电子束

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电子束光刻的原理

电子束光刻的原理

电子束光刻的原理电子束光刻(Electron Beam Lithography,EBL)是一种先进的微纳米制造技术,主要用于半导体器件加工和微纳米结构的制作。

其原理是利用电子束在物质表面上进行精细控制,实现微观尺度结构的制作。

电子束光刻设备主要由电子枪、透镜系统、光刻胶涂布系统、扫描器、控制系统等部分组成。

电子束光刻的原理可以分为三个步骤:电子束发射、透镜系统聚焦和电子束束控制。

首先,电子枪产生高亮度的电子束。

电子枪由阴极、阳极和加速电压构成。

当阳极施加正电压时,电子从阴极中发射出来,并通过加速电压的作用获得足够的能量。

电子束的亮度取决于阴极的发射度和电场的聚焦能力。

其次,透镜系统用于聚焦电子束。

透镜系统通常由凸透镜和电磁透镜组成。

凸透镜通过折射和/或反射来聚焦电子束。

电磁透镜则通过通过在磁场中移动电子束来控制其轨迹,并通过电磁磁场的调节来改变其焦距。

通过透镜系统,电子束可以从毫米级聚焦到亚纳米级。

最后,电子束束控制用于将电子束沿指定轨迹精确地移动。

光刻原则是将电子束迅速扫过要制造形状的区域,通过在透镜系统和扫描器之间的电场和/或磁场作用下,加以偏折,以便在光刻胶上定义所需的结构。

束流的位置和形状可以通过透镜和扫描系统的精确控制来实现。

在实际应用中,为了提高电子束光刻的分辨率和制造效率,通常采取以下几种技术:1. 控制电子束的直径和形状:通过调节电子束在物质表面上的直径和形状,可以实现更精确的结构制作。

