化和提高组装密度;
5)可适应大电流及耐高温特性要求,具有良好的温度特性,如较小的热膨胀系数,较小的介电常数稳定系数。

LTCC基板材料的热导率是有机叠层板的20倍,故可简化热设计,明显提高电路的寿命和可靠性;6)与薄膜多层布线技术具有良好的兼容性,二者结合可实现更高组装密度和更好性能的混合多层基板和混合型多芯片组件;7)易于实现多层布线与封装一体化结构,进一步减小体积和重量,提高可靠性、耐高温、高湿、冲振,可以应用于恶劣环境;8)非连续式的生产工艺,便于基板烧成前对每一层布线和互连通孔进行质量检查,有利于提高多层基板的成品率和质量,缩短生产周期,降低成本。

表1给出集成电路中常用的几种基板性能比较。


LTCC技术由于自身具有的独特优点,在军事、航天、航空、电子、计算机、汽车、医疗等领域均获得了越来越广泛的应用
LTCC材料研究中的另一个热点问题就是共烧材料的匹配性。

将不同介质层(电容、电阻、电感,导体等)共烧时,要控制不同界面间的反应和界面扩散,使各介质层的共烧匹配性良好,界面层间在致密化速率、烧结收缩率及热膨胀速率等方面尽量达到一致,减少层裂、翘曲和裂纹等缺陷的产生。

一般说了,利用LTCC技术的陶瓷材料收缩率大约为15~20%左右。

若两者烧结无法匹配或兼容,烧结之后将会出现界面层分裂的现象;如果两种材料发生高温反应,其生成的反应层又将影响原来各自材料的特性。

对于不同介电常数和组成的两种材料的共烧匹配性以及如何减少相互间的反应活性等是研究的重点。

在LTCC应用于高性能系统时,对收缩行为的严格控制关键在于对LTCC共烧体系烧结收缩率的控制,LTCC共烧体系沿X-Y方向的收缩一般为12%~16%。

借助无压烧结或助压烧结技术,获得沿X-Y方向零收缩率的材料[17,18]烧结时,在LTCC共烧层的顶部和下部放置于压片作为收缩率控制层。

借助控制层与多层之间一定的粘结作用及控制层严格的收缩率,限制了LTCC结构沿X、Y方向的收缩行
为。

为了补充基板沿X-Y方向的收缩损失,基板将沿Z方向进行收缩补偿。

结果,LTCC结构在X、Y方向上的尺寸变化只有0.1%左右,从而保证了烧结后,布线及孔的位置和精度,保证了器件的质量。

ﻫﻫDupont公司研发的控制收缩烧结技术已应用于60%LTCC基板和30%的LTCC电路产品中。

图4为Dupont公司的控制收缩技术,表3给出相应的性能。

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