扫描电子显微镜操作规程
JSM-6700f_扫描式 电子显微镜操作规程
6700F操作规程早上来时，打开tool界面，查看电镜状态，并先计录下SIP1、SIP2的值。
（只需计早上开机时的值，中午和晚上无需计）打开自动控制器侧面的开关。
一、 放进样品：1．确认高压处于关闭状态，高压开关按钮为蓝色或黑色。
2．点击打开窗口，从窗口中选择和要使用的样品座相对应的图形（用鼠标左键点击）。
点击下方“Exchange”或“Home”按钮。
3．调整样品台Z轴为8mm，T轴为0°（唯一的）。
Z轴T轴X轴Y轴4．确认样品交换室操作面板上“EXCH POSN”灯点亮。
样品座卡抓5．按“VENT”按钮，此时样品交换室进氮气，“VENT”闪烁，待交换室达到大气压后，“VENT”点亮。
6．松开交换室锁扣，打开样品交换室，将已固定好样品的样品座，按箭头方向放到送样杆末端的卡抓内。
样品台固定方法：首先将样品固定在样品台上，再将样品台放到样品座的圆筒槽内，调节样品座下方的螺丝，调整样品表面与样品座圆筒槽上表面齐平。
调好后，拧紧样品座上的固定螺丝，将样品台固定。
样品表面样品座圆筒槽表面样品表面样品座圆筒槽表面样品表面样品座圆筒槽表面样品台样品座圆筒槽样品台高度调节螺丝样品座7．关闭样品交换室门，扣好锁扣。
8．按“EV AC”按钮，开始抽真空，“EV AC”闪烁，待真空达到一定程度时，“EV AC”点亮。
9．将送样杆放下至水平，向前轻推至送样杆完全进入样品室，无法再推动为止，停留1秒钟，确认“HLDR”灯点亮。
10．将送样杆向后轻轻拉回直至末端台阶露出导板外（非常重要，否则易引起送样杆损坏），将送样杆竖起卡好。
导板末端台阶末端台阶导板二、 样品的移动：1．用鼠标右键点击需要观察的区域，该区域即移动到屏幕中心。
2．使用操纵杆：通过左右倾斜操纵杆控制样品水平左右移动，通过前后倾斜操纵杆控制样品水平上下移动，通过扭拧操纵杆控制样品水平旋转。
Y方向X方向三、 图像调整及保存：1．观察条件：5.14-E-004样品放入样品室后，打开“PVG”，查看真空度，达到后，且“HT”变蓝时，才可以准备加高压。
Tescan型扫描电子显微镜操作规程
Tescan型扫描电子显微镜操作规程Tescan型扫描电子显微镜是一种高分辨率显微镜，可以将样品的表面形貌及结构进行精细的观察和分析。
本文将介绍Tescan型扫描电子显微镜的操作规程，以帮助使用者更加有效地使用该设备。
一、准备工作1.1 确定目的：在使用Tescan型扫描电子显微镜前，首先需要确定使用该设备的目的。
用户应该了解所需观察的样品类型、结构形态和分析的问题等。
1.2 样品制备：选择适当的样品并进行制备。
样品制备可以使用化学刻蚀、机制切割、离子束切割等方法。
1.3 清洁操作区域：在使用Tescan型扫描电子显微镜前，应该确保周围环境干净整洁，无杂质和灰尘等影响观察效果的物质。
1.4 开机前的准备：检查仪器的接线和电源，并确保仪器与电源相连接。
在开机前应该预热电子枪，并确保其正常工作。
二、扫描电子显微镜的操作步骤2.1 软件的启动与设置操作员需先启动Tescan型扫描电子显微镜的控制软件，通过用户界面进行图像显示、设备操作及数据采集等操作。
使用者可根据需要进行各项设置，如图像分辨率、曝光时间和扫描范围等。
2.2 样品放置将准备好的样品放置到样品台上，并调整样品的位置，以便获取所需的区域图像。
2.3 调整电子枪在设备正常工作前，调整好电子枪的参数，首先进行缺陷修复，然后将加速电子管的电压调整至合适的值。
常规加速电子压力通常在20~30kV之间。
2.4 断定缩放倍数在将电子枪的电压和电流调整好后，操作员需要指定所需的缩放倍数。
缩放倍数越高，分辨率越高，对样品的影响也越小。
2.5 图像采集操作员通过扫描压电晶体，可以获取样品的表面结构和拓扑形状等信息，并进行图像采集。
在图像采集前，需要设置图像的扫描速度、曝光时间和扫描范围等参数。
2.6 图像处理与分析图像处理和分析是Tescan型扫描电子显微镜的重要功能之一，可以对采集到的图像进行各种图像处理和数据分析，以获得更多的信息。
操作员可以通过各种图像处理工具对所获取的数据进行处理和分析，如细节增强、对比度调整、线性增强和颜色增益等等。
场发射扫描电子显微镜安全操作及保养规程
场发射扫描电子显微镜安全操作及保养规程电子显微镜是一种高精度的仪器，操作时需要遵循一定的安全规程和保养措施，以确保仪器的正常运行和使用者的安全。
下面是电子显微镜的安全操作和保养规程，供参考。
一、电子显微镜的安全操作规程：1.进入实验室前，要穿戴好实验室专用工作服，并佩戴好相应的防护用品，如手套、眼镜和口罩等。
2.在操作电子显微镜之前，应先了解设备的基本知识，熟悉仪器的使用方法和操作步骤。
3.在使用电子显微镜之前，要确保仪器的电源已经关闭，并检查仪器的相关连接线是否牢固。
4.在进行样品准备时，应使用专用工具进行操作，避免直接用手触摸样品和仪器部件。
5.在开机之前，应确认好样品装载台、真空系统和冷凝系统等设备是否运行正常。
6.在启动电子显微镜之前，要确保室内的温度和湿度适宜，尽量避免环境中的尘埃和静电干扰。
7.在启动电子显微镜后，应根据实际需要进行相关参数的调整，如电子束强度、放大倍数和对比度等。
8.在放大和观察样品时，要注意不要过度放大或观察过长时间，以免对样品和仪器造成损坏。
9.在操作电子显微镜时，要保持室内环境的安静和稳定，避免不必要的震动和干扰。
10.在关闭电子显微镜之前，要先将相关参数调整到初始位置，然后将电源关闭，并检查仪器是否有异常情况。
二、电子显微镜的保养规程：1.每天使用电子显微镜之前，要先清理设备外部的尘埃和杂物，并定期清洁仪器的内部部件，如样品台和镜筒等。
2.定期检查电子显微镜的电源线和电源插头是否有损坏或老化现象，并及时更换或维修。
3.定期检查仪器的真空系统和冷凝系统，保持其正常运行状态，如有异常情况，应及时修理或更换相关部件。
4.定期检查仪器的操作系统、数据存储系统和软件程序等，确保其正常运转和更新。
5.定期校准电子显微镜的各项参数和功能，以确保仪器的精度和准确性。
6.在仪器长时间不使用时，要将其储存在干燥、清洁和稳定的环境中，以免仪器受潮、腐蚀或受损。
7.在操作电子显微镜时，要避免使用尖锐或硬物品接触样品、仪器内部或镜筒，以免划伤或损坏仪器。
电子显微镜的操作规程
电子显微镜的操作规程电子显微镜（ESEM）是一种先进的显微镜技术，具有高分辨率和高放大倍数的特点，广泛应用于科学研究和工业生产中。
为了正确操作电子显微镜并获得准确的图像和数据，以下是电子显微镜的操作规程。
一、准备工作1. 确保电子显微镜的工作环境稳定，无震动和静电干扰。
2. 检查显微镜是否正常运行，如电源是否接通，主控开关是否打开等。
3. 检查电子显微镜的样品台是否干净，无尘和污染。
二、打开电子显微镜1. 将主控开关调至ON位置，等待电子显微镜启动。
2. 根据需要选择透射电子显微镜或扫描电子显微镜模式。
3. 等待电子显微镜的预热过程，确保设备温度稳定。
三、加载样品1. 在样品载物台上放置准备好的样品，确保样品平整且与载物台接触良好。
2. 使用样品夹固定样品，并调整样品的位置，使得感兴趣的区域位于观察范围内。
3. 确保样品室内的环境湿度适宜，可以根据样品的需要进行湿化或干燥。
四、对焦和取像1. 调节电子束的对焦功能，使得电子束聚焦在样品上。
2. 根据需要选择合适的放大倍数，以获得所需的图像细节。
3. 调整亮度和对比度，确保图像清晰可见。
4. 使用显微镜镜头和样品台的微动装置，进行微小调整和平移，以获得最佳图像。
五、记录和保存数据1. 使用数字相机或计算机连接电子显微镜，以记录图像和数据。
2. 对于扫描电子显微镜，可以使用软件进行图像采集和分析。
3. 确保保存的数据和图像被正确命名和归档，以便后续分析和研究使用。
六、关闭电子显微镜1. 将主控开关调至OFF位置，关闭电子显微镜。
2. 温和地关闭样品室门和抽真空系统，避免损坏设备。
3. 清理和整理工作区域，确保其它使用者能够方便使用电子显微镜设备。
电子显微镜的操作规程对于获得准确的图像和数据至关重要。
通过遵循以上规程，操作者可以确保电子显微镜的正常运行，并获得高质量的图像和数据，以促进科学研究和工业生产的发展。
012扫描电子显微镜操作规程
012扫描电子显微镜操作规程一、引言扫描电子显微镜（SEM）是一种使用电子束来观察样品表面形貌和微观结构的仪器。
它能够提供高分辨率、高放大倍数和高对比度的图像，被广泛应用于材料科学、生命科学、地质学等领域。
为了保证SEM的正常运行并获得高质量的图像，有必要制定相应的操作规程。
二、SEM操作流程1.准备工作(1)打开SEM主机电源，并按照指示启动冷阱泵、离子泵和电子枪的加热系统。
(2)打开控制器电源，同时启动计算机。
(3)打开主机保护罩，确认操作环境无尘、无水汽等污染物，确保主机表面无异物。
2.样品制备(1)样品选择：根据实验需要选择合适的样品，并确认样品表面无水分、灰尘和油脂等污染物。
(2)样品固定：将样品固定在适当的样品台上，可以使用导电胶、碳带或金属夹等方式。
(3)极性标记：如果样品具有极性，可以使用导电涂层或金属导线对样品进行极性标记。
3.SEM参数设置(1)加速电压：根据样品类型和需要观察的细节选择合适的加速电压，一般为10-30kV。
(2)操作模式：根据需要选择高真空模式或低真空模式，低真空模式适用于非导电样品的观察。