2. 利用反射镜系统提高聚焦效果:反射镜系统可使电子束在透镜系统之前或之后进行反射,从而提高聚焦效果。

3. 采用写入策略:根据结构的复杂性和制造要求,采用不同的写入策略,如投影模式、阵列模式等。

投影模式可以提高写入速度,而阵列模式可以同时制作多个相同结构。

4. 使用负光刻胶:由于电子束光刻的成像方式是高阈值区域映射为亮区,因此使用负光刻胶可以实现更好的分辨率和对比度。

总而言之,电子束光刻通过控制电子束的发射、聚焦和束控制,实现了微观尺度结构的制造。

电子束的实验报告

电子束的实验报告

电子束的实验报告电子束的实验报告引言在现代科技的发展中,电子束技术被广泛应用于各个领域,如电子显微镜、电子束刻蚀等。

本次实验旨在通过对电子束的研究和实验,探索其性质和应用。

一、电子束的产生原理电子束是通过电子枪产生的,电子枪由阴极、阳极和聚束系统组成。

在实验中,我们使用了热阴极电子枪。

当阴极受到加热时,电子从阴极表面解离,形成电子云。

然后,通过电场的作用,电子被加速到阳极,并经过聚束系统聚焦形成电子束。

二、电子束的性质1. 粒子性质电子束具有粒子性质,表现为在电磁场中受到偏转和聚焦的影响。

通过调节电子束的聚束系统,我们可以改变电子束的直径和形状,从而控制电子束的粒子性质。

2. 波动性质除了粒子性质,电子束还具有波动性质。

这一性质被广泛应用于电子显微镜中。

通过电子束的波动性质,我们可以观察到微观世界中的细节,如原子和分子的结构。

三、电子束在电子显微镜中的应用电子显微镜是利用电子束的波动性质观察微观结构的一种工具。

相比光学显微镜,电子显微镜具有更高的分辨率和放大倍数。

这使得我们能够观察到更小的细节,并对物质的组成和结构进行研究。

实验中,我们使用了透射电子显微镜(TEM)来观察样品的内部结构。

通过将样品放置在电子束的路径上,电子束与样品相互作用,产生散射和吸收。

通过收集和分析散射和吸收的电子,我们可以获得样品的显微图像,并了解其组成和结构。

四、电子束在电子束刻蚀中的应用除了在电子显微镜中的应用,电子束还被广泛应用于电子束刻蚀。

电子束刻蚀是一种高精度的材料加工技术,可以用于制作微电子器件和纳米结构。

在电子束刻蚀中,电子束被聚焦到非常细小的区域,通过控制电子束的位置和强度,可以在材料表面刻蚀出所需的结构。

这种刻蚀技术具有高精度和高分辨率的特点,广泛应用于微电子学和纳米技术领域。

结论通过本次实验,我们深入了解了电子束的产生原理、性质和应用。

电子束作为一种重要的工具和技术,对于科学研究和工程应用具有重要意义。

电子束实验

电子束实验

电子束实验引言电子束实验是一种用电子束对物质进行研究的实验方法。

电子束实验可以帮助我们了解物质的结构、性质及其相互作用。

本文将介绍电子束实验的原理、设备以及应用。

原理电子束实验基于电子的波粒二象性和它们与物质的相互作用。

电子既可以表现出波动性也可以表现出粒子性。

当电子束与物质相互作用时,其波动性和粒子性同时起作用。

电子束实验常用的原理包括电子散射、电子衍射和透射电子显微镜。

电子散射是一种通过测量电子束在物质中散射的方法来研究物质结构的实验技术。

根据散射角度和强度的变化,可以推断出物质内部的结构和性质。

电子衍射是一种通过将电子束通过晶体或其他周期性结构来测量衍射图案来研究物质结构的方法。

根据衍射图案中的峰的位置和强度,可以推断出物质的晶体结构和晶格参数。

透射电子显微镜是一种利用电子束被物质透射的原理来观察物质微观结构的仪器。

透射电子显微镜可以提供高分辨率的图像,并可以用于研究材料的晶体结构、化学组成和原子尺度的信息。

设备电子束实验需要使用特殊的设备来产生和探测电子束。

以下是常用的电子束实验设备:1.电子枪:用于产生高速电子束的装置。

电子枪通常由热阴极和聚焦系统组成。

2.加速器:用于将电子束加速到所需的能量。

加速器可以提供所需的能量和速度,使电子束具有足够的穿透力。

3.样品台:用来支撑和定位样品。

样品台可以调整样品的位置和角度,以便于测量。

4.探测器:用于探测电子束与物质相互作用产生的信号。

探测器可以测量电子散射、电子衍射或透射电子显微镜图像。

电子束实验在许多领域都有广泛的应用,包括材料科学、物理学、化学和生物学。

材料科学:电子束实验可以用于研究材料的晶体结构、缺陷和界面。

通过观察电子衍射图案和透射电子显微镜图像,可以了解材料的微观结构和性质,进而用于材料的设计和改进。

物理学:电子束实验在量子力学和固体物理学方面有重要的应用。

通过测量电子散射和电子衍射图案,可以验证量子力学理论,并研究材料的电子结构和能带结构。

电子束提纯及应用

电子束提纯及应用

电子束提纯及应用电子束提纯是一种重要的技术方法,可以用来提高材料的纯度和纳米级结构的精确性。

该技术在材料科学、化学、生物医学等领域都有广泛的应用。

下面将详细介绍电子束提纯的原理、方法和应用。

一、电子束提纯的原理电子束提纯是利用电子束的高浓度和高能量特性,将杂质和不纯物从材料中剥离或杀灭,从而提高材料的纯度。

其原理主要包括材料与电子束相互作用、电子束的扫描方式和材料的提纯过程。

1. 材料与电子束相互作用:当电子束与材料相互作用时,电子束的能量会被吸收或散射到材料中,导致材料的结构和性质发生变化。

通常,电子束的能量越高,对材料的作用越强,提纯效果越好。

2. 电子束的扫描方式:电子束的扫描方式决定了电子束在材料上的作用范围和精度。

常见的扫描方式包括单点扫描、线性扫描和区域扫描等。

通过合理选择扫描方式,可以实现对材料的局部提纯或全面提纯。

3. 材料的提纯过程:电子束提纯可以分为局部提纯和全面提纯两个阶段。

局部提纯是指针对材料中存在的污染物或杂质进行局部清除,以提高材料的局部纯度;全面提纯是指对整个材料进行全面清洁和提纯,以提高材料的整体纯度。

二、电子束提纯的方法电子束提纯的方法主要包括电子束烧结、电子束熔炼、电子束蒸发和电子束沉积等。

1. 电子束烧结:电子束烧结是指将散粉材料通过电子束的加热作用使其颗粒相互结合,形成致密的固体材料。

这种方法可以提高材料的致密度和结晶度,降低杂质和孔隙的存在,从而提高材料的纯度和力学性能。

2. 电子束熔炼:电子束熔炼是指利用电子束的高能量和高温作用,将材料加热至熔点以上,使其熔化并重新凝固成块状。

这种方法可以消除材料中的杂质和不均匀相,并提高材料的纯度和结晶度。

3. 电子束蒸发:电子束蒸发是利用电子束的高能量将材料加热至其蒸发温度,使其从固体转变为气体或蒸汽态,然后通过冷凝或沉积的方式收集纯净的材料。

这种方法可以有效去除材料中的杂质和不纯物,提高材料的纯度。

4. 电子束沉积:电子束沉积是利用电子束的高能量和精确控制能力,将材料沉积到基底或衬底上,形成纳米级超薄膜或纳米结构。

电子束实验实验报告

电子束实验实验报告

一、实验目的1. 了解示波管的结构和原理。

2. 研究电子束在电场和磁场中的偏转规律。

3. 掌握电子束聚焦的原理和方法。

4. 培养实验操作能力和数据处理能力。

二、实验仪器与设备1. 电子束实验仪2. 直流稳压电源3. 数字多用表4. 示波器5. 电子枪6. 偏转电极7. 磁场发生器三、实验原理1. 示波管结构:示波管是一种真空电子管,主要包括电子枪、偏转系统、荧光屏和加速系统。

电子枪产生电子束,偏转系统控制电子束的偏转方向,荧光屏显示电子束的运动轨迹。

2. 电子束偏转:电子束在电场和磁场中受到力的作用,会发生偏转。

根据洛伦兹力公式,电子束在电场中的偏转距离为:\(D = \frac{qEL}{2m}\)其中,\(q\) 为电子电荷,\(E\) 为电场强度,\(L\) 为偏转电极长度,\(m\) 为电子质量。

3. 电子束聚焦:电子束在非均匀电场或磁场中会发生聚焦。

通过调节电极电压或磁场强度,可以使电子束聚焦到一点。

四、实验步骤1. 连接实验仪器,检查各部件是否正常。

2. 调节电子枪的加速电压,使电子束能够穿过偏转电极。

3. 调节偏转电极的电压,观察电子束在电场中的偏转情况。

4. 调节磁场发生器的磁场强度,观察电子束在磁场中的偏转情况。

5. 调节聚焦电极的电压,观察电子束的聚焦情况。

6. 测量电子束的偏转距离和聚焦点,记录实验数据。

五、实验结果与分析1. 电子束在电场中的偏转距离与偏转电极电压的关系:根据实验数据,绘制电子束偏转距离与偏转电极电压的图像,分析两者之间的关系。

2. 电子束在磁场中的偏转距离与磁场强度的关系:根据实验数据,绘制电子束偏转距离与磁场强度的图像,分析两者之间的关系。

3. 电子束聚焦效果:根据实验数据,分析聚焦电极电压对电子束聚焦效果的影响。

六、实验结论1. 电子束在电场和磁场中会发生偏转,偏转距离与偏转电压和磁场强度有关。

2. 通过调节电极电压和磁场强度,可以使电子束聚焦到一点。

电子束辐射

电子束辐射

电子束辐射
电子束辐射是指利用加速器产生的高能电子束对物质进行辐射处理或与物质相互作用的现象。

电子束辐射具有高能量、高穿透性和高灵活性的特点,广泛应用于材料表面处理、半导体制造、医疗、食品消毒等领域。

电子束辐射的原理是通过电子加速器加速电子,使其具有高能量,然后将电子束直接或间接照射到目标物质上。

电子束辐照可以产生各种物理、化学和生物效应,如电离、激发、断键、交联、辐射缺陷等。

这些效应可以用于材料改性、杀菌消毒、材料分析等应用。

电子束辐照的优势包括能量调控和剂量可控性强、处理速度快、无污染、不产生放射性废物等。

然而,电子束辐照也存在一些问题,如设备投资和运行成本高、辐射安全性等。

因此,在应用电子束辐照时需要充分考虑其成本和安全等因素。

总之,电子束辐射是一种重要的辐射技术,具有广泛的应用前景和潜力。

随着科技的不断发展,电子束辐照技术将进一步完善和推广应用。

电子束加工的原理

电子束加工的原理

电子束加工的原理电子束加工是一种利用高速电子流来加工材料的加工方法。

其基本原理是将电子束聚焦成一束非常细小的电子射流,在高速运动的电子束撞击下,材料表面的原子和分子发生碰撞和相互作用,使材料发生物理或化学变化,从而实现加工的目的。

