电阻真空计测量线路的三种模式

书山有路勤为径，学海无涯苦作舟

电阻真空计测量线路的三种模式

实用的电阻真空计测量线路常采用惠氏电桥或文氏电桥。根据测量热

丝电阻变化的方法不同，可分为三种模式：

(1)定电压法：保持电桥两端电压不变，观察失平衡电流与压力的关系。

(2)定电流法：保持热丝电流(或电桥电流)不变，观察失平衡电压与压力

的关系。

(3)定电阻法(即定温度法)：在任何压力下都用改变电桥电压的方法，保

持电桥于平衡状态。电桥电压与压力的关系即为校准曲线。在此方法中，热丝

电阻及其温度基本为定值，具有热辐射及边杆导热均为恒定的优点。

在以上三种模式中，常用的是定电压法和定温度法。

定压型电阻真空计的测量线路原理如当规管内的压力变化时，由于被气

体传导走的热量不同于开始时的平衡状态，因而热丝的温度发生变化，引起其

电阻值改变，电桥失去平衡。压力的变化由指示仪表CB 读出，CB 指示的电流值与压力的关系，通过校准曲线给出。规管热丝用半径r1 =0.01mm 的钨丝绕制成圆柱螺旋形，其室温下电阻Rw =200Ω。由于各种气体的导热系数不同，因此，对不同种类气体的校准曲线是不同的。

定压型测量线路的优点是结构简单；不足之处是电桥电压是固定的，故

在压力高时由于气体导热快，热丝温度降低，导致规管灵敏度下降，测量高于100Pa 的压力就甚为困难。实际上，定电压型测量线路的测量上限并未达到规管的理论值(即λ≈r1 所对应的压力)。真空技术网(chvacuum/)认为为了保证高压力时有较高的灵敏度，必须使热丝此时处于足够高的温度，然而在

压力变低时它的温度将增高到有可能使热丝氧化或烧毁的程度。