(3)滤波器：根据样品的特点和需要选择合适的信号滤波器。
(4)检测器：根据需要选择透射电子检测器或反射电子检测器。
4.校准与对焦(1)样品台校准：使用样品台移动功能进行校准，确保样品位置精确。
(2)对焦：调节显微镜目镜和物镜，通过观察图像清晰度和对比度来进行对焦。
5.SEM图像获取(1)样品扫描：选择合适的扫描模式，如线扫描或逐点扫描，设置扫描速度和扫描范围。
(2)图像增强：根据需要进行亮度、对比度、伽马校正等图像增强操作。
(3)图像保存：选择合适的文件格式和保存路径，保存图像以备进一步分析和处理。
6.SEM维护(1)常规清洁：每次使用后，使用纯净的乙醇或丙酮擦拭样品台和样品表面，去除样品表面的残留物。
(2)泄漏检测：定期检查真空系统是否存在泄漏，如有泄漏及时修复。
(3)硅片测试：定期使用标准硅片对SEM系统进行性能测试，以确保SEM的准确性和稳定性。
8.KYKY-EM3200型扫描电子显微镜操作规程
1 目的为了正确指导KYKY-EM3200型扫描电子显微镜的操作及注意事项。
2 范围本规程规定了KYKY-EM3200型扫描电子显微镜的操作步骤、常见故障及处理方法、注意事项、保养规定及其他说明。
3 操作步骤3.1操作前检查3.1.1仪器接电正常。
3.1.2废气排放管路畅通。
3.2操作步骤3.2.1真空系统自动操作3.2.1.1 真空系统自动开机3.2.1.1.1 开电源（机械泵、压缩机、变压器及仪器总电源）；开循环水。
3.2.1.1.2 开真空电源，并按一下“STAND BY”准备开关，此时红灯亮。
3.2.1.1.3 将主机背后真空控制板上的自动/手动（AUTO/MAN）开关置于自动（AUTO）状态，此时V2和D.P（扩散泵电炉加热）开始工作（灯亮）。
3.2.1.1.4预热30min以后，再按一下“STAND BY”（灯灭），这时V2、D.P、V5、V4全部打开，系统自动进入高真空状态。
3.2.1.1.5 在系统进入抽高真空以后，真空表头开关指在“MANIFOID”挡，或是“FORELINE”挡，指针都指示在“LO V AC”区，接近到1µ（到头）。
如果真空表头置“HI V AC”档，指针指示到“HI V AC”区，指示高真空度。
一般指针指示到“LO V AC”区1µ左右，即可开始工作。
3.2.1.2 真空系统自动关机3.2.1.2.1 关V1，按一下“STAND BY”开关（灯亮），此时V5、V4关闭（只有V2和D.P开着）。
3.2.1.2.2 将主机背后真空控制板上的自动/手动（AUTO/MAN）开关置于手动（MAN），打开V2（ON），其余开关都是关（OFF），这时 D.P（扩散泵电炉）关，只有V2开着继续抽扩散泵前级的低真空。
3.2.1.2.3 30min后，关闭电源、关闭机械泵、循环水。
3.2.3 样品喷金操作3.2.3.1 将样品用导电胶均匀粘在样品盘边缘。
3.2.3.2 将样品放入离子溅射仪的玻璃室中，打开电源开始抽气（确认盖子上旋钮关闭）。
TESCAN-VEGA3-操作规程
TESCAN-VEGA3-操作规程TESCAN-VEGA3是一款高精度的扫描电子显微镜，广泛应用于材料科学、生命科学和纳米科学领域。
本文将介绍TESCAN-VEGA3的操作规程，以便用户正确、高效地使用该仪器。
1. 准备工作在操作TESCAN-VEGA3之前，首先确保仪器连接稳定，电源正常，并保持周围环境干净整洁。
操作人员应佩戴手套和实验服，以防止样品污染。
2. 打开仪器打开TESCAN-VEGA3之前，操作人员应先确保样品已安全放置在样品台上。
然后按照仪器上的指示，打开仪器电源，并等待系统初始化完成。
3. 调整参数在开始扫描之前，需要根据样品类型和需要观察的细节，对扫描参数进行调整。
TESCAN-VEGA3提供了丰富的参数调整选项，用户可以根据具体需求进行设置。
常用的参数包括电子束能量、放大倍数、扫描速度和探针电流等。
4. 放置样品根据实验需求，将样品小心地放置在样品台上，并调整样品位置，确保待观察区域位于扫描范围内。
在放置样品时，需注意避免样品与扫描器相互碰撞，以防损坏设备。
5. 开始扫描调整完参数并放好样品后，即可开始扫描操作。
在TESCAN-VEGA3的界面上，选择合适的扫描模式，并点击开始扫描按钮。
仪器会自动对样品进行扫描，并根据设定的参数生成相应的图像。
6. 图像观察和分析扫描完成后，可以观察和分析生成的图像。
TESCAN-VEGA3提供了多种图像处理和分析工具，用户可以利用这些工具对图像进行增强、测量和分析。
例如，可以调整亮度、对比度和色彩平衡，或者绘制线条、圆形和矩形以测量长度、面积和形状。
7. 保存和导出数据在观察和分析完图像后，可以选择将数据保存和导出。
TESCAN-VEGA3支持多种数据格式，如图片格式（如JPEG、PNG）和矢量图形格式（如SVG、PDF）。
用户可以根据需要选择合适的数据格式，并选择保存位置。
8. 关闭仪器使用完TESCAN-VEGA3后，应及时关闭仪器。
HITACHI S4800扫描电子显微镜操作规程
HITACHI H-7650 透射电镜操作规程编号: QW148 HITACHI S4800扫描电子显微镜操作规程样品准备及要求:1.含水样品测试前必须干燥，样品要尽量的小，多孔样品做之前一般要烘两到三天;2.粉末样品测试时尽量用最少量的样品，否则容易使电镜污染;3.严禁观察磁性样品;4.样品须处于样品台中央位置，样品表面平坦，样品厚度不可太大。
操作步骤:一、开机顺序1. 开墙上主机电源的开关，开启冷却循环水;2. 将仪器后面板处的主电源开关(Main Power) 打开，之后按下Reset键;3.启动Evac Power，等待TMP指示正常后顺序打开IP1、IP2 和IP3的电源开关:4.达到真空度要求后，开启操作台电源，PC机自动启动进入Windows操作系统，并自动运行S-4800操作程序，此时点击OK (没有密码)后自动进入S 4800操作软件。
二、样品安装1.在实验台上事先粘好样品，并用高度规检测其高度;2.装样品前确认工轴、WD,x,y以及Rotation是否复位(Z轴=8，WD=8，x=25，y=25，Rotation=0)，如未复位，将其复位;3.点击样品交换室的Air键，当听到笛的一声后轻轻的拉开样品交换室;4.将样品杆手柄处于Unlock位置，把样品机座装于样杆的香蕉头处并转动手柄到Lock位置;5.轻轻推住样品交换室，点击Evac键，抽好真空后点市Open键，样品交换室与样品室间的闸门自动打开;5. 轻轻的推动样品杆的手柄将样品送至于样品台上，旋转手柄至Unlock, 拉出样品杆，最后点击Close关闭阀门，安装样品结束。
三、图像观察1.加高压后即可进行调试观察;2.首先在TV1模式下找到所要观察的区域;3.在高倍下用coarse键粗聚焦，然后用fine键细调聚焦，直到图像清楚;4.放回到观察倍数，用ABC或手动调到适合的对比度:5. 在SLOW模式下观察调试后的图像，不合适重新执行步骤2，3，若合适即可拍照。
台式扫描电镜操作规程
台式扫描电镜操作规程引言：台式扫描电镜(SEM)是一种常用的显微镜仪器，广泛应用于材料科学、生物科学、纳米科学等领域。
为了确保SEM的正常运行和保证操作人员的安全，制定一套操作规程是非常必要的。
本文将详细介绍SEM的操作规程，包括准备工作、开机和关机操作、常规操作和安全注意事项等内容。
一、准备工作：1.操作人员需穿戴好个人防护装备，包括实验室服、手套、护目镜等。
2.检查SEM设备是否处于正常工作状态，包括电源、冷阱和真空恢复系统等。
3.准备好所需的样本，确保样本符合SEM的要求。
同时，确保样本干燥、清洁，尽量避免灰尘和污物。
二、开机操作：1.打开SEM控制软件，并登录系统。
2.打开SEM设备的电源，确保系统电源稳定。
3.打开真空恢复系统开关，等待真空稳定。
4.打开冷阱开关，确保冷阱工作正常。
5.进行电子束的对准操作，确保电子束的准直性。
三、常规操作：1.在样品台上固定好样本，并通过样品台调节电子束焦点和位置。
2.设置所需的加速电压、探针电流、显微放大倍数等参数。
3.检查SEM图像，并进行必要的图像调整和优化。
4.对样本进行显微观察，记录所需的显微图像。
5.在操作过程中，若需要更换样品或对设备进行其他操作，应先将电子束关闭，避免辐射伤害。
四、关机操作：1.保存操作数据，并关闭SEM控制软件。
2.将电子束调节至合适位置，并关闭加速电压。
3.关闭冷阱和真空恢复系统，并等待真空泄压完成。
4.关闭SEM设备的电源，并断开电源线。
五、安全注意事项：1.操作人员需严格遵守实验室安全规程，确保自身安全。
2.在操作过程中，注意保持SEM设备的稳定和平衡，避免碰撞或摔落。
3.使用SEM时，应注意防止静电产生和电磁干扰，以避免对设备造成损坏。
4.操作结束后，应集中处理样品残留物，并清理工作区域。
5.定期对SEM设备进行维护和保养，确保其正常运行并延长使用寿命。
6.严禁未经授权人员操作SEM设备，以免造成不必要的损坏和安全事故。
SEM操作规程
扫描电子显微镜操作规程
一、开始运行系统：
1.打开总电源。
2.打开空气压缩机。
3.打开机械泵和变压器。
4.通入冷却水。
5.打开真空电源，系统开始抽低真空。
6.30分钟后，使系统抽高真空。
7.待前级真空、管道真空和高真空均指示到200的位置以后，即可开始工