电子束加工设备通常由以下几个主要部分组成:加速系统、聚焦系统、撞击靶标系统和控制系统。

加速系统是电子束加工设备中的核心部分,其主要作用是将电子进行加速,使其获得足够的能量以实现对材料的加工。

加速系统通常由电子枪和电子加速器组成。

电子枪产生电子,而电子加速器则通过电磁场或电势差的作用,将电子加速到所需的速度。

聚焦系统主要用于将加速后的电子束聚焦在一个非常小的面积上。

聚焦系统通常由电磁场或磁透镜组成,通过控制电磁场或磁透镜的参数来实现对电子束的聚焦和控制。

聚焦系统的目标是将电子束的直径减小到微米级别,以提高加工精度和分辨率。

撞击靶标系统是电子束加工设备的加工区域,即电子束撞击到材料表面的地方。

撞击靶标系统通常由样品台和运动控制系统组成。

样品台用于固定和定位待加工材料,而运动控制系统用于控制电子束在材料表面移动的位置和轨迹。

电子束加工的原理主要基于电子束与材料相互作用的过程。

当电子束撞击到材料表面时,它会和材料表面的原子和分子发生相互作用,从而导致材料表面的物理或化学变化。

这些相互作用包括电子与原子之间的电子-电子碰撞,电子与原子之间的电子-原子碰撞以及电子与原子核之间的碰撞。

这些相互作用会使材料表面的原子和分子发生能量转移和重新排列,从而改变材料的物理和化学性质。

电子束加工的原理还涉及到电子束的能量传递和吸收。

当电子束撞击到材料表面时,部分电子的能量会被材料吸收,导致材料发生加热和熔化。

这种加热和熔化过程可以使材料发生融化、蒸发、溶解、沉积等物理和化学变化,从而实现不同类型的加工操作,如切割、焊接、打孔、表面改性等。

电子束加工具有许多优点。

首先,电子束加工具有非常高的加工精度和分辨率,可以实现亚微米级的加工,适用于微电子器件和精密零件的加工。

电子束_实验报告

电子束_实验报告

一、实验目的1. 了解示波管的构造和工作原理。

2. 定量分析电子束在匀强电场作用下的偏转情况和在均匀磁场作用下的偏转情况。

3. 学会规范使用数字多用表。

4. 学会磁聚焦法测量电子比荷的方法。

二、实验仪器1. EB电子束实验仪2. 直流稳压电源(30V,2A)3. 数字多用表三、实验原理1. 示波管的结构和工作原理示波管,又称阴极射线管,是一种真空电子器件,主要由电子枪、偏转系统和荧光屏三部分组成。

