电子与物质的相互作用演示文稿
第二篇7-电子与物质的交互作用.ppt
Dept. of MSE, CQU
电子与物质的交互作用
荧光 入射电子
导带 禁带
杂质能级
价带(满带)
21
材料现代测试方法
电子与物质的交互作用
各种物理信号的产生深度和广度范围
Dept. of MSE, CQU
22
材料现代测试方法
电子与物质的交互作用
电子与物质的交互作用
7.2 各种物理信号的产生机理及用途
1. 背散射电子 (Back scattering electron简称B.E)
概念：背散射电子是被固体样品反射回来的入射电子， 其中包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子。弹 性背散射电子的能量几乎没有损失，而非弹性背散 射电子的能量有不同程度的损失。
材料现代测试方法
电子与物质的交互作用
第二篇 电子显微分析
Dept. of MSE, CQU
1
材料现代测试方法
前言
电子与物质的交互作用
❖ 电子显微分析是利用聚焦电子束与试样相互作用所 产生的各种物理信号，分析试样微区的形貌、晶体结构 和化学成分的一类分析方法，包括透射电子显微分析、 扫描电子显微分析和电子探针X射线显微分析等。
各种物理信号的产生深度、 广度、用途和分辨率深度和广度范围
物理信号 俄歇电子
产生深度 ＜10Å
产生广度
等于电子束作 用面积
用途
分辨率
表面形貌和成份像 10~100 Å
仪器
俄歇电子谱 仪
二次电子 ＜100 Å
约等于电子束 形貌像、结构像 30~100 Å
扫描电镜
背散射电子 较大
大于电子束
电子与物质的相互作用及其应用
电子与物质的相互作用及其应用电子束与固体样品作用时产生的信号图是电子束与固体样品作用时产生的信号。
它包括：背散射电子、二次电子、吸收电子、透射电子、特征x射线、俄歇电子。
1.背散射电子背散射电子是被固体样品中的原子核反弹回来的一部分入射电子，其中包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子。
弹性背散射电子：被样品中原子核反弹回来的，散射角大于90 的那些入射电子，其能量没有损失(或基本上没有损失)。
非弹性背散射电子：入射电子和样品核外电子撞击后产生的非弹性散射，不仅方向改变，能量也有不同程度的损失。
如果有些电子经多次散射后仍能反弹出样品表面，这就形成非弹性背散射电子。
弹性背散射电子和非弹性背散射电子的比较见表。
表弹性背散射电子和非弹性背散射电子的比较2．二次电子在入射电子束作用下被轰击出来并离开样品表面的样品的核外电子叫做二次电子。
3．吸收电子入射电子进入样品后，经多次非弹性散射能量损失殆尽(假定样品有足够的厚度没有透射电子产生)，最后被样品吸收而成为吸收电子。
4．透射电子如果被分析的样品很薄，就会有一部分入射电子穿过薄样品而成为透射电子。
5．特征x射线当样品原子的内层电子被入射电子激发或电离时，原子就会处于能量较高的激发状态，此时外层电子将向内层跃迁以填补内层电子的空缺，从而使具有特征能量的X射线释放出来。
6．俄歇电子在入射电子激发样品的特征X射线过程中，如果在原子内层电子能级跃迁过程中释放出来的能量并不以x射线的形式发射出去，而是用这部分能量把空位层内的另一个电子发射出去(或使空位层的外层电子发射出去)，这个被电离出来的电子称为俄歇电子。
表电子束与固体样品作用时产生的各种信号的比较。
第十一电子与物质的相互作用
入射电子受核外电子的散射，电子偏转时有能量的变化，
此偏转可视为非弹性散射
在(re)2 圆面积内的散射，散射角θe ，称(re)2 为散
射角大于θe的非弹性散射截面
12
二、电子散射
2.1 电子散射截面与电子散射能力
散射截面：电子被散射的机会
r2
式中，r为散射中心的有效半径，实际代表了电子与散射中心 的距离。
