扫描电镜的工作原理示意图
扫描电镜SEM
扫描电子显微镜（Scanning Electronic Microscopy, SEM）扫描电镜（SEM）是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。
扫描电镜的优点是，①有较高的放大倍数，20-20万倍之间连续可调；②有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；③试样制备简单。
目前的扫描电镜都配有X 射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织性貌的观察和微区成分分析，因此它是当今十分有用的科学研究仪器。
电子束与固体样品的相互作用扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。
通过对这些信息的接受、放大和显示成像，获得对是试样表面性貌的观察。
具有高能量的入射电子束与固体样品的原子核及核外电子发生作用后，可产生多种物理信号如下图所示。
电子束和固体样品表面作用时的物理现象一、背射电子背射电子是指被固体样品原子反射回来的一部分入射电子，其中包括弹性背反射电子和非弹性背反射电子。
弹性背反射电子是指倍样品中原子和反弹回来的，散射角大于90度的那些入射电子，其能量基本上没有变化（能量为数千到数万电子伏）。
非弹性背反射电子是入射电子和核外电子撞击后产生非弹性散射，不仅能量变化，而且方向也发生变化。
非弹性背反射电子的能量范围很宽，从数十电子伏到数千电子伏。
从数量上看，弹性背反射电子远比非弹性背反射电子所占的份额多。
背反射电子的产生范围在100nm-1mm深度，如下图所示。
电子束在试样中的散射示意图背反射电子产额和二次电子产额与原子序束的关系背反射电子束成像分辨率一般为50-200nm（与电子束斑直径相当）。
背反射电子的产额随原子序数的增加而增加（右图），所以，利用背反射电子作为成像信号不仅能分析新貌特征，也可以用来显示原子序数衬度，定性进行成分分析。
二、二次电子二次电子是指背入射电子轰击出来的核外电子。
扫描电镜的结构、原理及其操作使用
扫描电镜的结构、原理及其操作使用一、实验目的•了解扫描电镜的工作原理及构造。
•初步学习Sirion200场发射扫描电镜的操作方法。
•利用二次电子像对断口形貌进行观察。
二、扫描电镜的构造优点：•景深长、图像富有立体感；•图像的放大倍率可在大范围内连续改变，而且分辨率高；•样品制备方法简单，可动范围大，便于观察；•样品的辐照损伤及污染程度较小；•可实现多功能分析。
二、扫描电镜的构造构成：•电子光学系统，包括电子枪、电磁透镜和扫描线圈等；•机械系统，包括支撑部分、样品室；•真空系统；•样品所产生信号的收集、处理和显示系统。
二、扫描电镜的构造图1Sirion 200扫描电镜外观照片二、扫描电镜的构造图2扫描电子显微镜构造示意图(a)系统方框图二、扫描电镜的构造图2扫描电子显微镜构造示意图(b) 电子光路图电子光学系统包括:•电子枪•电磁聚光镜•扫描线圈•光阑组件二、扫描电镜的构造•电子枪为了获得较高的信号强度和扫描像，由电子枪发射的扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。
常用的电子枪有三种：普通热阴极三极电子枪、六硼化镧阴极电子枪和场发射电子枪，其性能如表1所示。
二、扫描电镜的构造表1 几种类型电子枪性能比较二、扫描电镜的构造(a)热电子发射型电子枪(b)热阴极场发射电子枪图3 电子枪构造示意图二、扫描电镜的构造•电磁聚光镜其功能是把电子枪的束斑逐级聚焦缩小，因照射到样品上的电子束光斑越小，其分辨率就愈高。
扫描电镜通常都有三个聚光镜，前两个是强透镜，缩小束斑，第三个透镜是弱透镜，焦距长，便于在样品室和聚光镜之间装入各种信号探测器。
为了降低电子束的发散程度，每级聚光镜都装有光阑。
为了消除像散，装有消像散器。
•扫描线圈其作用是使电子束偏转，并在样品表面作有规则的扫动，电子束在样品上的扫描动作和在显像管上的扫描动作由同一扫描发生器控制,保持严格同步。
当电子束进入偏转线圈时，方向发生转折，随后又由下偏转线圈使它的方向发生第二次转折,再通过末级透镜的光心射到样品表面。
扫描电镜工作原理科普PPT课件
电 子 在 铜 中 的 透 射 、第吸21页收/共和49页背 散 射 系 数 的 关 系
由图知，样品质量厚度越大，则 透射系数越小，而吸收系数越大； 样品背散射系数和二次电子发射系 数的和也越大，但达一定值时保持 定值。
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样品本身要保持电平衡，这些电子信 号必须满足以下关系：