作。
二、关机
1.关闭阀1，打开“STAND BY”开关。
2.将真空控制板上的自动、手动开关置于手动，此时只有阀2继续抽扩散
泵的前级真空。
3.30分钟后，关真空电源。
4.关闭机械泵、空气压缩机、总电源。
5.关冷却水。
三、注意事项：
1.在测量高真空时，不要将表头开关置于HI V AC位置上。
2.加高压时，不要一下子加到20-30KV，特别是房间较潮湿的地方，高压
容易打火，造成仪器元件损坏。
所以可以先加10KV，再以1KV的步距
逐步增加高压。
3.要慢慢增加束流，并且是灯丝在饱和点工作。
4.灯丝一定要安正，否则看不到图像。
5.在仪器不用时，要定期开机抽真空。
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FEI Quanta 200扫描电子显微镜操作标准操作规程说明书
Standard Operating ProcedureFEI Quanta 200 Scanning Electron Microscope This document is intended as a guide to the operation of the FEI Quanta 200ESEM by certified users. It provides details on sample loading, bringing the microscope up to operating conditions, normal operation procedures, sample removal, and returning the microscope to a powered down state. This guide is not intended for novice users.*Please fill out the log sheet before beginning using the microscope.1. Specimen Preparation and HandlingThe Quanta 200 has three operating vacuum modes to deal with different types of samples. High Vacuum (HiVac) is the conventional operating mode associated with all scanning electron microscopes. High Vacuum mode typically requires that the sample be conductive or properly mounted and coated for conduction. Coating reduces beam penetration and allows for a sharper image; however, it may mask elements of interest forX-ray analysis. The two other operating modes are Low Vacuum (LowVac) and ESEM.In these modes the column is under high vacuum and the specimen chamber is at higher pressures of 0.1 to 30 Torr. Observation of outgassing or highly charging materials can be made using one of these modes without the need to coat the sample with a conductive material. In some cases, a PLA (Pressure Limiting Aperture) cone placed on the conical objective maybe useful in LowVac mode because the gas in the chamber may cause “skirting” of the incident beam. ESEM mode is used primarily for any specimens that are considered “wet” and contain volatile components such as water or oil.The microscope is currently used in High Vacuum (HiVac) mode. If you want to use Low Vacuum please contact before Claudia Ojeda-Aristizabal or Rick Behl.Specimens should be clean, fixed, and properly mounted before loading them onto the specimen stage. The specimen must be electrically grounded to the sample holder with conductive tape or paint to minimize specimen charging.2. Computer User Interface (UI)The SEM is controlled by means of a Windows-based user interface (UI) program, calledxT Microscope Control.The primary SEM controls are accessed via the consoles on the right hand side of the screen. There are various tabs at the upper right hand side corresponding to different“pages”. The Work Page(Figure 1) contains the “Vacuum”console, the “Electron Column”console, the “Detectors”console, and the “Stage”console, with maps, coordinates, and tilt correction tabs, and finally, the “Status” console. The Options Page (Figure 2) contains the “Imaging” console. The various pages are accessed by selecting the desired tab from the top of the console.Images are displayed in the main window on the computer screen. The main windowis divided in to 4 quadrants (quads). The bottom right quadrant, quad 4, shows an infrared camera view of the inside of the SEM chamber. The upper right quadrant, quad 2, is typically used to display the secondary electron image. Quadrant 1 (upper left) may be used for the backscatter detector, and quadrant 3 (lower left) may be used to mix images from quad 1 and2.The SEM can be controlled by making selections from the Menu, clicking icons onthe Toolbar (Figure 3), or with keyboard commands (Figure 4). The mouse is also used tocontrol various functions on the SEM. The controls are discussed in detail in the following sections.Figure 1. The Work Page, located on the right side of the xT Microscope Control window.Figure 2. The Options Page, located on the right side of the xT Microscope Control window.Figure 3. The Toolbar, located on the top of the xT Microscope Control