低原子序数样品：电子偏离原方向的程度较小，穿透得较深； 形状明显地随原子序数而改变，从低原子序数的梨型（滴状）
变为高原子序数的近似半球型。
21
三、电子束与物质的相互作用区
3.2 入射电子能量的影响
对于同一物质的样品，作用区的尺寸正比于入射电子的能量； 随着入射电子能量的增大，相互作用区的横向和纵向尺寸随
对v0＝0的电子，在加速电压U的作用下，速度达到v，则动 能E为：
1 mv2 eU 2
v 2eU m
v U12
2
一、电子与物质的相互作用
1.1 电子的波长
（3）电子波长与加速电压的关系
h h
1.5 1.225 U (nm)
mv 2eUm U
（4）电子波长的相对论校正
hc
e
U2
2Um0c 2 e
其中有些特征能量损失ΔE的非弹性散射电子和分析区域的成分 有关，可以用特征能量损失电子配合电子能量分析器进行微 区成分分析。
30
四、电子束与样品相互作用产生的信号
5．连续X射线
与X射线管产生连续X射线的原理一样，不同的是，这里作阳极 的不是磨光的金属表面，而是试样。当电子束轰击试样表面时，有 的电子可能与试样中的原子碰撞一次而停止，而有的电子可能与原 子碰撞多次，直到能量消耗殆尽为止。每次碰撞都可能产生一定波 长的X射线，由于各次碰撞的时间和能量损失不同，产生的X射线的 波长也不相同，加上碰撞的电子极多，因此将产生各种不同波长的 X射线——连续X射线。
电子与物质的相互作用
五、相互作用体积与信号产生的
1、相深互度作用和体广积度
当电子射入试样后，受到原子的弹性、非弹性 散射。特别是在许多次的散射后，电子在各个方 向散射的几率相等，也即发生漫射。由于这种 扩散过程，电子与物质的相互作用不限于电子入 射方向，而是有一定的体积范围，此体积范围称 为相互作用体积。
2、各种物理信号产生的深度和广度 俄歇电子<1nm 二次电子<10nm 背散射电子>10nm X射线1um
一、电子散射
当一束聚焦电子束沿一定方向射入试样时，在 原子库仑电场作用下，入射电子方向改变，称为散 射。原子对电子的散射可分为弹性散射和非弹性散 射。在弹性散射过程中，电子只改变方向，而能量 基本无损失。在非弹性散射过程中，电子不但改变 方向，能量也有不同程度的减少，转变为热、光、X 射线和二次电子发射。
原子对电子的散射可分为： 1. 原子核对电子的弹性散射 2. 原子核对电子的非弹性散射 3. 核外电子对入射电子的非弹性散射
二、内层电子激发后的弛豫过程 当内层电子被运动的电子轰击脱离原子后，原
子处于高度激发状态，它将跃迁到能量较低的状态， 这种过程称为弛豫过程。它可以是辐射跃迁，即特 征X射线；也可以是非辐射跃迁，如俄歇电子发射， 这些过程都具特征能量，可用来进行成分分析。
扫描电镜和电子探针中应用背散射电子成像
称为背散射电子像。其分辨率较二次电子象低。
2、 透射电子
当试样厚度小于入射电子的穿透深度时，电 子从另一表面射出，这样的电子称为透射电子。
TEM就是应用透射电子成像的。如果试样只 有10~20nm的厚度，则透射电子主要由弹性散射 电子组成，成像清晰。
如果试样较厚，则透射电子有相当部分是非 弹性散射电子，能量低于E0，且是变量，经过磁 透镜后，由于色差，影响了成像清晰度。
带电粒子和物质相互作用方式
带电粒子和物质相互作用方式嘿，大家好！今天咱们聊聊带电粒子和物质的那些事儿。
听起来是不是有点高深？别担心，我保证不会让你听得像在读古文，咱们就像喝茶聊天一样轻松。
带电粒子，哦，那可不是什么外星人，咱们生活中随处可见，比如电子。
你想啊，电子就像个调皮的小孩子，总是四处乱跑，没个正形。
它们可不喜欢安静，碰到什么东西就会跟它们互动，哎，真是让人又爱又恨。
这些小家伙一碰到物质，就像小孩子碰到玩具，兴奋得不得了。
