光电子能谱仪

强大的性能
①可选区域光谱 ②深度剖析刻蚀 ③微聚集单色器 ④快照采集 ⑤高分辩率化学态光 ⑥绝缘样品分析 ⑦定量化学成像
仪器主要功能
利用光电效应的原理，测量辐射源（光子、 电子、离子等）从样品上打出来的光电子 的动能、强度及其角分布，从而研究原子、 分子、聚集相，尤其是固体表面的电子结 构等。
主要功能
二.公司简介

1.赛默飞世尔科技公司 2.岛津公司 3.铂悦仪器（上海）有限公司


1.赛默飞世尔科技公司
赛默飞世尔科技公司
赛默飞世尔科技进入中国已30年，在上海设立中国区 总部，并在北京、广州、香港、台湾、成都、沈阳、 西安、南京、武汉等地设立了分公司，员工人数3800 名。赛默飞在北京和上海共设立了6个应用开发中心， 将世界级的前沿技术和产品带给国内客户，并提供应 用开发与培训等多项服务；位于上海的中国创新中心 结合国内市场的需求和国外先进技术，研发适合中国 的技术和产品；赛默飞拥有遍布全国的维修服务网点 和特别成立的中国技术培训团队，在全国有2000 名工 程师提供售后服务。赛默飞的企业精神是建立更健康、 更清洁、更安全的世界。
岛津公司 铂悦仪器 （上海）有 限公司
四.功能模块
Thermo Scientific K-Alpha，一体化结构的X射线 光电子能谱仪（XPS），是一款完全集成的单色 化小光斑X射线光电子能谱（XPS）系统。它性能 卓越，易用性提高和尺寸紧凑使得K-Alpha成为许 多现有以及新研发的表面分析应用领域理想解决 方案。K-Alpha是专为多用户环境推出的第一款 XPS工具，从样品进入到报告生成完全实现自动 化工作流程。最新版K-Alpha平台特征光谱性能显 著提高，提供更高计数率和更快分析时间，改善 化学探测能力。分析选配件包括一个角分辨XPS 倾斜模块和一个循环惰性气体手套箱，用于转移 空气敏感样品。



1． 常规XPS，鉴别样品表面的元素种类、化学价态 以及相对含量。双阳极XPS，更适合用于不同的特殊 过渡金属元素的研究，如催化领域。 2． 深度剖析XPS，结合离子刻蚀技术对样品（如薄 膜等）进行成分深度分布分析。通过角分辨XPS还可 以进行非损伤成分深度分布分析。 3． XPS成像，可以对元素或化学态进行表面分布分 析，使一些分析结果更直观。 4． 离子能量损失谱ISS，可实现样品表面元素信息 的检测 5． 紫外光电子能谱（UPS），可以获得样品价带谱 信息，对导体、半导体的能带、带隙等分析提供主要 数据。还可以分析样品逸出功等。
PHI 5800 ESCA 系统
真空泵组
工作原理
2、基本原理
EK=hν-Eb-Φsp
（Eb：电子结合能; Φsp：谱仪的功函数， 一般为常数; EK：电 子动能，可实验测得; hν：X射线能量）
2、基本原理
可见，当入射X射线能量一 定，测出功函数和电子的动 能，即可求出电子的结合能。 由于每种元素的电子结构是 独特的，计算出Eb就可以判 定元素的类型,由于只有表 面处的光电子才能从固体中 逸出，因而测得的电子结合 能必然反应表面化学成份的 情况。
五、应用领域
Thermo Scientific K-Alpha
氧化石墨烯的物理化学 变化测控、半导体晶片上的 超薄薄膜结构分析、分层太 阳能电池、触摸屏复合涂层 的检测评估、等离子表面改 性、钢铁表面钝化工艺.
AXIS-ULTRA DLD x射线光电子能谱仪
主要用于各种有机和无机 固体材料的表面元素和其 价态的定性、定量分析， 表面元素的化学成像及深 度剖析。可用于腐蚀、摩 擦、浸润、粘接、催化、 包覆、氧化等表面和界面 过程的研究。
光电子能谱仪
成员:刘明，马睿，孙莹，宫 智超，张新月
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光电子能谱仪


一.工作原理 二.相关公司简介 三.主要品牌 四.仪器功能 五.应用领域
一.工作原理
1、设备组成 光电子能谱仪主要由激发源、电子能量分析器、 探测电子的监测器和真空系统等几个部分组成。
能量分析器
计算机处理
样品腔 X射线光源
三.主要品牌
赛默飞世尔科技公司 Thermo Scientific K-Alpha Applied Biosystems Invitrogen Gibco Ion Torrent AXIS-ULTRA DLD光电子能谱仪 kratos-ultra DLD ESCALAB 250Xi XPS 光电子能谱仪 供应X-Supreme8000 X射线荧光光谱仪
3.铂悦仪器（上海）有限公司
ESCALAB 250Xi XPS 光电子能谱仪
铂悦仪器（上海）有限公司


铂悦仪器自2004年成立以来，凭借与世界各大知名仪器 品牌的战略合作关系，以及不断优化公司自身经营管理， 提高服务质量，成为中国国内知名的仪器供应商。其所 提供的产品均属于高科技行业，产品包括高精度的分析 仪器、检测仪器和生产仪器，以及成套的耗材和配件， 这些产品广泛应用于工业、半导体、太阳能、医药、医 疗器械、生物、能源、电子、石化等各个领域并服务于 各大院校、研究所、检测机构、及政府部门等。 铂悦仪器不仅拥有高品质的产品，更培养了专业的销 售、技术和售后服务团队，本着客户至上的原则，从客 户的实际需求出发，铂悦仪器为每一位客户量身订制最 适合的综合解决方案，并提供持续而良好的售后服务， 由此也获得了广大客户的信任与认可。
2.岛津公司
AXIS-ULTRA DLD x射线光电子能谱仪
岛津公司
岛津公司在1956年参加了在中国北京和上海举办 的日本商品展览会，自此开始了与中国的交往。 1980年，岛津公司在中国北京正式设立第一个办 事处。在接下来的二十年间，岛津在中国迅速发 展业务，在各大主要城市均设立了办事处并且业 务广泛地深入到了各个相关领域和行业。 至今，岛津公司在中国已经走过了半个世纪的历 程，并且在中国共设立了八个有独立法人的公司。
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ESCALAB 250Xi XPS 光电子能谱仪
它可以用于研究各种固体材料样品表面（110nm厚度）的元素种类、化学价态以及相对 含量。结合离子刻蚀技术还可以获得元素及化 学态深度分布信息；通过成像技术可以获得元 素及化学态的面分布信息；利用微聚焦X射线 源或电子束可以获得微区表面信息。在金属、 玻璃、高分子、半导体、纳米材料、生物材料 以及催化等领域有广泛应用。
工作原理
3、工作流程
光源（X-ray）
样品
电离放出光电子
能量分析器
扫描和记录系统
检测器
由激发源发出的具有一定能量的X射线，电子束，紫外 光，离子束或中子束作用于样品表面时，可将样品表面原 子中不同能级的电子激发出来，产生光电子或俄歇电子 等．这些自由电子带有样品表面信息，并具有特征动 能．通过能量分析器收集和研究它们的能量分布，经检测 纪录电子信号强度与电子能量的关系曲线．即为光电子能 谱．