window.Figure 4. Keyboard shortcuts.3. Start up Procedure*Users must wear latex gloves when handling detectors or loading specimens.1.Fill out the Logsheet. Fill out the Date, User, Supervisor, Sample material,Acceleration Voltage, Time In, Time Out and any comments regarding the SEM (for ebeam lithography include spot sizes used and measured currents). Refer to the previous entry on the Logsheet to confirm the SEM status.2.From the xT microscope control user interface (UI), enter your Username andPassword. The general username is “supervisor”, and the password is “supervisor”.3.The column and specimen chamber are kept under vacuum when not in use to preventcontamination therefore first the system must be brought to atmospheric pressure to open the specimen chamber. First bring the stage to “Home stage” while watching the camera image, checking that the stage will not hit anything. In case of doubt, click “Stop”. Vent via the computer interface by clicking the “Vent” button on the “Vacuum” console. The program will display a prompt asking “Really vent the chamber?”. Click yes to vent the chamber.4.As the system vents, the Vacuum Status Indicator on the “Status” console willchange from green, to yellow while venting, and finally to red when vented. At this point, as you watch the camera image, open the chamber door by pulling the door carefully straight out. Check in the camera image that the stage is far from the eyepiece.5.After mounting your specimen to a specimen stub, insert the pin on the underside ofthe specimen mount into the opening in the top of the stage (see Figure 5). Use gauge to test the height of the sample before closing the door of the chamber.6.Close the chamber door as you watch the camera image and click the “Pump” buttonon the Vacuum console in the computer interface.7.Wait for 15min.During this time a green light will appear next to the vacuumpressure on the “Status” console. After 15min pumping, the accelerating voltage may be turned on by clicking on the “HV” button on the “Electron Column” console.(Even if the software allows to click “HV” before the 15min have passed, please wait.We suspect that the pressure gauge is not reading an accurate pressure in the chamber)Figure 5. Inserting the specimen stub into the stage.4. Adjusting Working Distance, Accelerating Voltage and Spot Size1.Set the highest point on the specimen to a working distance of approximately 10 mmby adjusting the z-axis on the stage. The z-axis can be changed by clicking on the camera view window or in quad 4, then clicking and holding the middle scroll button up or down over the yellow bar which will appear on the screen. It can also be changed by changing the relative coordinates in the stage menu. Approach to the 10mm mark on the screen little by little. Be prepared to stop the stage in case it gets too close to the eyepiece. Do a rough focusing on the highest point of the specimen.Once on focus, click on the icon . This couples the specimen height to the working distance.2.The accelerating voltage can be set between 0-30 kV via the “Electron column”console however, 10 kV will be adequate for most materials. For polymer and glass samples 2-6kV works well and for metals or highly conductive surfaces 30kV will provide high resolution.3.To obtain an image, click on the desired quadrant, 1, 2 or 3, and then click the rabbiticon on the toolbar for fastest render.4.Demagnify as far out as possible when setting up an image by pressing the “-“ key5.Adjust the magnification, focus, stigmator, contrast and brightness to desiredlevels as described below.6.Adjust the contrast and brightness, located on the “Detectors” console, to thedesired levels, or press F9 for the auto contrast brightness (ACB) function.7.Once the brightness and contrast have been adjusted, increase the magnificationusing the “+” key on the keyboard. Other magnification adjustments are• Higher/Lower = (+/-on num pad)• Coarse control = (Crtl key + mouse wheel up/down)• Fine