子束轰击固体样品而激发产生的。具 有一定能量的电子，当其入射固体样 品时，将与样品内原子核和核外电子 发生弹性和非弹性散射过程，激发固 体样品产生多种物理信号。
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特征X射线
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背散射电子
它是被固体样品中原子反射回来的一部 分入射电子。又分弹性背散射电子和非弹 性背散射电子，前者是指只受到原子核单 次或很少几次大角度弹性散射后即被反射 回来的入射电子，能量没有发生变化；后 者主要是指受样品原子核外电子多次非弹
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(2) 扫描系统 扫描系统是扫描电镜的特殊部件，
它由扫描发生器和扫描线圈组成。它 的作用是：1) 使入射电子束在样品表 面扫描，并使阴极射线显像管电子束 在荧光屏上作同步扫描；2) 改变入射 束在样品表面的扫描振幅，从而改变 扫描像的放大倍数。
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(3) 信号收集系统 扫描电镜应用的物理信号可分为：
材料断口和显微组织三维形态
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扫描电镜能完成： • 表（界）面形貌分析； • 配置各种附件，做表面 成分分析及表层晶体学位 向分析等。
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扫描电镜的成像原理，和透 射电镜大不相同，它不用什么 透镜来进行放大成像，而是象 闭路电视系统那样，逐点逐行 扫描成像。
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sem扫描电镜ppt课件
ppt课件
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二次电子像的信号是二次电子，用于表面形貌分析；背散射电子 像的信号是背散射电子，用于成分分析。因此二次电子像对形貌 敏感，背散射电子像对成分敏感。
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5
图2 JSM-6301F场发射扫描电镜的结构
ppt课件
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电子光学系统
组成：电子枪、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部 件。
作用：获得扫描电子束、作为产生物理信号的激发 源。
为了获得较高的信号强度和图像分辨率，扫描电子 束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。
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7
电子枪
✓ 利用阴极与阳极灯丝间的高压产生高能量的电子束。目前大 多数扫描电镜采用热阴极电子枪。优点：灯丝价格便宜，真 空要求不高；缺点：发射效率低，发射源直径大，分辨率低。
ppt课件
1
主要内容
SEM的工作原理 SEM的主要结构 SEM的组成部分 SEM的主要性能参数 SEM的优点 应用举例
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2
SEM的工作原理
电子枪发射电子束（直径50μm）。电压加速、磁透镜系统汇 聚，形成直径约5nm的电子束。
电子束在偏转线圈的作用下，在样品表面作光栅状扫描，激发 多种电子信号。
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SEM的主要性能参数
分辨率 放大倍数 景深
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分辨率
对微区成分分析而言，分辨率是指能分析的最小区域；对成像 而言，它是指能分辨两点间的最小距离。
扫描电镜成像原理
扫描电镜成像原理扫描成像原理如下图所示，电子枪1（钨丝枪或LaB6枪或场发射枪等）发射一束电子，这就是电子源，其最少截面的直径为d0，对钨丝枪而言大约为20～50μm （场发射枪大约为10～20nm ) ，这个小束斑经3 和5 两级聚光镜进一步缩小几百倍，最后再经物镜缩小并聚焦在样品面上，这时束斑10 直径最小可到3～6nm （约小于扫描电镜的分辨本领），电子束打在样品上，就产生上节所述的各种信号。
