高分辨率 高精度角度编码器

高分辨率，高精度角度编码器

机械制造业作为基础工业，其发展在国民经济中有着举足轻重的作用，而精密测量技术是它发展的基础和先决条件。测量的精度和效率在一定程度上决定了制造业乃至技术发展的水平。元素周期表的发明者门捷列夫说过：“从开始有测量的时候起，才开始有科学。没有测量，精密科学就没有意义”。新的测量方法标志着真正的进步，测试技术的水平是衡量一个国家科学技术水平的重要标志之一。仅就几何测量仪器的发展来看，在19世纪中叶以前，机械制造业中的主要测量工具是钢板刻线尺，测量精度为1mm。机械式测量器具，如游标卡尺和千分尺的出现，将测量精度提高到了0.01mm。量块出现以后，采用量块作为长度基准，大大推动了微差测量法的发展，将测量精度提高到了微米级。进入20世纪30年代、40年代以后，出现的电动量仪、光学量仪和气动量仪，以及诞生于近20年的激光干涉仪，隧道扫描显微镜，除继续使用机械式测量器具以外，还逐渐采用了基于几何光学与物理光学原理的光学量仪，这都极大的促进了当时技术的发展，为几何量的测量开辟了新的。

随着科学技术和制造业的发展，各个领域对测量微小尺寸的要求越来越迫切，传统的测量技术和设备难以在精度、效率及自动化程度方面完全满足要求，甚至根本无法实现。显然，融合当今的最新科学理论和技术成果，开发高效率的智能化精密测量系统有着重要的理论意义和实用价值。

角度是一个重要的计量单位，角度测量是计量技术的重要组成部分。不仅有以检测角度为目的的角度检测，还有为了检测的方便和可靠，将其他物理量也转换成角度量来进行检测的角位移检测。生产和科学的不断发展使得角度测

量越来越广泛地应用在工业、科研等领域，技术水平和测量准确度也在不断提高。

角度测量技术按照测量原理可以分为三大类：机械式测角技术、电磁式测角技术和光学测角技术。机械式和光学测角技术的研究起步较早，技术也已经非常成熟。光学测角方法比一般的机械和电磁方法有更高的准确度，而且更容易实现细分和测试过程的自动化，但使用我公司研究新的电感式测角技术将精度提高至±3″。在高精度角度测试技术领域，各种新型的测角技术不断涌现，成为高精度测角技术的主流方向。随着电子计算机技术的蓬勃发展，使得以近代波动光学为基础的光电检测法得以实现自动化，这极大地扩充了角度测量的应用范围。按照被测角性质可以分为静态角度测量和动态角度测量两种。高精度角度测试技术在静态角度测试领域己经日趋成熟，各种测试理论和方法日益完善。然而，实现动态角度的高精度测量，是测角技术领域的一个难点，也因此成为国内外测角技术研究的一个热点。

国内外角度测量的研究现状

1 机械测角法

测角技术中研究最早的是机械式测角法，主要以多齿分度盘为代表，它是一种基于机械分度定位原理的圆度分度技术。最早的多齿分度盘的雏形出现在20世纪20年代，完整的圆分度器件是由美国Gate公司研制成功的，并于1960年获得该技术专利，其分度为士o．25”。前苏联考纳斯机床厂研制的YLUI-05型角度测量仪最小分度间隔为15”，测量误差不大于O．1”。由于多齿分度盘的齿数不能无限增加，因此细分受到限制，由此而出现了差动细分方法。原理上，差动

细分技术可以设计出更多层的多齿分度台，但是，由于在实际加工时，各层之间的同轴度难以保证，齿盘起落机构复杂等原因而难以实现。上世纪六、七十年代，我国多齿分度装置的研制工作普遍展开，中国计量科学研究院实验工厂研制的差动细分多齿分度盘，其任意角度间隔的分度误差不大于0．2”。陕西机械学院研制的弹性多齿差动分度台，其分度误差不大于0．17”。

2 电磁测角法

电磁测角法是最近几十年发展起来的测角技术，主要应用于角度的进一步细分，使分度和测量范围增大，提高仪器的分辨率。

电磁式测角技术以圆磁栅和感应同步器为代表，圆磁栅测角法是将圆磁栅连同被测件一起旋转，利用放磁头将磁栅上的记录信号拾取出来进行处理。按信号拾取的方式不同，放磁头可以分为静态磁头和动态磁头两种。静态时准确度往往难以提高。动态时降低了对录磁准确度的要求，可以获得较高的分度准确度。

感应同步器测角法是一种电磁感应位置检测元件，它是美国Farrand公司根据美国空军提出的要求而发明的，根据正弦、余弦两绕组的电压和相位进行比较，利用电磁感应将位移量转化成电信号，并以数字脉冲形式输出基准量。由于感应同步器在工作时可以多个节距同时起作用，具有“平均效应’’，因而具有较高的分度准确度。

无论是机械式还是电磁式测角法，它们的主要缺点大多为手工测量，不容易实现自动化，而且测量精度也受到机械加工精度的限制。

3光学测角法

光学测角方法历来以其极高的测量准确度受到人们的重视，光学测角法的应用也越来越广泛。目前，光学测角方法除众所周知的光学分度头法和多面棱体法外，常用的还有光学内反射法、激光干涉法、圆光栅法、环形激光法、光电轴角编码器法和光电自准直仪法等。这些方法大多可以应用于小角度的非接触测量中，并达到了很高的测量精度和灵敏度。

1．光学内反射法

内反射法角度测量技术就是利用全反射条件下入射光变化时反射率的变化

关系，通过反射率的变化来测量入射角的变化，由P．S．Huang等人提出来的，如图1．1所示。利用光线从光密媒质进入光疏媒质时，当入射角在临界角附近变化，反射率发生急剧变化的物理规律，通过反射率的变化来确定入射角度的变化。

用该方法制成的测角仪体积可以做得很小，因此特别适用于较小空间中小角度的在线测量，可以做成袖珍式测角仪，而且结构简单，成本低，但其测量范围也很小，因此只能用于小角度测量，3弧分范围内分辨率可以达到0．02弧秒。台湾的chin等人在此原理基础上，提出一种全内反射外差干涉测角法，将传感器的测角范围扩大到10度，最佳分辨率可达8×10-5度。

2．激光干涉法

激光干涉法大多是以迈克尔逊干涉仪作为基本原理，将角度的变化转换为长度的变化来进行测量，如图2．2所示。光源经过角椎棱镜反射得到的光路随着转角的变化而变化，干涉条纹也随之移动，测得条纹的移动量，即可获得转台的转角大小。这种技术已经发展的相当成熟，美国、日本、德国、俄罗斯等国家早已将激光干涉小角度测量技术作为小角度测量的国家基准，为了增强干涉仪抗环境干扰的能力，可以采用双频激光干涉测量法，用双频激光代替普通光