control = (Shift key + mouse wheel up/down)• Round value = (*on num pad)• Select preset value from Magnification menu on the Option page8.Focus the image by holding the right mouse button and moving the mouse left orright.9.The “Spot size” on the “Electron column” console should be adjusted to improvethe image quality; however, in turn the brightness and contrast will need to be readjusted. In general, smaller spot sizes are used for high magnification/resolution while larger spot sizes are more suitable for low magnification and X-ray analysis.10.An area of interest can be moved to the center by locating the mouse pointer over itand double-clicking. To move the sample, the arrow keys, the center scroll button, the stage console, or the x, y and z knobs on the SEM chamber door can also be used.11.To optimize very high magnification imaging, the stigmator can be adjusted byholding the “Shift” key and the right mouse button simultaneously.5. Image Capture1.To capture an image, click on the desired quadrant, 1, 2 or 3.2.By clicking the “-“ button in between the “turtle” and “rabbit” buttons on the toolbarthe render speed can be decreased, thereby increasing the image quality shown on the screen and allowing for a better idea of how the final image will actually look. It is good technique to adjust the brightness and contrast a few times while switching back and forth between fast and slow raster speeds until the extremely bright regions are minimized and muddy looking regions show detailed contrast.3.To have good resolution in your saved image, the image size, located to the rightof the rabbit button, should be 1024x884. This results in an image of around 900kB.4.Now click the “camera” button on the toolbar to initiate a slow scan and capture afinal image.5.File – Save As… to save the image to the “Data” folder.All pictures should besaved under a subfolder with your Supervisor’s name.6.Transfer your images through the internet using the DELL black computer on theground (at the far left). Never insert a USB memory to the SEM computer8. Shut-down Procedure1.Reduce the magnification to its lowest value and turn off the accelerating voltage byclicking the “HV” button on the “Column” console.2.Bring the stage to home while you watch the camera image, checking that the stagewon’t hit anything inside the chamber. In cause of doubt, click “Stop”3.Once the accelerating voltage has been turned off, click the “Vent” button on the“Vacuum” console to bring the system back to ambient pressure.4.Once the system is fully vented, the “Vacuum Status” on the “Vacuum” consolewill display a red box.5.The specimen chamber can now be opened and the sample can be removed. Open thedoor carefully as you watch the camera image to check that the stage won’t hit anything, in particular the eyepiece. Remember user must wear latex gloves when unloading specimens or handling detectors.6. Remove the specimen stub from the socket.7.Now that the sample has been unloaded shut the specimen chamber door. The systemis kept under high vacuum when not in use, so click the “Pump” button on the “Vacuum” console as the door is hold closed. (If the system is in LowVac or ESEM mode, the environmental backing valve(EBV) should be shut when prompted by the computer)8.Wait until the vacuum indicator on the “Vacuum” console has turned green, a fewminutes after pump down has commenced, and record the pressure on the log sheet.9.Under File, log off from the system.1.Close the XT Microscope Control Program and click STOP UI. Shut down thecomputer by clicking the Windows Start button, then selecting Shut Down.puter. Don’t turn off the monitor, as it has a delicate switch.11.Make sure that the door is left locked when you leave9. Troubleshooting9.1 Shut Down Procedure for the SEMIf the program becomes unstable (for example the xT Microscope Control program windowis not updating, or the program crashes), you may need to shut down and restart the computerand/or the SEM. If