想象一下，电子在物质中跑来跑去，碰到原子核，就像在跟一个个大叔打招呼，这些大叔可没那么容易亲近，得小心翼翼。
说到互动，哇，那真是个热闹的场面。
电子和原子之间就像朋友之间的打闹，偶尔也有点小摩擦。
比如，当一个带电粒子接近原子时，可能会把原子的电子吓得四处逃窜，这就像你在学校里看到老师突然走进来，大家瞬间安静了。
哎，这可不止是吓一跳哦，可能还会引发一场“电子大战”。
当电子被撵走了，留下的原子就会变得不稳定，难免有点儿不舒服。
你看，带电粒子不仅仅是跑来跑去那么简单，它们还会放出电磁波，像是发射信号。
就像你跟朋友发消息一样，传递信息。
这种电磁波不仅可以影响周围的物质，还能传递能量，嘿，真是厉害。
就好像在聚会中，有人带来了饮料，大家都乐呵呵的，气氛瞬间活跃起来。
不过，有时候带电粒子跟物质的互动也会让人哭笑不得。
想象一下，电子们不小心闯入了一个“禁区”，它们可就遭殃了，碰到其他粒子或者分子，结果可能就会发生反应，产生新的物质。
这就像朋友之间玩游戏，一不小心搞砸了，结果把整个局势搞得一团糟。
说不定还会制造出一些奇怪的化合物，大家哈哈大笑。
有些粒子还会通过碰撞带走一部分能量。
你想啊，就像你跟朋友打球，你用力一击，球飞出去，你自己反而跌了个跟头，哈哈，这就是能量转移。
物质中有很多“潜规则”，带电粒子进来，总是需要适应，学会如何在这个环境中生存。
而说到这个，辐射可就不能不提了。
带电粒子一旦高速运动起来，跟物质的碰撞可不是开玩笑的，能引起一系列反应，甚至产生辐射，真的是“不可小觑”。
《电工电子学》电子与物质的相互作用
对于多晶体而言，由于晶粒数目极大 且晶面位向在空间任意分布，多晶体 的倒易点阵将变成倒易球。倒易球与 爱瓦尔德球相交后在相纸上的投影将 成为一个个同心圆。
电子衍射结果实际上是得到了 被测晶体的倒易点阵花样，对 它们进行倒易变换从理论上讲 就可知道其正点阵的情况―― 电子衍射花样的标定。 与X射线衍射类似，遵循布拉 格定律: 2d sin n
倒易点阵是埃瓦尔德(P.P.Ewald)1920年引 入的概念，是一种虚点阵。 正点阵中每组平行晶面(hkl)相当于倒易点 阵中的一个倒易点，此点在这组晶面的公 共法线上，它到原点的距离为该组晶面间 距的倒数。
扫描电子显微镜(SEM)
1935年：德国的 Knoll提出了扫描 电镜(SEM)的概念; 1942 Zworykin. Hillier, 制成了第 一台实验室用的 扫描电镜。1965 年第一台商品扫 描电镜问世。
4)背散射电子(BE)—从距样品表面0.1-1um深度范围内散射回来的入射电子，其 能量近似入射电子能量。主要特点:a)对样品物质的原子序数敏感;b)分辨率和信 号收集率较低; 5)吸收电子(AE)—残存在样品个的入射电子,用于表面化学成份和表面形貌分析。 6)俄歇电子(AUE)—从距样品表面几Å深度范围内发射的并具有特征能量(固定值， 随元素不同而异)的二次电子。特点是用于分析轻和超轻元素和表面薄层分析 (<1nm)。 7)非弹性散射电子—入射电子受到原子核的吸引改变方向的电子。能量损失谱。 原子核(连续波长X射线)和核外电子(二次电子和特征X射线) 8)阴极荧光—入射电子束激发发光材料表面时，从样中激发出来的光子波长大约 在可见光到红外光范围之间。 9)感应电动势—对半导体物质，入射电子产生的电子-空穴对在外电场作用下,各 自运动到一定的区域积累起来,形成净空间电荷而产生电位差，形成附加电动势 10)Cherenkov 辐射 1932-1933年间，德国的Ruska和Knoll 等在柏林制成了第一台电子显微镜(1986诺 贝尔奖) ,放大率只有l2倍,表明电子波可以用于显微镜。 1939年德国的西门子公司产生了分辨本领优于100 Å的电子显微镜。 我国从1958年开始制造电子显微镜。现代高性能的透射电子显微镜点分辨本领 优于3Å，晶格分辨本领达到1-2Å，自动化程度相当高。