电子枪负责发射电子束,偏转系统负责控制电子束的运动方向,荧光屏则用于显示电子束的轨迹。

- 电子枪:由阴极、栅极、加速阳极等组成。

阴极在加热后发射电子,栅极对发射的电子流密度起到控制作用,加速阳极则对电子进行加速。

- 偏转系统:由垂直偏转板(Y)和水平偏转板(X)组成。

在电场或磁场的作用下,电子束会沿特定方向偏转。

- 荧光屏:用于显示电子束的轨迹。

当电子束击中荧光屏时,荧光屏上会发光。

2. 电子束的偏转- 电偏转:在匀强电场作用下,电子束沿垂直于电场方向的路径偏转。

偏转程度与电场强度、电子束的初速度和偏转距离有关。

- 磁偏转:在均匀磁场作用下,电子束沿垂直于磁场方向的路径偏转。

偏转程度与磁场强度、电子束的初速度和偏转距离有关。

3. 电子束的聚焦- 电聚焦:利用非均匀电场使电子束形成交叉点。

由阴极射出的电子,经栅极与第一阳极之间的不均匀电场的作用会聚于栅极出口前方,形成电子束的叉点。

- 磁聚焦:利用磁场对电子束进行聚焦。

电子运动的周期和螺距均与v(垂直)无关。

从同一点出发的各个电子在作螺线运动时,尽管各自的v(垂直)不相同,但经过一个周期的旋转之后,他们又会在距离出发点一个螺距的方向相遇。

四、实验内容及步骤1. 电偏转的观测(1)连接实验仪器,打开电源。

(2)调节垂直偏转板和水平偏转板的电压,观察荧光屏上的电子束轨迹。

(3)改变电压值,观察电子束的偏转情况。

2. 磁偏转的观测(1)将电子束实验仪切换至磁场模式。

电子束实验报告

电子束实验报告

电子束实验报告一、引言电子束是一种高速运动的电子流,具有微小的焦点尺寸和高聚焦能力。

它在科学研究和工业应用中具有广泛的应用,特别是在材料科学、电子学和生物学领域。

本报告旨在介绍电子束实验的原理、实验装置和实验结果,并讨论其应用前景。

二、实验原理电子束实验基于电子的波粒二象性。

根据德布罗意波动方程,电子的波长与其动量成反比。

通过加速电子并使其通过细小孔径的光阑,可以使电子束发生衍射现象。

根据衍射图样,可以反推出电子束的非常小的尺寸。

三、实验装置电子束实验通常需要复杂的实验装置,其中包括电子加速器、光阑、椭圆偏转电磁镜等。

电子加速器用于将电子加速到高速,以产生足够的动能。

光阑是实验中的关键部分,它决定了电子束的聚焦能力。

椭圆偏转电磁镜则用于控制和调节电子束的方向。

四、实验步骤1. 准备实验装置:确保电子加速器和其他装置工作正常,并调整光阑的尺寸。

2. 定义实验目标:根据需要,可以调整电子束的尺寸和聚焦程度。

3. 收集数据:通过观察电子束在衍射图样上的分布,收集实验数据。

4. 数据处理:利用衍射图样数据,计算电子束的尺寸和聚焦度。

5. 分析结果:根据实验结果,评估电子束的性能和应用潜力。

五、实验结果与讨论通过电子束实验,我们得到了一组数据,包括电子束的尺寸和聚焦度。

根据实验结果,我们可以看到电子束在衍射图样上呈现出高度聚焦的特点。

电子束的尺寸通常在微米级别,远远小于光学显微镜的分辨率。

电子束的聚焦度对于实际应用非常重要。

高度聚焦的电子束可以被用于纳米加工、电子显微镜和材料分析等领域。

例如,在电子显微镜中,使用电子束替代光束可以获得更高的分辨率和更清晰的图像。

在材料分析中,电子束可以用来观察材料的晶体结构和表面形貌。

然而,电子束实验也面临一些挑战。

电子束的制备和操控需要高度复杂的装置和技术,成本较高。

同时,由于电子的波粒二象性,电子束的衍射图样受到多种因素的影响,如电子的散射和干涉效应。

因此,进一步研究和改进仍然是必要的。

电子束原理

电子束原理

电子束原理电子束原理是指通过对电子束的控制和调节,实现对物质进行加工、成型、焊接等工艺过程的一种原理。

电子束加工技术是一种高能束流加工技术,其原理是利用电子束对工件进行加热、熔化和冷却,从而实现对工件的加工和成型。

电子束加工技术是一种高效、精密的加工方法,具有加工速度快、加工精度高、加工质量好等优点。

电子束原理的核心是通过对电子束的控制和调节,实现对工件的加热和熔化,从而实现对工件的加工和成型。

电子束加工技术广泛应用于航空航天、汽车制造、电子器件等领域,对提高产品质量、降低生产成本具有重要意义。

电子束原理的实现主要依靠电子束发射器、聚焦系统、偏转系统和工件移动系统等关键设备。

电子束发射器是产生电子束的源头,其性能直接影响着电子束加工的效果。

聚焦系统用于将发射器发出的电子束聚焦到极小的区域,从而实现对工件的局部加热和熔化。

偏转系统用于控制电子束的方向和位置,确保电子束能够准确地照射到工件的需要加工部位。

工件移动系统用于控制工件在加工过程中的移动,从而实现对工件的整体加工和成型。

电子束原理的关键在于对电子束的控制和调节。

通过对电子束的能量、密度、速度等参数进行精确的控制和调节,可以实现对工件的加热、熔化和冷却,从而实现对工件的加工和成型。

在实际应用中,需要根据不同的工件材料和加工要求,对电子束的参数进行合理的选择和调节,以实现最佳的加工效果。

总的来说,电子束原理是一种高效、精密的加工方法,具有广泛的应用前景和重要的经济意义。

通过对电子束的控制和调节,可以实现对工件的高效加工和成型,为现代制造业的发展提供了重要的技术支持。

随着科学技术的不断发展和进步,相信电子束加工技术将会有更广泛的应用和更好的发展。

电子束灭菌

电子束灭菌

电子束灭菌
电子束灭菌是一种利用高能电子束杀伤细菌的特殊消毒技术。

它非常安全有效,且具有经济性,可以有效的杀灭过敏原,微生物,病毒和其他微生物感染,大大提高消毒的效率,是一种新型的消毒方法。

电子束灭菌的原理是利用高能电子束的杀伤力对微生物,病毒,过敏原等有害微生物进行有效的消毒。

它可以有效的抑制病毒,菌类,霉菌及其他细菌的活性,从而达到消毒的目的。

与常规消毒方法相比,它可以有效地抑制或杀死大量的微生物,而且比其他消毒方法更具经济性,因为它不需要使用任何化学物质,对环境和人体无毒无害。

电子束灭菌技术可以用于消毒药物、医疗器械、血液制品、婴儿奶粉、食品和饮料等各种物品,以保证其安全性。

它可以消毒医疗器械和病房,保证病人的健康。

此外,电子束灭菌技术可用于消毒食品,饮料和其他接触食物的物品,以保证食品安全性。

技术进步使电子束灭菌越来越受到重视。

然而,由于电子束技术普及的进程缓慢,电子束灭菌的应用尚有待完善。

为了更有效地使用电子束灭菌技术,应该建立一个良好的监督和控制制度,加强食品和医疗器械的消毒管理,及时发现和消除有害微生物的潜在危险,从而达到安全健康的目的。

总之,电子束灭菌是一种安全、有效和经济的消毒技术,可有效抑制或杀死大量的微生物,确保食品和医疗器械的安全性,及时发现和消除有害微生物的潜在危险,更有效地保护公众健康。