you are unsure about any of these procedures, contact the Tom Douglass before proceeding.2.Close the xT Microscope Control program, click File, and select Exit. Stop UI.3.Shut down the computer by clicking the Windows Start button, then selecting ShutDown.4.Turn on the computer by pressing the power button.5.Log on. The user name is “supervisor” and the password is “supervisor”6.Double click the shortcut “xT microscope Server”7.Press Start on the xT microscope Server8.Press Start UI9.Again enter “supervisor” as both the user name and password9.2 Blown FilamentIf these is no picture with the HV on, check the Status console. If the filament or emission current reads zero, then the filament may be blown. Contact SEM manager (Tom Douglass)for replacement.9.3 Venting (currently the system is vented with air. A nitrogen dewar will be hooked up in the close future)The system is hooked up to a nitrogen dewar, which provides a clean, dry gas which is letinto the SEM chamber during venting. The gas pressure should be not more than 1-2 psi, to prevent damage to the EDS system. If the dewar is empty, then the vacuum may not be released completely after the system has been vented. In this case, the nitrogen tank pressurewill read zero (or close to zero), and the tank level may show empty (or close to empty).In this case, take an adjustable wrench and remove the plastic hose from the gas regulator fitting. This will allow a path for room air to enter the chamber. Click “pump” and wait untilthe system begins pumping. Then, click “vent” to vent the system. The chamber door should open easily when the vent cycle is completed.Do not force the door. Should you continue to have problems, contact the SEM Manager.9.4 Help FileFurther information is available in the help file. Press F1 to access the online help file, or open the pdf file shortcut on the desktop.10. References10.1 Print referencesScanning Electron Microscopy and X-ray Microanalysis, Goldstein, J., Springer (2003). Scanning Electron Microscopy: A Student's Handbook, Postek, Michael T., et al., Ladd Research Industries (1980).Scanning Electron Microscopy, X-Ray Microanalysis, and Analytical Electron Microscopy: A Laboratory Workbook, Lyman, C., et al, Springer (1990).Electron Optics, Grivet, P., Pergamon Press (1972)10.2 Electronic references for Electron Microscopy/Resources/StudentLearning/tabid/91/language/en-US/Default.aspx/wiki/Scanning_electron_microscope/microscopy/home.html/CMRAcfem/em.htm/CMRAcfem/em.htm/microscopy/guide.aspxPlease contact Prof. Rick Behl (**********************) for Low Vacuum mode or ESEM modeAppendix A – Low Vacuum ModeLow vacuum mode allows a non-conductive or “wet” sample to be imaged by creating a water-vapor-containing atmosphere in the SEM chamber. The pressureallowed range from 0.8 to 1 torr. To operate in LowVac mode the Large Field Detector(LFD), shown in Figure A1, must be installed. The LFD is inserted into the blackconnecter in the rear of the specimen chamber, as shown in Figure A2. The LFD isnormally left in the microscope to enable the user to switch between low and high vacuummode without venting the chamber. When using LowVac mode a PLA cone can be used,if desired. The PLA is installed onto the conical objective (Figure A3).After installing the LFD and PLA and closing the chamber, select “Low Vacuum”on the Vacuum console area of the computer interface. Set the desired starting pressure(0.8 to 1.0 torr), and click “Pump”. Before pumping down, the computer will ask if anycone accessories are being used. Click beside the picture of the accessory being used sothat the system is aware of it presence.The environmental backing valve (EBV), located on the left side of the SEM column, must also be opened (see figure A4). The computer interface will display aprompt when it is time to open this valve.Figure A1. Underside of the Large Field Detector (LFD).Figure A2. Installing the LFD or GSED into the connector in the rear of the chamber can be