二次电子和背散射电子信号是最常用的两种信号，尤其是二次电子。
信号由接收器取出，经光电倍增器和电子放大器放大后，作为视频信号去调制高分辨显示器的亮度，因此显示器上这一点的亮度与电子束打在样品上那一点的二次电子发射强度相对应。
由于样品上各点形貌等各异，其二次电子发射强度不同，因此显示器屏上对应的点的亮度也不同。
用同一个扫描发生器产生帧扫和行扫信号，同时去控制显示的偏转器和镜筒中的电子束扫描偏转器，使电子束在样品表面上与显示器中电子束在荧光屏上同步进行帧扫和行扫，产生相似于电视机上的扫描光栅。
这两个光栅的尺寸比就是扫描电镜的放倍数。
在显示器屏幕光栅上的图像就是电子束在样品上所扫描区域的放大形貌像。
图像中亮点对应于样品表面上突起部分，暗点表示凹的部分或背向接收器的阴影部分。
由于显示器屏幕上扫描尺寸是固定的，如14in(1in= 25.4mm）显示器的扫描面积是267×200mm2，在放大倍数为十万倍时样品面上的扫描面积为2.67×2 μm2如放大倍数为20 倍时，则为13.35×10mm2。
因此改变电子束扫描偏转器的电流大小，就可改变电子束在样品上的扫描尺寸，从而改变扫描电镜的放大倍数。
扫描电镜的分辨本领一般指的是二次电子像的空间分辨本领，它是在高放大倍数下，人们能从照片中分清两相邻物像的最小距离。
通常是用两物像边缘的最小距离来计算。
但照片放大近十万倍后，边缘轮廓往往不十分清晰敏锐，难以测量准确。
扫描电镜及其制样技术
SEM样品的常规制备方法
小结
1、SEM样品的常规制备步骤 取材 →清洗 → 固定 → 清洗 → 脱水 → 中间液替代脱水剂 → 临界点干燥 → 粘样 → 金属 镀膜 → SEM观察
溅射时间的选择
8、电镜观察
No Image
图3-6 离子溅射仪及原理图
二 特殊样品的常规制备方法
1、游离细胞的制样方法
1 将盖玻片洗净灭菌,样品面做标记； 2 将盖玻片垂直浸入热溶的2~5%明胶后即刻垂
直取出,用滤纸吸去边缘多余的明胶； 3 将盖玻片的样品面朝上平放在滤纸上,于
37℃干燥箱烘干后备用； 4 在盖玻片样品面上滴1~2滴细胞悬浮液,静置
扫描电镜技术
Techniques of Scanning Electron Microscope
一、扫描电镜的基本结构与成像原理 二、扫描电镜的特点 三、扫描电镜的生物样品制备技术
一 样品的常规制备方法 二 特殊样品的制备方法
扫描电镜技术
扫描电镜 Scanning Electron Microscope,SEM 是 继光镜和透射电镜之后发展起来的一种电 镜,用于观察物质表面及断面的三维形貌结 构和进行微区成分分析，
① 提高样品表面的导电性， ② 提高二次电子发射率， ③ 减少电子束对样品的损伤， 2 镀膜材料的选择
金、铂、金/铂合金、铂/钯合金， 3 镀膜的方法
目前常用离子溅射法镀膜，
7、金属镀膜
1 离子溅射法
① 离子溅射仪的主要结构
② 离子溅射镀膜的原理 辉光放电 → 离子溅射
→ 漫散射镀膜 ③ 镀膜厚度的控制：
扫描电子显微镜
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扫描电子显微镜
昆虫的扫描电镜照片
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扫描电子显微镜
三氧化钼晶体
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扫描电子显微镜
树枝状晶体
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参考文献
[1]王龙龙.扫描电子显微镜[J].工业技术. [2]A. A. ing SEM to Design a New Generation of Drug Forms[J].2014,78(9):11071113. [3]王绍清,等.扫描电子显微镜原位观察可食用淀 粉颗粒的超微形貌[J].食品科学.2013,34(1):6164. [4]方国珊,等.3种马铃薯改性淀粉的理化性质及 结构分析[J].食品科技.2013,34(1):109-113. [5]黎兵,等.扫描电子显微镜在水性聚氨酯材料性 能分析中的应用[J].PU技术.2009,89(10):58-62. 35
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扫描电镜图象原理
二次电子像
背散射电子像
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二次电子
入射电子与样品相互作用后，使样品原子 较外层电子（价带或导带电子）电离产生 的电子，称二次电子。二次电子能量比较 低，习惯上把能量小于50eV电子统称为 二次电子，仅在样品表面5nm－10nm的 深度内才能逸出表面，这是二次电子分辨 率高的重要原因之一。