电子与物质的相互作用
电子与物质的相互作用电子与物质的相互作用与扫描电镜原理当一束聚焦电子束沿一定方向入射到试样内时，由于受到固体物质中晶格位场和原子库仑场的作用，其入射方向会发生改变，这种现象，称为散射。
如果在散射过程中入射电子只改变方向，但其总动能基本上无变化，则这种散射成为弹性散射；如果在散射过程中入射电子的方向和动能都发生改变，则这种散射成为非弹性散射。
入射电子的散射过程是一种随机过程，每次散射后都使其前进方向改变，在非弹性散射过程是一种随机过程，每次散射后都使其前进方向改变，在非弹性散射情况下，还会损失一部分能量，并伴有各种信息的产生如热、X 射线、光、二次电子发射等。
从理论上，入射电子的散射轨迹可以用蒙特卡罗方法来模拟如图2-1 所示。
并且推导得入射电子的最大穿透深度可用如下公式来描述：Zmax = 0.0019(A / Z)1.63 E01.71 /ρ式中ρ为密度；A 原子量；Z 为原子序数；E0 为入射电子的能量1－入射电子；2－二次电子；3－背反射电子；4－俄歇电子；5－X 射线；6－阴极发光；7－扩散云；Zmax －入射电子的最大穿透深度；φ－入射电子的入射角；ψ－返回表面的出射角。
如图2-1 所示，入射电子经过多次弹性和非弹性散射后，可能出现如下情况：（1）部分入射电子所累积的总散射角大于90°，重新返回表面逸出，这些电子成为背反射电子（原入射电子或称为一次电子）；（2）部分入射电子所累积的总散射角小于90°，并且试样的厚度小于入射电子的最大贯穿深度，则它可以穿透试样而从另一面逸出，这部分电子称为透射电子；（3）部分入射电子经过多次非弹性散射后，其能量损失殆尽，不再产生其它效应，被试样吸收，这部分电子称为吸收电子。
系统研究表明，入射电子的散射过程可以在不同的物质层次中进行。
如果入射电子的能量是在5～30keV 之间，则可能存在如下几种情况：（1）入射电子和原子和相互作用；（2）入射电子和原子中核外电子相互作用；（3）入射电子核晶格相互作用；（4）入射电子和晶体空间中电子云相互作用。
电子与物质的相互作用
4、二次电子
• 被入射电子（E<50eV）在样品的导带和价带里打出来的电子，成为二次电子。 • 二次电子在样品表面（5-10nm）和容易逸出表面，可用来表征样品表面信息。 • 扫描透射模式（STEM）利用二次电子成像，具有比扫描电镜像有更高的分辨率。 • 快二次电子：是从内壳层中激发出来的（50-200keV），会产生许多X射线，干扰X射线分析。
• 光子的产生率与半导体的能带有关或与半导体中杂质有关。 • 主要用于扫描电镜，也用于STEM。
谢谢观赏
• 透过试样的电子束携带试样的成分信息，通过对这些透射电子损失的能量进行分析，可以得出试样中相应 区域的元素组成，得到作为化学环境函数的核心电子能量位移信息。
• 能量损失谱（EELS）：由于非弹性散射碰撞使电子损失一部分能量，这一能量等于原子与入射电子碰撞前 基态能量与碰撞后激发态能量之差。
• 如果最初电子束能量是确定的，损失的能量有可准确地测得，就可以得到试样内原子受激能级激发态的精 确信息。
• 透射电子 • 特征X射线 • 二次电子 • 背散射电子 • 阴极发光
1、辐照损伤
• 电子束可以打断某些物质的化学键，也可以将某些原子从格位碰撞出去，对样品带来不利的影响。 • 解决办法： • 尽可能用最大的加速电压，减少散射截面 • 尽量少使用高亮度小束斑的电子束 • 样品尽可能薄。
2、透射电子
越大。
• 核外电子对电子的排斥力为
•
2
F er 核外电子对入射电子的散射主要是非弹性散射e。 2
• 电子在物质中的弹性散射大于非弹性散射Z倍。
（5-1）
• 原子序数越大，弹性散射就越重要，反之，非弹性散射就越重要。
• 弹性散射是电子衍射和电子显微像的物理依据。
第二章-电子与物质相互作用
