洁净室检测大全

洁净室检测大全

洁净室检测之洁净度检测

一、洁净室洁净度说明

洁净度检测是无尘室性能测试的核心，气流测试、压力测试，与泄漏测试，都只在确认无尘室的洁净度不受外来影响，因此洁净度测试都放在前述几项测试都通过之后。洁净度测试完毕，与落尘有关的性能因素就都测试完毕，其它测试对洁净度影响不大，或是属于其它环境测试。

二、洁净室洁净度检测仪器

洁净度检测使用微粒计数器，仪器须经校正合格且仍在有效期限内，交附报告时须附合格之校正文件。微粒计数器有不同规格，最常见的是流量 1cfm ，最小粒径可测到 0.3mm 或是 0.1mm ，单位多是立方英呎。至于应使用何种设备，要依业主的规范而定。一般在产业界，多依以下方式选择微粒计数器。

Class 1000 或更高： 0.5μm

Class 100 ： 0.3μm ，0.5um

Class 1 到 Class 10 ：0.1μm

若是业主要求的粒径范围超过单一微粒计数器的范围，则应该使用两部微粒计数器。目前市面上少见立方公尺的微粒计数器，因此若是无尘室的洁净度是以 ISO 为基准，则要把结果作换算。单位换算，不影响上限的计算程序。

三、洁净室洁净度检测步骤：

(1) 确定空调系统之测试调整与平衡已完成，滤网之风速及泄漏测试均已完成，并已修换破损部分。

(2) 确认测试位置与测试点数。

(3) 取样时间：每点的取样时间依照等级与粒径不同而异，若取样时间小于一分钟，则以一分钟为准。

(4) 测试位置应均匀分布在无尘室内，避免在产生大量粒子之附近，且将检测仪器以适当之架台支撑，不可以手持支撑。

(5) 测量点数以公式计算（与 209E 相同）。

四、洁净室洁净度检测验收标准：

洁净度的验收基准有二，首先是每点的微粒测量平均值必须低于规定值。洁净

度的第二个验收基准就是，任一隔间若需使用信赖度上限分析，则该分析值也必须小于规定值。

洁净室检测之风速及平衡性测试

一、测试目的

气流是控制洁净度与温湿度的最主要因素，它对噪音也有一些影响。因此风速测量，都是放在无尘室测试的第一步。风速测量的目的，是确认滤网送出的气流满足设计规范，其次是确认气流的均匀度。在某些场合可能因现场的限制，室内换气量还必须用风速乘以出口面积来换算。

单一流向型无尘室，很多都是设计成垂直层流，因此风速均匀度非常重要，只有均匀的垂直层流，才能有效排除微粒污染。非单一流向型无尘室，由于微粒控制的观念是稀释，不是立即排除，一般而言其换气量远比风速重要。但是需注明是滤网风速测量或是无尘室室内风速测量。

二、使用仪器

洁净室里面使用的 HEPA/ULPA 滤网，其送出气流的速度多半都控制在 0.5m/s 以内，因此所使用的风速计必须是低速型。滤网风速测量可使用单点式风速计如电子式压力计配合皮氏管、热线式风速计。也可以使用多点式风速计如 Shortridge Velgrid 16 点风速计。轮叶式风速计因使用范围不同，通常不在无尘室内使用。热线式风速计（ Hot Wire ）虽然高频响应良好，但是低速时〈 0.5m/s 以下〉准确性很低，因此不很适用，一般热反应风速计常用的是 Thermeister 式风速计。转轮式风速计由于本身重量问题，也不适用低速。检

验仪器须经校正合格，且仍在有效期限内。

三、测试步骤

(1) 在图面上记录滤网尺寸、数量并编号。 (2) 取样点位于滤网下方 75-150mm 处。 (3) 每一个滤网下，若是使用单点式风速计，则每 1 平方英尺取一点；若是使用多点式风速计，则每 4 平方英尺取一点。 (4) 每测量点必须取 5 秒的平均。 (5) 依验收标准分析所有风速，计算平均值、标准差、相对标准差，并标明不合格测试点。 (6) 记录所有原始数值，以及分析后的数值。重要的是在非单一流向型无尘室测试时，特别注意取样时风速计不可受到干扰，以免影响准确度。

四、数据分析

风速测量很简单，但是均匀度必须由数据分析来判定。均匀度是由相对标准差来代表，其计算步骤如下。

1. 平均值：

2. 标准差

洁净室检测之风量及平衡性测试

一、说明

风量测量的目的通常是用来计算换气量，一般是在非单一流向型无尘室，或是测量空调系统中各式各样的出风口、回风口、排气口等的风量时使用。只有在无法使用气罩的场合（气罩体积较大，有时会受限制），才能使用风速乘以面积等于风量的方式，用风速来换算风量。使用风速换算风量时，须注意出风口之有效面积以及修正系数的取得。在回风口和排气口，使用换算法的准确度非常差，应尽量避免。同样气罩通常可以测量送风与回风，正值代表送风，负值代表回风或排气。须注意的是反向测量时，其测量范围通常会降低。

二、测试仪器

风量测量应当使用气罩（ Flow Measuring Hood ），气罩的测量范围是 15~2500 cfm ，精确度要求为读数的±3% 。由于气罩本身会产生压损，因此其形状很重要，应尽量使用原厂气罩。若有必要自行制造罩子，应注意气流顺畅并且做详细比对。气罩的校正非常重要，必须主机连同罩子一起校正，才能得到准确校正值。检验时必须使用校正合格且仍在有效期限的仪器，于正式检测前及缴交报告时均须检附合格之校正文件。

三、测试步骤：

(1) 在图面上记录滤网尺寸、数量并编号。 (2) 使用恰当尺寸气罩将出风口完全罩住，然后测量与计录。 (3) 依验收标准分析所有风量，计算平均值、标准差、相对标准差，并标明不合格测试点。 (4) 记录所有原始数值，以及分析后的数值。

四、数据分析：

风量均匀度的计算与风速向同，都是由相对标准差来代表，其计算步骤如下。1. 平均值：将所有风测量量值取算数平均 2. 标准差：计算所有风测量量值的标准差

洁净室检测之压差测试

一、说明

压力测量的目的是确认无尘室空调系统的压力设定。无尘室内维持相当的正压以维持洁净度，这已经是个 common sense ，在 209 的旧版本中，正压有建议值，但是后来就取消了。目前常见的正压值约是 10 到 25 Pascal 之间。压力测量的时机，应该是在风速、风量、平行度等与气流直接相关的测试结束之后立即测量，尤其不可在洁净度测量完毕之后才测量压力。因为如果压力不对，要立刻调整以免影响洁净度。测量时，所有门窗都必须关上，所有的风扇也必须维持正常运转。

二、测试仪器

压力测量可使用倾斜管压力计，指针式压力计，或是电子式压力计，总之只要测量范围与精确度满足要求即可。压力计之精确度要求为读数的±5% ，测量范围式压力设计值而定，一般 0~5mm Aq （ 0–50 Pascal ）即可涵盖室内外压力差之测量。仪器需经校正合格且仍在有效期限内之才可以使用，检测前及交附报告时均须检附合格之校正文件。

三、测试步骤

1. 必须在风速、风量、气流等测试完成后，才能测试压力，并且排气与 MAU 要