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形貌衬度原理
图中为根据上述原理 画出的造成二次电子 形貌衬度的示意图 图中样品B面的倾斜 度最小，二次电子的 产额最少，亮度最低； 反ห้องสมุดไป่ตู้，C面的倾斜度 最大，亮度也最大
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背散射电子像
背散射电子 是指入射电子与样品相互作 用 ( 弹性和非弹性散射 ) 之后，再次逸出样 品表面的高能电子，其能量接近于入射电 子能量 ( E。)。背射电子的产额随样品的 原子序数增大而增加，所以背散射电子信 号的强度与样品的化学组成有关，即与组 成样品的各元素平均原子序数有关。
SEM扫描电子显微镜课件
扫描电镜结构原理框图
扫描电镜结构 电子光学系统， 信号收集处理、图 像显示和记录系统， 真空系统， 三部分组成
扫描电镜结构原理
１、电子光学系统： 电子枪 电磁透镜（２个强磁１个弱磁）可使原来50μm电子束斑聚焦为6nm。 扫描线圈 样品室
电子束的滴状作用体积示意图
不同能量的电子束在样品中的作用模拟图
电子束在不同样品中的作用模拟图
但是，当电子束射入重元素样品中时，作用体积不呈滴状，而是半球状。电子束进入表面后立即向横向扩展，因此在分析重元素时，即使电子束的束斑很细小，也不能达到较高的分辨率。此时，二次电子的分辨率和背散射电子的分辨宰之间的差距明显变小。 由此可见，在其它条件相同的情况下(如信号噪音比、磁场条件及机械振动等)，电子束的束斑大小、检测信号的类型以及检测部位的原子序数是影响扫描电子显微镜分辨率的三大因素。
五、特征Ｘ射线 当样品原子的内层电子被入射电子激发，原子就会处于能量较高的激发状态，此时外层电子将向内层跃迁以填补内层电子的空缺，从而使具有特征能量的Ｘ射线释放出来。 用Ｘ射线探测器测到样品微区中存在一种特征波长，就可以判定这个微区中存在着相应的元素。
六、俄歇电子 在特征x射线过程中，如果在原子内层电子能级跃迁过程中释放出来的能量并不以X射线的形式发射出去，而是用这部分能量把空位层内的另—个电子发射出去，这个被电离出来的电子称为～。 俄歇电子能量各有特征值，能量很低，一般为50-1500eV. 俄歇电子的平均白由程很小(1nm左右). 只有在距离表面层1nm左右范围内(即几个原子层厚度)逸出的俄歇电子才具备特征能量，因此俄歇电子特别适用于表面层的成分分析。
由于ZrO2相平均原子序数远高于Al2O3相和SiO2 相，所以图中白色相为斜锆石，小的白色粒状斜锆石与灰色莫来石混合区为莫来石－斜锆石共析体，基体灰色相为莫来石。
扫描电镜的基本工作原理及主要图象方式PPT课件
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图4 电子与物质的相互作用
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3.成象原理
扫描电镜的成象过程与电视的摄象——显象过程很相似。 来自扫描发生器的扫描信号分别送给电子光学系统的扫描 线圈和显象管的扫描线圈，让电子束与显象管的阴极射束 （实际上也是电子束）做同步扫描，使阴极射束在荧光屏 上的照射点（称为象点）与电子束在样品上的照射点（称 为物点）按时间顺序一一对应，样品上的物点在电子束作 用下所产生的信号被检测器随时检出，经视频放大器放大 后控制显象管阴极射束的强度使荧光屏上象点的亮度受试 样上物点所产生的信号的大小的调制，从而得到与样品性 质有关的图象。这是一种按时间顺序逐点成象的方式。前 面提到的电子束与样品相互作用所产生的各种信息都可以 作为调制图象的信号。
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2.二次电子的收集 二次电子常用装在样品室侧面的闪烁体——光电
倍增管检测器检测。入射电子产生的二次电子被加 有+100V至+200V偏压的栅网收集。闪烁体表面有几 十个纳米厚的导电铝膜，在其加上+10KV偏压。穿 过收集栅网的二次电子被加速到闪烁体。具有加速 电子的能量，足以使闪烁体发光，光强度与二次电 子数量成正比。闪烁体发出的光量子通过光导管送 到光电倍增管转换成电压信号，用来调制阴极束。
实验5 扫描电镜及其观察
实验5扫描电镜及其观察一、实验目的和任务1 .了解扫描电镜的基本结构和原理2 .了解扫描电镜试样的制备方法3 .了解二次电子象，被散射电子像和吸收电子像观察记录操作的全过程机及其在形貌组织观察中的应用二、扫描电镜的构造扫描电镜是由电子枪发射并经过聚焦的电子束在样品表面扫描，激发样品产生各种物理信号，经过检测、视频放大和信号处理，在荧光屏上获得能反映样品表面各种特征的扫描图像。