它的应用会使世界变得更加安全、健康。

电子束焊的工作原理

电子束焊的工作原理

电子束焊的工作原理
电子束焊是利用高速电子束的冲击力和热能将金属材料加热至熔点,达到焊接效果的一种焊接技术。

其工作原理如下:
1.电子束产生:在电子束焊设备中,通过电子枪或加速器向钨丝施加高压电流,使其产生极高的热能。

热能会使钨丝进入高温状态,并释放出大量的自由电子。

2.电子束聚焦:利用磁铁或电磁场将自由电子束聚焦为一束高速电子流,从而形成电子束。

3.电子束加速:通过加速器施加电场,将电子束加速至一定的速度。

速度越高,电子束的穿透力和热能也越强。

4.电子束照射:将加速后的电子束照射到需要焊接的金属材料上。

由于电子束的高速冲击力和热能,金属材料的表层会被加热至熔点。

5.金属熔化和焊接:由于金属材料表层被高速电子束加热至熔点,金属原子开始进入高度活跃的状态。

金属原子在熔化状态下,会发生相互扩散和融合,从而实现焊接的效果。

6.焊接完成:电子束焊接完成后,焊接区域会快速冷却,形成牢固的焊缝。

电子束焊技术由于其高能量、高速度和高密度的特点,具有焊
接速度快、熔深浅可控、焊缝质量好等优点。

它在航天航空、汽车工业、电子工业等领域有着广泛的应用。

电子束加工原理及应用

电子束加工原理及应用

电子束加工原理及应用电子束加工(Electron Beam Machining, EBM)是一种高能电子束在材料上直接加热与蒸发的加工方法。

它利用电子加速器产生高能量电子束,通过电子与材料原子之间的相互作用,使原子受到高能电子的冲击,产生断裂、熔化和蒸发等现象,从而实现对材料的加工。

电子束加工具有高加工精度、加工速度快、无热影响区和无振动等优点,因此在航空航天、汽车、电子、医疗器械等领域具有广泛的应用。

电子束加工的原理主要包括电子束生成、准直、聚焦和冲击等过程。

首先,通过电子加速器将电子加速到高能态,这样产生的电子束具有很高的能量。

然后,利用准直系统对电子束进行整形,控制其形状和大小,使其能够准确地照射到加工目标上。

接下来,通过磁场控制系统对电子束进行聚焦,使其能够集中在一个较小的区域内。

最后,电子束与材料之间发生冲击,使材料表面的原子受到电子的冲击并产生断裂、熔化和蒸发等现象,从而实现对材料的加工。

电子束加工具有很多优点。

首先,由于电子束具有很高的能量,因此它能够快速加热和熔化材料,从而实现高加工速度。

其次,电子束加工的加热过程是无接触的,没有热传导和导热损失,因此不会引起材料变形和应力集中等问题,具有高加工精度。

此外,电子束加工没有振动和冲击力,可以避免材料表面的划痕和变形等问题。

最重要的是,电子束加工对材料的化学性质没有影响,能够实现对不易加工的材料的加工,如高熔点金属和陶瓷等。

电子束加工在航空航天领域有着广泛的应用。

由于电子束加工具有高加工精度和高能量特点,因而能够应用于航空航天领域中对材料性能要求较高的部件的制造。

比如,电子束加工常用于制作航空发动机喷嘴、涡轮叶片以及复杂的结构件等。

此外,电子束加工还可以用于航天器的表面处理,如表面改性、疏水处理等。

在汽车制造方面,电子束加工也具有很大的应用潜力。

汽车零部件通常由高强度和复杂形状的金属材料制成,而电子束加工能够实现对这些材料的高精度加工,从而提高零部件的质量和性能。

电子行业电子束和离子束加工

电子行业电子束和离子束加工

电子行业电子束和离子束加工简介在电子行业中,电子束和离子束加工是两种常用的微细加工技术。

它们利用高能电子束和离子束对材料进行加工,具有高精度、高效率和非接触等特点,在电子器件制造、表面改性和纳米加工等领域有广泛应用。

电子束加工基本原理电子束加工利用高速运动的电子束对材料表面进行加工。

通过控制电子束的能量和聚焦方式,可以实现在纳米到微米级别的精确加工。

其基本原理如下:•加速电子:采用电子枪将电子加速到较高能量,通常在几十千伏至几百千伏之间。

•焦点控制:利用一系列电场和磁场聚焦系统,将电子束聚焦到较小的直径,达到高分辨率的效果。

•扫描加工:通过控制电子束的位置和扫描速度,实现对材料表面的精确加工。

应用领域电子束加工在电子行业中有广泛的应用,包括但不限于以下领域:1.纳米微型器件加工:电子束加工可用于制造微型电子器件,如纳米线、纳米晶体管和MEMS器件等。

2.光刻:电子束激光刻蚀技术是集成电路制造中常用的工艺之一。

3.表面改性:通过控制电子束的能量和扫描方式,可以实现对材料表面的纹理、硬度和导电性等物理性质的改变。

4.纳米加工:电子束可以直接对纳米颗粒进行加工,制备纳米材料和纳米结构。

离子束加工基本原理离子束加工利用高能离子束对材料进行加工。

与电子束加工相比,离子束加工具有更高的穿透能力和更大的功率密度,可以实现更深入和更精确的加工效果。

其基本原理如下:•加速离子:采用离子源将离子加速到高能量,通常在几百电子伏至几千电子伏之间。

•焦点控制:通过控制电场和磁场分别作用的方式,实现对离子束的聚焦控制。

•碰撞损伤:高速离子束与材料表面相碰撞,产生碰撞损伤和表面变化。

应用领域离子束加工在电子行业中也有广泛的应用,主要应用于以下领域:1.纳米加工:离子束加工可用于纳米线、纳米颗粒和纳米薄膜的制备。

2.材料改性:通过离子束的碰撞和改变材料表面的结构,可以实现材料的硬化、改变导电性和抗腐蚀等性能。

3.表面涂层:离子束沉积技术可以实现对材料表面的镀膜、涂层和纳米颗粒的制备。

电子束直接金属成形技术

电子束直接金属成形技术
电子束直接金属成形技术
一、电子束技术发展及应用概况:
电子束的发现至今已有一百多年的历史,“阴极射线”(cathode-ray)的名称出现甚至还在人们了解电子的性能之前。20世纪初的1907年,Marcello Von Pirani进一步发现了电子束作为高能量密度热源的可能性,他第一次用电子束作了熔化金属的试验,成功地熔炼了钽。
(2) 加工型孔及特殊表面
电子束加工喷丝头异型孔截面。出丝口窄缝宽度,长度0.8mm,喷丝板厚度0.6mm。为使人造纤维具有光泽、松软有弹性、透气性好,喷丝头的异型孔都是特殊形状。 电子束不仅可加工各种直的型孔和型面,而且也可加工弯孔和曲面。利用电子束在磁场中偏转的原理,使电子 束在工件内部偏转。控制电子速度和磁场强度,即可控制曲率半径,加工出弯曲的孔。如果同时改变电子束和工件的相对位置,就可进行切割和开槽。
控制计算机
控制电路
电子枪
聚焦系统
工作面
图2 电子束运用于RP中之加工流程图
采用电子束替代SLS技术中的激光束,最大好处是省去激光扫描部分的机械传动装置,以软件控制代替,从而提高成形精度;且因扫描速度很高,可极大地提高系统效率。另外,利用网络技术,可形成一个以本系统为中心的快速响应制造系统,在新产品的设计、试制与功能验证,尤其在模具制造和新产品市场推广及与客户的交流沟通方面,能大大降低企业的各项成本和提高应变能力。整个成形系统控制软件的基本结构可做成如图3所示的模块。
4.3 电子束快速制造技术研究现状 电子束在快速制造领域的应用在国际上比较领先的是瑞典Gothenburg的Arcam公司的电子束熔化技术EBM(Electron Beam Melting),其工作原理与SLS类似,采用了一套严格的温度检测控制系统。下图为Arcam EBM S12的设备图,最大成形件尺寸为200mmX200mmX160mm,精度为±0.3mm。目前该公司的产品已经在英国Warwick大学及美国南加州大学等多家快速制造领域的研究机构得到使用,并与英国剑桥真空工程研究所CVE建立了合作关系,应用领域已经延伸到汽车、航空航天及医疗领域。