背散射电子产额与原子序数相关，反应成分信息，对形貌信息不敏感；
背散射电子可以产生衍射效应，反应晶体结构与取向信息；
原子衬度像与背散射电子衍射-SEM/EBSD
3.2.4 俄歇电子
高能入射电子使内层电子（如K层）激发，在原子内产生空穴。其他内层电子跃 迁填补空穴，多余能量同时被其它内壳层电子吸收而激发逸出形成俄歇电子；
表面形貌分析-SEM/STEM
3.2.3 背散射电子
;
背散射电子是被固体样品反射回来的入射电子，包括弹性背散射电子和非弹性 背散射电子 背散射电子。弹性背散射电子的能量几乎没有损失，而非弹性背散射电子的能量 有不同程度的损失; 能量较高(等于或接近入射电子能量)，逸出深度达几百nm； 二次电子 背散射电子产额与原子序数相关，反应成分信息；
形貌、结构、成分与轨道状态分析-TEM-SAED-EELS
3.2.7 等离子体激发
等离子激发是指当入射电子通过电子云时，自由电子集体振动，振动持续 时间10－15秒，振动局域在纳米范围内；
等离子体激发使入射电子损失能量，这种能量损失随材料的不同而不同；
可进行特征能量损失谱分析，亦可选择有特征能量的电子成像。
入射光
相互作用
观察者
X射线衍射
''
1 2 d(h k l) 3
M
B
(b)
N
X射线
2d( hkl ) sin hkl n
可见光 光反射折射 双目镜 电子计数器
电子与样品相互作用
特征X射线 俄歇电子 可见光 入射电子 二次电子 背散射电子
吸收电子
样品(厚)
样品(薄)
弹性散射电子 透射电子
电子与物质的交互作用PPT课件
（3）吸收电子
定义：入射电子射入试样后，经多 次非弹性散射后能量消耗殆尽而 形成吸收电子被试样吸收
第15页/共27页
（3）吸收电子
在试样和地之间接入mA计进行放大，可 检出吸收电子产生的电流 吸收电子像用于显示样品表面形貌和样品 表面元素分布状态
用吸收电流成像，同样可以得到原子序数 不同的元素在样品上各微区定性的分布情况。
第2页/共27页
1.1 散射的基本概念
• 弹性散射:电子只改变运动方向，基本无能 量变化。
• 非弹性散射--原子对入射电子的散射 电子不仅改变运动方向，能量也有不
同程度衰减。被散射电子的波长改变，损 失的能量导致物体内部的某些激发效应， 其表现形式可以是次级电子、俄歇电子、 标识和连续 X射线、热辐射、紫外和可见 光区域的光子等，也可以是等离子体激元 的激发。
第8页/共27页
1.2/共27页
（1）背散射电子
• 定义：入射电子在试样内经过一次或几 次大角度弹性散射或非弹性散射后离开 试样表面的电子。
第10页/共27页
（1）背散射电子
• 背散射电子的产生范围在0.1~1µm，这
是由于背散射电子具有较高的能量，所以可在试样 较深部位散射出试样表面。
• 弹性散射是电子衍射及成像的基础
第5页/共27页
核外电子的非弹性散射
• 一个运动的电子靠近孤立的电子时， 由于库仑力的排斥作用，电子将向 反方向偏转，偏转角--，的大 小取决于re 的大小
第6页/共27页
非弹性散射
核外电子的非弹性散射
电子质量=电子的质量，电子偏转时有能
量的变化，此偏转可视为非弹性散射。
由布拉格方程：
2d sin
d—样品晶体的晶面间距；λ—入射电子波长； θ—入射束与晶面第的25页掠/共2射7页角
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
入射电子的电流强度= +二次电子电流强度
（无透射电子时）
+吸收电子的电流强度
2. 特点：样品中原子序数较大的元素产生的背散射 电子的数目较多，相反，吸收电子的数量 就较少；反之亦然。因此，吸收电子也可 反映原子序数衬度，可进行定性微区成分 分析。
3. 作用：定性微区成分分析。
吸收电子成像
吸收电子原子序数衬度原理： 吸收电子是被样品吸收的入射电子，故其产