扫描电镜由下列五部分组成，如图1(a )所示。
各部分主要作用简介如下：b )图1扫描电子显微镜构造示意图1. 电子光学系统a ) 第嗥比镜I 備转挾圍、F 偏转珏隆它由电子枪、电磁透镜、光阑、样品室等部件组成，如图1(b)所示。
为了获得较高的信号强度和扫描像，由电子枪发射的扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。
常用的电子枪有三种形式：普通热阴极三极电子枪、六硼化镧阴极电子枪和场发射电子枪，其性能如表1所示。
前两种属于热发射电子枪，后一种则属于冷发射电子枪，也叫场发射电子枪。
由表可以看出场发射电子枪的亮度最高、电子源直径最小，是高分辨本领扫描电镜的理想电子源。
电磁透镜的功能是把电子枪的束斑逐级聚焦缩小，因照射到样品上的电子束斑越小，其分辨率就越高。
扫描电镜通常有三个磁透镜，前两个是强透镜，缩小束斑，第三个透镜是弱透镜，焦距长，便于在样品室和聚光镜之间装入各种信号探测器。
为了降低电子束的发散程度，每级磁透镜都装有光阑；为了消除像散，装有消像散器。
2.扫描系统扫描系统的作用是提供入射电子束在样品表面上以及阴极射线管电子束在荧光屏上的同步扫描信号。
3.信号检测、放大系统样品在入射电子作用下会产生各种物理信号、有二次电子、背散射电子、特征X射线、阴极荧光和透射电子。
不同的物理信号要用不同类型的检测系统。
它大致可分为三大类，即电子检测器、阴极荧光检测器和X射线检测器。
4.真空系统镜筒和样品室处于高真空下，一般不得高于1x10-2Pa,它由机械泵和分子涡轮泵来实现。
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背散射电子(backscattering electron)
➢ 背散射电子是指被固体样品原子反射回来的一部分入射电子，其中包括 弹性背散射电子和非弹性背散射电子。
➢ 弹性背散射电子是指被样品中原子核反弹回来的，散射角大于90度的 那些入射电子，其能量基本无变化（几到几十KeV）。
➢ 非弹性背反射电子是入射电子和核外电子撞击后产生非弹性散射，不仅 能量变化，而且方向也发生变化。能量范围很宽，从数十eV到数千eV。
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物理信号
➢ 背散射电子 ➢ 二次电子 ➢ 俄歇电子 ➢ X-射线光量子 ➢ 光子 ➢ 发热 ➢ (样品电流)
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二次电子(secondary electron)
➢ 二次电子是指被入射电子轰击出来的核外电子。 ➢ 由于原子核和外层价电子间的结合能很小，因此外层的
电子比较容易和原子脱离。当原子的核外电子从入射电 子获得了大于相应的结合能的能量后，可离开原子而变 成自由电子。
➢ 1938年，德国工程师 Max Knoll和Ernst Ruska制造出了世界 上第一台透射电子显 微镜(TEM)。
Max Knoll(1897-1969) Ernst Ruska(1906-1988)
• 电子显微镜的分辨率可以达到纳米级(10-9nm)。 可以用来观察很多在可见光下看不见的物体，例 如病毒。
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SEM的发展
➢ 1952年，英国工程 师Charles Oatley 制造出了第一台扫 描电子显微镜(SEM) 。
Charles Oatley
电子显微镜下的蚊子
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SEM的发展
➢ 到1955年扫描电镜的研究才取得较显著的突破，成像质量有 明显提高，并在1959年制成了第一台分辨率为10nm的扫描电 镜。
➢ 从数量上看，弹性背散射电子远比非弹性背散射电子所占的份额多。 背散射电子的产生范围在样品的100nm-1m m深度，能量在几十～几千eV。
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背散射电子(backscattering electron)
➢ 背散射电子成像分辨率一般为50-200nm（与电子束斑直 径相当）。
➢ 背散射电子及二次电子的产额随原子序数的增加而增加， 但二次电子增加的不明显。而背散射电子作为成像信号 不仅能分析形貌特征，也可以用来显示原子序数衬度， 定性地成分分析。
主要内容
1
SEM的发展简史
2
SEM的基本结构与原理
3
SEM的主要性能
4
SEM的衬度形成原理