电子束固化机理

电子束固化机理

电子束固化机理电子束固化技术是一种用电子束进行材料固化和表面处理的高度精确的工艺。

它利用高能电子束的辐射能量,通过与材料相互作用,使材料发生物理和化学变化,达到固化或改善材料性能的目的。

本文将详细介绍电子束固化的机理以及其应用领域。

我们来了解电子束固化的基本原理。

电子束是由加速器产生的高速电子流。

当电子束与物质相互作用时,电子会与物质中的原子和分子发生碰撞,释放出高能量。

这些高能电子能够穿透物质表面,与物质内部的分子和原子相互作用,引起各种化学和物理反应。

在固化过程中,电子束会加速材料内部的交联反应,使涂层或材料迅速固化并形成坚硬的表面。

电子束固化的机理主要包括三个方面:交联反应、热效应和辐射效应。

交联反应是指电子束与材料中的功能基团相互作用,形成交联链的过程。

一般来说,电子束会引发自由基反应,使材料中的功能基团发生交联或径向定型反应,从而增加材料的硬度和耐磨性。

电子束通过能量传递的方式加热材料,提高其温度。

这种热效应可以促进交联反应的进行,并加速材料的固化过程。

辐射效应指的是电子束通过激发材料中的原子和分子,改变其能级结构,从而产生新的物理和化学性质。

例如,电子束势能可以使材料发生断裂,形成新的化学键,改变材料的颜色和光学性质。

电子束固化技术具有许多优势和广泛的应用领域。

电子束固化是一种非热固化技术,可以避免传统固化方法中的热引起的材料变形和色差问题。

电子束固化过程中不需要添加溶剂或有机溶剂,可以减少环境污染和工艺成本。

电子束固化技术可以实现高精度,可以在不损害基材的情况下精确控制其表面性质。

目前,电子束固化技术已广泛应用于印刷业、涂料业、电子工业等领域。

在印刷业中,电子束固化可以用于固化油墨和涂层,提高印刷品的耐磨性和光泽度。

在涂料业中,电子束固化可以用于涂料的固化和表面处理,提高涂料的硬度和耐腐蚀性。

在电子工业中,电子束固化可以用于固化电子元件和封装材料,提高器件的可靠性和稳定性。

总之,电子束固化技术以其高度精确的固化效果和广泛的应用领域受到了广泛关注。

电子显微镜原理:电子束与样本相互作用

电子显微镜原理:电子束与样本相互作用

电子显微镜原理:电子束与样本相互作用电子显微镜(Electron Microscope,简称EM)是一种使用电子束来观察微观结构的显微镜。

与光学显微镜不同,电子显微镜使用电子而不是可见光,能够获得更高的空间分辨率。

以下是电子显微镜的基本原理,主要集中在电子束与样本相互作用的方面:1. 电子束的产生:电子显微镜使用电子枪产生高速电子束。

电子枪中的热阴极或场发射阴极产生电子,然后通过电场和磁场聚焦成一束电子。

2. 电子束的聚焦:通过磁透镜和电透镜,电子束被聚焦成一个细小的束流。

这种聚焦作用使得电子显微镜具有极高的空间分辨率,可以观察到微观尺度的细节。

3. 电子束与样本的相互作用:透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope,简称TEM):电子束穿透样本,样本中的不同区域对电子的散射程度不同。

根据电子的透射情况,形成投影图像。

通过调整电子束的透射程度,可以获得不同深度的截面图像,实现对样本内部结构的高分辨率观察。

扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,简称SEM):电子束扫描样本表面,与样本表面的原子产生相互作用。

样本表面的原子会发射出不同的信号,包括二次电子、反射电子、和吸收电子等。

这些信号被检测并用于形成样本表面的图像,从而实现对样本表面形貌的高分辨率观察。

4. 图像的形成:检测器捕捉样本与电子束相互作用产生的信号,并将其转化为电子显微镜图像。

这些图像展示了样本的微观结构,提供了高分辨率的表面或截面信息。

电子显微镜的优势在于其极高的空间分辨率,使其能够观察到微观世界中更小尺度的结构。

由于电子具有较短的波长,因此电子显微镜能够克服光学显微镜在分辨率上的限制。

这使得电子显微镜在材料科学、生物学、纳米技术等领域中得到广泛应用。

实验报告电子束

实验报告电子束

1. 了解电子束的基本概念和特性;2. 掌握电子束的制备方法;3. 研究电子束在不同材料上的作用和效果;4. 分析电子束在工业、医疗等领域中的应用。

二、实验原理电子束是一种由高速运动的电子组成的粒子流。

在真空中,电子束具有极高的速度和能量。

电子束的制备方法主要有以下几种:1. 电子枪:通过加热发射电子,使其在电场加速下形成电子束;2. 电子加速器:通过高电压加速电子,使其获得更高的能量;3. 电子显微镜:利用电子束的穿透性和衍射性,观察样品的微观结构。

电子束在物质中的传播会受到物质性质的影响,如电子束的穿透力、能量损失等。

电子束在不同材料上的作用和效果主要包括:1. 穿透作用:电子束能够穿透某些物质,如纸张、塑料等;2. 热效应:电子束在物质中传播时,会使物质产生热量;3. 化学效应:电子束能够激发物质中的原子或分子,使其发生化学反应;4. 生物学效应:电子束能够破坏生物体的细胞结构,达到治疗效果。

三、实验仪器与材料1. 电子枪;2. 电子加速器;3. 电子显微镜;4. 金属材料、非金属材料、生物样品等;5. 数据采集系统;6. 计算机软件。

1. 准备实验材料,包括金属材料、非金属材料、生物样品等;2. 将样品放置在实验台上,调整电子枪、电子加速器和电子显微镜的参数;3. 开启电子枪,使电子束射向样品;4. 观察电子束在样品中的传播情况,记录实验数据;5. 分析电子束在不同材料上的作用和效果;6. 利用数据采集系统记录实验结果,并使用计算机软件进行数据处理和分析。