二. 背散射电子
1. 产生：背散射电子是被固体样品中原子反弹回来的一部分 入射电子。
包括：弹性背散射电子——被样品中原子核反弹回来的入 射电子，能量基本没有损失，能量很高。 非弹性背散射电子——被样品中核外电子撞击后 产生非弹性散射的入射电子，方向和能量均发生改 变，经多次散射后仍能反弹出样品表面的入射电 子。
⑶而二次电子能量低，可利用检测器收集栅上加一定 正电压来吸引能量较低的二次电子，使它们以弧形路 线进入闪烁体，使背向检测器的部位逸出的电子也能 对成像有贡献，使图像层次增加，细节清楚。
2. 背散射电子原子序数衬度原理
⑴ 原子序数衬度：是利用对样品微区原子序数或化 学成分变化敏感的物理信号作为调制信号得到的， 表示微区化学成分差别的像衬度。
2. 特点：反映了样品中原子序数特征背散射电子来自样品表层几百纳米 (50～1000nm)的深度范围，其产额能随样品 原子序数的增大而增多。
3. 作用：不仅能做形貌分析，还可定性作成分分
析。
背散射电子形貌衬度特点（与二次电子形貌像的 区别）
⑴ 分辨率远比二次电子低；
⑵ 背散射电子的能量较高，它们以直线轨迹逸出 样品表面，对于背向检测器的样品表面，因检 测器无法收集到背散射电子而变成了一片阴影， 图像衬度太大会失去细节的层次，不利于分析。
对微区原子序数或化学成分的变化敏感信号： 背散射电子、吸收电子、特征X射线、俄歇电子等。
⑵ 背散射电子原子序数衬度原理
背散射电子的产额随样品原子序数的增大而增加， 因而，样品上原子序数较高的区域，产生较强的信 号，荧光屏上图像较亮，这样可以根据背散射电子 像亮暗衬度来判断相应区域原子序数的相对高低， 对金属及其合金进行化学成分的半定性分析。
背 散 射 电 子 产 额
两种图像的对比
锡铅镀层的表面图像（a）二次电子图像（b）背散射电子图像
两种图像的对比
铝钴镍合金二次电子照片
铝钴镍合金背散射电子照片
三. 吸收电子
1. 产生：入射电子多次非弹性散射后能量消失， 最后被样品吸收。
入射电子被样品吸收后也会产生电流强度。
逸出表面的背散射电子的电流强度
额与背散射电子相反，即：样品原子序数越小， 背散射电子越少，吸收电子越多，故吸收电子像 和背散射电子像衬度刚好相反，也可进行成分分 析。
四. 透射电子
1. 产生：如果被分析的样品很薄，则有一部分入射 电子穿过薄样品而成为透射电子。此时，
背散射电子i +二次电子强度i 入射电子强度（i）= +吸收电子i +透射电子i
电子与物质的相互作用演示文稿
优选电子与物质的相互作用
一. 二次电子
1. 产生：入射电子束轰击出来并离开样品表面的 样品中的核外电子。
2. 特点：⑴ 能量较低（<50eV）； ⑵ 一般在表层5~10nm深度范围内 发射出来，对样品表面形貌非常敏感。 (3)与原子序数无关，不能做成份分析
3. 作用：样品表面形貌分析。
二次电子成像原理
①二次电子能量较低，只能从样品表面层5~10nm深 度范围内激发出来；
②其数量和原子序数没有明显的关系，但对微区表面 的形状十分敏感；
③样品上凸出的尖棱、小粒子以及比较陡的斜面处二 次电子的产额较多，在荧光屏上亮度较大，平面上二 次电子产额较小，亮度较低；在深的凹槽底部虽然也 能产生较多的二次电子，但这些二次电子不易被检测 器收集到，因此槽底较暗。
2. 特点：⑴ 只有样品的厚度小于入射电子的有效穿入深
度时，才会产生。
⑵ 随样品厚度增加（质量厚度ρt），透射电
子数目减小，吸收电子数量增加，当样品厚 度超过有效穿透深度后，无透射电子。
3. 作用：配合电子能量分析器来进行微区成分分析。
五. 特征X射线
1. 产生：当入射电子的能量足够大，使样品原子的内 层电子被激发或电离，此时外层电子向内层 跃迁以填补内层电子的空位，从而辐射出具 有原子序数特征的特征X射线。