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能谱仪
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1
D的原理
1
SEM的发展简史
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2
扫描电子显微镜
SEM SEM
扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope, 简称SEM）是继透射电镜（TEM）之后发展起来 的一种电子显微镜
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背散射电子(backscattering electron)
➢ 原子序数高的元素，背散射能力强。 ➢ 因此不同的物质相也具有不同的背散射能力，用背散射
电子的测量亦可以大致的确定材料中物质相态的差别。 ➢ 背散射电子像亦称为成分像。
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特征X射线 (characteristic X-ray)
➢ 目前扫描电镜的发展方向是采用场发射枪的高分辨扫描电镜 和可变气压的环境扫描电镜（也称可变压扫描电镜）。目前 的高分辨扫描电镜可以达到1～2 nm，目前，最好的高分辨 扫描电镜可在气压为4000 Pa时仍保持2nm的分辨率。
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样品制备要求及问题
2 SEM的基本结构与原理
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特征X射线 (characteristic X-ray)
具体说来，如在高能入 射电子作用下使K层电子逸 出，原子就处于K激发态， 具有能量EK。当一个L2层电 子填补K层空位后，原于体 系由K激发态变成L2激发态， 能量从EK降为EL2，这时就有 E＝(EK-EL2)的能量释放出 来。
成像原理和光学显微镜或透射电子显微镜不同，它是以 电子束作为照明源，把聚焦得很细的电子束以光栅状扫 描方式照射到试样上，产生各种与试样性质有关的信息 ，然后加以收集和处理从而获得微观形貌放大像。
SEM
扫描电镜在断口失效分析、材料微观组织形貌 观察及成分分析方面发挥了重要作用。
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SEM的发展
➢ 特征X射线是原子的内层电子受到激发以后，在能级跃迁 过程中直接释放的具有特征能量和波长的一种电磁波辐 射。
➢ 入射电子与核外电子作用，产生非弹性散射，外层电子 脱离原子变成二次电子，使原于处于能量较高的激发状 态，它是一种不稳定态。较外层的电子会迅速填补内层 电子空位，使原子降低能量，趋于较稳定的状态。
➢ 第一台商业制造的扫描电镜是Cambridge Scientific Instruments公司在1965年制造的MarkⅠ“Steroscan”。将 场发射电子枪用于扫描电镜，使得分辨率大大提高。
➢ 1978年做出了第一台具有可变气压的商业制造的扫描电镜， 到1987年样品腔的气压已可达到2700 Pa。
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二次电子(secondary electron)
➢ 二次电子对试样表面状态 非常敏感，能有效地显示 试样表面的微观形貌。
➢ 扫描电子显微镜的分辨率 通常就是二次电子分辨率。
➢ 因此一般所说的电子显微 镜照片即是指收集到的二 次电子信号转化成的图象， 简称形貌像。
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➢ 如果这种散射过程发生在比较接近样品表层，那些能量 尚大于材料逸出功的自由电子可从样品表面逸出，变成 真空中的自由电子，即二次电子。
➢ 一个能量很高的入射电子射入样品时，可以产生许多自 由电子，而在样品表面上方检测到的二次电子绝大部分 来自价电子。
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二次电子(secondary electron)
➢ 二次电子来自表面50-500 Å的区域，能量为0-50 eV， 多数能量在2—3eV。
➢ 由于它发自试样表面层，入射电子还没有较多次散射， 因此产生二次电子的面积与入射电子的照射面积没多 大区别。所以二次电子的分辨率较高，一般可达到50100 Å。
➢ 二次电于产额随原于序数的变化不明显，它主要决定 于表面形貌。