五、实验结果与分析1. 电子束在金属材料上的传播情况:电子束在金属材料中传播时,会因材料特性而表现出不同的穿透力。

例如,在铝、铜等金属中,电子束的穿透力较强;而在钨、铂等金属中,电子束的穿透力较弱。

2. 电子束在非金属材料上的传播情况:电子束在非金属材料中传播时,会因材料特性而表现出不同的穿透力。

例如,在纸张、塑料等非金属材料中,电子束的穿透力较强;而在玻璃、陶瓷等非金属材料中,电子束的穿透力较弱。

电子束实验报告实验小结(3篇)

电子束实验报告实验小结(3篇)

第1篇一、实验背景电子束实验是物理学中一个重要的基础实验,通过实验我们可以了解电子在电场和磁场中的运动规律,进一步理解电磁场的基本性质。

本次实验旨在通过观察和分析电子束在电场和磁场中的偏转与聚焦现象,加深对电子运动规律的认识。

二、实验目的1. 理解电子束在电场和磁场中的运动规律;2. 掌握示波管的结构和工作原理;3. 学习使用数字多用表等实验仪器;4. 分析实验数据,提高实验数据处理能力。

三、实验原理1. 电子束的产生:通过加热阴极,使电子从阴极表面发射出来,在栅极和阳极之间加速,形成高速运动的电子束。

2. 电场对电子束的作用:电子束在电场中会受到电场力的作用,产生偏转。

根据洛伦兹力公式,电子在电场中的运动轨迹可以表示为:\[ y = \frac{qU}{2mE_0}x^2 \]其中,y为电子束偏转距离,q为电子电荷量,U为电场电压,m为电子质量,E_0为电场强度。

3. 磁场对电子束的作用:电子束在磁场中会受到洛伦兹力的作用,产生偏转。

根据洛伦兹力公式,电子在磁场中的运动轨迹可以表示为:\[ y = \frac{mv}{qB}x \]其中,y为电子束偏转距离,m为电子质量,v为电子速度,q为电子电荷量,B为磁场强度。

4. 电子束的聚焦:通过调节电子束在电场和磁场中的运动轨迹,可以使电子束聚焦。

聚焦原理主要包括点聚焦和磁聚焦。

四、实验仪器1. 示波管:用于观察电子束的运动轨迹;2. 数字多用表:用于测量电压、电流等参数;3. 直流稳压电源:为示波管提供稳定的电压;4. 电子枪:产生电子束;5. 偏转电极:产生电场;6. 磁场电极:产生磁场。

五、实验步骤1. 将示波管与电子枪、偏转电极和磁场电极连接;2. 调节电子枪的电压,使电子束产生;3. 调节偏转电极的电压,观察电子束在电场中的偏转;4. 调节磁场电极的电压,观察电子束在磁场中的偏转;5. 调节偏转电极和磁场电极的电压,观察电子束的聚焦现象;6. 记录实验数据,进行数据处理。