awkward; be sure to match up the slots in the card with the connector properly.Figure A3. Inserting the GSED or PLA aperture into the conical objective opening where the beam is emitted.Figure A4. Open the environmental backing valve (EBV) only when prompted by the computer system.Appendix B – ESEM ModeESEM mode is used when a higher water vapor pressure than is allowed in low vacuum mode is needed. The pressure in this case can go up to 30 torr. When using ESEM mode the Gaseous Secondary Electron Detector (GSED)must be installed.The GSED has an integrated flexible pc board that must be inserted into the signal connector behind the conical lens (Figures B1 and B2) and an aperture that must be plugged into the conical objective opening were the beam is emitted. This aperture is inserted over the conical objective in the same way a PLA is in Low Vac mode (see figure A3 in the previous section).When using ESEM mode, select “ESEM” on the “Vacuum”console area of the computer interface. The environmental backing valve (EBV) located on the left side of the column must also be opened (see Figure A4 in the previous section). The computer interface will display a prompt when it is time to open this valve.Installing the Gaseous Secondary Electron Detector (GSED)Figure B1. Gaseous Secondary Electron Detector (GSED).Figure B2. Inserting the GSED card into the connector slot.。
操作规程如何正确操作电子显微镜
操作规程如何正确操作电子显微镜电子显微镜是一种非常重要的科学仪器，广泛应用于材料科学、生物科学、环境科学等领域。
正确的操作规程对于获得准确且有效的实验结果至关重要。
本文将介绍如何正确操作电子显微镜，并提供一些操作技巧和注意事项。
一、准备工作在正式操作电子显微镜之前，必须做好一些准备工作。
首先，确保电子显微镜周围的环境干净、整洁，防止其受到灰尘、污染物等的干扰。
其次，检查设备的电源和电缆，确保其正常工作。
最后，准备好所需的样品，并确保其表面光洁无尘。
二、操作步骤1. 开机准备：1. 将电子显微镜连接到稳定的电源，并打开电源开关。
2. 打开冷阱以确保真空质量。
3. 打开水冷却装置以保持温度稳定。
2. 调整显微镜参数：1. 选择适当的倍率和放大倍数，根据样品的特点和需要进行选择。
2. 调节对比度、亮度和聚焦等参数，以获得清晰的图像。
3. 如有必要，通过调节对焦杆和电子束对位，确保样品和探测器的正确对准。
3. 放置样品：1. 将样品放置在样品台上，并确保其稳定固定。
2. 如有必要，可以使用导电剂或金属涂膜来增强样品在电子束下的导电性。
4. 扫描样品：1. 点击扫描按钮，开始样品的扫描。
2. 观察样品在屏幕上的图像，并调整参数以获得最佳图像质量。
3. 如有必要，可以使用不同的检测器来观察样品的不同性质。
5. 数据处理：1. 使用相应的图像处理软件，如ImageJ等，对获得的图像进行分析和处理。
2. 可以测量样品的尺寸、形状、成分等参数，并生成相应的图表和数据结果。
3. 如有必要，可以进行图像的后期处理，如对比度调整、滤波等，以改善图像质量和可视化效果。
三、操作技巧和注意事项1. 避免触摸和碰撞：在操作过程中，尽量避免触摸和碰撞显微镜和样品。
2. 定期清洁：定期对电子显微镜进行清洁和维护，包括镜头、样品台和电子束通道等部分。
3. 正确保存：正确保存样品和数据，并在实验结束后关闭电子显微镜、冷阱和水冷却装置等设备。
双束扫描电子显微镜安全操作及保养规程
双束扫描电子显微镜安全操作及保养规程1. 前言双束扫描电子显微镜（Dual Beam Scanning Electron Microscope，简称DB-SEM）是一种先进的显微镜设备，常用于纳米级别的材料表征和分析。
为了确保使用DB-SEM的安全，并保持其良好的性能和寿命，我们必须遵守一系列的操作和保养规程。
2. 安全操作规程以下是在使用DB-SEM时应遵守的安全操作规程：2.1 穿戴个人防护装备在操作DB-SEM之前，必须穿戴适当的个人防护装备。
这包括实验室的标准防护眼镜、耳塞、防护手套和实验室大衣。
确保防护眼镜清晰、手套无损坏，并根据需要定期更换。
2.2 准备工作区使用DB-SEM时，必须确保工作区干净、整洁，并远离易燃或可燃物品。
检查设备周围的紧急灭火装置和安全疏散通道，以确保在紧急情况下能迅速采取行动。
2.3 充分了解设备操作指南在使用DB-SEM之前，确保你已熟悉设备的操作指南。
仔细阅读设备手册，并在需要时请教设备管理员或专家。
2.4 电源管理和设备启动顺序在操作DB-SEM之前，请确保设备的电源连接正确并牢固。
在启动设备之前，确保设备的各个部件和部位已就位并稳定。
遵循正确的启动顺序，按照设备手册中的说明进行操作。
2.5 避免过度曝光在使用DB-SEM时，避免长时间或过度曝光样本，以免对样本造成伤害。
根据样本的性质和要求，合理设置扫描电子束的功率和生命周期。
2.6 定期维护和检查定期维护和检查DB-SEM是确保设备长期运行正常的关键。
按照设备手册中的维护和检查程序进行操作，并定期清洁和校准设备。
3. 保养规程以下是保养DB-SEM的规程：3.1 定期清洁设备定期清洁DB-SEM的表面和内部部件。
使用专用的清洁剂和工具，遵循设备手册中的清洁说明进行操作。
确保设备表面清洁无灰尘并保持干燥。
3.2 确保设备通风DB-SEM需要有效的通风系统来保持设备内部的温度和湿度稳定。
确保通风系统的畅通，并根据需要更换或清洁过滤器。
电子显微镜操作规程
电子显微镜操作规程
一、准备工作
1. 确保电子显微镜已经连接好电源并处于正常工作状态。
2. 检查样品准备是否齐全，确保样品表面平整干净，并使用导电胶固定在样品台上。
3. 穿戴手套并保持实验环境干净整洁，以防止样品受到污染。
二、打开显微镜
1. 打开电子显微镜的电源开关，并等待一段时间，让仪器进行自检和预热。
2. 打开计算机软件，连接到电子显微镜的控制系统，确保软件与仪器正常通信。
三、调整显微镜参数
1. 在计算机上选择合适的倍率和对焦模式，根据样品的特点进行调整。
2. 调整对比度和亮度，确保图像清晰。
四、观察样品
1. 逐步调整焦距，直到样品清晰可见。
2. 使用电子显微镜进行放大观察，并记录所见情况。
3. 如有需要，可以对图像进行进一步处理和分析。
五、保存数据
1. 在观察过程中，及时保存图像和数据，以备后续分析和报告。
2. 离开之前，关闭电子显微镜和计算机软件，并整理清理实验环境。
六、注意事项
1. 操作过程中要轻拿轻放，避免碰撞和损坏仪器。
2. 使用完毕后，及时清理样品和样品台，保持仪器干净整洁。
3. 如有异常情况发生，应及时向相关人员报告，避免可能的故障。
以上为电子显微镜操作规程，希望能够帮助您正确、高效地使用电
子显微镜进行科研和实验工作。
如有任何疑问或需要进一步指导，请
及时与相关专业人员联系。
祝您实验顺利！。
扫描透射电子显微镜设备安全操作规定
扫描透射电子显微镜设备安全操作规定前言扫描透射电子显微镜是一种高端的电子显微镜设备，因其能够观察微观结构，被广泛应用于生物学、物理学、材料科学等领域。
为了更好地保护使用者和设备的安全，建立一套高效且规范的安全操作流程是必不可少的。
本文将介绍扫描透射电子显微镜设备的安全操作规定。
操作前的准备•身体状况检查：身体状况不佳者禁止操纵设备；•着装要求：操作者需要穿戴实验室工作服、实验室鞋，并系好安全带；•清洁要求：保持操纵台面洁净，放置操作需要的工具和样品，并保证实验室内干燥。
着手准备操作前，还要将转台和上下方向的移动平台进行全面检查，确保设备的稳定性。