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1)电偏转实验步骤 1.现将阳极电压调到 750V(注:本台机子一开始调不到 700V,只能用 750V,到后面旋钮才可以调至 700V),调 节 Y 轴调节旋钮使得光点分别到±5,±10,±20 的位置,用数字多用电表记录对应的电压值,并记录下来; 2.之后再将阳极电压调至 900V,重复上述实验,记录数据。
U2,横向偏转电压为 Ud,则荧光屏上光点的横向偏转量 D 如式: D (L l) U d l 2 U 2 2d
综上所诉,当 U2 不变时,偏转量 D 随 Ud 的增加而线性增加。所以,根据屏上光点位移与偏转电压的线性关系, 可以将示波管做成测量电压的工具。若改变加速电压 U2,适当调节 U1 到最佳聚焦,可以测定 D-Ud 直线随 U2 改变 而使斜率改变的情况。
做的功 eU 应等于电子获得的动能: eU 1 mv 2 2,
2e
电子沿 Z 轴运动的速度 vz 与第二阳极 A2 的电压 U2 的平方根成正比,即 vz
因此
m U2
若在电子运动的垂直方向加一横向电场,电子在该电场作用下将发生横向偏转,如图 2 所示。 若偏转板板长为 l、偏转板末端到屏的距离为 L、偏转电极间距离为 d、轴向加速电压(即第二阳极 A2 电压)为
2)磁偏转实验步骤 1.将光点调至 Y 轴中心,将多用电表调到 mA 挡,并把阳极电压调至 700V,调节 Y 轴调节,分别测 D=5,10,15,20 的电流值,再改变磁偏电流方向,测 D=-5,-10,-15,-20 的电流值; 2.将阳极电压调至 900V,重复上述步骤,记录数据。 3)电子比荷实验步骤 1.用导线连接电子束实验仪和直流稳压电源的 CH1 接线口上,将电子束-比荷选择开关打到比荷位置,将稳压电 源的电流调零,并将阳极电压调到 700V,再调节电流旋钮使得荧光屏中的亮线缩成一个亮点,记录此时的电流值, 之后将电流调零,再将电流方向调成反向,重复上述步骤,记录数据。 2.再重复上述步骤测量 800V,900V,1000V 的电流数据。
光点才动,之前万用电表 V 档测 Ud 时,万用电表接在 X 或 Y 正负两端,产生磁场的电路断开,不产生磁场所以调节磁 偏调节,光点不动。
2、测 e/m 时屏上为什么是一直线? 将开关变成“比荷”时,偏转电压变成交流电压,从而原本从一个位置射出的电子会在不同的时间受到不同
的电压加速,有的偏转加速度大,有的偏转加速度小,各有不同程度对原轴的偏离,表现在荧光屏上就是不同的点(一 条直线),偏离中心的距离不同。
八、附上原始数据:
3.电子比荷(标准电子比荷 e/m=1.758819×1011C/kg)
电压
电流
700V
800V
I 正(A) I 反(A)
I (A)
e/m= k
U2 I2
(×1011C/kg)
e / m (×1011C/kg)
1.45 1.47 1.46
1.593587
1.60 1.56 1.58
1.555103
30
20
10
900V 时灵敏度计算如下,采用逐差法求斜率
D 1( 27.86 24.91 21.40 19.09 14.60 12.77 6.62 6.41) 1.335
Ud
4
40
30
20
10
分析: 1.由图可看出在 U2 恒定的情况下,Ud 与 D 成线性关系,并 D 随着 Ud 减少而减少,900V 与 750V 的曲线交于 0 点; 2.由两条直线斜率比较,900V 的灵敏度比 750 的灵敏度下降,可知电偏转灵敏度随着 U2 的增加而降低,可根据
公式 D (L l )U d l 验证其准确性。 2 U2 2d
2.磁偏转
700V
I(mA) -83.5 D(mm) 20
900V I(mA) -93.8
D(mm) 20
作图如下
-63.6 15 -74.0 15
-45.1 10 -49.2 10
-21.19 0
5
0
-26.43 0
5
0
17.30 35.45 58.2
2、电聚焦原理 电子受阳极产生的正电场作用而加速运动,同时又受栅极产生的负 电场作用只有一部分电子能够通过栅极小孔而飞向阳极。调节栅极电压 的高低可以控制射向荧光屏的电子数,从而控制荧光屏上的辉度。当栅极上的电压负到一定的程度时,可使电子射线 截止,辉度为 0。加速电极的电压比阴极电位高几百伏至上千伏。前加速阳极,聚焦阳极和第二阳极是由同轴的金属 圆筒组成。由于各电极上的电压不同,在它们之间形成了弯曲的等势面、电场线。这样就使电子束的路径发生弯曲, 这类似光线通过透镜那样产生了会聚和发散,这种电器组合称为电子透镜。改变电极间的电压分布,可以改变等势面 的弯曲程度,从而达到电子束的聚焦。
D K0nIlL
e 2mU 2
即当励磁电流 I(即外加磁场 B)确定时,电子束在横向磁场中的偏转量 D 与加速电压 U2 的平方根成反比。
5、磁聚焦和电子荷质比的测量原理
由实验电子流的轴线速率为 v//
2eU 2 m
若在一对偏转极板 Y 上加一个幅值不大的交变电压,则电子流通过 Y 后就获得一个与管轴垂直分量 。如暂不考 虑电子轴向速度分量 v//的影响,则电子在磁场的洛伦兹力 F 的作用下(该力与 垂直),在垂直于轴线的平面上作圆 周运动,即该力起着向心力的作用,F=e B=m /R,由此可得到电子运动的轨道半径 , 越大轨道半径亦越大,电子运
南昌大学物理实验报告
课程名称:
大学物理实验
实验名称:
电子束的偏转与聚焦现象
学院: 材料科学与工程学院 专业班级: 材料 153 班
学生姓名: 何秀将
学号: 5702115114
实验地点: 实验大楼 213
座位号: 24 号
实验时间: 第 8 周星期二下午四点开始
一、实验目的:
1.了解示波器的构造和工作原理; 2.定量分析电子束在匀强电场作用下的偏转情况和在均匀磁场作用下的偏转情况; 3.学会规范使用数字多用表; 4.学会磁聚焦法测量电子比荷的方法。
1.572421
900V 1.70 1.67 1.685 1.538247
( %)
1000V
1.78 1.70 1.74 1.602821
10.60
六、误差分析:
1.在调节 Y 轴调节取数的时候,由于人眼判断有一定差错,会造成读数误差,导致对应的 D 值不是实际值,从 而使图斜率不成正比,有一定的偏差;
76.1
-5
-10
-15
-20
14.32 37.4
58.1
82.6
-5
-10
-15
-20
700V 的灵敏度计算
D 1( 76.1 83.5 58.2 63.6 35.45 45.1 17.30 21.19) 3.982
I 4 40
30
20
10
900V 的灵敏度计算
二、实验原理:
1、示波管的结构 示波管主要包括三个部分:前端为荧光屏,(S,其用来将电子束的 动能变为光),中间为偏转系统(Y:垂直偏转板,X:水平偏转板), 后端为电子枪(K:阴极,G:栅极,A1:聚焦阳极,A2:第二阳极, A3:前加速阳极)。灯丝 H 用 6.3V 交流供电,其作用是将阴极加热, 使阴极发射电子,电子受阳极的作用而加速。
动一周所需要的时间(即周期)为 T 2R 2 e B
v
m
这说明电子的旋转周期与轨道半径及速率 无关。若再考虑 v//的存在,电子的运动轨迹应为一螺旋线。在一个周
期内,电子前进距离(称螺距)为
h
v //T

2 B
2mU 2 e
由于不同时刻电子速度的垂直分量 度不同,故在磁场的作用下,各电子将沿不同半径的螺线前进。然而,由于 他们速度的平行分量 v//均相同,所以电子在做螺线运动时,它们从同一点出发,尽管各个电子的 各不相同,但经过 一个周期后,它们又会在距离出发点相距一个螺距的地方重新相遇,这就是磁聚焦的基本原理。可得
3、电偏转原理 在示波管中,电子从被加热的阴极 K 逸出后,由于受到阳极电场的加速作用, 使电子获得沿示波管轴向的动能。令 Z 轴沿示波管的管轴方向从灯丝位置指向荧 光屏;同时,从荧光屏上看,令 X 轴为水平方向向右,Y 轴为垂直方向向上。假 定电子从阴极逸出是初速度忽略不计,则电子经过电势差为 U 的空间后,电场力
-5
-10
-15
-20
6.62
14.60 21.40 27.86
-5
-10
-15
-20
计算:750V 时灵敏度计算如下,采用逐差法求斜率
D 1( 25.60 21.26 19.49 15.38 13.43 10.38 8.00 4.98) 1.206
Ud
4
40
5.在由于周围环境电磁的存在,进行光点调零的时候电压表不能完全变成 0,在实验中,在 D=0 时,只能 调到 0.084 左右,而计算时近似处理为 0,造成了一定的误差。
七、思考题:
1、为什么在接入万用表之前转动磁偏调节光点不会移动,而转电偏调节光点会上下移动? 因为万用电表的 mA 档测量磁偏电流时插入磁偏电流的孔,相当于使产生磁场的电路通路,这时调节磁偏调节
做近似处理 tan l D RL
由 此 可 得 偏 转 量 D 与 外 加 磁 场 B 、 加 速 电 压 U2 等 的 关 系 为
e D lBL
2mU 2
实验中的外加横向磁场由一对载流线圈产生,其大小为 B K0nI
由此可得偏转量 D 与励磁电流 I、加速电压 U2 等的关系为
4、磁偏转原理 电子通过 A2 后,若在垂直 Z 轴的 X 方向外加一个均匀磁场,那么以速 度 v 飞越子电子在 Y 方向上也会发生偏转,如图 3 所示。 由于电子受洛伦兹力 F=eBv 作用,F 的大小不变,方向与速度方向垂直,
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