设备开启与校准•倒数设备和系统运行：请先将电子显微镜系统处于暂停状态，确保安装完整并打开设备的电源；•低压扫描模式：在开启高压之前，要确保设备处于低压扫描模式。
开启模式后，请调整电子能量，直至达到最佳工作状态；•校准：校准前，请先打开设备内置的校准程序。
在进行显微镜操作之前，请进行清洁和校准。
操作过程•样品标记：在进行扫描透射电子显微镜的操作前，请先将样品置于标记位置，进行标识并记录；•样品环境：在观测和拍摄过程中，请务必采取相应的样品环境控制措施，例如利用微焊接和除尘器，确保在操作显微镜时，样品周围发生的其他反应不会影响到观察和拍摄的效果；•观测和拍摄：操作者应该严格遵守相关的安全操作规程，看到目标物体之前，请设置好所需的扫描模式，然后进行观测和拍摄。
为了避免辐射和EMI干扰，请使用好防护器，并考虑使用避免辐射的样品支架。
操作完成后的处理•数据保存：在进行完扫描透射电子显微镜操作之后，一定要以标准的格式保存数据。
保存好后，请彻底关掉设备并清理操纵区；•节能环保：请将实验室清洗干净，并做好节能措施；•设备保养：在操作完成后，还需要对设备进行保养和维护，以保证下一次操作的顺利进行。
注意事项扫描透射电子显微镜是一种非常高端的电子显微镜设备，通过本文的介绍，我们可以知道在使用扫描透射电子显微镜时，我们需要做好以下几方面：•在进行操作前，需要做好身体状况检查，并进行清理和校准；•在操作过程中，请遵守相应的安全操作规程等保证对身体以及设备的安全；•在操作结束后，请做好数据保存、节能环保以及设备保养工作等等。
电子显微镜标准操作规程
电子显微镜标准操作规程1．目的建立电子显微镜标准操作规程，为了使操作者操作电子显微镜更规范、更精确。
2．范围适用于电子显微镜标准操作规程。
3．职责操作者。
4．规程4.1 将制备好的样品固定在样品架上，将样品台每个手柄调节至标准位置，打开AIR待预抽室放大气后装上样品。
推紧，预抽室门按下EV AC键抽真空，待SEC、high灯亮后打开手动阀MV1后关闭MV1。
4.2 核样时，将所有旋钮调节至标准位置，打开手动阀MV1，取出样品，关闭MV1重复第一步。
4.3 打开主机面板上display power开关，接通操作系统开关，按照计算工机提示进入windows 操作界面。
4.4 点击桌面上的PC—SEM文件，进入扫描电镜操作平台。
4.5 打开Lock开关，拨向Aout open方向，点击 SEN操作界面上的Vacc 打开高压对话框。
将电流在10uA的位置上，电压可根据样品自由调节。
4.6 有图像数据点击speed3，点击M键，关闭Image窗口选择yes，确定存储路径，点击save完成图像的抓取。
4.7 注意事项4.7.1 核样品时样品只能在X方向上平行滑动，不能旋转等。
4.7.2 粉末样品测试前必须确定其粘结的牢固程度，禁止悬浮颗粒进入显微镜。
剩余包装材料处理程序、目的：建立剩余包装材料处理程序，使剩余包装材料的处理正确、规范，防止错药、混药事故发生。
二、适用范围：适用于剩余包装材料的处理。
三、责任者：工艺员包装班班长、仓库保管员、QA质监员，生产部质检员。
四、程序：1 每批产品包装完成后，对未用完的包装材料进行清理，将已盖批号或有效期和未盖批号、有效期的包装材料分别存放，分别处理。
2 对已盖批号、有效期的包装材料的处理：对标签、说明书、合格证及大、中、小盒一律销毁，并做好销毁记录，负责销毁人及监督销毁人员均要签字；销毁记录见《包装材料销毁记录》（编码：RD0104500）（附件1）；3 对于未加盖批号有效期的包装材料的处理：3.1 对未加盖批号但有质量问题的包装材料在质量监督员监督下销毁。
扫描电子显微镜操作规程
扫描电子显微镜操作规程1. 打开墙上配电箱里的空气开关（见标签上开下关）2. 打开变压器电源（正常电压应为100v）3. 打开主机电源：钥匙拧到START位置，停两秒松手，钥匙回到I位置。
4. 打开电脑电源5. 点击桌面图标，等待6. 当HT图标显示蓝色后，点VENT排气（排气时vent闪，排完气vent不闪），排完气方可打开样品室7. 正确选择Z轴高度（需要估计样品高度，Z轴大于样品高度放入样品，关闭样品台，点击EV AC抽气，抽气时推着样品室门，听到机械泵响声后松手8. 打开HT图标（此图标在非真空下是灰色，真空位蓝色，打开灯丝拍照为绿色）9. 选择扫描模式、加速电压（0.5-30KV之间选择，一般微生物类样品选10左右）、WD工作距离（10-15之间选择）、SS电子束斑（一般选30-40）10. 在SCAN2下调焦、调整对比度及亮度、调消象散（放大时照片晃动、或者样品变形、或者整体移动可点WOBBLE（一般10000倍左右调节有效果）调节光缆使照片不晃动）11. 高倍下调清晰度，低倍下拍照，拍照选择photo(曝光40秒)或者SCAN4（曝光80秒），拍完选择FREEZE并保存照片12. 拍完照后关闭灯丝，点VENT排气（排气时vent闪，排完气vent不闪），排完气方可打开样品室，取出样品台；关闭样品台，点击EV AC抽气，抽气时推着样品室门，听到机械泵响声后松手13. 依次关闭软件、电脑、主机电源、变压器、空开注意事项1.注意Z轴的距离要足够高不要让样品碰到探头2.慢慢调节光缆，防止调节过快看不到被观察物3.取、放前一定要卸真空，再抽真空4.关机的时候，要在真空状态下关机5.拍完照后要及时关闭灯丝6.请不要使用UBS接口，要拷贝数据请使用一次性光盘，光盘插入直接复制数据即可7.实验前后都要填写仪器使用登记表，实验完成后填写仪器使用记录；8.正确操作仪器，使用过程中如发现仪器出现异常情况，应及时与实验室管理人员联系；9.要求用托盘盛放药品，避免药品直接放在实验台上，实验结束及时清洁实验台，带走所有实验试剂及样品；10.仪器使用人员有义务打扫实验室卫生；11.仪器使用人员有义务和责任负责实验室内实验仪器的安全；12.仪器使用人员有义务和责任负责实验室内水、电安全。
012扫描电子显微镜操作规程
012扫描电子显微镜操作规程扫描电子显微镜（SEM）是一种非常强大的显微镜，可以提供高分辨率的表面图像。
为了确保SEM的正确操作和保持仪器的性能，以下是SEM 的操作规程：1.准备工作-首先，检查SEM仪器，确保所有部件都正常工作，并且真空系统正常工作。
-打开SEM软件，并设置所需的参数，例如加速电压、工作距离、探测器类型等。
-准备样品，确保样品是干燥的，卫星，引线等应该被裁剪掉，以免影响SEM的像质。
2.开始操作-打开真空系统，等待真空度达到所需的数值。
-将样品安装在样品台上，并用导电胶或导电碳粉将样品固定在样品台上。
-将样品台放入SEM仪器，然后封闭仪器的门，开始真空抽气。
-在真空达到所需数值后，调整加速电压和工作距离，直到获得清晰的图像。
-调整探测器和信号放大器以获得最佳的信号对噪声比。
-通过移动样品台或调整光斑位置来选择不同的观察区域。
3.结束操作-在使用完SEM后，关闭真空系统，并将所有参数恢复到默认设置。
-将样品台从SEM仪器中取出，并将样品从样品台上取下。
-清洁样品台和SEM仪器，确保仪器干净并存放在适当的位置上。
-记录SEM操作的所有参数和图像，以备后续分析和比较。
4.安全注意事项-在使用SEM时，应穿戴适当的个人防护装备，如实验服、手套和护目镜。
-不要在不了解SEM仪器操作规程的情况下使用SEM，以免造成设备损坏或人身伤害。
-在使用SEM时，不要将手指或其他物体放入SEM仪器中，以免危及人身安全。
总之，正确操作SEM仪器是非常重要的，不仅可以确保SEM仪器的正常运行，还可以获得高质量的表面图像。
遵循以上SEM操作规程并注意安全事项，可以提高SEM操作的效率和安全性。
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JSM-6610LV型扫描电子显微镜操作规程
1 样品镀膜
1.1 关闭充气阀门，打开镀膜机开关。
1.2 当真空度达到2×10-1mbar时，调节等离子电流至10mA（最大不超过20mA），根据样品情况，设置镀膜时间，镀膜时间一般不超过120m。
1.3 镀膜完成后，关闭镀膜机开关，打开充气阀门，取出样品，盖好上盖。
2 上机
2.1 打开稳压电源。
2.2 开启扫描电镜总电源，待泵运行稳定后，依次打开扫描电镜、能谱仪的主控计算机。
2.3 打开分析软件操作界面，点击“VENT”对样品室进行释压，同时检查“STAGE”状态，设定Z值为30mm。
待完全释压后，轻轻打开样品室门取出样品座，将样品固定在样品座上，然后将样品座放回样品室，关闭样品室门，点击“EVAC”开始对样品室抽真空。
2.4 当样品室真空度达到要求后，即可打开灯丝开始样品分析。
2.5 找到被测样品，调整好工作距离，设置合适的物镜光阑尺寸、束斑尺寸及加速电压。
分析样品前，检查灯丝相状态，如果灯丝相不饱和，要进行电子枪对中（电镜合轴）、聚焦、消像散等步骤，将电镜调至最佳观察状态。
2.6在“SCAN1”模式下进行对中、聚焦、消像散，在“SCAN2”模式下进行样品观察，选择具有代表性的视域，调整亮度、明暗度等至图像最清晰为止，在“SCAN4”模式下扫描拍照，并将所拍照保存至指定文件夹中。
摄取的照片用一次性光盘刻录拷贝，主控计算机严禁插入其他移动存储设备。
3 关机
关闭灯丝，退出分析软件操作界面，然后依次关闭主控计算机、扫描电镜总电源、稳压电源。
4 及时填写仪器运行记录。